摘要
s:cJF [mj=m?j 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Dn fqBz"l>5A 建模任务
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0:-z+`RHE NJmx(!Xsh 1阶的
参数优化
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L,!\PV| zo("v*d*q 结果-容差分析
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wp'[AR} !&cfX/y8 结果-容差分析
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epG]$T![ BG)zkn$ 在
VirtualLab Fusion中查看
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kw} E0uY G(wstHT;/ VirtualLab Fusion的工作流程
=[[I<[BZq Zop/ MeI •构造光栅结构
Z15=vsV - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
&y7=tEV - 倾斜光栅的高级配置[用例]
!I\eIV>0b •分析光栅衍射效率
Pa#Jwo - 光栅级次分析器[用例]
#xq3)B •使用参数优化优化光栅参数
?"T!<L •使用参数运行进行容差分析
G$)tp^%] - 参数运行文档的用法[用例]
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j=G 7h2/8YUgQ VirtualLab Fusion技术
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