摘要
G@8)3 @ p+d-7'?I 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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WZ CI*' J@3, 设计任务
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参数优化
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Sc<dxY@w7- 384n1? 结果-容差分析
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f{sT*_at +-izC%G 结果-容差分析
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&W<7!U:2m =*\s`ox` VirtualLab Fusion一瞥
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z*.AuEK? ]Ry9{: VirtualLab Fusion中的工作流程
S=@+qcI &.A_d+K& 构建光栅结构
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−使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
pBsb>wvej −倾斜光栅高级设定[用例]
3?93Pj3oPt •光栅衍射效率分析
!<[+u −光栅阶序分析器[用例]
q<YM,%mgj •使用参数优化进行光栅参数优化
Oa[ •使用参数运行的容差分析
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W}(A8g#6 [txOh!sxD VirtualLab Fusion技术
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