摘要
M+4S >Sjw *T{KpiuP 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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E}]SGU" RHq r-% 结果-容差分析
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F,XJGD* g:"Hg-s 在
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c{f1_qXN {K2F(kz?T VirtualLab Fusion的工作流程
::8E?c 3K_!:[ •构造光栅结构
LZu_-I - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
k_Edug~B - 倾斜光栅的高级配置[用例]
{c$%3iQq •分析光栅衍射效率
B?_ujH80m - 光栅级次分析器[用例]
upH%-)%' •使用参数优化优化光栅参数
u"a$/ •使用参数运行进行容差分析
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cB - 参数运行文档的用法[用例]
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M,UYDZ', GgjBLe=C VirtualLab Fusion技术
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