摘要
|F qujZz N,F [x0&? 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1]. 
EQ"+G[ j~x R[QBFL< 设计任务
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PM QlJ& w(*}, 1级
参数优化
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`@So6%3Y| f' Oj01[ 结果-容差分析
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?F_({im eEY z A VirtualLab Fusion一瞥
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_KZ TY`/* j?\z5i""f VirtualLab Fusion中的工作流程
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|+ it+! 构建光栅结构
l] ~IZTC −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
k[y^7, r −倾斜光栅高级设定[用例]
>.uIp4@( •光栅衍射效率分析
@E>I<j,D −光栅阶序分析器[用例]
WYIv&h <h" •使用参数优化进行光栅参数优化
/. >%IcK
•使用参数运行的容差分析
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Y+5aT(6O U.Y7]#P: VirtualLab Fusion技术
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