摘要
F"[3c6yF Zih ?Bm 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Ka.Nr@Rq*~ x2m]Us@LIU 设计任务
p[-{]! > H~6NBd5D
V^2-_V]8 nE7JLtbH 1级
参数优化
e#khl9j*bt 3~<}bee5|q
sf)W~Lx5a Ihqs%;V 结果-容差分析
yd*3)6= Sr"/-
GS4_jvD- Pr/]0<s 结果-容差分析
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{D R04J3D| VirtualLab Fusion一瞥
/WYh[XKe Q;wB{vr$
Q6x% $H;+}VQ VirtualLab Fusion中的工作流程
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D6|o5 构建光栅结构
2yxi= XWZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
!DcX8~~@ −倾斜光栅高级设定[用例]
^mf jn-=3 •光栅衍射效率分析
3\+N`! −光栅阶序分析器[用例]
HTR1)b •使用参数优化进行光栅参数优化
7=3O^=Q^Q •使用参数运行的容差分析
.Q[yD<)Ubs R&Ci/
6p m~sD 2*Q3.2 Z VirtualLab Fusion技术
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