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摘要 P`K?k< s2-p-n 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 'v"{frh {)QSxO IW.~I,!x aBO%qmtt 设计任务 ;*Cu >f7 q{W@J0U mGmkeD' Nuw_,-h 2Rp5 E^s 光栅特性与参数的严格分析 y0R5YCq\": : _>/Yd7-& 不同光栅周期的衍射效率 Q( C\X V.RG=TVS Z~VSWrw3 :Sx!jx>W 考虑光栅周期的选择
De>' >~kSe=Hsb4 D4x~Vk%H 偏振相关衍射特性 3UIR^Rh+ ]KS|r+
>!vb ;a! {/x["2a1 偏振相关衍射特性 Q_bF^4gt RfMrGC^?
[4qx+ypT V(%L}0[] 偏振相关衍射特性 k{op ,n# :dtX^IT lqO" 3@r_t|j 基于参数优化的光栅设计 Kzw)Q =U6%Wdth 具有固定周期的二维参数优化 R(c:#KF#8 /N`l
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7[wHNJ7)r 二维参数优化 - 设计#1 `3Gjj&c 6]%79?'A
B*+3A!{s l@8UL</W 二维参数优化 - 设计#2 f((pRP NM0[yh
(LW4z8e# ?d*0-mhQ, 制造公差分析 - 设计#2 BTXS+mvl eGZX6Q7m
Md9b_&' &95iGL28Q 不同光栅周期的三维参数优化 qHGXs@*M& .!ThqYo
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