摘要 DpeJx
l&qyLL2
w
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?e4H{Y/M
6-tIe_5
Z2`M8xEiH
7l/lY-zO
设计任务 M!mw6';k
=+Odu
4c{j9mh
t 4zUj%F
1级参数优化 9-q> W
QV HI}3~
!iNwJ|0
K(PSGlI f
结果-容差分析 m;hp1VO)
@t1pB]O:
1KGf @u%-1
tKcC{
结果-容差分析 MBw;+'93qf
C'y2!Q/"
!sEhjJV^7
>i >|]
VirtualLab Fusion一瞥 =T6 ~89
8Dtpb7\o
)g^qgxnnV
9QB,%K_:4
VirtualLab Fusion中的工作流程 oQ/T5cOj
lw}7kp4
2F
构建光栅结构 *QWOWg4w
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 6|
o S 5
−倾斜光栅高级设定[用例] yocFdI
•光栅衍射效率分析 T?d}IDv1
−光栅阶序分析器[用例] gp{C89gP
•使用参数优化进行光栅参数优化
~/)]`w
•使用参数运行的容差分析 7NWkN7:B
vY|YqWt
+
jeOZ
/3^XJb$Sa
VirtualLab Fusion技术 DCZG'eb
f(blqO.@l
$oM>?h_=