摘要
Z aYUf k4PXH 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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e I9#JM|2 7 ,s5Gd- 建模任务
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参数优化
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klAvi%^jE j}O qWX>/ 结果-容差分析
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8|(],NyEJ i;atYltEJ2 在
VirtualLab Fusion中查看
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UfIr"bU6 w PX^P VirtualLab Fusion的工作流程
Gr >CdB>~+ z9!OzGtIR •构造光栅结构
CH #K0hi - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
hQ}_(F_H - 倾斜光栅的高级配置[用例]
) ~Gn7 •分析光栅衍射效率
A2uf ET - 光栅级次分析器[用例]
Y/5 (BK) •使用参数优化优化光栅参数
5$$# d_Gj •使用参数运行进行容差分析
?6]B6 - 参数运行文档的用法[用例]
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7n?yf_ je KnKf8c VirtualLab Fusion技术
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