摘要
Wo Z@ '|}H,I{ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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fZ(k"*\MZ 7Y)i>[u3 设计任务
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j)wrF@W ]F"P3': 1级
参数优化
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^9]g5.z: TEla?N 结果-容差分析
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VR'zm\< D i*8j| 结果-容差分析
OnyAM{$g ']d(m?
%_G '#Bn< Md0`/F:+2 VirtualLab Fusion一瞥
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VtMnLFMw 0>"y)T3 VirtualLab Fusion中的工作流程
aU/y>Y <k 2&=CC4<!d 构建光栅结构
:UX8^+bfZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
wc#k@"2AZb −倾斜光栅高级设定[用例]
a|DCpU} •光栅衍射效率分析
5=fS^]- F −光栅阶序分析器[用例]
p&\DG •使用参数优化进行光栅参数优化
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? •使用参数运行的容差分析
JEK_W<BD #bCUI*N"P
NZlCn:" \9~Q+~@{G VirtualLab Fusion技术
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