[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 $ay!'MK0d  
\-pqqSy  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (H5#r2h%Y
 
~`Rar2%B  

图片:1-19110G51512293.png

e!PB3I  
%&_^I*  
设计任务 w >2sr^!y  
.XqeO@z  

图片:1-19110G51541c6.png

6I: 6+n  
Unv'm5/L  
1级参数优化
#|4G,!  
7O'.KoMw  

图片:1-19110G516302b.png

n\)1Bz  
`LNhamp  
结果-容差分析 j g//I<D  
0^R, d M  

图片:1-19110G51HWc.png

I 1n,c d[  
5[g\.yi2_]  
结果-容差分析 ;@T0wd_i|  
q8&l%-d`  

图片:1-19110G51K2c1.png

4w~%MZA^  
;}iB9 Tl  
VirtualLab Fusion一瞥 ^~I@]5Pq  
$,2T~1tE  

图片:1-19110G51Q9D8.png

jQzl!f1c3  
Nf^<pT[*  
VirtualLab Fusion中的工作流程
[nZIV  
:IU7dpwDl  
构建光栅结构 !b7"K|  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }04mJY[  
−倾斜光栅高级设定[用例] w6Nnx5Ay  
•光栅衍射效率分析 R2n 2mQ<  
−光栅阶序分析器[用例] qxb]UV,R  
•使用参数优化进行光栅参数优化 G~o!u8^;  
•使用参数运行的容差分析 2?GMKd)  
#H w(w  

图片:1-19110G51933119.png

9M;t4Um  
Qw:!Rw,x  
VirtualLab Fusion技术 >xabn*Kq  
i
?Pnyi  

图片:1-19110G52045463.png

IC&P-X_aP  

了解一下光栅。