摘要
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>,o 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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R~c1)[[E TzY!D *%z 建模任务
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QN #)F zlMlMyG4 1阶的
参数优化
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* f* f&l % "`]'ZIx[R/ 结果-容差分析
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KL~AzLI J" wKR y 在
VirtualLab Fusion中查看
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W^|J/Y48 ReqE?CeV VirtualLab Fusion的工作流程
%(NN *o9"q m9b(3 •构造光栅结构
i0i`k^bA - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
7uA\ &/
, - 倾斜光栅的高级配置[用例]
%xh?!s|G( •分析光栅衍射效率
#-dK0<: - 光栅级次分析器[用例]
J;HkTT •使用参数优化优化光栅参数
kraVL%72 •使用参数运行进行容差分析
xx6S`R6: - 参数运行文档的用法[用例]
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"_oLe;?$c 5])8qb/F VirtualLab Fusion技术
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