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摘要 vL0Ol -Vt Zv 93cv 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]42 l:at 7 >(y gu  .EwK>ro4 W
aU_Z/{0 设计任务 8E{>czF" A\Gw+l<h,  k"$V O+}m r MlNp?{_ ~O6=dR
光栅特性与参数的严格分析 ":ycyN@g Viw3 /K 不同光栅周期的衍射效率 QZo l( 2~Y yk/XfwQ5  |~Iw ";]m]PRAam 考虑光栅周期的选择 ?%(*bRV - ;nE}%lT  _NFJm(X. 偏振相关衍射特性 +8M{y D9# m`~ Qr~
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