摘要
3#?53s Wl7S<>hg4 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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e3mFO+ #-i#mbZ e 建模任务
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LJ6L#es2 _T_6Yl&cf) 1阶的
参数优化
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(tyky&$! T`bUBrK6g` 结果-容差分析
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CZE!@1"<{ D |=L)\ 在
VirtualLab Fusion中查看
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Gr>CdB>~+ z9!OzGtIR VirtualLab Fusion的工作流程
CH#K0hi hQ}_(F_H •构造光栅结构
)~Gn7 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
A2ufET - 倾斜光栅的高级配置[用例]
/~Bs5f.]? •分析光栅衍射效率
JVGTmS[3 - 光栅级次分析器[用例]
sjOv!|]A •使用参数优化优化光栅参数
G3 |x%/Fbp •使用参数运行进行容差分析
UM`{V5NG# - 参数运行文档的用法[用例]
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1]9w9!j -k@1#c+z VirtualLab Fusion技术
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