摘要
8J#x B H_ a ##z 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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xw}rFY $ QOX'ZAB ` 建模任务
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PR/>E60H $Zr \$z2 1阶的
参数优化
4{Q$^wD+. 2 OV$M~ 
tPa ( H; 'qUM 38 s 结果-容差分析
7;c^*"Ud Y Z]}l%e 
8[ .&ca/[ d U*$V7 结果-容差分析
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;HBKOe_3 zB`J+r;LU 在
VirtualLab Fusion中查看
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dWi< U4 C =CZtjUt VirtualLab Fusion的工作流程
(-Q~@Q1 2
FoLJ •构造光栅结构
xbxzB<yL - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
]&; In,z - 倾斜光栅的高级配置[用例]
8bQXC+bK •分析光栅衍射效率
B uso
`G - 光栅级次分析器[用例]
& kVa*O •使用参数优化优化光栅参数
kOdA8X RY •使用参数运行进行容差分析
IhBQ1,&J - 参数运行文档的用法[用例]
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iITM BS`} w#hg_RK(Jr VirtualLab Fusion技术
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