摘要
QD&`^(X1p @Sn(lnl B 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Lnl(2x D \;,+ 建模任务
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:uS\3toj oUlY?x1 1阶的
参数优化
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e2TiBTbQaF FIhk@TKa 结果-容差分析
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zT]8KA s?}e^/"v 结果-容差分析
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]y '>=a|T b94DJzL1z 在
VirtualLab Fusion中查看
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U(g:zae ES7>H VirtualLab Fusion的工作流程
}@+0/W?\. :U%W% •构造光栅结构
"Ac-tzhE - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
}!r|1$,kL - 倾斜光栅的高级配置[用例]
^"2J]&x`G •分析光栅衍射效率
?Ep [M:,q - 光栅级次分析器[用例]
hx %v+/ •使用参数优化优化光栅参数
mxC;?s;~ •使用参数运行进行容差分析
G 4X|Bka - 参数运行文档的用法[用例]
HCs?iJ Jhhb7uU+ 
)9`qG:b' \&3+D8H>n VirtualLab Fusion技术
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