摘要
WU:~T.Su LY}9$1G] 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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\2q!2XWgK 7Eoa~ 结果-容差分析
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s-V5\Lip, p 8,wr ) 在
VirtualLab Fusion中查看
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!(:R=J_h OhC%5=a7 VirtualLab Fusion的工作流程
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|@sw4 gq[|>Rs75 •构造光栅结构
JI TQ3UL:W - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
oBfh1/<<a - 倾斜光栅的高级配置[用例]
)bJS*# •分析光栅衍射效率
B@P +b*% - 光栅级次分析器[用例]
Up:<NHJT •使用参数优化优化光栅参数
(9!$p|d* •使用参数运行进行容差分析
eko$c,&jY - 参数运行文档的用法[用例]
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J2rw4L )f#raXa5+ VirtualLab Fusion技术
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