摘要 ~I6N6T Z
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 mC2K &'[
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设计任务 L"bZ~'y
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1级参数优化 3ew4QPT'
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结果-容差分析 Hz\@#
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结果-容差分析 27k(`{K
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VirtualLab Fusion一瞥 =Ox}WrU~
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VirtualLab Fusion中的工作流程 |BbzRis
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构建光栅结构 N_IKH)
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] D/?Ec\t
−倾斜光栅高级设定[用例] =:aJZ[UU<2
•光栅衍射效率分析 0z'GN#mT5
−光栅阶序分析器[用例] ]}dQ~lOE
•使用参数优化进行光栅参数优化 XeX"IhgS>E
•使用参数运行的容差分析 DmpT<SI+!
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VirtualLab Fusion技术 "$XX4w
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