摘要
Oz4vV_a&' Alk+MwjR 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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H 设计任务
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;efF]") d%K& 1级
参数优化
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TQtHU6 Iqci}G%r 结果-容差分析
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}WLwb VirtualLab Fusion一瞥
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PXG@]$~3 Y!`pF VirtualLab Fusion中的工作流程
VU1Wr| ~z(0XKq0d 构建光栅结构
<=Saf. −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
*a^wYWa −倾斜光栅高级设定[用例]
;9Qxq] •光栅衍射效率分析
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−光栅阶序分析器[用例]
p"6ydXn% •使用参数优化进行光栅参数优化
vJ{F)0 K •使用参数运行的容差分析
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$o.;} xSqr=^ VirtualLab Fusion技术
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