[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 AH$D./a  
9Xw(|22  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 W79wz\a  
Bob K>db  
69)- )en  
E0XfM B]+  
设计任务 ~(4;P%L:  
}EB/1
8  
*g =ey?1S  
@ToY,@]e  
1级参数优化 AS[yNCsjC  
-LAYj:4  
)H&rr(  
?1\rf$l8  
结果-容差分析 if6/
+7  
m44Ab6gpsb  
@.Pd3CB0  
<-xI!o"}  
结果-容差分析 |l)z^V!  
=<ngtN  
v8Ga@*  
@BbqYX  
VirtualLab Fusion一瞥 d
f}DJB  
n&V\s0  
.(T*mk*>  
BeAkG_uG  
VirtualLab Fusion中的工作流程 &rY73qfP'  
4-RzWSFbo`  
构建光栅结构 &jJj6 +P\  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] fUy:TCS  
−倾斜光栅高级设定[用例]
'1|FqQ\.  
•光栅衍射效率分析 |G^w2"D_Z  
−光栅阶序分析器[用例] {C6,h#|pg  
•使用参数优化进行光栅参数优化 kXw&*B-/  
•使用参数运行的容差分析 b4o`eR  
M`6rI  
B(+J?0Dj  
] B ZSW  
VirtualLab Fusion技术 ]3B8D<p  
no6q3<re  
n#F:(MSOp  

了解一下光栅。