摘要
O@[q./VV, vn8Ez6<27 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
`27? f$, 'D1@+FFU0
{E9Y)Z9 /4|qfF3 建模任务
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a}wB7B;,g 1G\ugLm 1阶的
参数优化
b;yhgdFx R}0cO^V
(i`DUF'#y ,Zdc 结果-容差分析
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$oNkE ^}WeBU 结果-容差分析
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QoqdPk#1 03,+uf 在
VirtualLab Fusion中查看
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9gFC]UVWh 43/|[ VirtualLab Fusion的工作流程
Jzr(A^vwo w}'E]y2. •构造光栅结构
c<e$6:|xM - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
mFvw s - 倾斜光栅的高级配置[用例]
_-EHG •分析光栅衍射效率
lVqvS/_k$ - 光栅级次分析器[用例]
6Up,B=sX0 •使用参数优化优化光栅参数
!D1F4v[c= •使用参数运行进行容差分析
hX;xbl - 参数运行文档的用法[用例]
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}C) %N!Y}$y VirtualLab Fusion技术
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