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摘要 :a3Pnq$]E cp2e,%o 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bxO8q5 7 APuG8
<R,  0,nDyTS^ #OH-LWZh 设计任务 xF5q=%n DPi%[CRH  [X=-x=S, m"~$JA u 8OZc:/ 光栅特性与参数的严格分析 3t(nV4uDF a>Uk<#>2?a 不同光栅周期的衍射效率 OR4!73[I Uw5 z]Jck  I*
\o |Z$heYP:w 考虑光栅周期的选择 s*:J=+D]G qp_k ILo~  8\`]T%h 偏振相关衍射特性 |~W!Y\l- Nj qUUk c
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1-1x,U7w 基于参数优化的光栅设计 &
p"ks8" 2r" -X 具有固定周期的二维参数优化 //\ORJd
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 m]+g[L?- 二维参数优化 - 设计＃1 UC;_}> UBrYN'QRNt
 + %=Ao6/# }?^5\ot u 二维参数优化 - 设计＃2 C 6ZM#}I$l +y>D 3I
 M&~3fRb 4 AM1 J ^Dp 制造公差分析 - 设计＃2 hUcG3IOBf N' t* e Ci
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