摘要
|[D~7|? <kn#`w1U' 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
R*.XbkW~ oV?tp4&
J x-^WB (HLy;^#R 建模任务
N;A1e@bP ,iCd6M{
OTtSMO
6v GcM3M 1阶的
参数优化
NF0IF#;a xp/u, q
0LoA-c<Ay v3S{dX< 结果-容差分析
H;*:XLPF X X{:$f+
Bp^>R`, d(,-13 结果-容差分析
OW)8Z60 +>z/54R
&gF{<$$ }n=Tw92g 在
VirtualLab Fusion中查看
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y>2v 9;Qp [lS'GszA VirtualLab Fusion的工作流程
M(Jf&h4b PZLW yp •构造光栅结构
AEPgQ9#E - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
""Drf=] - 倾斜光栅的高级配置[用例]
}y|%wym •分析光栅衍射效率
XT>e/x9' - 光栅级次分析器[用例]
BOL_kp" •使用参数优化优化光栅参数
8i-?\VZD •使用参数运行进行容差分析
XF\`stEnb - 参数运行文档的用法[用例]
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`<HY$PAe .%-> VirtualLab Fusion技术
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