摘要
PdiP5S }/ q#LB 2M 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
j"(o>bv7 wM.z/r\p %smQ`u| (Z:(f~; 设计任务
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^]x lGrp^ W\]bh'( S&/</% 1级
参数优化
+m?;,JGt =&+]>g{T m(0sG(A~
[/dGOl+ 结果-容差分析
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V11(EZJ/j nW)-bAV< -CV_yySc Xjb 4dip VirtualLab Fusion一瞥
Xae0xs [6 d~q]KH &6]+a4 UI:YzR VirtualLab Fusion中的工作流程
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rij1/G 7D'-^#S5 构建光栅结构
'XW[uK]w) −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
<//82j+px −倾斜光栅高级设定[用例]
H~Z$ pk% •光栅衍射效率分析
y{&k`H −光栅阶序分析器[用例]
:r4]8X- •使用参数优化进行光栅参数优化
nP]tc •使用参数运行的容差分析
)1CYs4lp W&M=% !LGnh $'Pn(eZHGv VirtualLab Fusion技术
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