摘要
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4\o ggm2%|?X 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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>Lw}KO` k'[ S@+5 建模任务
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x7P([^i o~v_PD[S 1阶的
参数优化
k]SAJ~bS| & Fg|%,fv] 
b&lN%+%} F>~ xzc 结果-容差分析
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G3RrjWtO ?w+ QbT 结果-容差分析
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\4h>2 y 87QZun% 在
VirtualLab Fusion中查看
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R* s* +I Xw7{R VirtualLab Fusion的工作流程
uP{; *E3? LXHwX*`Y •构造光栅结构
)t|^Nuj8 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
c I*KRC U - 倾斜光栅的高级配置[用例]
UI! 6aVL. •分析光栅衍射效率
#*!+b - 光栅级次分析器[用例]
mD9STuA$H •使用参数优化优化光栅参数
j~M#Ss-H8 •使用参数运行进行容差分析
Ya}T2VX - 参数运行文档的用法[用例]
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>f&xJq \'n$&PFe VirtualLab Fusion技术
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