摘要
gN2oUbf8 lNsdbyV' 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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EOZ 6F-': w~q ]& 设计任务
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N4z[=b> 'd|!Hr<2 1级
参数优化
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-G~/ GO tZv^uuEp3 结果-容差分析
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!RPE-S m[%':^vSr 结果-容差分析
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jhPbh5E d>NO}MR VirtualLab Fusion一瞥
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@lX%Fix9 s)fahc(@E VirtualLab Fusion中的工作流程
rT=C/SKP HI{h>g T 构建光栅结构
d#XgO5eyO −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Uf|uFGb −倾斜光栅高级设定[用例]
}& W= •光栅衍射效率分析
>tPf.xI|l −光栅阶序分析器[用例]
vQp'bRR •使用参数优化进行光栅参数优化
:?j=MV •使用参数运行的容差分析
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NMfHrYHbh 6K )K%a,9 VirtualLab Fusion技术
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