摘要 z12c9k%s
M\f1]L|8d
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 tHj |_t
\1p_6U7
52L* :|b
7rdPA9
设计任务 )Fo1[:_B'
!83N.
gN
I}@m6D|\
3?"JFfYU,'
1级参数优化 UQ ~7,D`=#
Js7D>GWP!
xlH?J;$
I'NE>!=Q
结果-容差分析
_%`<V!RT\
-5Km9X8
+-|D$@8S
oiS>:de%tc
结果-容差分析 !/},k"p6
EK:s#
qU1^ K
k$hNibpkt
VirtualLab Fusion一瞥 $2M dxw5
y.LJ5K$&a
,3zF_y(*Y
}#rdMh
VirtualLab Fusion中的工作流程 l9 |x7GB
zMXlLRC0
构建光栅结构 Px>Gc:!>
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] dX58nJ4u
−倾斜光栅高级设定[用例] ?QnVWu2K
•光栅衍射效率分析 X2MQa:yksP
−光栅阶序分析器[用例] YJ&K0%R
•使用参数优化进行光栅参数优化 /cy'% .!
•使用参数运行的容差分析 es` A<
1xJc[q
iE|qU_2Y
UI*^$7z1 +
VirtualLab Fusion技术 Au6*hv3:
KXgC]IO~
C(7Y5\"P