摘要
H{XW?O^@ ;PHnv5 x@f 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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u<8Q[_E& m88~+o<G% 设计任务
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H xlw1(zS 9C.cz\E 1级
参数优化
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M,@SUu v" !eq]V9 结果-容差分析
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(wfg84 <H)@vW]_ VirtualLab Fusion一瞥
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UE4#j\ M($},xAvDU VirtualLab Fusion中的工作流程
@}gdOaw GCKl[<9* 构建光栅结构
A-io-P7qyj −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
39j d}]e −倾斜光栅高级设定[用例]
=gIYa •光栅衍射效率分析
7q 2YsI −光栅阶序分析器[用例]
fh^_=R(/ •使用参数优化进行光栅参数优化
0- UeFy •使用参数运行的容差分析
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9zyN8v2 IO#W#wW$M VirtualLab Fusion技术
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