摘要
EkziAON [l,Ei? 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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rRFhGQq1m %2v4<icvq 建模任务
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)ZN|t?| l+V>]?j 1阶的
参数优化
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o"*AtGR+" e=.]F*:J 结果-容差分析
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irfp!(r P'_H/r/# 在
VirtualLab Fusion中查看
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@ta7"6p-i@ #"B\UN VirtualLab Fusion的工作流程
d QqK^# @H=:)*; •构造光栅结构
Ftr5k^! - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
9E6_]8rl - 倾斜光栅的高级配置[用例]
o,)?!{k} •分析光栅衍射效率
#)nSr - 光栅级次分析器[用例]
}"|K(hq •使用参数优化优化光栅参数
ajEjZ6 •使用参数运行进行容差分析
n^g|Ja - 参数运行文档的用法[用例]
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x U4 +|d k=jk`c{<[ VirtualLab Fusion技术
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