摘要
h3EDN:FQ b=UMoWS 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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"3|"rc&F# cu^*x/0, 设计任务
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/7@2Qc2 r)]CZ]) 1级
参数优化
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a<C*o 结果-容差分析
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s|j<b#<xQ 6a?$=y VirtualLab Fusion一瞥
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.S'fM]_# UX'NJ1f VirtualLab Fusion中的工作流程
1R%`i'$/ FgQ_a/* 构建光栅结构
B H0#Q5 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
EhPVK6@ −倾斜光栅高级设定[用例]
,V]A63J •光栅衍射效率分析
7;}3{z −光栅阶序分析器[用例]
px}7If •使用参数优化进行光栅参数优化
;#yu"6{ •使用参数运行的容差分析
#f3 ;}1( oUvk2]H
IO!1|JMr6 *Iwk47J ;a VirtualLab Fusion技术
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