摘要
I"czo9Yspd I1>f2/$z* 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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|MGT8C&^! ]2f-oz*hU 设计任务
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Yf9E0po Wo&22,EB 1级
参数优化
h?dSn:Y\? MV$E_@pg
C2rG3X^~Jm j;}-x1R 结果-容差分析
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)x\%*ewY tZ62T{, a 结果-容差分析
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m33&obSP iSf%N>y'K VirtualLab Fusion一瞥
W gyRK2#! d>F7i~W
X~VI} dJ axC{azo| VirtualLab Fusion中的工作流程
Ld_u Me?Z p9i7<X2& 构建光栅结构
x/{-U05 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
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`d x −倾斜光栅高级设定[用例]
gKTCfD~ •光栅衍射效率分析
2&S^\kf −光栅阶序分析器[用例]
_Ml?cT/J.O •使用参数优化进行光栅参数优化
cG0)F%?X? •使用参数运行的容差分析
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N. VirtualLab Fusion技术
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