摘要
z8VcV*6 ICvl;Q 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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@XJzM]*w& =\ek;d0Tqb 1阶的
参数优化
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OTy{:ID t ZL|;K 结果-容差分析
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[@_IUvf^. ._X|Ye9/ 在
VirtualLab Fusion中查看
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7QXp\<7 U,g)N[| VirtualLab Fusion的工作流程
hJc^NU5 dEu\}y| •构造光栅结构
a#pM9n~a - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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GX&^= - 倾斜光栅的高级配置[用例]
S%6 V(L| •分析光栅衍射效率
4 (>8tP\Y - 光栅级次分析器[用例]
#TG7WF5 •使用参数优化优化光栅参数
^[=1J •使用参数运行进行容差分析
p=T6Ix'_2e - 参数运行文档的用法[用例]
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Hw\hTTK Z~{0x#?4% VirtualLab Fusion技术
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