摘要
f"vk# 3 )D:9R)m 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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IZO@V1-m ( V$Zc0 设计任务
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P 1级
参数优化
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`-4'/~G (jMtN?&0H- 结果-容差分析
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( : h aCKv 结果-容差分析
ERF,tLa! q^5yk=2fq
y>$1UwQ QS^~77q VirtualLab Fusion一瞥
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s8^~NX(xdy I6+2>CUGo VirtualLab Fusion中的工作流程
3S5^`Ag# qB:AkMd& 构建光栅结构
md?b* −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
[cDbaq,T −倾斜光栅高级设定[用例]
'fIHUw| •光栅衍射效率分析
[q1Unm −光栅阶序分析器[用例]
Dv@PAnk3C •使用参数优化进行光栅参数优化
e8oKn& •使用参数运行的容差分析
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h}h^L+4 BBxc*alG0 VirtualLab Fusion技术
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