摘要
pjHRV[`AP \9(- /rE 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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>'}=.3\ 'uKkl(==% 建模任务
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T4~`e_ 7*>S ;$ 1阶的
参数优化
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x* = sRf t `Y!"l 结果-容差分析
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hH1lgc x9)aBB 结果-容差分析
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{+"g':>< sp=OT-Pfp 在
VirtualLab Fusion中查看
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UK6xkra?# ?jri!]ux# VirtualLab Fusion的工作流程
kYxl1n v 8VP"ydg-U •构造光栅结构
=9pw uH - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
G` , u40a - 倾斜光栅的高级配置[用例]
79SqYe=&uy •分析光栅衍射效率
n w0L1TP/J - 光栅级次分析器[用例]
69C8-fF0[I •使用参数优化优化光栅参数
zb5N,!%r •使用参数运行进行容差分析
W}XYmF*_? - 参数运行文档的用法[用例]
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_)KY dU]i -NF VirtualLab Fusion技术
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