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摘要 XyN`BDFi ." $= 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1aXIhk4 kW*W4{Fth  pZNlcB[Qn- C{lB/F /|! 设计任务 0~LnnD N ' eTpcrS3  *}50q9) / NpjsZcA R$~JhcX*l' 光栅特性与参数的严格分析 4jI*Y6Wkz 0hEF$d6U 不同光栅周期的衍射效率 PDa06(t7 dW] Ej"W  5Lo==jHif [bQ8A(u 考虑光栅周期的选择 LS?` {E
(]GY.(F{  av$\@4I 偏振相关衍射特性 Wl}G[>P T g}H < T
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7 基于参数优化的光栅设计 l"V8n BR` Amq8q 具有固定周期的二维参数优化 bC>yIjCTn
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 Z2Y583 D 二维参数优化 - 设计＃1 <CdG[Ih omDi<-
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 D6 @4 ~ P.-3 制造公差分析 - 设计＃2 2+hfbFu,1 Hr64M0V3B
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