摘要
lwIU|T<4 ~Aq;g$IJZ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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g!(j.xe DJr{;t$7~ 设计任务
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}:P/eY H.qp~-n 1级
参数优化
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*D!$gfa tbrjTeC 结果-容差分析
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lPFT)>(+@ SE&J)Sj] 结果-容差分析
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8*V^DM3n- vG`R. VirtualLab Fusion一瞥
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dp\pkx7 xH!{;i VirtualLab Fusion中的工作流程
jk,:IG w0(A7L:L 构建光栅结构
*6=2UJcJ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
^noKk6Aaa −倾斜光栅高级设定[用例]
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l&hwte •光栅衍射效率分析
WQv%57+
−光栅阶序分析器[用例]
g+|1khS) •使用参数优化进行光栅参数优化
,E2Tw-% •使用参数运行的容差分析
TC;2K,.#k tYK
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BR*,E~% . S4Xw2MS VirtualLab Fusion技术
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