摘要
m&2<?a}l $D9JsUij 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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CfA3* 建模任务
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>-y'N.l^ S'6(&"XCH 1阶的
参数优化
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(]mN09uE .f(x9|K^ 结果-容差分析
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Vs{|:L+ [0MVsc= 结果-容差分析
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17<\Q(YQ= )5&w 在
VirtualLab Fusion中查看
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?LvZEiJ {:{NK% VirtualLab Fusion的工作流程
g%9I+(?t G'{4ec0<{ •构造光栅结构
B[cZEFo\ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
q'c'rN^ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
EVRg/{X •分析光栅衍射效率
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QT0 - 光栅级次分析器[用例]
+uv]dD*i •使用参数优化优化光栅参数
q\mVZyj •使用参数运行进行容差分析
Mg^GN-l - 参数运行文档的用法[用例]
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&*MwKr<y Ej6vGC., VirtualLab Fusion技术
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