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摘要 ,D
;`t =,gss&J!! 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uZmfvMr3 E# e=<R G-M!I`P ':o.vQdJ 设计任务 #MGZje,I JkQ4'$: v{?9PRf\s !c(B^E b LL!iz? 光栅特性与参数的严格分析 (zJ
TBI' 6G@_!i*2F 不同光栅周期的衍射效率 7zR7v YfxZ< 7OC,KgJ3 eSa ]6 考虑光栅周期的选择 xOTm-Cm9L ?>RJ8\Sj ^Y #?@ 偏振相关衍射特性 >L&>B5)9 nfrC@Av
l<7 b PJA 1/" 偏振相关衍射特性 J"6_H =s er l_Gg
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jB !i)?j@D 偏振相关衍射特性 TO( =4;U V)N9V|O' *e_ /D$SC |!57Z4X 基于参数优化的光栅设计 !R)v2Mk| )JuD ! 具有固定周期的二维参数优化 4!/{CGP V\ARe=IWM
T!v%NZj3 二维参数优化 - 设计#1 3ufUB^@4v DOU\X N
[0MVsc= ]dk~C?H 二维参数优化 - 设计#2 YdE$G>&em mKxQU0 `
$stJ+uh zJdlHa{ 制造公差分析 - 设计#2 lg1?g)lv ~Qzm!Po,
x8zUGvtQ gfih;i.pY 不同光栅周期的三维参数优化 Eer rIV =P0~=UP
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