摘要
^Lg{2hjj H,4,~lv| 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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66"ZH,335 i/O,`2 建模任务
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C(%5,|6 `>K k;` 1阶的
参数优化
L/ICFa.G n4r( Vg1GS
whg4o|p u7y7 结果-容差分析
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Kj<<&_B.H E*T84Jh6 结果-容差分析
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BI]ut|Qw k~9Ywf 在
VirtualLab Fusion中查看
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o}^vREO \%4+mgiD VirtualLab Fusion的工作流程
C;:1CK ~3-YxCn% •构造光栅结构
aab4c^Ms= - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Kp=3\) & - 倾斜光栅的高级配置[用例]
+KwF
U •分析光栅衍射效率
PJ11LE - 光栅级次分析器[用例]
v8fZ?dx •使用参数优化优化光栅参数
uF.\dY\xv •使用参数运行进行容差分析
pvwnza1 - 参数运行文档的用法[用例]
PA-0FlV| m{yNnJ3O
X9`C2fyVd :~A1Ud4c VirtualLab Fusion技术
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