摘要
%T hY6y( #,0PLU3% 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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si:p98[w eI8rnp(Ia 结果-容差分析
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n[~kcF #k%$A}9 在
VirtualLab Fusion中查看
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'R&Y pR YP*EDb?f VirtualLab Fusion的工作流程
xbbQ)sH&m &cnciEw1 •构造光栅结构
.<0|V - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
C-i9F%.. - 倾斜光栅的高级配置[用例]
T r|B:)X •分析光栅衍射效率
]ow$VF{y - 光栅级次分析器[用例]
42* y27Dtm •使用参数优化优化光栅参数
BHoy:Tp •使用参数运行进行容差分析
b-Q*!Ut - 参数运行文档的用法[用例]
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H =Y7#{} qH#?, sK ^ VirtualLab Fusion技术
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