[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 y,Dfqt  
7:bqh$3!s  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 V X211U.Q  
5wGyM10  
Plm3vk=  
dr'6N1B@  
设计任务 "_?^uymw  
g](m& O  
`e`4
[I  
pKr3(5~  
1级参数优化 >4h4t/G  
1$".7}M4$  
ffE%{B?  
Yd/qcC(&  
结果-容差分析 T,WWQm  
t{?_]2vl  
RL)'m  
K''b)v X4  
结果-容差分析 >!bYuV
HA  
^e&
,<+qY  
Kl+
*Sp!  
0n(Q@O  
VirtualLab Fusion一瞥 T}u'  
$1Xg[>1g5  
foL`{fA  
AiO,zjM=  
VirtualLab Fusion中的工作流程 N>]u;HjH  
_10#rucr  
构建光栅结构 YI\^hP#  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] fl)Oto7  
−倾斜光栅高级设定[用例] -P.) 0d(  
•光栅衍射效率分析 YVs{\1|'  
−光栅阶序分析器[用例] 4pc=MR  
•使用参数优化进行光栅参数优化 >fb*X'Zi%  
•使用参数运行的容差分析 L G=Q  
vW]BOzK  
F6q}(+9i  
4Pz9&
^K  
VirtualLab Fusion技术 WX?|iw I~  
Ge97e/CY  
aZBaIl6I  

了解一下光栅。