摘要
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6ucA XUA%3Xr 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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?:6w6GwAA >DAi-`e 设计任务
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Rm}G4Pq yZ)-=H 1级
参数优化
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@ V_i%=go 结果-容差分析
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"-\8Y>E ikO9p|J VirtualLab Fusion一瞥
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g9Ty%|Q7( Fzt7@VNxc VirtualLab Fusion中的工作流程
qC3PKlhv6 4ves|pLET 构建光栅结构
Tfx-h)oP3 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
53?Ati\Y) −倾斜光栅高级设定[用例]
LYiIJAZ. •光栅衍射效率分析
x`I"%pG −光栅阶序分析器[用例]
`XM0Mm% •使用参数优化进行光栅参数优化
+|H,N7a< •使用参数运行的容差分析
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J ~KygQ3% pktnX-Slt VirtualLab Fusion技术
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