摘要
GuRJ x`zE#sD 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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2[Bw+<YA` bBXUD;$ 建模任务
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Hu7WU;w &v&e-|r8; 1阶的
参数优化
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n~v* G:!'hadw 结果-容差分析
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t,R4q* Mp`i@pm+ 在
VirtualLab Fusion中查看
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rsC^Re:*jr _D~FwF&A VirtualLab Fusion的工作流程
Uk= L?t )+12r6W •构造光栅结构
cR/z; *wr7 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Tyt1a>!qA - 倾斜光栅的高级配置[用例]
C(lGW,! •分析光栅衍射效率
j+QE~L - 光栅级次分析器[用例]
Xmaj7*f>p •使用参数优化优化光栅参数
ZH8Oidj` •使用参数运行进行容差分析
xBKis\b - 参数运行文档的用法[用例]
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jp P'{mc b;Uqyc VirtualLab Fusion技术
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