摘要
+tFm DDx= c$aTl9e 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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Px: M { ?*3Ou 结果-容差分析
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$) .QX|:]|n 在
VirtualLab Fusion中查看
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'/+l\.z"& =)5eui>{ VirtualLab Fusion的工作流程
j~!0n[F z:f[<`,GT •构造光栅结构
5_";EED - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
wWm 1G) - 倾斜光栅的高级配置[用例]
NikY0= i •分析光栅衍射效率
^S!^$d * - 光栅级次分析器[用例]
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Qk- •使用参数优化优化光栅参数
pUby0)}t •使用参数运行进行容差分析
X~XpX7d! - 参数运行文档的用法[用例]
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PY7j uS[+ VirtualLab Fusion技术
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