摘要
~;]zEq-hG `ItoL7bi 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
9a+Y )?z 9* 3;v;F
{0a\<l nvwf!iU6 设计任务
:|ahu xj8z*fC;
n!SHExBp yDZm)|<. 1级
参数优化
aY.cx1" nJYIkfdA
jy>?+hm? @T L|\T 结果-容差分析
K8[Um!( ]n"RPktx
e9/Mjq\ 0!0o[3* 结果-容差分析
<ty]z!B 2)0J@r'
w 2U302TZ `J03t\ VirtualLab Fusion一瞥
&\cS{35 A*/8j\{n
b3 =Z~iLv I7=A!C" VirtualLab Fusion中的工作流程
\ %MsG q7soV(P 构建光栅结构
1\aTA, −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
iV#A-9 −倾斜光栅高级设定[用例]
d@a<Eq •光栅衍射效率分析
)'RaMo` 4 −光栅阶序分析器[用例]
7mXXMm •使用参数优化进行光栅参数优化
oqbz!dM(Z •使用参数运行的容差分析
?D)$OCS :IJ<Mmb
W4k$m2 84e8z { VirtualLab Fusion技术
3< 6h~ek) 9v-Y*\!w.
,:'JJZg@