摘要
iU$] {c2;A qE&v ; 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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x 设计任务
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]':A4_ 1级
参数优化
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s)noo ")O%86_Q: 结果-容差分析
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UW N*j_9i %<k2#6K 结果-容差分析
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7C,&*Ax,9 E27vR 7 VirtualLab Fusion一瞥
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V=R 3)GC K-bD<X VirtualLab Fusion中的工作流程
`NCwK6/i [B+yyBtx 构建光栅结构
5b*M*e&=C −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
~HTmO;HNf" −倾斜光栅高级设定[用例]
'n{Nvt.c •光栅衍射效率分析
`|6'9 −光栅阶序分析器[用例]
:o|\"3 •使用参数优化进行光栅参数优化
1C<uz29 •使用参数运行的容差分析
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.<jr0,i ?u{~> VirtualLab Fusion技术
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