摘要
iwjl--)@K K}3"K C 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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'p+QFT>Ca ?'m5)Z{ 设计任务
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UzHhU*nW 2#}IGZ`Yp/ 1级
参数优化
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.h^Ld,Chj ,.MG&O 结果-容差分析
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Yr0i9Qow :b)@h|4 结果-容差分析
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_fw'c*j .AS,]*?Zn% VirtualLab Fusion一瞥
&_gmQ;%t: X)5O@"4 ?
lph_cY3p M!@[lJ VirtualLab Fusion中的工作流程
k Er7,c "$9ZkADO 构建光栅结构
{+}Lc$O#C −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
yB[LO(i −倾斜光栅高级设定[用例]
<3OV •光栅衍射效率分析
2Z |kf9 −光栅阶序分析器[用例]
]ORat.*0[T •使用参数优化进行光栅参数优化
,pepr9Yd •使用参数运行的容差分析
ttrp|( ](pD<FfS]'
af{K4:I qI:wm= VirtualLab Fusion技术
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