摘要
[)`*k#.= U'jmgHq 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Nr@,In|JS C5=^cH8 
$I5|rB/4? X[J<OTj`$ 建模任务
WGV]O | `_ ^I 2 
[CHN3&l-5S z {R
Mb 1阶的
参数优化
WDNj 7 !UzE&CirV 
y1 ` %3\ 6~ET@"0uK 结果-容差分析
0o/;cBH
*r>Y]VG;S 
E.#JCO|(1 #W:.Fsq 结果-容差分析
~ &/Nl_# nR%w5oe 
2 zo>`;l \1R*M 在
VirtualLab Fusion中查看
a[t"J*0 _WV13pnRu 
#~Kno@ 5P* jGOg . VirtualLab Fusion的工作流程
&IQNsJ L!e El}~ 3|a? •构造光栅结构
S?DMeZ{: - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
6heK8*.T - 倾斜光栅的高级配置[用例]
=>*}qen •分析光栅衍射效率
k8Dk;N - 光栅级次分析器[用例]
*4 m]UK •使用参数优化优化光栅参数
e 23& d •使用参数运行进行容差分析
"+Ks# - 参数运行文档的用法[用例]
!rx5i RCkmxO;b& 
yFo8 x[ w&U28"i> VirtualLab Fusion技术
s]vsD77& V\Lh(zPt 
Xk^<}Ep)c
