摘要
fSo8O ot0teNF 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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u 3WU0Z` ^<;W+dWdU 设计任务
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HqGI. SN6 QX!3 1级
参数优化
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:;$MUOps U[]yN.J 结果-容差分析
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d i\.*7l? 35h|?eN_m! 结果-容差分析
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O4rjGTRF I4Do$&9<D VirtualLab Fusion一瞥
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<spG]Xa< e$LC VirtualLab Fusion中的工作流程
-Jv,#Z3 Ey@^gHku\ 构建光栅结构
2;)IBvK −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
5Tn< −倾斜光栅高级设定[用例]
,Yag! i>; •光栅衍射效率分析
\kE0h\ −光栅阶序分析器[用例]
vfSPgUB) •使用参数优化进行光栅参数优化
mnTF40l •使用参数运行的容差分析
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uR$ VirtualLab Fusion技术
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