摘要
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zJ-tEO 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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~\JB)ca. |K1S(m<F 设计任务
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YCiG~y/~ ,5 ka{Q`K 1级
参数优化
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g)czJ=T2 *fc8M(]&d 结果-容差分析
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E !5O 结果-容差分析
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xcw:H&\w6 .zZfP+Q]8 VirtualLab Fusion一瞥
6Sd:5eTEQ M}o.= Iqa
m+'1c}n^7 o4p5`jOG@ VirtualLab Fusion中的工作流程
[Ix6ArY HDKF>S_S 构建光栅结构
Jn{)CZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
L;opQ~g −倾斜光栅高级设定[用例]
LmJjO:W}^y •光栅衍射效率分析
4ct-K)Ris −光栅阶序分析器[用例]
&6CDIxH{ •使用参数优化进行光栅参数优化
acS~%^"<_ •使用参数运行的容差分析
?MFC(Wsh
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F}l3\uC] t`Bk2Cc)+ VirtualLab Fusion技术
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