摘要
2=NYBOE O"9f^y* 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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@w:sNXz- tdr*>WL 建模任务
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+CNRSq" @]#+`pZ4A 1阶的
参数优化
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{nOK*7+" NI s4v(! 结果-容差分析
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d8RpL{9\7 c)6Y.[). 在
VirtualLab Fusion中查看
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Sc~kO4 |f?C*t', VirtualLab Fusion的工作流程
*E)Y?9u" ^]R0d3?>\ •构造光栅结构
T*T.\b - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
x(7K3(#| - 倾斜光栅的高级配置[用例]
r&3fSx9 •分析光栅衍射效率
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- 光栅级次分析器[用例]
}lb.3fqiA •使用参数优化优化光栅参数
'qd") •使用参数运行进行容差分析
l*m|b""].u - 参数运行文档的用法[用例]
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0\~Zg >aWJ+ VirtualLab Fusion技术
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