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摘要 7#@cz5Su !xP8#|1 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ld3-C55 n.wF&f'D] O?U'!o= bSsh^Z 设计任务 k9$K} 7w
37S 4$qWiG~ [PQ?#:r hy}8Aji& 光栅特性与参数的严格分析 ~2<7ZtV= uIcn{RZ_z 不同光栅周期的衍射效率 R>,:A%?^b5 u`y><w4i CK:y? K)qF+Vb^j 考虑光栅周期的选择 I"Ms-zs 8CnRi (Q%'N3gk 偏振相关衍射特性 T?:glp[4I ojQI7 Uhw ,S'p%g j{Hao\F8 偏振相关衍射特性 4Fp0ZVT G"X8}:} la( <8 =Vy`J)z9 偏振相关衍射特性 _/Gczy4)# f@8>HCI b8LoIY* 5O~HWBX. 基于参数优化的光栅设计 0@G")L
Ue0 S|apw7C 具有固定周期的二维参数优化 G2t;DN( ^xh}I5 z|asa* 二维参数优化 - 设计#1 SG-'R1
J <Ard7UT vz^<YZMu vFE;D@bz: 二维参数优化 - 设计#2 ?_"+^R z bx]N>k J Q -MQ9' 2P/K
K 制造公差分析 - 设计#2 f 1w~!O9 2>86oP& '~ ,p[ 66.5QD0 不同光栅周期的三维参数优化 f>piHh? 9AxCiT. U+)xu>I
ZKQG:M~| 制造公差分析 S}$r>[t X@k`3X DA2}{ BNd^qB ? 走进VirtualLab Fusion @O@GRq&V 3 n'V\Hvz M7ers|&{ t5'V6nv VirtualLab Fusion 工作流程 9cEv&3 TjQvAkT ;]gP@ h/ ~4s'0 w^ VirtualLab Fusion技术 ,0E{h}( 'XzXZJ[uq L=q+|j1>
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