摘要
r\2vl8X~ B+] D5K 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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gKo%(6{n~ c.%.\al8oW 建模任务
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;3"@g]e sw;|'N$:< 1阶的
参数优化
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BT,b-=
;J- W.I\J<=V 结果-容差分析
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lnh+a7a) NHm]`R, 结果-容差分析
(R*j|HAw`X !'G~k+
w1`QIv v^N`IJq 在
VirtualLab Fusion中查看
$t}<85YCQ f>polxB%N
;65D 9Uf j VirtualLab Fusion的工作流程
uw AwWgl =0qpVFvU •构造光栅结构
>C r\y - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Y32 "N[yw - 倾斜光栅的高级配置[用例]
//f •分析光栅衍射效率
g}x(hF - 光栅级次分析器[用例]
xSMt*]=9 •使用参数优化优化光栅参数
o}$1Ay*q` •使用参数运行进行容差分析
Y?d9l - 参数运行文档的用法[用例]
.}B(&*9,v l Dxc`S
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Y` ?6^|ZtB VirtualLab Fusion技术
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