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摘要 Pg''>6w> k#oe:u`< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Jyz*W!kI j*6>{_[ _+aMP=H -$A
>b8 设计任务 !*\J4bJe ]4X08Cm^ l^cz&k=+ Y9SaYSX YXlaE=9bn 光栅特性与参数的严格分析 L!c.1Rf_ 3nbTK3, 不同光栅周期的衍射效率 0^25uAD= hWz/PK, riu_^!"Z_ r .`&z 考虑光栅周期的选择 >4^,[IO/ _qf$dGqc
M/abd 7q 偏振相关衍射特性 8+n*S$ z=j,-d%9
@TraEBJGL \hO}3;*& 偏振相关衍射特性 GQ8A}gwH (^~0%1
']:>Ww.S ,{jF)NQaP 偏振相关衍射特性 aJzyEb Htm;N2$d S] R.:T_% [!S%nYs&8L 基于参数优化的光栅设计 1Xkl.FcFw nkO4~p 具有固定周期的二维参数优化 6sQY)F7p )~{8C:
<Em|0hth 二维参数优化 - 设计#1 Ru~;awV? vWZ?*0^
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J93@\b E G J/r 制造公差分析 - 设计#2 9zNMv- YfUo=ku
dk_! ~Z 1#lH5|XQ 不同光栅周期的三维参数优化 {O_`eS A(1WQUu j
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