摘要
'9[_w$~( 0=5i\*5 p 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
5 O6MI4: 2?ednMoE
6\Z^L1973 *&PgDAQ 建模任务
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~k%\ LZ3s ;8v5 qz 1阶的
参数优化
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x('yBf (j/O=$mJ 结果-容差分析
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fI|1@e1 @hvq,[ 在
VirtualLab Fusion中查看
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c9[5) $d=lDN VirtualLab Fusion的工作流程
~h/U ;Da gkdjH8(2 •构造光栅结构
72 6y/o - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
;4bu=<% - 倾斜光栅的高级配置[用例]
vK C>t95 •分析光栅衍射效率
<*+MBF - 光栅级次分析器[用例]
\2`U$3Q •使用参数优化优化光栅参数
jZ;T&s •使用参数运行进行容差分析
MI }D%n* - 参数运行文档的用法[用例]
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4HJrR^ b+hY^$// VirtualLab Fusion技术
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