摘要
V}/AQe2m& pE]s>Ta 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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u/HNXJ7M`9 ej]>*n 设计任务
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RxGZ#!j/ 5J*h7 1级
参数优化
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=BgQSs/^c CQET 结果-容差分析
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cD9axlJ $&FeR*$|g 结果-容差分析
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PLQLGb4f_; /~_,p,:aP VirtualLab Fusion一瞥
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*l8:%t\ e/y\P&"eI VirtualLab Fusion中的工作流程
=o,6iJ^?$m 9>[*y8[:0 构建光栅结构
Tf.DFfV#y −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
W< :7z −倾斜光栅高级设定[用例]
52z{ •光栅衍射效率分析
~|=goHmm[ −光栅阶序分析器[用例]
PG'+vl •使用参数优化进行光栅参数优化
dW"=/UW •使用参数运行的容差分析
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MI|anM 7G
&I]> VirtualLab Fusion技术
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