摘要
%a%+!wX0x 3?-V>-[G_ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
)AZ`R8-A oZ|{J 'eTpcrS3 CJ37:w{%*Y 设计任务
B$iMU?B3 zwF7DnW<< 74</6T]^ ~8S4Kj)% 1级
参数优化
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( r)*_,Fo| qX}dbuDE"P 结果-容差分析
{RWahnr{ (5CX *)R I+-Rs2wb @)FXG~C* 结果-容差分析
6M2i?c vM$#m1L? c"jhbH!u4 8DmX4* VirtualLab Fusion一瞥
#&HarBxx lVO(9sl*i wZ#~+ }T TO8\4p*tE VirtualLab Fusion中的工作流程
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构建光栅结构
4%Wn}@ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
*PA1iNdKS −倾斜光栅高级设定[用例]
=h1 QN •光栅衍射效率分析
2T{-J!k −光栅阶序分析器[用例]
^Ypb"Wx8 •使用参数优化进行光栅参数优化
Rg!aKdDl$ •使用参数运行的容差分析
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