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摘要 S#D6mg$Z, O ~bzTn 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ut"F b ~ EhM"go  2K(zYv54 tjy@sO/Q 设计任务 C'z}jM`g _K>YB>W}7  PwxRu A3e83g~L a/
Z\h{* 光栅特性与参数的严格分析 X pf: I 9&KiG* . 不同光栅周期的衍射效率 z!\)sL/" )6-!,D0 db  *+cW)klm ~LN
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