摘要
Rcf_31 L K3?7Hndf2 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
+J$[RxQ# E'$r#k:o
au574tj d>NElug 设计任务
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v 4(!~S !yH&l6s 1级
参数优化
E$f.&<>T c3!d4mC:
,g{`M]Ov S8<O$^L^ 结果-容差分析
"sf8~P9qy iO3@2J
of8/~VO A[;R_ 结果-容差分析
M'HmVg4' h5x FP
+=Crfvt j,Qp*b#Qo VirtualLab Fusion一瞥
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N(]6pG=
6I72;e^! VirtualLab Fusion中的工作流程
A%oHx|PD P$Xig 构建光栅结构
e!ar:>T −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
r.[!n)* −倾斜光栅高级设定[用例]
O|#^ &d •光栅衍射效率分析
1>4'YMdZi −光栅阶序分析器[用例]
D+N{'d?+ •使用参数优化进行光栅参数优化
sk$MJSE
~ •使用参数运行的容差分析
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XJC|6"n -JaC~v(0 VirtualLab Fusion技术
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