摘要
@R;k@b (u@X5O(a 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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T_wh)B4xW t<}N>%ZO 设计任务
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e1V1Ae 1级
参数优化
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Wzffp}V %<O~eXY 结果-容差分析
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LV$Ko_9eA HHgv,bC! VirtualLab Fusion一瞥
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<dXeP/1w` VirtualLab Fusion中的工作流程
Tk 'Pv F_/ra?WVH 构建光栅结构
W"t^t|H'~ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
$Dv5TUKw −倾斜光栅高级设定[用例]
5w~J"P6jg •光栅衍射效率分析
8090+ (U −光栅阶序分析器[用例]
^,f^YL; •使用参数优化进行光栅参数优化
_T805<aUW\ •使用参数运行的容差分析
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#Lk~{ b8%TwYp VirtualLab Fusion技术
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