[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 IC}zgvcW  
>E]*5jqU  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 {_q2kk  
uXhp+q\  

图片:1-19110G51512293.png

t<`ar@}  
6,@M0CX  
设计任务 hJ}G5pX  
G x,D'H'  

图片:1-19110G51541c6.png

]6:5<NW  
3_h%g$04s  
1级参数优化 =x7ODBYW^  
66|lQE&n  

图片:1-19110G516302b.png

Fn[~5/  
R +\y".  
结果-容差分析 ADR`j;2  
I[4E?  

图片:1-19110G51HWc.png

xDQ$Ui.  
y.O? c&!  
结果-容差分析 \]9;c6(  
92SB'T>  

图片:1-19110G51K2c1.png

piId5Gx7  
wZC'BLD  
VirtualLab Fusion一瞥 s]I],>}RU  

PN'8"8`{  

图片:1-19110G51Q9D8.png

&a|oJ'clz  
#-@{rgH  
VirtualLab Fusion中的工作流程 .1pEq~>  
|hdh4P$+|  
构建光栅结构 *,Re&N8  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] /C(L(
X  
−倾斜光栅高级设定[用例] fk"{G>&8  
•光栅衍射效率分析 }!d}febk_  
−光栅阶序分析器[用例] 5G
!X4%a  
•使用参数优化进行光栅参数优化 )`Fr*H3{  
•使用参数运行的容差分析 Olno9_'  
l,X;<&-[  

图片:1-19110G51933119.png

m_Rgv.gE^  
y^nR=Q]_  
VirtualLab Fusion技术 )8<X6  
|.S;z"v![  

图片:1-19110G52045463.png

S:}s|![p  

了解一下光栅。