[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 dgW/5g  
%-3wR@  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 89[OaT_hs  
7r$'2">K(  
mH7Mch| m  
X;3gKiD  
建模任务 W(jP??up  
CChCxB  
,dSP%?vV  
){"-J&@?  
1阶的参数优化 ~4u[\&Sh  
z>O=. Ku6  
9pq-"?vHY0  
RyZy2^0<  
结果-容差分析 v9l|MI15V  
(zhi/>suG  
kqp*o+Oz',  
R;F z"
J  
结果-容差分析 !T1)tGrH  
K6e_RzP,.w  
Y1L7sH 9  
QxeK-x^  
在VirtualLab Fusion中查看 $s!2D"wl n  
'v_VyK*w  
N.|uPq$R  
2[Vs@X  
VirtualLab Fusion的工作流程 h|XLL|:  
"yc@_+"\+  
•构造光栅结构 2JLXDkZ  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] mE3M$2}  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] rWxQ;bb#  
•分析光栅衍射效率 c~{)vL0K  
- 光栅级次分析器[用例] E~eSHJ(oR7  
•使用参数优化优化光栅参数 o 9{~F`{p  
•使用参数运行进行容差分析 <wO8=bem  
- 参数运行文档的用法[用例] rT28q.  
Qj(|uGqm3  
46M?Gfd,X  
d9yfSZ  
VirtualLab Fusion技术 i2
m+s;  
>e9xM Gv  
kY]^~|i6