[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 sO,,i]a0  
hvwKh
Q}wX  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =c[9:&5Q  
:$L^l{gT  
MB%yC]w8  
dXg.[|S*  
设计任务 'QeCJ5p]  
sWa`-gc  
{ZrIA+eH  
|eU{cK~e^  
1级参数优化 j.=VZ  
U\s.fIr  
>kU$bh.(  
.=yF  
结果-容差分析 7A<X!
a  
{mr!
E  
qkPvE;"  
`O/1aW1  
结果-容差分析 #{-B`FAQ  
ckykRqk}  
bbddbRj;  
@Fvp~]jCb  
VirtualLab Fusion一瞥 k[#<=G_=/E  
1wAD_PI|BH  

?d&l_Pa0e  
Qu"zzb"k  
VirtualLab Fusion中的工作流程 @{n"/6t  
(#KSwWo{ed  
构建光栅结构 EX@wenR  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] X\sOeb:]  
−倾斜光栅高级设定[用例] %k3A`ClW  
•光栅衍射效率分析 /u?ZwoTzY  
−光栅阶序分析器[用例] w=JO$7  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ,yf
2
kU  
•使用参数运行的容差分析 z{$2bV  
V7DMn@Ckw  
,58XLu  
2PZ#w(An&  
VirtualLab Fusion技术
r`-=<@[  
.=G?Zd  
N_L~oX_  

了解一下光栅。