摘要
T=~D>2C ")xd 'V 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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.KeZZLH ]ML(=7z" 建模任务
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p~bx 0<4Nf]i 1阶的
参数优化
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BSd\Sg4 [19QpK WM 结果-容差分析
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_GF{Duxh cy{ ado2 在
VirtualLab Fusion中查看
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tH^]`6"QUa 15dbM/Gj VirtualLab Fusion的工作流程
k[<Uxh% -Ed<Kl •构造光栅结构
2T&n6t$p - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
]mZN18# - 倾斜光栅的高级配置[用例]
G W@g •分析光栅衍射效率
4Uzx2
- 光栅级次分析器[用例]
&cuDGo. •使用参数优化优化光栅参数
5!V%0EQqw •使用参数运行进行容差分析
viXt]0 - 参数运行文档的用法[用例]
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)0UXTyw^ *i,@d&J y] VirtualLab Fusion技术
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