摘要
QhGg^h%6 Z@[ ,"{Sn 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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"q`%d_ ,{Ab=xV 建模任务
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kH&ZP AI %UQ{'JW?K 1阶的
参数优化
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KvD$`"L/CT n21$57`4 结果-容差分析
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Yjl0Pz .q eurudl 结果-容差分析
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7P`1)juA9 Mz G ryM- 在
VirtualLab Fusion中查看
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,\M_q">npc Q'a N|^w"f VirtualLab Fusion的工作流程
[;=ky<K 0E {@#L'i| •构造光栅结构
84!4Vz^ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
=_dd4`G&< - 倾斜光栅的高级配置[用例]
68c;Vb •分析光栅衍射效率
h( 8;7} K - 光栅级次分析器[用例]
JKT+ q*V •使用参数优化优化光栅参数
1!`768 •使用参数运行进行容差分析
w Y. g- 3 - 参数运行文档的用法[用例]
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)A0&16< 3b 3cNYP VirtualLab Fusion技术
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