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摘要 %;=IMMK =0 C l 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %)<oX9E kH>vD = q>  >%n8W >^^4 j#LV7@H.e? 设计任务 m0%iw1OsH% e-%7F]e  5A2Y'ms,/ 45r]wT(C
<<7,k f R 光栅特性与参数的严格分析 uGuc._}= nxn[ ~~ 不同光栅周期的衍射效率 `eMrP` KD, ^*FkkL  A=v lC?&Z Y91
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