摘要
{Hie%2V !UR3`Xk 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
![!,i\x 1LaJ
hrp?
a ]:xsJ~ _%3p&1ld 建模任务
c'XSs i%GiWanG
EL%P v1 8>G5VhCm~o 1阶的
参数优化
1Vkb}A,' )gz]F_
D^xg2D :]4s;q:m 结果-容差分析
r:PYAb=g Em4'b1mDX%
mo9(2@~< ~1XC5.*-
结果-容差分析
/l$fQ:l @#*{*
S8
)Y&B63]B k%8kt4\wn6 在
VirtualLab Fusion中查看
]yQqx* 2kOaKH[(q
2s=zT5 k.})3~F- VirtualLab Fusion的工作流程
h+7U'+|%A Lr20xm •构造光栅结构
W6`_lGTj - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
x?]fHin_ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
PT~F^8,) •分析光栅衍射效率
Lp3pJE
- 光栅级次分析器[用例]
P9R-41! •使用参数优化优化光栅参数
X40JCQx{+ •使用参数运行进行容差分析
Zx`/88!x[ - 参数运行文档的用法[用例]
Vx:uqzw# dKP| TRd
bl^pMt1fv ,S
m?2< VirtualLab Fusion技术
xnJ#}-.7 &xvNR=K[`
_j4K