摘要
= #X sY,r (PYUfiOf 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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*D1fSu! }nE #0 n 建模任务
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参数优化
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QnxkD)f *0 |D^Q}uT 结果-容差分析
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I#l9 e:[ Kp6J 在
VirtualLab Fusion中查看
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!U VirtualLab Fusion的工作流程
NQfIY`lt' {(wV>Oc>Jw •构造光栅结构
6o;lTOe s - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
B^Ql[m&5+ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
}VR&*UJE •分析光栅衍射效率
"4"\tM( - 光栅级次分析器[用例]
Z-4A`@p •使用参数优化优化光栅参数
QBto$!}) •使用参数运行进行容差分析
=mqV&FgRo - 参数运行文档的用法[用例]
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%o4d4 3uZ N 5/TV% u VirtualLab Fusion技术
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