摘要
zJtYy4jI) ]k >S0 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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GndF!#?N( 5a4;d+ 设计任务
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LVO`+: pGUrYik4 1级
参数优化
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G9^!=
v@ b+3{ bE 结果-容差分析
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H?^Poe(=( %0= |WnF- VirtualLab Fusion一瞥
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# l}Y1^PDd APy&~` VirtualLab Fusion中的工作流程
!J'BAq[x D0tI 构建光栅结构
Q+Jzab −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
zjB8~ku# −倾斜光栅高级设定[用例]
1j3mTP •光栅衍射效率分析
:\gdQG −光栅阶序分析器[用例]
qKZ~)B j •使用参数优化进行光栅参数优化
ZShRE"` •使用参数运行的容差分析
ANi}q9SC \JN?3}_J
+qDudGI [7Q |vu VirtualLab Fusion技术
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