摘要
T /iKz U `gQ7 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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* Xh)22~T ~ *-(_<FH 建模任务
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X+l &MD /S2 9\^ 1阶的
参数优化
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d\FBY&C7b 3*@ sp 结果-容差分析
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plL##?<D< m/#)B6 @A 在
VirtualLab Fusion中查看
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b& k !DeE H8[ L:VeNT VirtualLab Fusion的工作流程
%T:~N<8) _YVp$aKDR •构造光栅结构
/15e-(Zz/ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
N?`-$C ] - 倾斜光栅的高级配置[用例]
IY$H M3t7 •分析光栅衍射效率
'gYUyl - 光栅级次分析器[用例]
d! 0p^!3 •使用参数优化优化光栅参数
jkd'2 •使用参数运行进行容差分析
+bwSu)k - 参数运行文档的用法[用例]
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