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摘要 ~^*tII OX < lrw7 T 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4J1Q])G9 _HQa3wj  ~ Zm(p*\T :O%O`` xT 设计任务 OA0\b _ 4E )[< %  Q~kwUZ {UN z UaE 6>Y}2fT}o3 光栅特性与参数的严格分析 G`z48 /[L:ol6;! 不同光栅周期的衍射效率 tWFJx}H ?*;zS%93U9  "=;&{N~8U k*Kq:$9" 考虑光栅周期的选择 : Ej IV]e hbK+\X  lI 8"o>-~ 偏振相关衍射特性 2i)y'+s &}uO ]0bR
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