摘要
F=e-jKogK z?( b|v 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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qZ&~&f|>e 0U H] 设计任务
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x~wS/y
w( _42)v]g 1级
参数优化
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R P^48]Kj7
%.?V\l 0bT[05. 结果-容差分析
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o:fe`#t u3GBAjPsIk 结果-容差分析
S2_(lS+R FROC/'
%^vT7c> )>S,#_e*b VirtualLab Fusion一瞥
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?Ve IlD ;R[3nb9% VirtualLab Fusion中的工作流程
r$}C<a[U \Z&Nd;o 构建光栅结构
#/f~LTE −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
13`Mt1R −倾斜光栅高级设定[用例]
mbGma •光栅衍射效率分析
xZlCFu −光栅阶序分析器[用例]
V3cKbk7~ •使用参数优化进行光栅参数优化
aR/?YKA •使用参数运行的容差分析
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e VirtualLab Fusion技术
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