摘要
vhL/L?NB$ Km!~zG7< 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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l]F)]>AE a"whg~ 建模任务
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j[Oh>yG u8b^DB#+W 1阶的
参数优化
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QRlrcauM o`~%}3 结果-容差分析
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TUM7(-,9 ER)to<k VirtualLab Fusion的工作流程
@{o3NR_ %617f=(E?! •构造光栅结构
7(]M`bBH - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
#uCE0}N@ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
/..a9x{At> •分析光栅衍射效率
:y3e-lr - 光栅级次分析器[用例]
O%p+P<J •使用参数优化优化光栅参数
+hzS'z)n& •使用参数运行进行容差分析
F8>J(7On - 参数运行文档的用法[用例]
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fSw6nEXn mFW/xZwR,5 VirtualLab Fusion技术
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