摘要
Ad4-aWH 4+4&}8FH 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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,.&D{$1W n% s$!R-\ 设计任务
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参数优化
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t 结果-容差分析
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ppO!v? ,|w, VirtualLab Fusion一瞥
e(9K.3@{ G ahY+$L,
cN)noGkp ,;yaYF6|/ VirtualLab Fusion中的工作流程
%gTY7LIe1z RMAbu*D0 构建光栅结构
y <P1VES −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Q|Nw @7$` −倾斜光栅高级设定[用例]
M*F`s&vM •光栅衍射效率分析
Y }8HJTMB −光栅阶序分析器[用例]
Dj
w#{WR •使用参数优化进行光栅参数优化
07Oagq( •使用参数运行的容差分析
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qtp-w\#S$ ,km`-6.2? VirtualLab Fusion技术
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