摘要
x.5!F2$ J^!2F}: 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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GnX+.uQL| w^AY= Fc 设计任务
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:.k1="H~@ A"SF^p 1级
参数优化
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oY/hT _ &oz^dlw 结果-容差分析
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H^VNw1. <Ny DrO"C3 结果-容差分析
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;+Dq3NE N$!aP/b VirtualLab Fusion一瞥
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|;(95 Q[vQT?J7 VirtualLab Fusion中的工作流程
^vj} `{Jo>L. 构建光栅结构
<UEta>jj −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
\80W?9qj −倾斜光栅高级设定[用例]
&H4Y`xV^= •光栅衍射效率分析
Nv~H797B −光栅阶序分析器[用例]
=O1py_m •使用参数优化进行光栅参数优化
rWP
-Rm •使用参数运行的容差分析
f-!P[6bY +55+%oGl
<hV%OrBz- /q^\g4J VirtualLab Fusion技术
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