[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ;".]W;I*O  
a[J_
H$6H!  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 {w]L'0ES[  
 dK]#..  
!Hj 7|5  
" t,ZO  
设计任务 X]s="^  
2 ;Q|h$n  
!3\( d{  
EV_u8?va  
1级参数优化 X\5EF7:S  
Er|j\(jM  
 >1q:-^  
X3l6b+p  
结果-容差分析 ,<;.'r  
\cQ+9e)  
`m\ ?gsw7  
dZAb':  
结果-容差分析 (]$&.gE.F  
*Tq7[v{0*|  
C^!~WFy  
}BiA@
n,  
VirtualLab Fusion一瞥 uk3PoB^>  
alyA#zao|  
h4c4!S  
$SU<KNMZ  
VirtualLab Fusion中的工作流程 >~uKkQ_p  
*a`_,Q{x  
构建光栅结构 *7C l1o  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~uuM
0POo  
−倾斜光栅高级设定[用例] j^ttTq|l  
•光栅衍射效率分析 VW:Voc  
−光栅阶序分析器[用例] Se[>z(  
•使用参数优化进行光栅参数优化 =j8g6#'u  
•使用参数运行的容差分析 L7N>p4h]Xj  
)SfM`W)Y  
=!=DISPo  
*s!T$oc  
VirtualLab Fusion技术 +Rq]_sDu  
/Tp>aW%}"  
sd |c/ayh~  

了解一下光栅。