摘要
N^)<)? =P@M&Yy' 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Nn~tb2\vk T<w*dX7F0K 设计任务
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HPv&vdr3 k :&?$ 1级
参数优化
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r? 6Z1 <ls i.x\y< 结果-容差分析
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0`aHwt/F 81%qM7v 9H 结果-容差分析
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z/?= Lrm tPnL 
sWqPw}/3> f D]An< VirtualLab Fusion一瞥
HZ[68T[8b QBN=l\m+ 
x0TnS # S|z( VirtualLab Fusion中的工作流程
^"6D0!'N Q9Xm b2LN 构建光栅结构
No SqzJyh −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
J"a2
@S& −倾斜光栅高级设定[用例]
Z IGbwL •光栅衍射效率分析
X7imUy'. −光栅阶序分析器[用例]
@ B}c4, •使用参数优化进行光栅参数优化
ePu2t3E •使用参数运行的容差分析
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^| a&%wxA KY(l< pm VirtualLab Fusion技术
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