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摘要 `{1` >5
-w7g} 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >b^|SL c:;m BS>~  bD*z"e <\0+*`">g 设计任务 fMg3 ,V$PV,G  PWErlA:58 G'>?/l# Z?XgY\(a(Q 光栅特性与参数的严格分析 v-^7oai ChVur{jR 不同光栅周期的衍射效率 z>n<+tso i,k.#Vx[m  gW0{s[}T Y @&1[Z 考虑光栅周期的选择 ]U9f4ODt vsFRWpq  ' 3 n?1x 偏振相关衍射特性 ;{@jj0h; .)eJ L
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4 VPJv>^ 偏振相关衍射特性 j?eWh#[K"
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 hu=b , h ~\bJ*Zp 偏振相关衍射特性 L\O} q -;VKtBXP</  G{4~{{tI
[1Os.G2 基于参数优化的光栅设计 Yh^~4S? 6[iu CMOZ 具有固定周期的二维参数优化 0u,OW
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 T*m;G( 二维参数优化 - 设计＃1 Kz v*` 0O_acO 4
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dmC E~k_4z% M 二维参数优化 - 设计＃2 lDBn3U&z> =CCxY7)M+.
 yP&SA+ jsXj9:X I 制造公差分析 - 设计＃2 4 nIs+ {e>E4(
 tks3xS mAI< zh&SQ 不同光栅周期的三维参数优化 3n\eCdV-b<
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