摘要
{7Hc00FM eq@-J+ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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)JhB!P( xy]oj 建模任务
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参数优化
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q4g)/x%nc K^IB1U$ 结果-容差分析
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+&G]\WX< <{i1/"k?X 在
VirtualLab Fusion中查看
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7 VirtualLab Fusion的工作流程
'EN80+xYX tT+W>oA/M •构造光栅结构
Rm`P.;% - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
HX ,\a` - 倾斜光栅的高级配置[用例]
}*S`1IWMj •分析光栅衍射效率
In8{7&iVO - 光栅级次分析器[用例]
|l@z7R+4* •使用参数优化优化光栅参数
;*hVAxs1 •使用参数运行进行容差分析
0"Zxbgu) - 参数运行文档的用法[用例]
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<d O~; {^k7}`7, VirtualLab Fusion技术
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