摘要
_4nm h0q4 4:**d[|1 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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B1U!*yzG6 `x >6Wk1 建模任务
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参数优化
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[YODyf}M>\ .$y'>O*$G 结果-容差分析
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S|@/"?DC Uzrf,I[ 在
VirtualLab Fusion中查看
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K*,,j\Q. KDGrX[L:6 VirtualLab Fusion的工作流程
uHmvHA~/c8 q`L)^In" •构造光栅结构
o_k)x3I? - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
|sFd5X - 倾斜光栅的高级配置[用例]
kF,ME5% •分析光栅衍射效率
$- %um - 光栅级次分析器[用例]
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Wc •使用参数优化优化光栅参数
=6=:OId •使用参数运行进行容差分析
yk5K8D[tV - 参数运行文档的用法[用例]
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]bB7 VirtualLab Fusion技术
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