摘要
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(x&. b=1E87i@W 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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a*LfT<hmU3 #T2J + 设计任务
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i>,AnkI& ~Ck OiWC0 1级
参数优化
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{4,],0bjx/ =#[oi3k 结果-容差分析
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sAqy(oy#M @WS77d~S VirtualLab Fusion一瞥
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iaEQF]*cC A2:}bb~H VirtualLab Fusion中的工作流程
O_a^|ln& ~[t#$2d} 构建光栅结构
"W%YsN0 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
`s T;\ −倾斜光栅高级设定[用例]
\8QOZjy •光栅衍射效率分析
wCNn/%C −光栅阶序分析器[用例]
*YeQCt-l •使用参数优化进行光栅参数优化
15Mtlb •使用参数运行的容差分析
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8R3{YJ6@T .6C/,rQ?c VirtualLab Fusion技术
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