摘要 i;
uM!d}
,tc]E45
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4p g(QeR
5%$kAJZC-
c=mFYsSv
C
/VXyl@o
设计任务 K_Gf\x
R5~m"bE
{_D'\i(Y_
|-?b)yuAz
1级参数优化 _$x *CP0(
Yhdt8[ 2
sMo%Ayes
RLr-xg$K-t
结果-容差分析 r!=VV!XZ
je0 ?iovY
v<4X;4p^
7}?z=LHb3
结果-容差分析 W#/Ol59
v:ZD}Q_
B9 {DO
8XE0 p7
VirtualLab Fusion一瞥 :\cJvm
*gKr1}M
e6/} M3B
CF4y$aC#
VirtualLab Fusion中的工作流程 @J)vuGS
]5L3[A4Vu
构建光栅结构 [C#pMLp,~
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |8rJqtf +&
−倾斜光栅高级设定[用例] 2^+"GCo
•光栅衍射效率分析 "R]K!GUU
−光栅阶序分析器[用例] YRXe j
•使用参数优化进行光栅参数优化 b(,[g>xH
•使用参数运行的容差分析 J)+eEmrU
r-uIFhV^
M>#S
z
r
+fzmb
VirtualLab Fusion技术 Ke!O^zP92
\/G Y0s
N:zSJW`1