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摘要 PfD.:amN7 Uh4%}-; 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]BZA:dd.G .x.]`b( rjAn@!|:+ N7QK>
"a 设计任务 {n.PF8A5X ww3-^v KVaiugQ =.U[$~3q% EIAc@$4 光栅特性与参数的严格分析 g\:[
55;8 t!X.|`h 不同光栅周期的衍射效率 Rz/gtEP %y[h5*y* hJ? O],4J PO^ij2eS 考虑光栅周期的选择 ~2N"#b&J a:`E0}C 6=/F$| 偏振相关衍射特性 e4_rC'= 7#a-u<HF"
rJTa 6ex/TySM 偏振相关衍射特性 eA ?RK.e eHZws`W
FUb\e-Q= ^|>PA:% 偏振相关衍射特性 vX"*4m>b?+ yYYSeH (OL4Ex' ] Bahm]2 基于参数优化的光栅设计 pRpBhm;iJ hH3RP{'= 具有固定周期的二维参数优化 ^|(LAjet iC~^)-~H=w
N!=v4f 二维参数优化 - 设计#1 ]|ag =v&hWjP
7U"g3a)= =BAr .m+" 二维参数优化 - 设计#2 AKfDXy v$v-2y'%
HM1Fz\Sf b\!_cb~ "@ 制造公差分析 - 设计#2 p)-^;=<B3 a#k6&3m&
k%#EEMh n;_sG>N 不同光栅周期的三维参数优化 ZvX*t)VjTz R+z2}}Z!`
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