摘要
x};~8lGT>t '9Z`y_~)G 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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^S3G%{" 建模任务
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~t~[@2?WG |67Jw2 1阶的
参数优化
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Yu\$Y0 {] X2@Ef2EkM 结果-容差分析
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$C;i}q# )0-A;X2 在
VirtualLab Fusion中查看
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ANFes*8j pOXI*0_g. VirtualLab Fusion的工作流程
U-9Aq NgDhdOB •构造光栅结构
ywAvqT, - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
\jwG*a - 倾斜光栅的高级配置[用例]
=|]h-[P' •分析光栅衍射效率
Qc3d<{7\~ - 光栅级次分析器[用例]
UeO/<ml3>J •使用参数优化优化光栅参数
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i •使用参数运行进行容差分析
PGJh>[s - 参数运行文档的用法[用例]
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bO\++zOF 5G}4z>-]F) VirtualLab Fusion技术
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