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摘要 ^qR2 !fwm< >G#SfE$0 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +wPXDN#R k4i*80  [T}Lq~ Hs6?4cgj 设计任务 ZsnFuk#W _EEOBa Z  ,y>Sq + h&|PHI MJ.K,e 光栅特性与参数的严格分析 v~.nP}
E^ uE'O}Y95 不同光栅周期的衍射效率 Nv[MU@Tv sV']p#HK0  GBg~NkC7. C
9{8!fYp 考虑光栅周期的选择 u2 a#qU5* `>1XL 2  Bz+zEXBC 偏振相关衍射特性 'zo]
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tEam6xNf, 基于参数优化的光栅设计 gJFx#s0?6. |O';$a1S 具有固定周期的二维参数优化 kfW"v I+d
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