摘要
;F Eqe49 H,NF;QPPC 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
O".=r} C_Wc5{
H;"4C8K7 OZ&o:/*HM 设计任务
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|l!aB(NW Z30A{6} 1级
参数优化
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E(|>Ddv B& yCo.cd- 结果-容差分析
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e7pu wKHBAW[i] 结果-容差分析
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paMa+jhQQ ,z?':TZ VirtualLab Fusion一瞥
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xN(|A}w :hA#m[ VirtualLab Fusion中的工作流程
=\d?'dII: dqAw5[qMJ 构建光栅结构
c`Wa^( −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
w*Ihk) −倾斜光栅高级设定[用例]
tMe ~vq[ •光栅衍射效率分析
GKCroyor −光栅阶序分析器[用例]
jh$='G n •使用参数优化进行光栅参数优化
azU"G(6y?+ •使用参数运行的容差分析
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cj@koA' H[|~/0?K VirtualLab Fusion技术
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