摘要
wh 0<Uv ~Y5l+EF# 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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QHf$f@bjI !7lj>B A> 结果-容差分析
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8?TKN~ja J$uM 03 结果-容差分析
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sB}]yw '|K.k6 VirtualLab Fusion一瞥
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2@@l {Y0f6 5P^ U_ VirtualLab Fusion中的工作流程
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@}Lj 构建光栅结构
}#9(Mul −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
K\=8eg93Z −倾斜光栅高级设定[用例]
vX1uR]A[ •光栅衍射效率分析
~2%3FV^ −光栅阶序分析器[用例]
:Am-8 •使用参数优化进行光栅参数优化
6o}V@UzqV •使用参数运行的容差分析
\tt'm\_ :=g.o;(/N
7s>a2 &W_th\% VirtualLab Fusion技术
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