摘要
ErY-`8U" ;7bY>zc(w 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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.tt= \R , \R,O 设计任务
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'^~38=FA Xr$hQbl5D 1级
参数优化
*D;VZs0O *[0)]|r
cvO;xR e3x;(@j 结果-容差分析
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'( ">rt *?^ 结果-容差分析
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FN29 5:Iuw 4Vrx9 sA1 VirtualLab Fusion一瞥
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b%M|R%)] I<L<xwh1(E VirtualLab Fusion中的工作流程
Z=CY6Zu7 $,#,yl ol 构建光栅结构
J&jig?t −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
O!.mc=Gx7 −倾斜光栅高级设定[用例]
SM8m\c •光栅衍射效率分析
~[9(}UM −光栅阶序分析器[用例]
TM?7F2 •使用参数优化进行光栅参数优化
} P/
x@N •使用参数运行的容差分析
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*r]Mn~3 f+Da W VirtualLab Fusion技术
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