[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 O,%,dtD[a  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 )&Oc7\J,  
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结果-容差分析
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VirtualLab Fusion的工作流程 O1J&Lwpk,  
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•构造光栅结构 O?JJE8~']  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ;uUFgDi  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] ~2w&+@dV%  
•分析光栅衍射效率 8Xotly  
- 光栅级次分析器[用例] G%<}TI1}  
•使用参数优化优化光栅参数 qTd[DaG#  
•使用参数运行进行容差分析 vk& gR  
- 参数运行文档的用法[用例] h:YD$XE  
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VirtualLab Fusion技术 _M&TT]a  
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