[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 D{4]c)>  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 160BgFM  
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结果-容差分析 AJP-7PPD  
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VirtualLab Fusion一瞥 #}
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VirtualLab Fusion中的工作流程 *uF Iw}C/  

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构建光栅结构 9
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] * a VT  
−倾斜光栅高级设定[用例] 36 ]?4, .  
•光栅衍射效率分析 1Msc:7:L  
−光栅阶序分析器[用例] >5Sm.7}R  
•使用参数优化进行光栅参数优化 \Oe8h#%  
•使用参数运行的容差分析 d ?,wEfwp  
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VirtualLab Fusion技术 nA+gqY6 6|  
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了解一下光栅。