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摘要 cE
'LE1DK .c+U=bV- 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |du%c`wl 3u/JcU-< nZ(]WPIN" m.m6. 设计任务
^rVHaI l1DJ<I2 jj2iF/ U+x^!{[/ fc*>ky.v 光栅特性与参数的严格分析 5+M,X kg 3d6z_Yd: 不同光栅周期的衍射效率 t2(X <WZ{<'ajI &<98nT 5:IDl1f5 考虑光栅周期的选择 yogavCD9b/ $45|^.b ?pW1}:z
偏振相关衍射特性 7s?#y=M A,<5W }
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pbe2 &S{r;N5u 偏振相关衍射特性 hi!A9T3%}M z1Ieva]
f%o[eW# *pwkv7Zh 偏振相关衍射特性 D#&9zR86F HXKM<E{j SPb+H19; mBErU6?X,A 基于参数优化的光栅设计 B<SE|~\2 b_~XTWP$l 具有固定周期的二维参数优化 ?0/$RpFEM# YQN:&Cls
hAf/&yA@ 二维参数优化 - 设计#1 i|1*bZ6' &6vaLx
/Yy)=~t{ (a_bU5) 二维参数优化 - 设计#2 -4Hb]#*2 ~6t!)QATnp
w UxFE=ia -13}]Gls7Q 制造公差分析 - 设计#2 0! 3. .5== 2]mV9B
x;7l>uR bHG<B 不同光栅周期的三维参数优化 2/4zg Pjs=n7
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