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摘要 z([</D? Qe(:|q _ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m~ee/& T 7 Fs ay+a  dUdT7 ixo YKf0dh;O 设计任务 ={Qi0Pvt J<lO=
+mg  {BU; $ Wh{tZ~ c Fv`,3aNB 光栅特性与参数的严格分析 `~q < N Rbv;?'O$L 不同光栅周期的衍射效率 eb$#A _m DLNb o2C  BING{ew [z9Z5sLO 考虑光栅周期的选择 n '6jou FHI ;)wn=  lsNd_ 7k 偏振相关衍射特性 #:%/(j )dd@\n$6
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g{Cr"Ex 基于参数优化的光栅设计 )w%!{hn 7H u3>4< 具有固定周期的二维参数优化 3sZ\0P}
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 k"w"hg&e 二维参数优化 - 设计＃1 jRV/A!4 R{T$[ $6S
 V3j= Kf bA->{OPkT 二维参数优化 - 设计＃2 x-3 \Ls[I [ !OxZ!
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