[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 !4 G9`>n  
TfqQh!Y  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 {AqPQeNgz  
vh^,8pPy  
JIU=^6^2'  
)3~):+  
建模任务 W%cJ#R[o  
<f`G@  
giz#(61j^  
|0/~7l  
1阶的参数优化 @I|gA  
+eD+Z.{  
6'qC *r  
[!#<nY/C  
结果-容差分析 ;-X5#  
X Sw0t8  
-.X-02  
}e*OprF  
结果-容差分析 l>O~^41[  
)R'~{;z }  
B @8 ]!  
rS
vQarT  
在VirtualLab Fusion中查看 BSB;0OM  
J M,ndl  
/^<Uy3F[p  

[<M~6]  
VirtualLab Fusion的工作流程 7}e73  
v5;V$EGD&  
•构造光栅结构 qKg*/)sD(  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qx~-(|s`H  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] S @MO  
•分析光栅衍射效率 L^0s  
- 光栅级次分析器[用例] P6ztP$M(  
•使用参数优化优化光栅参数 Q5H! ^RQm  
•使用参数运行进行容差分析 9I;d>%  
- 参数运行文档的用法[用例] o1kY|cnGH  
[_h/DhC:+  
]e+88eQ  
LJAqk2k  
VirtualLab Fusion技术 :_FnQhzg  
x2bKFJ>e@  
&6`h%;a/&