摘要
gj[ >p=Wn E5*-;>2c 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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MOP]\ypn m)@Q_{=6M 设计任务
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_b0S /[Bl 1级
参数优化
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.'5'0lR5 l5=u3r9WYC 结果-容差分析
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r7Nu>[r5 "JzfL(yt VirtualLab Fusion一瞥
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O<z VirtualLab Fusion中的工作流程
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A)b`1lI 构建光栅结构
bbd0ocva −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
m!#_CQ: −倾斜光栅高级设定[用例]
<\, &:< •光栅衍射效率分析
7<EJo$-j −光栅阶序分析器[用例]
uQ:Qb| •使用参数优化进行光栅参数优化
gI)w^7Gi •使用参数运行的容差分析
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0=OD?48< o-SRSu VirtualLab Fusion技术
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