[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 m%[
2x#  
b$$L]$q2  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Ow&'sR'CX  
?-6x]l=]  
EssUyF-jwU  
)eedfb1
  
设计任务 aGzdur  
ah&plaVzC  
L}sm R,  
1PT_1[eAR  
1级参数优化 BzG!Rg|J  
KI?1(L  
q}76aa0e  
JwG5#CFu^  
结果-容差分析 L^ jC& dF  
;r@R (Squ  
3Jk?)Dy  
>=q!!'$:  
结果-容差分析 `X]2iz
 
HU.6L'H*  
@0@'6J04  
)*QTxN  
VirtualLab Fusion一瞥 =*)O80oaW  
[2fiHE  
vEee/+1?  
0_xcrM  
VirtualLab Fusion中的工作流程 snk{u/0Xm  
%?{2uMfq-f  
构建光栅结构 YI(OrR;V  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #p9z#kin  
−倾斜光栅高级设定[用例] :R?| 2l  
•光栅衍射效率分析 }mS0{rxD4  
−光栅阶序分析器[用例] B[m{2XzGH  
•使用参数优化进行光栅参数优化 4sD:J-c  
•使用参数运行的容差分析 t;~`Lm@hY  
/ )u,Oa  
v(nQd6;T  
7J_f/st  
VirtualLab Fusion技术 L
yPBFo[?  
#di_V"  
~X(xa  

了解一下光栅。