摘要
OR a!84L )T#;1qNB 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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MV$>|^'em !gy'_Y 设计任务
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= 1级
参数优化
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|k&.1NkZ ~B(]0: 结果-容差分析
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Dr`\ =(v!pEF 结果-容差分析
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n{BC m % (53dl(L? VirtualLab Fusion一瞥
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JIb<>X, '0
(Bb VirtualLab Fusion中的工作流程
S$+ v? Y`) `r*6P^P 构建光栅结构
g#[9O'H −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
";s5It
−倾斜光栅高级设定[用例]
phXVuQ •光栅衍射效率分析
iZMsN*9[ −光栅阶序分析器[用例]
$:u,6|QsS= •使用参数优化进行光栅参数优化
7v,>sX •使用参数运行的容差分析
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4
>&%-BhN lR.a3.~ VirtualLab Fusion技术
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