摘要
x(r>iy eaNMcC1 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
$7\! V~tZNRJ-
d5 U?* Hu4\4x$? 建模任务
7[ 82~jM[ Vdpvo;4uy
;s$bVGHr Imv]V6"D= 1阶的
参数优化
N^Bjw?3 d z-
reO^_q' *_Sx^`"X`l 结果-容差分析
mmf}6ABYT "}91wfG9
UoD@ix&0 =zetZJg 结果-容差分析
ke~S[bL%- .66_g@1
KV1/!r+* &@&0n)VTd 在
VirtualLab Fusion中查看
IRq@~vdt) =&9x}4`;%
Vm_<eyI2 >I*Qc<X91 VirtualLab Fusion的工作流程
O /S: S 8D)I~0\ •构造光栅结构
\H6[6*JuB - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
CcDi65s - 倾斜光栅的高级配置[用例]
+f+#W •分析光栅衍射效率
W)OoHpdw - 光栅级次分析器[用例]
(hb\1wZ •使用参数优化优化光栅参数
qhIO7h •使用参数运行进行容差分析
q.GA\o - 参数运行文档的用法[用例]
Q,AM<\S SniKCqmC]
>}?4;:.= KeIk9T13O VirtualLab Fusion技术
JiXkW% zA<Hj;9SM
?J1x'/G