[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 yJ
sH=5A  
!Oj)B1gc6&  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 xrqv@/kJ  
=
?])['VaA  
_TUk(Qe  
`:wvh(  
设计任务 R7s|`\  
H{?9CxY
a  
~"lJ'&J}  
6cdMS[_SD(  
1级参数优化 BR v+.(S  
&3v&i*DG,I  
uNHdpni  
7 uMd ZpD  
结果-容差分析 j'HkBW:L  
/<&h@$NHH4  
jJ3zF3Id  
B
51kV0  
结果-容差分析 3Wcy)y>2Ap  
cBYfXI0`  
o<l 2r  
GIftrYr  
VirtualLab Fusion一瞥 a=xT(G0Re  
?-OPX_i_  
-fgC"2H  
F_ 7H!F  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Ch_xyuJ  
p<`+sf}A:  
构建光栅结构 TFR(
 4W  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 6P`)%zj  
−倾斜光栅高级设定[用例] !r+IXuqV,!  
•光栅衍射效率分析 ukuo:P<a  
−光栅阶序分析器[用例] |xr\H8:(!  
•使用参数优化进行光栅参数优化 6QZ5|T ]  
•使用参数运行的容差分析 9 L?;FY)_  
7OVbP%n)d2  
G{x[uE2X&f  
~%#mK:+  
VirtualLab Fusion技术 Nf9fb?  
K{cbn1\,H  
rS*$rQCr=  

了解一下光栅。