摘要
[t}@>@W| \GP0FdpV 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
L\%zNPLS T=W;k<P\k <0h,{28 j8cXv 建模任务
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'l s~tZN `P43O gA 1阶的
参数优化
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X2\ +YFA Zv7` E=&":I6O 结果-容差分析
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']__V[ 结果-容差分析
m2x=Qv][@c ZP(T=Q d>1cKmH! "IA:,j.#g 在
VirtualLab Fusion中查看
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B'QcD ? \p,s-CR: VirtualLab Fusion的工作流程
9.^2CM6l zS/1v+ •构造光栅结构
?C`&*+ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
UPGS/Xs]1 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
r-'CB •分析光栅衍射效率
"x4}FQ - 光栅级次分析器[用例]
l<8+>W`_ •使用参数优化优化光栅参数
`s|^ •使用参数运行进行容差分析
WCL#3uYk" - 参数运行文档的用法[用例]
pdq5EUdS .:9XpKbt 3:?QE Sh;Z\nj VirtualLab Fusion技术
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