摘要
8*a&Jl vY`s'%WV 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
eb$#A _m #gw]'&{8D 
BING{ew [z9Z5sLO 建模任务
n '6jou FHI ;)wn= 
lsNd_ 7k #:%/(j 1阶的
参数优化
)dd@\n$6 %ULr8)R;
9( wK@ x ]ot 2 结果-容差分析
;i:d+!3XwC <p"iY}x[H 
9=2$8JN=(l II x#2r 结果-容差分析
sCHJ&>m5- y:l\$ pGC% 
H}
g{Cr"Ex QP J4~ 在
VirtualLab Fusion中查看
KKf 3sZ\0P} 
z2>lI9D4V t\ewHZ G" VirtualLab Fusion的工作流程
wLr_-vJ N ZSSg2TX# •构造光栅结构
du^J2m{f - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
u u687|Pm - 倾斜光栅的高级配置[用例]
45 >?o •分析光栅衍射效率
<2qr}K{'A - 光栅级次分析器[用例]
|ZBI * •使用参数优化优化光栅参数
l HX72 s|V •使用参数运行进行容差分析
kMd.h[X~ - 参数运行文档的用法[用例]
AYx{U? 0p N] sAji* 
I~XSn>-H h.t-`k 7 VirtualLab Fusion技术
q'8 2qY -3Vx76Y 
Z?QC!bWb
