摘要
#BUq;5 )*;Tt @'y 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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p8~lGuH .Q,"gsY 设计任务
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X3l>GeUi M\C9^DX{ 1级
参数优化
E]OexRJ^i y9 {7+]
pT]hPuC UhDQl%&He 结果-容差分析
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RA vn^O m-\ 结果-容差分析
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$v;WmYTJ S{+t>en VirtualLab Fusion一瞥
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A*y4<'}< V#7,vas VirtualLab Fusion中的工作流程
x|~8?i$% .KA-=$~J1 构建光栅结构
3U@jw,K!{A −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Ay?<~)H −倾斜光栅高级设定[用例]
xSmG,}3mF •光栅衍射效率分析
SH?McBxS −光栅阶序分析器[用例]
F]
c\Qt •使用参数优化进行光栅参数优化
"`49m7q1H •使用参数运行的容差分析
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+#FqC/`l 6dIPgie3w VirtualLab Fusion技术
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