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摘要 7@Zx@ RaWG w 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @+'-ADX `(v='$6} t|9 GS| GiP`dtK
设计任务 !:|TdYrmj TT50(_8 B;R.# ^@/ "]oO{'1X /CuXa%Ci^ 光栅特性与参数的严格分析 T21ky>8E %STliJ 不同光栅周期的衍射效率 AZzuI* P&j(,7 nL$x|}XAcj d)@<W1; 考虑光栅周期的选择 YY&l?*M< 4(Ov1a> |+35y_i6 偏振相关衍射特性 0dA7pY9 &;XAuDw4+i OkCQ?] hty0Rb[dH 偏振相关衍射特性 >*-FV{{ %q!8={J8 :C}2= j
[rB"N`0 偏振相关衍射特性 {fha`i "t({D ?OE.O/~l /;7y{(o 基于参数优化的光栅设计 e1>aTu@ }j2Y5 具有固定周期的二维参数优化 ,g7.rEA &ISb~5 Xg=x7\V 二维参数优化 - 设计#1 uKz,SqX _*IPk d~/q"r 1" sp7*_&'J 二维参数优化 - 设计#2 MZpK~c1` v1|Bf8 \k]x;S<a &K43x&mFF 制造公差分析 - 设计#2 HJ2*y|u rQOWLg!" \S*$UE]uG h)6GaJ= 不同光栅周期的三维参数优化 ) c/%
NiN !IC-)C,q $`8Ar,Xz` 9%iUG(DC 制造公差分析 "+z?x~rk kM'"4[,nz [97KBoSU RrhT'':[ 走进VirtualLab Fusion &X|<@'933 J0
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