摘要 8>hwK )av
P3$Q&^?
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8J$|NYv_b
x
}Ad_#q
Z}$TKO*u
nRyU]=-X
设计任务 X 1
57$
-py@DzK
{~Rk2:gx
,eTU/Q>{,&
1级参数优化 1UPC e
S$QG.K:<!
ns6(cJ^a
hzk cP
结果-容差分析 th;{V%:LW
:POj6j/
[Xb@Wh:yG
g+J-Zg6
结果-容差分析 5[c^TJ3
H\TI[JPAl
gNt(,_]ZR
j4qJ.i
VirtualLab Fusion一瞥 &mb{.=
293M\5:
oYukLr
: |>Gc39`t
VirtualLab Fusion中的工作流程 C=eF.FB;'
r-:Uz\gM
构建光栅结构 vM5k_D
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] r zt Ru
−倾斜光栅高级设定[用例] l<A|d{" ]
•光栅衍射效率分析 oH_;4QU4y
−光栅阶序分析器[用例] |UX(+;n
•使用参数优化进行光栅参数优化 G K7![p
•使用参数运行的容差分析 Mnscb
HSc~*Q
9jw\s P@
thI
F&
VirtualLab Fusion技术 u:=7l
B]Thn
)c)vTZy