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摘要 n0T\dc~ L>Y>b4oy3 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1A4!zqT; 4*4s{twG &cSTem
0 [=Y @Ul 设计任务 (Id]'w4 DAG2pc8zA gsn3]^X ;~$_A4; b<de)MG 光栅特性与参数的严格分析 bUf2uWy7 W27EU/+3 不同光栅周期的衍射效率 *v[WJ"8@ b8QA>]6A 8'Z#sM^E c|lo%[]R! 考虑光栅周期的选择 ngprTMO$& YK/?~p9: =h?WT* 偏振相关衍射特性 WHQg6r ca@0?q#
P {x`eD0 /R&!92I0* 偏振相关衍射特性 /vi>@a J#7\R':}zl
bwG2= :?s~,G_*l 偏振相关衍射特性 _ cK"y2 +_tK \MN Z5re Fok ?GPTJ#=j=] 基于参数优化的光栅设计 sr+*
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DM 具有固定周期的二维参数优化 RU3:[(7 ?(el6 J}
P#(BdKjM 二维参数优化 - 设计#1 7*8R:X+^r k{<]J5{7
bT<if@h- *2ZX*w37 二维参数优化 - 设计#2 Hn5:*;N v/{LC4BF
n`Pwo& )$XW~oA' 制造公差分析 - 设计#2 `0Y`]kSY+ Eg&xIyR |