摘要
^L<1S/~) `Nc3I\tCM 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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h 建模任务
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y7VIh| 1阶的
参数优化
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Kx ?}%@b O/iew3YF 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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I `p44}D3 8!S = "_ VirtualLab Fusion的工作流程
Y& ]pC %fK"g2 : •构造光栅结构
'hg, W] - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
/vwGSuk._ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
J$]d%p_I •分析光栅衍射效率
=y [eQS$ - 光栅级次分析器[用例]
j;J4]]R;o •使用参数优化优化光栅参数
qf(!3 •使用参数运行进行容差分析
{6a";Xj\e - 参数运行文档的用法[用例]
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\7jcZ~FBX% y85GKysT VirtualLab Fusion技术
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