摘要
oG|?F4l* K0d-MC 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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IKNFYe[9e }CB=c]p 建模任务
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j1'xp`jgv DDqC}l_ 1阶的
参数优化
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g=8|z#S ]be0I) 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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a<a&63 O+{pF.P#V VirtualLab Fusion的工作流程
]yj4~_&O !Vp,YN+yN •构造光栅结构
&vJ(P!2f< - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
hJ$C%1; - 倾斜光栅的高级配置[用例]
.,d$%lN •分析光栅衍射效率
teQaHe# - 光栅级次分析器[用例]
T@d_t •使用参数优化优化光栅参数
Mc#O+'](f •使用参数运行进行容差分析
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g - 参数运行文档的用法[用例]
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82Z[eo Y*5@|Q VirtualLab Fusion技术
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