[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 0dhaAq`k  
c+$*$|t=v`  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Ix=}
+K/  
m(#LhlX  

图片:1-19110G51512293.png

5Qn '  
ZR?yDgL  
设计任务 Ww%=1M]e-  
:~T99^$zA  

图片:1-19110G51541c6.png

j=aI9p  
'JfdV%M  
1级参数优化 D9 |n)f  
\GZM&Zd  

图片:1-19110G516302b.png

( _)jkI \  
$5<#n@  
结果-容差分析 @jSYB+D  
P} SCF  

图片:1-19110G51HWc.png

_p&]|~a  
2Yn <2U/^R  
结果-容差分析 X4E%2-m@'  
_5# y06Q  

图片:1-19110G51K2c1.png

-~30)J=e`  
Md2>3-  
VirtualLab Fusion一瞥 4.=3M  
)V6Hl@v  

图片:1-19110G51Q9D8.png

/!$c/QZ  
sOJQ,"sB  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ~ZEmU
LKkR  
M#VE]J  
构建光栅结构 vUU9$x  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Q/_f zg  
−倾斜光栅高级设定[用例]
EzV96+  
•光栅衍射效率分析 db6b-Y{
 
−光栅阶序分析器[用例] OJ$]V,Z00x  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ]0)|7TV*  
•使用参数运行的容差分析 t&CJ%XP  
af+IP_6 .  

图片:1-19110G51933119.png

%i-c0|,T4  
&<J[Q%2  
VirtualLab Fusion技术 m{uxIza  
@zz1hU  

图片:1-19110G52045463.png

s
q[iY  

了解一下光栅。