摘要
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x*feK? &mp=j GR 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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F@)wi0 pma'C\b> 设计任务
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Y\-sl^ 1级
参数优化
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C`%cPl ][I}yOD70 结果-容差分析
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2dFC{US' N/4`afiV. 结果-容差分析
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OB.TAoH: T/X[q7O~~4 VirtualLab Fusion一瞥
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;8H;U` VirtualLab Fusion中的工作流程
|$f.Qs~? >;-.rJFr 构建光栅结构
ifHQ2Ug9 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
?>92OuG%W? −倾斜光栅高级设定[用例]
5
<X.1T1 •光栅衍射效率分析
>TK:&V −光栅阶序分析器[用例]
+fBbW::R^ •使用参数优化进行光栅参数优化
lZCTthr\ •使用参数运行的容差分析
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(&H-v'a}3 [K1RP. VirtualLab Fusion技术
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