摘要
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /\0rRT
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设计任务 ][IEzeI_LN
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VirtualLab Fusion一瞥 v,VCbmc
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VirtualLab Fusion中的工作流程 +[R,wsG
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构建光栅结构 Fzc8) *w
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] P~H?[
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−倾斜光栅高级设定[用例] 1ab_^P
•光栅衍射效率分析 !)1gGXRY
−光栅阶序分析器[用例] iW
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•使用参数优化进行光栅参数优化
4.7 PL
•使用参数运行的容差分析 pr) `7VuKp
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VirtualLab Fusion技术 nsM=n}$5x
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