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摘要 2fU$J>Y nA|.t[v 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M3p >FhK#*Pa U.AjYez +(xeT+J 设计任务 WwC 5!kZ LG~S8u ZpUCfS)|& k>dsw : hYQ_45Z*? 光栅特性与参数的严格分析 _3]][a, ut>4U'.H 不同光栅周期的衍射效率 mzQ`N}]T:
k OvDl!^ yNm:[bOER %{3
aW>yx 考虑光栅周期的选择 2tROT][J% Rwr 2gMt7 f84:hXo6 偏振相关衍射特性 axHK_1N{ \#68;)+=
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GDYFU*0 +(uYwdcN 偏振相关衍射特性 )BfT7{WN dd?x(,"A` &z"krM]G bYz&P`o} 基于参数优化的光栅设计 ;['[?wk T#pk]c6Q 具有固定周期的二维参数优化 B?$ "\;& b3wM;jv
T[=S$n-' 二维参数优化 - 设计#1 #,{+3Y&5-+ 7Cjd.0T=(
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B2Xn?i3 l syip; ; 制造公差分析 - 设计#2 K78rg/` +n}$pM|NKU
U/lM\3v/e fC}R4f7C 不同光栅周期的三维参数优化 [i0Hm)Bd3 u *
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