摘要
lV<j?I~?Q ;z ^C\=om 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
&1Idv}@! r;&rc:?A 
\RyW#[( Z6r_T 设计任务
>I.X]<jI k7Xa|&fQP< 
IqmoWn3 &]H Y : 1级
参数优化
d+Jj4OnP <al/>7z'
O 
]W 6!Xw)[ b\9}zmG[u 结果-容差分析
IG~d7rh" C)`y<O 
!BW6l)= L N;]"_" 结果-容差分析
f\gN+4) 41j x+
0\Z 
*J] } bX c2<JS:!*
VirtualLab Fusion一瞥
F2RU7o'f. 3 ]}wZY0 
$17utJ 58 P mgTTI VirtualLab Fusion中的工作流程
x*uQBNf= E%6}p++ 构建光栅结构
|/-H:\5 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
PF?tEw_WB −倾斜光栅高级设定[用例]
d@-bt s&3 •光栅衍射效率分析
U#W9]il$ −光栅阶序分析器[用例]
Ks@ •使用参数优化进行光栅参数优化
z<c@<M=Q* •使用参数运行的容差分析
N
v,Yikf 1zUo.Tg0 
B'Ll\<mq@ u*J,3o}
< VirtualLab Fusion技术
)a%kAUNj 8Yq_6 
CPCjY|w7
