摘要
[zXKS| $cl[Qcw 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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%=p:\+`VI #'`!*VI 设计任务
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5\\#kjjx 7D'-^#S5 1级
参数优化
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/zt9;^e V+\L@mz; 结果-容差分析
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I+JWDYk ku2gFO 结果-容差分析
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$qz(9M(m# yH`4sd VirtualLab Fusion一瞥
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D.7,xgH {?2jvv VirtualLab Fusion中的工作流程
K&L9Ue VSm[80iR0 构建光栅结构
!v/j*'L<M} −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Qu 7#^%= −倾斜光栅高级设定[用例]
Iw07P2 •光栅衍射效率分析
B #o/3 −光栅阶序分析器[用例]
3K{XT), •使用参数优化进行光栅参数优化
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•使用参数运行的容差分析
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?(C(9vO `/|S.a#g VirtualLab Fusion技术
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