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摘要 $AE5n >ZD$ VY+P c/b 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `ZI -1&Y3 '\xE56v)F  RwOOe7mv VO=Ibu&X 设计任务 5$N#=i `V u#Jr_ ze  n \JI7A} v}d)uPl} ; ctjQBWE 光栅特性与参数的严格分析 `M 'tuQ
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