摘要 SvE|"
;M95A
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
H/eyc`
@t;WdbxB%
w(y#{!%+
e2onR~Cf
设计任务 0UHX Li47Y
77:s=)
nhUL{ER
oQkY@)3.w
1级参数优化 F$;vPAxbK"
1 o;*`
@rTAbEk{U
]{[8$|Mg
结果-容差分析 6]#\|lds1
iTt#%Fs)4M
nt"8kv
Rilr)$
结果-容差分析 ]/_GHG9
^aW?0qsH
L
1fK
q0}?F
VirtualLab Fusion一瞥 K }]0<\N
s 4Mi9h_
""dX4^gtU
K-xmLEu
VirtualLab Fusion中的工作流程 aWLeyXsAu
f>u{e~Q,
构建光栅结构 =uYz4IDB
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "/EE$eU
−倾斜光栅高级设定[用例] a-`OE"
•光栅衍射效率分析 4HG@moYn@
−光栅阶序分析器[用例] Ozygr?*X
•使用参数优化进行光栅参数优化 4E Hb
•使用参数运行的容差分析 .?TPoqs7Z
Kp|#04]
I)$of9
NMSpi[dr
VirtualLab Fusion技术 Z UvA`
?|i6]y=D
n&. bs7N2