摘要
=},{8fZ4 EavX8r 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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>(OYK }ZN =q5@,wN^ 设计任务
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L;j OT;cfkf7 1级
参数优化
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NHAH#7]M&1 ogJ<e_ m 结果-容差分析
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VGB-h' ; :T9IL 结果-容差分析
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|(RZ/d<X\a ULIFSd Y VirtualLab Fusion一瞥
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ED/FlL{ l2s{~ IC VirtualLab Fusion中的工作流程
`s%QeAde &XtRLt gS 构建光栅结构
x W\,KSK −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
;_N "Fdl −倾斜光栅高级设定[用例]
NpR6 •光栅衍射效率分析
]-a{IWVN −光栅阶序分析器[用例]
A="f j •使用参数优化进行光栅参数优化
$_FZn'Db6 •使用参数运行的容差分析
s1 =+:: `kPc!I7Y 
wVE:X3Ei (6clq:c7j VirtualLab Fusion技术
)
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