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摘要 fsDwfwil* ;Pi-H,1b 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @^';[P! F]SA1ry
G$"$k=[ \%! ~pfM I 设计任务 p#Vh[UTl^ 'l}T_7g i@C$O.m( bqt*d)$ 5z>kz/uxW 光栅特性与参数的严格分析 G}&{]w@ e:~r_,K 不同光栅周期的衍射效率 krC4O2Fkj $rh {f< DGwN*>X u0@i3Po 考虑光栅周期的选择 07_ym\N !Bv"S0 !P &F6ViO= 偏振相关衍射特性 p(F}[bP WYb\vm=r
?1?zmaS /@<Pn&Rq 偏振相关衍射特性 +hIStA eL-9fld/n
\V#2K>< Qw{LD+r( 偏振相关衍射特性 E,[@jxP >_Dq )n;% -];/ *nl [`~E)B1Y 基于参数优化的光栅设计 +%'S>g0W= <J`",h 具有固定周期的二维参数优化 3U<\s=1?X e `!PQMLU
@,<@y>m7 二维参数优化 - 设计#1 L*Mt/ G $TLWfm
Vs-])Q?7J 2Qqk?;^1 二维参数优化 - 设计#2 !TH3oLd" b3G4cO;t;
Awo H d7M ?v-( :OF 制造公差分析 - 设计#2 HWJ(O/N Fq6sl}b(On
?mJNzHrq; R#ABda9 不同光栅周期的三维参数优化 6q[|U_3I@ }7>r,
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