[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 )Iq<+IJ  
G<^{&E+=  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 rI-%be==  
AlW66YAuQ  
U2~kJ  
5RpjN: 3  
设计任务 =6|&Jt  
VgC2+APg  
,$+V  
klR|6u]%  
1级参数优化 f
! .<$ih  
r!a3\ep  
B i<Q=x'Z;  
B[?CbU  
结果-容差分析 @<]Ekkg  
'1)$'
 
\qK&q  
yw3$2EW  
结果-容差分析 .JiziFJ@mj  
g]yBA7/S"  
A;|D:;x3G  
qXtC^n@x  
VirtualLab Fusion一瞥 %(G* ,  
JNUt$h  
xZF}D/S?Ov  
Jy
Oo1E.  
VirtualLab Fusion中的工作流程 f/Bp.YwL  
@w!PaP  
构建光栅结构 "?I y(*^  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ce3YCflt  
−倾斜光栅高级设定[用例] FA3~|Zg  
•光栅衍射效率分析 l.bYE/F0&  
−光栅阶序分析器[用例] s1=G;  
•使用参数优化进行光栅参数优化 EeRX+BM,  
•使用参数运行的容差分析 YgV817OV  
GMl;7?RA  
.oUTqki  
z}ddqZ27G$  
VirtualLab Fusion技术 J9iy  

K_ ~"}  
s^uS1  

了解一下光栅。