摘要
Rq?t=7fX) pJl/d;Cyrb 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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XMP4YWuVc 69:-c@L0 建模任务
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}?6;;d# BOA7@Zaa$p 1阶的
参数优化
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&~B8~U4% +`mI\+y, 结果-容差分析
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Sj/v: Z1$U[Tsd 结果-容差分析
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Hdd3n6* / <+`4n 在
VirtualLab Fusion中查看
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)~nieQEZQ TOa6sB!H VirtualLab Fusion的工作流程
KC(z TY rL+.3ZO):P •构造光栅结构
@;hdZLG]`& - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
mZ:#d;0 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
fshG ~L7S9 •分析光栅衍射效率
'<ZHzDW@ - 光栅级次分析器[用例]
+`V<&
Y-5l •使用参数优化优化光栅参数
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~n5wQG •使用参数运行进行容差分析
&?xmu204 - 参数运行文档的用法[用例]
FQ47j)p; tW-[.Y -M,
Tj<B;f!u tgl 4pAc VirtualLab Fusion技术
S^EAE] CS-jDok
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