摘要
(j'[t 9@!`,Co 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
kY*D s; @ )1u O*30|[ kefQH\<X 设计任务
a.q= 6@bO3K| wc ^z9y *t~(_j 1级
参数优化
~*H!zKIx :imp~~L; 0"ZRJl<)[I #wt#-U; 结果-容差分析
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q),yY]5 A_CK,S*\,& `,xKK+~YG- 3]V"9+ VirtualLab Fusion一瞥
'./s'!Lj n&&X{Rl )Wgh5C` }"A.[9 b VirtualLab Fusion中的工作流程
b^rPw@ <D=U= 5 构建光栅结构
$+-2/=>Xk −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
f~t*8rG~m −倾斜光栅高级设定[用例]
u>d,6
! •光栅衍射效率分析
lLl^2[4k5 −光栅阶序分析器[用例]
]M#_o] •使用参数优化进行光栅参数优化
FL-sXg •使用参数运行的容差分析
U#-89.x >=$( ,8" ;j S~0R `Fnt#F} VirtualLab Fusion技术
u|i.6:/= aO6w:IO tKu'Q;J