摘要
#JmVq-) gx-ib/_f1 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
pO^PkX k$u\\`i]oC YP^=b} :bh#,]' 设计任务
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(MF 1级
参数优化
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Oxg[ V`c"q.8 -B`Nkc
1JRM@ !x 结果-容差分析
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aVg~/ PykVXZ7j; InO;DA\ $?_/`S13 VirtualLab Fusion一瞥
/|<Pn!}J k? <.yr1 wMW."gM| ^(j}'p, VirtualLab Fusion中的工作流程
Xkqq$A4 &kR*J<)V 构建光栅结构
l}bAwJ? −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
sf([8YUd −倾斜光栅高级设定[用例]
&z;bX-"E •光栅衍射效率分析
9QQiIi$74U −光栅阶序分析器[用例]
%Z8'h\| •使用参数优化进行光栅参数优化
$ Jz(Lb{ •使用参数运行的容差分析
B\73Vf `rLcJcW %E R"Udh *:5S*E&}V VirtualLab Fusion技术
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