摘要
3ya1'qUC 0 S_ ':r 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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enNiI$H]`_ 1be %G [* 建模任务
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AsS$C&^ 9Etz:?)b 1阶的
参数优化
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(6CN/A{qe Rgo rkZlVM 结果-容差分析
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P7ph}mB o@]So(9f 结果-容差分析
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`~eX55W `-`qdda 在
VirtualLab Fusion中查看
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jV#ahNq; |4mpohX VirtualLab Fusion的工作流程
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tm0.r •构造光栅结构
S-31-Zjw - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
-LDCBc" - 倾斜光栅的高级配置[用例]
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Mqb •分析光栅衍射效率
y-p70.'{U - 光栅级次分析器[用例]
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'd}Q •使用参数优化优化光栅参数
ZvYLL{>}w •使用参数运行进行容差分析
-[= drj9I - 参数运行文档的用法[用例]
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Ftw;Yz <PPNhf8 VirtualLab Fusion技术
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