[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要
QkQ!Ep(  
!wE}(0BTx  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 h4)Bs\==mT  
@S^ASDuQU7  

图片:1-19110G51512293.png

6RoAl$}'  
h6v077qG  
设计任务 !*{q^IO9v&  
.0p^W9  

图片:1-19110G51541c6.png

swcd&~9r  
nZk+  
1级参数优化 vFv3'b$;G  
ztll}  

图片:1-19110G516302b.png

"ju'UOcS/  
wT,R0~V0
 
结果-容差分析 !t#F/C  
vB'>[jvA|  

图片:1-19110G51HWc.png

bHE2,;o  
3=mr "&]r:  
结果-容差分析 v,@F|c?_S  
qv*7K@  

图片:1-19110G51K2c1.png

7[pBUDA  
;C.S3}  
VirtualLab Fusion一瞥 L%"LlSg  
YJV%a  

图片:1-19110G51Q9D8.png

tc+WWDP#"
 
w_tJ7pz8T  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ^teq[l$;  
~`ny@WD9  
构建光栅结构 p'_%aVm7  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $g0+,ll[6  
−倾斜光栅高级设定[用例] o5U(
i  
•光栅衍射效率分析 $sHP\{  
−光栅阶序分析器[用例] GLMm(  
•使用参数优化进行光栅参数优化 M5357Q  
•使用参数运行的容差分析 mHc>"^R  
, t5 '  

图片:1-19110G51933119.png

tBbOY}.VD  
]:M0Kj&h  
VirtualLab Fusion技术 
E H:T  
i%m"@7.kk  

图片:1-19110G52045463.png

tJViA`@x  

了解一下光栅。