摘要 ;$E~ZT4p
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 FN{H\W1cf
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设计任务 v
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1级参数优化 AQJ|^'%
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结果-容差分析 !;xf>API
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VirtualLab Fusion一瞥 T2/v}
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VirtualLab Fusion中的工作流程 *Dd(+NI
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构建光栅结构 #Of<1
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] X$j|/))
−倾斜光栅高级设定[用例] n;S0fg
•光栅衍射效率分析
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−光栅阶序分析器[用例] gnKU\>2k
•使用参数优化进行光栅参数优化 O|^6UH
•使用参数运行的容差分析 @@&@}IQcR1
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VirtualLab Fusion技术 C[J`x>-K
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