摘要
i\o * =+{r >g{b'Xx 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
l}D /1~d -Q%Pg<Q-# g)IW9q2 !;Pp)SRzKG 设计任务
\\`(x:\ NT9| ``^Z ^szi[Cj isFxo,R9r 1级
参数优化
6<f(Zv? I nt%p@e!, SUjo%3R pB7^l|\] 结果-容差分析
C3(h j ;{v2s; T*'WS!z j@{dsS:6 结果-容差分析
6.6?Rp". 8fPTxvXqL q)J5tBfJ ,
YlS VirtualLab Fusion一瞥
dAy\IfZX= F& l\|sHn/ > }kZXeR| VirtualLab Fusion中的工作流程
Q2F20b %Hhk
6tR, 构建光栅结构
l+X\>, −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
\r [@A3O −倾斜光栅高级设定[用例]
Jm"W+! E •光栅衍射效率分析
5hTScnL% −光栅阶序分析器[用例]
0|8cSE<
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•使用参数优化进行光栅参数优化
,Z}ST|$u •使用参数运行的容差分析
^dE[ ; ukRmjHbLf '`f+QP=` nq~fH(QY VirtualLab Fusion技术
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