摘要
O/lu0acI AxiCpAS;J 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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~lPc 建模任务
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vU!<-T# )"&\S6*! 1阶的
参数优化
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4 moVS1 ~.<}/GP] _ 结果-容差分析
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ka[%p, H ZN-5W|' O 在
VirtualLab Fusion中查看
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Y%YPR=j~ & RiCzH VirtualLab Fusion的工作流程
XFcIBWS E@S5|CM •构造光栅结构
:~B'6b - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
b`X"yg+ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
!_LRuqQ?" •分析光栅衍射效率
GoRSLbCUR
- 光栅级次分析器[用例]
=RQ\i6Y •使用参数优化优化光栅参数
I cz)Qtg| •使用参数运行进行容差分析
\&1Di\eL - 参数运行文档的用法[用例]
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#>(h!lT_ t?cO>4*| VirtualLab Fusion技术
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