摘要
Uh3N#O R dLk85<n 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
B1b9
JS(> NwNjB
w%v
k;l^y%tzp O+ xzM[[ 建模任务
]+T$D h.5KzC
S
mQ^SpK # q;QE(}.g 1阶的
参数优化
o8N,mGj} nt*K@
TPNKvv!s &M6Zsmo 结果-容差分析
G@scz!Nt Sgn<=8,6c
.a 9f)^ Jo:S*D 结果-容差分析
'8;'V%[+ pg{cZ1/
"0J;H#Y"# !k!1h%7q 在
VirtualLab Fusion中查看
^CP>|JWD^ $aHHXd}@t2
VI?kbqjo 8+8L'Yv; VirtualLab Fusion的工作流程
XUTsW,WC aq- | •构造光栅结构
?vQ:z{BO - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
?b\oM
v5y - 倾斜光栅的高级配置[用例]
UvuAN:' •分析光栅衍射效率
bmO(tQS$5 - 光栅级次分析器[用例]
`Nv P)| •使用参数优化优化光栅参数
t)4]2z)$ •使用参数运行进行容差分析
xMFEeSzl>S - 参数运行文档的用法[用例]
=Jswd Gyb|{G_
~"r(PCa@ $>rKm
VirtualLab Fusion技术
g1~wg$`S8S -x-EU#.G
z&CBjlh