[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 > f
nh+M  
**9x?s  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ZkL8
e  
:B3[:Mp
L}  
OsBo+fwT  
Jk@]tAwoM  
设计任务 |4$M]Mf0  
.2d9?p3Y  
vEf4HZ&w  
+$4(zPs@  
1级参数优化 4BnSqwa_  
#^m0aB7r  
)u))n#P  
b0iSn#$  
结果-容差分析 ^,m< 9  
DPi_O{W>  
X%yO5c\l2  
BA\/
YW @  
结果-容差分析 HhO".GA  
J>fQNW!{  
?X@fKAj  
n>@oBG)!  
VirtualLab Fusion一瞥 }Zl&]e
 
dJ$"l|$$  
@`\VBW  
*JggU  
VirtualLab Fusion中的工作流程 f0Bto/,>~  
&zs'/xv]  
构建光栅结构 @lJzr3}WZ  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 8r3A~  
−倾斜光栅高级设定[用例] P[s8JDqu  
•光栅衍射效率分析 o7IxJCL=Q  
−光栅阶序分析器[用例] ss;R8:5  
•使用参数优化进行光栅参数优化 +`?Y?L^ J  
•使用参数运行的容差分析 KNH1#30 K  
(sVi\R  
SG6sw]x  
^vG8#A}]  
VirtualLab Fusion技术 9UvXC)R1  
Mq';S^  
N !TW!  

了解一下光栅。