摘要
ADz|Y~V! BniVZCct 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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2Hwf:S' bM3e7olWS 设计任务
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^D[;JV *60)Vo.= 1级
参数优化
<);u]0 r1atyK
}>U03aa! [1CxMk~"[ 结果-容差分析
TaT&x_v^~a { rn~D5R
[rsAY&. P[i/o# 结果-容差分析
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T9?_ `h Y%@'a~ VirtualLab Fusion一瞥
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'~J6mojE Su #1yw> VirtualLab Fusion中的工作流程
rzLlM \_bX2Lg 构建光栅结构
>.4Sx~VH2 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
+8I0.,' −倾斜光栅高级设定[用例]
r
|/9Dn% •光栅衍射效率分析
h+(s/o?\ −光栅阶序分析器[用例]
blv6 •使用参数优化进行光栅参数优化
_P1-d`b0 a •使用参数运行的容差分析
W:J00rsv=` Z9I./s9
N> Y3[G+ PQr
N";+ VirtualLab Fusion技术
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