摘要
cALu OIWo*
% 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
6% ,Q L]tyL)
} M~AkJL 3?}SXmA'@ 设计任务
i/Hi "M*\,IH
7xd}J(l >ab=LDoM 1级
参数优化
(p2a{v}fEz WMC6dD_6e
3~S~)quwP 5y~[2jB: 结果-容差分析
`150$*K&B ~gAx
a[JgR /E@x j"dbl?og 结果-容差分析
z DK+8 fAm2ls7c
PQs9@]w[ ]zm6;/S VirtualLab Fusion一瞥
l%:_#1?isf qy]-YJZ
9!OpW:bR| WgL!@g VirtualLab Fusion中的工作流程
:H87x?e[ 5u!cA4e" 构建光栅结构
5u8Sxfm", −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Yk5kC0B −倾斜光栅高级设定[用例]
=wQ=` •光栅衍射效率分析
R3<+z −光栅阶序分析器[用例]
$pKS['J0 •使用参数优化进行光栅参数优化
!`Wu LhB` •使用参数运行的容差分析
f0uiNy(r$ (+@.L7>m+t
BKTsc/v2>: ^q6~xC,/ VirtualLab Fusion技术
|
jkmh6 t&oNJq{
^Ve^}|qPc