[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 #Tr>[ZC  
fj/sN HU  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }D/O cp~o  
,3m]jp'  

图片:1-19110G51512293.png

BA1|%:.   
gM0^k6bB8  
设计任务 C4Tn  
u]D>O$_ s  

图片:1-19110G51541c6.png

V*$(Tt(  
}qqE2;{ND  
1级参数优化 'aq9]D_k  
n$jOk |W  

图片:1-19110G516302b.png


\0{g~cU4  
0n'~wz"wB  
结果-容差分析 b1("(,r/`  
}I1A4=d  

图片:1-19110G51HWc.png

HQpw2bdy  
Qh3V[br  
结果-容差分析 V_>)m3zsL  
stb)Tl^  

图片:1-19110G51K2c1.png

Usa  
i?*_-NAm  
VirtualLab Fusion一瞥 Oq7R^t`b  
n@hf{hA[a  

图片:1-19110G51Q9D8.png

jK!Y-  
c
`hj^t  
VirtualLab Fusion中的工作流程 r35'U#VMk?  
zW,Nv>Ac5  
构建光栅结构 (Wj2%*NT  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] N@oNg}D&:  
−倾斜光栅高级设定[用例] 8Wa&&YTB  
•光栅衍射效率分析 3?}W0dZ$d  
−光栅阶序分析器[用例] {3jV ,S  
•使用参数优化进行光栅参数优化 #Cw
zk{p(  
•使用参数运行的容差分析 RR%[]M#_T  
E(0(q#n  

图片:1-19110G51933119.png

%LL*V|  
m((A  
VirtualLab Fusion技术 SM<kR1bo  
ndsu}:my  

图片:1-19110G52045463.png

3#IU^6l:1S  

了解一下光栅。