摘要
%O=V4%"m\ AE4~M`6D 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
lO:{tV ~yH>Ko9F} |kNGpwpI 3e6Y 设计任务
NVqC|uEAF kok^4VV 9r+O!kF( [H%?jTQ 1级
参数优化
LZC?383' ou^nzm q VdC ?A| ,Zf!KQw 结果-容差分析
N[<`6dpE o$`kpr ^%%5 */^2RZg|W 结果-容差分析
-A%?T" "I}Z2 .`&/QiD /Ej]X`F VirtualLab Fusion一瞥
*Z]WaDw (5q%0|RzRs ?6iatI ! [x<6v}fRn VirtualLab Fusion中的工作流程
AMD?LjY~ gGX0+L@E 构建光栅结构
?
TT8|Os −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
N.{jM[\F −倾斜光栅高级设定[用例]
!UMo4}Y •光栅衍射效率分析
yLz,V} −光栅阶序分析器[用例]
K>cz63}S •使用参数优化进行光栅参数优化
x:?a;m uf •使用参数运行的容差分析
#xP!!.DF( MFH"$t+ KHlIK`r xeHb89GnoQ VirtualLab Fusion技术
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