摘要
S@
y! 0, MCXt,`}[ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
@C('kUX~! YXF^4||j.c 
JHg;2xm"<K 6Y.k <oem 建模任务
hr&UD| E= P;X0L{u0H 
%rl<%%T#.M 3+ C;zDKa 1阶的
参数优化
d;3f80Kd* V.+a}J=Cw 
{ q&`B 8@6*d.+e 结果-容差分析
8[
ZuVJ] C.}ho.}
r 
!0Ak)Q]e' gA 5DEit 结果-容差分析
e-xT.RnQ O|9Nl*rXz 
xkkG#n) 96gau n J 在
VirtualLab Fusion中查看
O!F"w !5@ ^Y8G}Z| 
B>"-8#B[4 ;ae6h
[ VirtualLab Fusion的工作流程
Fv nf;']q K|;L{[[yH •构造光栅结构
@}%kSn5y: - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
i1HO> X:ea - 倾斜光栅的高级配置[用例]
~PN[ #e] •分析光栅衍射效率
x;4m@)Mu - 光栅级次分析器[用例]
XNBzA3W •使用参数优化优化光栅参数
{-|El}.M •使用参数运行进行容差分析
#TgP:t]p - 参数运行文档的用法[用例]
5[" n] i 20Rm|CNH? 
n@oSLo`k,` ,M\/[_: VirtualLab Fusion技术
+~;# !I@Di 6iEA ._y 
1aUu:#c
