摘要
fO<40!%9cQ /\mtCa.O 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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建模任务
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1阶的
参数优化
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VirtualLab Fusion中查看
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<g •构造光栅结构
{4J. - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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g\ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
2e_ Di(us •分析光栅衍射效率
o[Ffa#sE - 光栅级次分析器[用例]
J[ZHAnmPH •使用参数优化优化光栅参数
^r~[3NT •使用参数运行进行容差分析
>@vu;j\*E5 - 参数运行文档的用法[用例]
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