[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 * Wp?0CP  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ,H.5TQ#  
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设计任务 iWA?FBv  
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1级参数优化 &\cS{35  
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结果-容差分析 \ %MsG  
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结果-容差分析 d@a<Eq  
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VirtualLab Fusion一瞥 #XqCz>Z  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 =)g}$r &<  
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构建光栅结构 Q}<QE:-&E  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $-t@=N@vO?  
−倾斜光栅高级设定[用例] W|zPV`  
•光栅衍射效率分析 o^"OKHU,S0  
−光栅阶序分析器[用例] +Q);t,  
•使用参数优化进行光栅参数优化 kF,ME5%  
•使用参数运行的容差分析 H7Z`aQC  
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VirtualLab Fusion技术 2.MUQ;OX  
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了解一下光栅。