摘要
& UL(r XSn^$$S 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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_@jl9<t=_ ^<[oKi;> 建模任务
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参数优化
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552c4h/T "A,]y E 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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o24` 5Jdh -Ufd+( VirtualLab Fusion的工作流程
}bAd@a9>3 .kBi" p& •构造光栅结构
YJ. 'Y c - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
cC&R~h]| - 倾斜光栅的高级配置[用例]
_I3j 7f,V •分析光栅衍射效率
>c5Vz^uM{4 - 光栅级次分析器[用例]
)=[K$>0k •使用参数优化优化光栅参数
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v~ •使用参数运行进行容差分析
!ck=\3pr - 参数运行文档的用法[用例]
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TW:vL~L ?R;5ErZ VirtualLab Fusion技术
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