摘要
uj_uj! ~DcX}VCm 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
c]O3pcU LjjE(Yrv{
!G3O!] |SXMd'<3`Z 建模任务
FLY# ' -[
o9~ Z! &p N. 3
x[%: 1阶的
参数优化
n@w$5y1@ ~q#UH'=%
|_ HH[s*U 0Ep%&>@ 结果-容差分析
y1^<!I t#oJr2
[-_u{j yWu80C8q 结果-容差分析
GEy^*, d {PGNPxUbe
Ph2jj,K #sy)-xM 在
VirtualLab Fusion中查看
_OP75kv z^S=ji U++
MzsDWx;eJ d@pD5n=m; VirtualLab Fusion的工作流程
Ab
-uK|< draY/ •构造光栅结构
sCSrwsbhv - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
D_D<N(O - 倾斜光栅的高级配置[用例]
tlu-zUsi •分析光栅衍射效率
AM*V4}s*9k - 光栅级次分析器[用例]
G $:T! •使用参数优化优化光栅参数
D#508{) •使用参数运行进行容差分析
YmFJlMK - 参数运行文档的用法[用例]
4&~1|B{Z 8a|p`)lT
#A@*k}/+ Hn0,LH$/ VirtualLab Fusion技术
E"&fT!yi " GkBX
G/\t<>O8o