摘要
1EU4/6!C 'lIs`Zc5N 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
ZSf &M MCN>3/81
'rhgM/I 'jt7H{M 设计任务
JM7mQ'`Ud Lc!2'Do;
:^7w sVyV|!K 1级
参数优化
0F[f%2j :T-DxP/
b
3x|Dq . $zP5Hzx 结果-容差分析
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R"W}\0k FGDVBUY@
结果-容差分析
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lu.]R>w QFP9"FM5F VirtualLab Fusion一瞥
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P j Gxw1P@<F: VirtualLab Fusion中的工作流程
6ll!7U(9( "B QnP9 构建光栅结构
|5 V0_79
−使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
-8l<5g7 −倾斜光栅高级设定[用例]
01A{\O1$j •光栅衍射效率分析
A.>mk598 −光栅阶序分析器[用例]
vT?^# •使用参数优化进行光栅参数优化
k8D_ •使用参数运行的容差分析
4>,X.|9{ A3eCI
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B VirtualLab Fusion技术
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