[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 W<
TfDEEa  
]GsI|se  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1.<gC  
G8MLg#  
7AqbfLO  
T-iQ!D~  
设计任务 \@T;/Pj{[  
e2>AL  
_KBa`lhE  
2S4SG\  
1级参数优化 U7e2NES  
3qDbfO[  
)c 79&S  
rJB/)4 mE  
结果-容差分析 V&/Cb&~Uw  
b.8T<@a  
(^_INy*  
|Ho} D~  
结果-容差分析 (yeWArQ  
L)S V?FBx  
aWP9i&  
7{k?"NF  
VirtualLab Fusion一瞥 "ub0}p4V  
gNkBHwv  
K$s{e0 79  
>svx 8CT  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Z^%HDB9^  
TN08,:k  
构建光栅结构 "5Z5x%3I  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 4af^SZ)l  
−倾斜光栅高级设定[用例] H;DjM;be  
•光栅衍射效率分析 `=Bv+  
−光栅阶序分析器[用例] v-"nyy-&Z  
•使用参数优化进行光栅参数优化 /YvwQ  
•使用参数运行的容差分析
-zzT:C  
9%0^fhrJ  
V^>< =DNE  
Q)8I(*  
VirtualLab Fusion技术 G c,  
9Sa6v?sRor  
?+%bEZ`  

了解一下光栅。