摘要 kx07Ium
PZhpp"
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 S/Gy:GIf
c'Zs2s7$
h;t5v6["
k[/`G5
设计任务 F/U38[
eG%Q
3h
+tp@Tb
LAv!s/ O$=
1级参数优化 7hl,dtn7
cfUG)-]P~
;1>)p x**
SAN/fnM
结果-容差分析 99?:
9g
+t<'{KZ7;
laGIu0s{
~k/GmH
结果-容差分析 )r6d3-p1
!z?;L_Lb
mW_ N-z
0 A6%!h
VirtualLab Fusion一瞥 mY!&*nYn|
K)TMr"j\
IGcYPL\&
ZqJyuTPv
VirtualLab Fusion中的工作流程 ^26}8vt
(-esUOB.
构建光栅结构 qb>mUS
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] wQ~F%rQ$
−倾斜光栅高级设定[用例] F@jyTIS^
•光栅衍射效率分析 HbQ+:B]
−光栅阶序分析器[用例] 1|3{.Ed
•使用参数优化进行光栅参数优化 m7NrS?7
•使用参数运行的容差分析 [qQ~\]
"D.`:9sk0
_U`1BmTC2
FAF+ }
VirtualLab Fusion技术 T`SpIdzB.
,|Lf6k
xGo,x+U*