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摘要 l8n}&zX Fm\
h883\ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $qN+BKd]3 nwd
02t u  8G?{S.%. *+p9u 1B5 设计任务 WMB~?
EDhv 5S PGv}if  5a9PM( 4m%RD&ZN H6<\7W89y 光栅特性与参数的严格分析 1=DUFl. &`7tX.iMlh 不同光栅周期的衍射效率 ~o:lh], ~ 2?LZW14$d  j)Z3m @Ii5 .tB[8Y =J 考虑光栅周期的选择 H<dOh5MFh C7%+1w'D8  tzv&E0 |d 偏振相关衍射特性 .K(IRWuw [guJd";
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WpX)[au 基于参数优化的光栅设计 9)p VDS uX@RdkC 具有固定周期的二维参数优化 rlYAy5&
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 ' } rUbJo 二维参数优化 - 设计＃1 kUAj Q> x|l[fdm5
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