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摘要 fsDwfwil* ;Pi-H,1b 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @^';[P! F]SA1ry 
G$"$k=[ \%! ~pfM I 设计任务 p#V h[UTl^ 'l}T_7g  i@C$O.m( b qt*d )$ 5z>kz/uxW 光栅特性与参数的严格分析 G} &{]w@ e:~r_,K 不同光栅周期的衍射效率 kr C4O2Fkj $ rh {f<  DGwN*>X u0@i3Po 考虑光栅周期的选择 07_ym\N ! Bv"S0  !P &F6ViO= 偏振相关衍射特性 p(F}[bP WYb\vm =r
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/@<Pn&Rq 偏振相关衍射特性 +hIStA
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 \V#2K >< Qw{LD+r( 偏振相关衍射特性 E ,[ @jxP >_Dq )n;%  -];/ *nl
[`~E)B1Y 基于参数优化的光栅设计 +%'S>g0W= <J`",h 具有固定周期的二维参数优化 3 U<\s=1?X
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 @,<@y>m7 二维参数优化 - 设计＃1 L* Mt/ G $TLWfm
 Vs-])Q?7J 2Qqk?;^ 1 二维参数优化 - 设计＃2 !TH3oLd" b3G4cO;t;
 Awo H d7M ?v-( :OF 制造公差分析 - 设计＃2 HWJ(O/N Fq6sl}b(On
 ?mJNzHrq; R#ABd a9 不同光栅周期的三维参数优化 6q[|U_3I@
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