摘要
fOE8{O^W *Y4h26 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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;.Lf9XJ mlIX>ss|7B 设计任务
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Who7{|M\' OQ[E-%v1 R 1级
参数优化
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}LXS!Ff: aNZJs<3;'D 结果-容差分析
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4)'8fi @,Je*5$o" VirtualLab Fusion一瞥
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TTg>g~t` )_*<uSl VirtualLab Fusion中的工作流程
%+PWcCmn 0_Gi1) 构建光栅结构
Mx?{[zT" −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
('!{kVLT- −倾斜光栅高级设定[用例]
6`sOhVD •光栅衍射效率分析
I y?_2m −光栅阶序分析器[用例]
Au+SCj •使用参数优化进行光栅参数优化
8.Q;o+NU •使用参数运行的容差分析
NGl/F{< ]ne&`uO
aq~g54 ;D Mv?-H VirtualLab Fusion技术
| aH;@V RX-qL,dc
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