摘要
~3,k8C"pRq ~"}o^#@DwJ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Ar 设计任务
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K4K]oT cPbAR' 1级
参数优化
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w$4*/D}Y hG8<@ 结果-容差分析
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J`xCd/G M~,N~ N1 结果-容差分析
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4I!g?Moh j`:D BO&)\ VirtualLab Fusion一瞥
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Eu|O<9U\ S?<hs,
VirtualLab Fusion中的工作流程
X<mlaXwrA x".!&5 构建光栅结构
gnN"6r1 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
xZ(ryE% −倾斜光栅高级设定[用例]
)];Bo.QA •光栅衍射效率分析
CRs@x` 5ue −光栅阶序分析器[用例]
FW)VyVFmk •使用参数优化进行光栅参数优化
p-XO4Pc6 •使用参数运行的容差分析
e6gLYhf& ToX--w4
vo>i36 =:BTv[lv VirtualLab Fusion技术
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