摘要
#):FXB$a rsP1?Hxq 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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hWUZn``U$| A5z`3T;1 设计任务
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lwK Au!l ?&Lb6(}e 1级
参数优化
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`InS8PLr Oh|Hy/&6W 结果-容差分析
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m:'fk;khN YpAjZQZ, 结果-容差分析
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c(@)V.o2 GU_R6Wt+ VirtualLab Fusion一瞥
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lwa Yw./V0Z{@ VirtualLab Fusion中的工作流程
"*?^'(yA@ ?-6oh~W< 构建光栅结构
%rYd=Ri −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
kMK-E<g −倾斜光栅高级设定[用例]
/S]<MS •光栅衍射效率分析
:] :q=1;c −光栅阶序分析器[用例]
,%Dn}mWu •使用参数优化进行光栅参数优化
]81P<Y(7 •使用参数运行的容差分析
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XO219 /-1[}h%U' VirtualLab Fusion技术
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