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摘要 )( 75dUl q[dls_ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JrCm >0g i ]F,Y;&|  =b9?r 6ng
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= 设计任务 <VgnrqF6: K*CO%:,-  t0}3QGf;c > cSc
*K m%Vl 光栅特性与参数的严格分析 tr/S*0$ h'kgL~+$ 不同光栅周期的衍射效率 m= j7 vb })T_D\2M  r 97 V X> {!6! z, 考虑光栅周期的选择 =
#ocp KvktC|~?  / r}t 偏振相关衍射特性 ZJ+q<n_ 4} G%rK{h
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8(uxz84ce 基于参数优化的光栅设计 IVEvu3 VbA#D 4; 具有固定周期的二维参数优化 1z[WJ}$u
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 Zf(ucAhL 二维参数优化 - 设计＃1 Ig5J_Z^]b D~2,0K
 n6ud;jN| O^sgUT1O 二维参数优化 - 设计＃2 F"a,[i,[W <}i\fJX6
 +J.^JXyp0 ^ @ L 制造公差分析 - 设计＃2 rQ~%SUM7 tEf-BV;\y
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cB[ 不同光栅周期的三维参数优化 HHg=:>L z
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