摘要
'%XYJr:H[ Y:t?W 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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y_=y% 19#>\9* 建模任务
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*X2PT(e[ r~ 2*'zB 1阶的
参数优化
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7bihP@I! nReld
:#T 结果-容差分析
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._^ne=Lx ( I#6!Yt9J 在
VirtualLab Fusion中查看
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-P/DmSS8V P=jsOuW VirtualLab Fusion的工作流程
F}ATY! 7Y(Dg`8G •构造光栅结构
$["HC-n?.k - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
6AG]7d< - 倾斜光栅的高级配置[用例]
*qy \%A •分析光栅衍射效率
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S"d - 光栅级次分析器[用例]
h%ys::\zF •使用参数优化优化光栅参数
YRX^fZ-b •使用参数运行进行容差分析
?{J1Uw< - 参数运行文档的用法[用例]
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* VirtualLab Fusion技术
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