摘要
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9f%d }oG6XI9 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ND?"1/s D2D+S 设计任务
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paN=I=:*M \6APU7S 1级
参数优化
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iKu3'jZ/O hmLI9TUe6 结果-容差分析
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^9hc`.5N&? 't8!.k 结果-容差分析
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KgD$P(J:[ (ESFR0 VirtualLab Fusion一瞥
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qR2cRepV x%@M*4:& VirtualLab Fusion中的工作流程
|8k^jq 5Y`4%*$ 构建光栅结构
}lPWA/ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
a}VR>!b −倾斜光栅高级设定[用例]
8,+T[S •光栅衍射效率分析
hF^JSCDz l −光栅阶序分析器[用例]
LR#.xFQ+ •使用参数优化进行光栅参数优化
<T.R%Jys •使用参数运行的容差分析
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#LR6wEk KdHkX+-R VirtualLab Fusion技术
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