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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 i$^B-
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1级参数优化 D@\;@(
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结果-容差分析 p;u 1{
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VirtualLab Fusion一瞥 &(1H!
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ?AnjD8i
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构建光栅结构 *!g 24
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ZMoJ#p(
−倾斜光栅高级设定[用例] eB=v~I3
•光栅衍射效率分析 V \6(d
−光栅阶序分析器[用例] /Fe:h>6
•使用参数优化进行光栅参数优化 ,jRcl!n`
•使用参数运行的容差分析 H\fcY p6
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VirtualLab Fusion技术 &:c:9w
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