摘要
Z4s+8cTHn r T"3^,, 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
$V\Dl]a1 NyR,@n1
wec_=EqK0 ''?iJFR 设计任务
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fda)t1u\8 [C`LKA$t 1级
参数优化
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O)8$aAJ)V CxD=8X9m 结果-容差分析
E"zC6iYZ; :Xs3Vh,V
}Y!v"DO#Q* }B ?_>0 结果-容差分析
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O~#A )d6 }1EtM/Ni{! VirtualLab Fusion一瞥
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"9X1T] iyv5\ VirtualLab Fusion中的工作流程
Gzc`5n{" &)izh) FA 构建光栅结构
8/<+p? 3p> −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
OK(xG3T −倾斜光栅高级设定[用例]
+Kp8X53 •光栅衍射效率分析
6>gm!6` −光栅阶序分析器[用例]
:(YFIW`59 •使用参数优化进行光栅参数优化
&fW'_,- •使用参数运行的容差分析
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N$.=1Q$F6 %)w7t[A2D VirtualLab Fusion技术
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