摘要
kVQKP U $r9Sn 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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./)A6O*# ]~ )FMWQz- 设计任务
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'6fMF#X4F "a;JQ: 1级
参数优化
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G1vWHa7n;f 结果-容差分析
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I2qC,Nkk SPeSe/ VirtualLab Fusion一瞥
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!t{3IE M/ 0!B_(R VirtualLab Fusion中的工作流程
'u{m37ZJ Zk)]=<H 构建光栅结构
Gb<)U[Hfd −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
,+KZn}> −倾斜光栅高级设定[用例]
S>aN# •光栅衍射效率分析
u} JL*}Q −光栅阶序分析器[用例]
IR?ICXmtx •使用参数优化进行光栅参数优化
# h]m8 •使用参数运行的容差分析
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Ti!j vdYd~>w VirtualLab Fusion技术
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