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摘要 +#Ga} e CM AvZO R 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W_bA.z T{ Pah*,  ^ ~kf o| RHu4cK!5 设计任务 ?W\KIp \Kn v`\ CzT  5 D[`nU} L~!Lq4]V\g ,Yu2K` 光栅特性与参数的严格分析 Q;k
D Jo (vPE?^}b 不同光栅周期的衍射效率 7? ]wAH89 4bq+(CI6  xA>3]<O ^0(` :* 考虑光栅周期的选择 ?8ady%
.ls L.x`Jpq(3  +HF*X~},i 偏振相关衍射特性 ]T>|Y 0 | V;(Rg=5
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