摘要
e:-8k_0| 79BaDB`{a 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
DC:)Ysuj }V`mp
YRcps0Dx9 fn}UBzED\ 建模任务
s9j7Psd *>."V5{;S
H%}IuHhN) ;t(f1rPyE 1阶的
参数优化
L1#Ij# 9[Qd)%MO
rU2iy"L nE|@IGH 结果-容差分析
^gYD*K!* xf,5R9g/
aGoE,5 .p&Yr%~ 结果-容差分析
.}`hCt08 #T3h}=
ziEz.Wn" ry0%a[[ 在
VirtualLab Fusion中查看
%y<]Yzv. ycr"Y|
;*cLG#&'M ux-CpI VirtualLab Fusion的工作流程
uT_!'l$fr u8vuwbra! •构造光栅结构
)S@jDaU<