摘要
Ojp)OeF\ ~u1ox_v`%( 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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8^=g$;g bJe*J\){ 建模任务
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PRl\W:_t "xZ]i) 1阶的
参数优化
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=If % m9 MK[l*=\s 结果-容差分析
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{f#{NA5 BDxrS q,H 在
VirtualLab Fusion中查看
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F1R91V| TW).j6@f VirtualLab Fusion的工作流程
(.P;VH9R\ HKq 2X4J$ •构造光栅结构
'T7JXV5 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Gk,{{:M:5 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
jpyV52 •分析光栅衍射效率
E!Hq%L!/ - 光栅级次分析器[用例]
+,7dj:0S •使用参数优化优化光栅参数
!798%T •使用参数运行进行容差分析
>h<eEv/ - 参数运行文档的用法[用例]
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!$AVlMnJ x+|Fw d VirtualLab Fusion技术
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