摘要
/i)Hb`(S G5tday~3 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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MbXq`% I|/'Ds: 建模任务
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9B+wYJp 2BzqY`O 1阶的
参数优化
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b, 结果-容差分析
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8d tk/`%Q 在
VirtualLab Fusion中查看
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S2~@nhO`U( ,M3z!=oIGn VirtualLab Fusion的工作流程
qvt- eSl-9
^ •构造光栅结构
-PAF p3w\y - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
AV @\ +0 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
OYf{?-QD •分析光栅衍射效率
uC~g#[I QM - 光栅级次分析器[用例]
^ua12f •使用参数优化优化光栅参数
"uu)2Xe •使用参数运行进行容差分析
r@T| e - 参数运行文档的用法[用例]
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`HUf v@5 oVZ4bRl VirtualLab Fusion技术
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