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摘要 }Yzco 52 Y@vTaE^w3 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *boR`[Ond @7] yl&LZ  u@UMP@"# eS\Vib 设计任务 =_2jK0+}l ,X-bJA@(  O)*+="Rg HGs $* 85:=4N% 光栅特性与参数的严格分析 I<mV+ex TH&U
j1 不同光栅周期的衍射效率 u(>^ 3PJ+ rk2j#>l$4  2d #1=+V <I\/n<* 考虑光栅周期的选择 kR-SE5`Jk hHGoP0/o  <4si/= 偏振相关衍射特性 >V?eog %~ Ys!8 2M$g
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 uK"=i8rs4 v \gLWq' 偏振相关衍射特性 l'-Bu( { OkV %Q<  *xxx:*6rk;
?} tFN_X" 基于参数优化的光栅设计 df4A RP+ ooj,/IEQ 具有固定周期的二维参数优化 x_N'TjS^{
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