摘要 $n#NUPzG+
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 fbrCl!%P
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设计任务 Vi*HG &DD
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1级参数优化 U(6=;+q
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结果-容差分析 I]iTD
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VirtualLab Fusion一瞥 t3 rQ5m
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ad#4W0@S
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构建光栅结构 ZcE:r+
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ^~DDl$NH
−倾斜光栅高级设定[用例] b-OniMq~
•光栅衍射效率分析 _q
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−光栅阶序分析器[用例] 5Z_ 7Sc
•使用参数优化进行光栅参数优化 (N^tg8 Z<
•使用参数运行的容差分析 lN~V1(1B
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VirtualLab Fusion技术 U'p-Ko#
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