摘要
ZmYa.4'L F3H:I"4 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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~L4*b *W goBKr: &]w 结果-容差分析
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~ (l2%( 3G % 0y3 /W 在
VirtualLab Fusion中查看
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M VirtualLab Fusion的工作流程
]y)R C-N YiQeI|{oN •构造光栅结构
kp<} - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
;?HZ,"^I - 倾斜光栅的高级配置[用例]
3ZJagJ\O •分析光栅衍射效率
2gC&R1 H - 光栅级次分析器[用例]
] B-$p p •使用参数优化优化光栅参数
F~d7;x =g •使用参数运行进行容差分析
4
L~;>]7 - 参数运行文档的用法[用例]
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'#An+;x{ hAxuZb7 ? VirtualLab Fusion技术
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