摘要
N7b8m?! at#ja_ hd 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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o4G ?nvK- LO9=xGj. 建模任务
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IV+? 1阶的
参数优化
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h5*JkRm T"{>t 结果-容差分析
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Z3"%`*Tmq- `x+ B+)0X 在
VirtualLab Fusion中查看
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xK *b1CB 8g@<d^8@ VirtualLab Fusion的工作流程
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sJB;3"~ •构造光栅结构
dP9qSwTa - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
>:74%D0UF - 倾斜光栅的高级配置[用例]
u1J0$ •分析光栅衍射效率
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- 光栅级次分析器[用例]
|^&b8 •使用参数优化优化光栅参数
pNG:0 •使用参数运行进行容差分析
2%DSUv:H% - 参数运行文档的用法[用例]
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i?p$H0bn Fco`^kql.D VirtualLab Fusion技术
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