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摘要 p, #o<W -B +4+&{T 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !r<pmr3f@7 Ofs <EQ  E>K!Vrh-L _*f` iu:` 设计任务 q<M2,YrbAI AIZ]jq  79;<_(Y 5 sX+~Q 0)gdB'9V_ 光栅特性与参数的严格分析 'dn]rV0(C
094o'k 不同光栅周期的衍射效率 W)bLSL]`E gw!vlwC&T  7<*yS310 ,y#Kv|R 考虑光栅周期的选择 ZP(f3X@ J\b^)  1eF3 ` 偏振相关衍射特性 tS6qWtE
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