摘要
NTX0vQG *^g]QQ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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1k:yU( \WnTpl>B 结果-容差分析
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S9$,.aq RAhDSDf 结果-容差分析
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:ln|n6X (i(E~^O 在
VirtualLab Fusion中查看
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D}}?{pe Z-ci[Zv VirtualLab Fusion的工作流程
=,ax"C?pR kk<%VKC •构造光栅结构
k0\a7$}F - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
e~)4v - 倾斜光栅的高级配置[用例]
5QXU"kWH •分析光栅衍射效率
QaEiP n~ - 光栅级次分析器[用例]
jCtk3No •使用参数优化优化光栅参数
Bx}"X?%S •使用参数运行进行容差分析
+?3RC$jyw - 参数运行文档的用法[用例]
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paN=I=:*M X1}M_h% VirtualLab Fusion技术
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