[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 vm@V5oH  
E ASnh   
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 'iW  
BeUyt  
wa[L[mw  
TdPd8ig8{  
建模任务 -@XSDfy7S  
wh(_<VZ  
EGl<oxL*R2  
2G8w&dtu  
1阶的参数优化 af|h4.A  
)+L|<6JXA  
E`j' <#V!  
lc <V_8  
结果-容差分析 MnD}i&k[  
$2uC%er"H  
DZqG7p$u4i  
no+m.B  
结果-容差分析 j/aJDE(+  
@@H/q  
h3 HUdu  
o<5`uV!f  
在VirtualLab Fusion中查看 .'`aX 7{\  
2q[pOT'k  
r:sa|+  
2B4.o*Q\  
VirtualLab Fusion的工作流程 syr0|K[  
sV#%U%un  
•构造光栅结构 qIJc\,'  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] B=OzP+  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] }-tJ.3Zw  
•分析光栅衍射效率 ku,{NY f^Y  
- 光栅级次分析器[用例] V< F&\  
•使用参数优化优化光栅参数 /%cDX:7X  
•使用参数运行进行容差分析 5ih>x3S1/  
- 参数运行文档的用法[用例] b"$?(Y  
H@-q NjM  
JLm3qIC  
\HB fM&  
VirtualLab Fusion技术 :Fhk$?/r  
^1){ @(  
+Kgl/Wg%