摘要
E~]R2!9 PmKeF} 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
w2
a1mU/ i+p^ ^t\
i.3=!6z vR s,zL$W 建模任务
d/BM&r BQ=PW|[
E^vJ@O ~$)2s7
O 1阶的
参数优化
F
P* lQRA !a7[8&
U*22h` S N+Y]st+ 结果-容差分析
&3bx`C k< y>)
iV&6nh( q35f&O; 结果-容差分析
a0D%k: k5 | # 47O
nm6h%}xND< d-k%{eBV 在
VirtualLab Fusion中查看
$npT[~U5
y%%}k
qU#1i:(F* 1JztFix VirtualLab Fusion的工作流程
7UdM y#U+c*LB •构造光栅结构
] lrWgm - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
4lKq{X5< - 倾斜光栅的高级配置[用例]
0:9.;x9_ •分析光栅衍射效率
(oEC6F - 光栅级次分析器[用例]
m 8aITd8 •使用参数优化优化光栅参数
5@+,Xh,H|t •使用参数运行进行容差分析
I'uSp-Sfy - 参数运行文档的用法[用例]
orWbU
UC "#{4d),r
!,6c ~ w 4nh>'v%pD VirtualLab Fusion技术
;#vKi0V7 *Zt#U#
f;W|\z'