摘要
:5,~CtF5 ` _&hM6N 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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W_`]7RO8 p{^:b6 1阶的
参数优化
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J 7R(X 5MB`yRVv 结果-容差分析
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CvY+b^; *#XZ*Ga 在
VirtualLab Fusion中查看
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PR.3EL UPuoIfuqI VirtualLab Fusion的工作流程
3}fOb ~V8z%s@ •构造光栅结构
fZo#:"{/K - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
(4+P7Z,Nc - 倾斜光栅的高级配置[用例]
XGx[Ny_A2 •分析光栅衍射效率
:snO*Zg - 光栅级次分析器[用例]
A9MM^jV8 •使用参数优化优化光栅参数
k."p& •使用参数运行进行容差分析
WPL@v+
- 参数运行文档的用法[用例]
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p@Y=6Bw bqcCA91 VirtualLab Fusion技术
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