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摘要 3 ?`" B+"g2 Y 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x=*L- ; ^ 3$kF  IzUo0 D*@ Im)EDTm$ 设计任务 cp%ii' 0^&!6R  8\#
^k#X 3ZojE ux` `@XehSQ 光栅特性与参数的严格分析 2f,2rW^i 3n48 %5 不同光栅周期的衍射效率 !9 f4R/ ? %| +E48  5 <+K R.W 1mH\k5xu 考虑光栅周期的选择 Z<"K_bj Qf@i U%G  j *3}1L4P 偏振相关衍射特性 7bF*A YM f /y`
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b/F - 偏振相关衍射特性 ! '0S0a8 Xy7Z38G  D7 ?C
q p~g P 基于参数优化的光栅设计 k ;Fh4Hv X_ ?97iXjx 具有固定周期的二维参数优化 S$[k Q|Am
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