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摘要 K{`R`SXD d6JW" 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yE,qLiH = jS$p iw.  |j9aTv[` -mh"["L" 设计任务 "M /Cl| z
5p:BHw;%;  2fu<s^9dh Yo' Y-h# aT}Hc5L,b 光栅特性与参数的严格分析 Cc%{e9e* @n.n[zb\| 不同光栅周期的衍射效率 !Qb uOvw |#< z\u }  |3T2}oh rr OPj NmdeS 考虑光栅周期的选择 + lVA$]d dW!El^w}  4Otq3s34FT 偏振相关衍射特性 .s,04xW\ " -X8
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An0N'yo"Z 基于参数优化的光栅设计 4u%AZ<-C}m 4
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Fbd 具有固定周期的二维参数优化 ^0}wmxDq
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 ;]m;p,$ 二维参数优化 - 设计＃1 (?^ F }] !9KDdU
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 ,VEE<* 'X c_+fA 制造公差分析 - 设计＃2 U!c+i#:t <8kCmuGlk
 41Q)w=hoN /}6y\3h 不同光栅周期的三维参数优化 \$DBtq5=
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