摘要
cyL"?vR*< [7 oU = 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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Y[ 结果-容差分析
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l1 Nr5PT f_'#wc6 在
VirtualLab Fusion中查看
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~6F# VirtualLab Fusion的工作流程
IHC
{2 ^ ?Pbh&! •构造光栅结构
& -.NkW @ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
[ H|ifi - 倾斜光栅的高级配置[用例]
U}hQVpP# •分析光栅衍射效率
3;v%78[&P - 光栅级次分析器[用例]
@
(4$<>< •使用参数优化优化光栅参数
t:$^iUrx •使用参数运行进行容差分析
B\*"rSP\ - 参数运行文档的用法[用例]
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T*pcS'?' \+ ,%RN. VirtualLab Fusion技术
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