[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 D 38$`j  
!?
p%xj?  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 u7\J\r4,+  
=Z+nz^'b  
V_RTI.3p  
#Jn_c0  
设计任务 v!Pb`LCqK  
OjF_ %5  
)XakJU^o  
WZ7BoDa7O  
1级参数优化 H!nr^l'+  
oCi=4#g%7  
v<OJ69J  
B}?5]N==]  
结果-容差分析 'wI"Bo6e  
"@d[h,TM  
qg!|l7e  
j>x-"9N  
结果-容差分析 l>{R`BZ/  
mc_ch$r!  
[}8|R0KF  
YZ7|K<   
VirtualLab Fusion一瞥 < hO /jB  
n;U`m$vL%  
Y$Y_fjd_  
rN<b?KE  
VirtualLab Fusion中的工作流程 :GW&O /Yo  
;SaX;!`39+  
构建光栅结构 L19C<5>  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2eC(Ijq[a  
−倾斜光栅高级设定[用例] oiyzHx  
•光栅衍射效率分析 T[4<R 5}  
−光栅阶序分析器[用例] 92d6U2T4&  
•使用参数优化进行光栅参数优化 : G`hm{  
•使用参数运行的容差分析 bH2MdU  
~r$jza~o(  

rEv*)W  
'XofD}dm  
VirtualLab Fusion技术 gV`=jAE_  
4RV%Z!kcD!  
AfP'EP0m  

了解一下光栅。