[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 M/Z$?nd_H  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ,<+:xl   
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VirtualLab Fusion一瞥 ~X2# z|  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 dHOH]x  
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构建光栅结构 c]VK%zl  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 27[e0 j  
−倾斜光栅高级设定[用例] BQUYT/$(  
•光栅衍射效率分析 Pl|I{l*o(`  
−光栅阶序分析器[用例] `lm'_~=`&  
•使用参数优化进行光栅参数优化 X`&Us  
•使用参数运行的容差分析 7}\AhQ, S  
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VirtualLab Fusion技术 k}kwr[  
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了解一下光栅。