摘要
.fxI) q #B^yk|Y 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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4%O*2JAw )AOD~T4s7 建模任务
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参数优化
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:bMCmY G~T]m . 结果-容差分析
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th 8f .['@:}$1 在
VirtualLab Fusion中查看
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$DC*&hqpt /zn|?Y[ VirtualLab Fusion的工作流程
N)A?*s'v~ E!'H,#"P •构造光栅结构
94r8DkI - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
u4B, |_MK - 倾斜光栅的高级配置[用例]
^ pMjii8IZ •分析光栅衍射效率
hi ,! - 光栅级次分析器[用例]
Ay<'Z6` •使用参数优化优化光栅参数
w\=zTHo88 •使用参数运行进行容差分析
i](,s. - 参数运行文档的用法[用例]
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R3F>"(P@tS a_I!2w<I VirtualLab Fusion技术
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