摘要
~?dPF;.6_ Xb42R1 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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>8n 设计任务
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参数优化
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#_{UJ% LN?fw 结果-容差分析
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mz[rB|v"/7 }(dhXOf\q 结果-容差分析
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\Btv76*, xF5q=%n VirtualLab Fusion一瞥
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m"~$JA u 8OZc:/ VirtualLab Fusion中的工作流程
3t(nV4uDF cgm]{[f 构建光栅结构
.wx;!9 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
1,Uv;s;{ −倾斜光栅高级设定[用例]
6Ez}A|i •光栅衍射效率分析
N9Yc\?_NU_ −光栅阶序分析器[用例]
A--Hg-N| •使用参数优化进行光栅参数优化
Dq
Kk9s;6_ •使用参数运行的容差分析
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"Sc_E}q|e *\I?gDON VirtualLab Fusion技术
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