摘要
AQ,lLn+ H>TO8;5( 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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`zQuhD 8W _p )NZ7yC 设计任务
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[^hW>O=@TN !5ps,+o 1级
参数优化
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<h#*wy:o2 *'Yy@T8M 结果-容差分析
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$)M3fZ$# C~En0 G1 结果-容差分析
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F[ E'R.: tMl y*E VirtualLab Fusion一瞥
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BEwYQB VirtualLab Fusion中的工作流程
CNNqS^ct MLDzWZ~}ef 构建光栅结构
`O\>vn −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
jq~`rE
h9 −倾斜光栅高级设定[用例]
't<iB&wgF •光栅衍射效率分析
"| '~y}v_ −光栅阶序分析器[用例]
?}HK!feU •使用参数优化进行光栅参数优化
'va[)~! •使用参数运行的容差分析
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S9v VirtualLab Fusion技术
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