摘要
;l < amB Mdp'u$^! 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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W,!7_nl"u #P!M"_z 建模任务
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D})12qB;u9 zQu9LN 1阶的
参数优化
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I 在
VirtualLab Fusion中查看
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U5?QneK hx:^xW@r4P VirtualLab Fusion的工作流程
}"kF<gG1 •构造光栅结构
dAM]ZR< - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
sEL0h4 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
'coY`B; 8 •分析光栅衍射效率
Y^8'P /A - 光栅级次分析器[用例]
$uRi/%Q9 •使用参数优化优化光栅参数
)vuIO(8F# •使用参数运行进行容差分析
hVd_1|/X - 参数运行文档的用法[用例]
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n(SeJk%>9 lB#7j VirtualLab Fusion技术
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