摘要
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对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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yE}}c{hSn GB$;n? 设计任务
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C:PMewn kS bu]AB 1级
参数优化
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Y#n'& ?b(=1S\E'^
6Yx4lWBR? gbH<]? 结果-容差分析
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{q"OM*L( 1oc3$A 结果-容差分析
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&l!4mxwr` 3AU;>D ^5 VirtualLab Fusion一瞥
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YB-h.1T- .&DhN#EN0 VirtualLab Fusion中的工作流程
7Zlw^'q$:L eAE`#t 构建光栅结构
7 @D@ucL −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
`$ 6rz −倾斜光栅高级设定[用例]
'.:z&gSqx0 •光栅衍射效率分析
G"h'_7 −光栅阶序分析器[用例]
vX/T3WV
•使用参数优化进行光栅参数优化
LDPUD' •使用参数运行的容差分析
hDF@'G8F wOU_*uY@6'
G3Z)Z)N &5yVxL: VirtualLab Fusion技术
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