摘要
(c>g7d<>n r=&,2meo 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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'Y /0:) y?&hA!x 设计任务
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#D4 QXZyiJX} 1级
参数优化
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~ aknIrblS\ 结果-容差分析
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~<?Zj O|V0WiY< VirtualLab Fusion一瞥
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hhze5_$_ kU[hB1D5 VirtualLab Fusion中的工作流程
~= *o 7a1o#O 构建光栅结构
x%l(0K −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
{5~h −倾斜光栅高级设定[用例]
o{G*7V@H •光栅衍射效率分析
n@8Y6+7i −光栅阶序分析器[用例]
Cgx:6TRS •使用参数优化进行光栅参数优化
d ItfR'$ •使用参数运行的容差分析
oFj_o [ ,;e,ld
Jt=-> o]q~sJVk6 VirtualLab Fusion技术
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