摘要
T /iKz U`gQ7 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
LKtug>Me \^<eJfD
*Xh)22~T ~*-(_<FH 建模任务
L_f u<W @ 2r9JqR[=
X+l&MD /S29\^ 1阶的
参数优化
U\N|hw#f!! <DG=qP6O
d\FBY&C7b 3*@ sp 结果-容差分析
/P<K)a4GM *ea%KE":
21Z}Zj I!IWmU6FN 结果-容差分析
CXqU<a& l{U-$}
plL##?<D< m/#)B6@A 在
VirtualLab Fusion中查看
ICSi<V[y1 xE/r:D#
b&k !DeE H8[L:VeNT VirtualLab Fusion的工作流程
%T:~N<8) _YVp$aKDR •构造光栅结构
/15e-(Zz/ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
N?`-$C ] - 倾斜光栅的高级配置[用例]
IY$H M3t7 •分析光栅衍射效率
'gYUyl - 光栅级次分析器[用例]
d!0p^!3 •使用参数优化优化光栅参数
jkd'2 •使用参数运行进行容差分析
+bwSu)k - 参数运行文档的用法[用例]
Hm=!;xAFX 0pP;[7k\
83,ATQg `TNWLD@Z VirtualLab Fusion技术
HorFQ?8 =,B44:`r
T;(k