摘要
hnWo|! ,O$ M2@^bB\J 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
]IJv-( G%u9+XV1# 9j*0D(" "8V{5e!%j' 设计任务
}%n5nLU` !MQN H N_75-S7Cm >NV=LOO 1级
参数优化
)gR=<oa mCKk*5ws5" ;HOPABWz) H^1gy=kdj 结果-容差分析
(P6vOo v[<Bjs\q5 0=v{RQ;W4 z 2/!m[U 结果-容差分析
8n4V
cu t^EhE u~Tg&0V30 [;O^[Iybf: VirtualLab Fusion一瞥
ZEbLL4n b~7drf :6;e\UE @LLTB(@wR VirtualLab Fusion中的工作流程
GIHpSy`z '~-IV0v9 构建光栅结构
TF+
l5fv −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
J7-^F)lu- −倾斜光栅高级设定[用例]
l54|Q •光栅衍射效率分析
)"O{D`uX −光栅阶序分析器[用例]
kReG: •使用参数优化进行光栅参数优化
.gZZCf&? •使用参数运行的容差分析
S T8!i`Q$ : cp /c+)C" <rK=9"$y(t VirtualLab Fusion技术
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