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摘要 ( ztim }6CXJ+-UR 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Dz8:; $/ q1TW?\pjb:  :e&n.i^ iIGI=EwZ 设计任务 O\4+_y @ k+%y'Y? 
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光栅特性与参数的严格分析 o4/I1Mq 5i4V 5N>3 不同光栅周期的衍射效率 hEv=T'*,K) aVQSN  (zs4#ja2, ljYpMv.>xG 考虑光栅周期的选择 q[) q|R| >d{dZD}  ws>WA{]gq 偏振相关衍射特性 b.R!2]T]i^ *^@#X-NG
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 -t@y\vZF, c Pq Dsl3 偏振相关衍射特性 \LdmGv@ & &o* s !u  4{;8:ax&w
xS;|j j9 基于参数优化的光栅设计 Lj&1K~U VqK%^ 具有固定周期的二维参数优化 F l_dzh,E
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