摘要
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29kQ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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fb>$p_s] fwV2b<[ 设计任务
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参数优化
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3}F>t{FDk 1gbFl/i6T 结果-容差分析
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3?I! qqf*g=f VirtualLab Fusion一瞥
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|%v:>XEO hr 6j+p: VirtualLab Fusion中的工作流程
._^ne=Lx ( I#6!Yt9J 构建光栅结构
3Z=yCec] −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
?X@[ibH6 −倾斜光栅高级设定[用例]
P=jsOuW •光栅衍射效率分析
,)#rD9ZnC −光栅阶序分析器[用例]
7Y(Dg`8G •使用参数优化进行光栅参数优化
$["HC-n?.k •使用参数运行的容差分析
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6 C9sU^]#F VirtualLab Fusion技术
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