[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 NRisr  
<zuE=0P~%  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ti^v%+r1  
)7GLS\uf<%  

图片:1-19110G51512293.png

*O>aqu  
-fJ@R1]  
设计任务 1?|6odc  
T:dm0iau  

图片:1-19110G51541c6.png

PgLS\_B  
j yRSEk$  
1级参数优化 *frJ^ Ws{  
bz0P49%  

图片:1-19110G516302b.png

-I-Uh{)j  
_1<'"u#6w  
结果-容差分析 }b+QYSt  
K3:|Tc(
 

图片:1-19110G51HWc.png

^Opy6Bqb  
+xf
W`[.{  
结果-容差分析 fu<2t$Cn>  
?
[VpN2*  

图片:1-19110G51K2c1.png

@GQ8q]N:<  
}{
xN`pZ  
VirtualLab Fusion一瞥 v
X0"S  
qzA]2'~Q  

图片:1-19110G51Q9D8.png

8ts+'65|F  
{Mr~%y4  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Y^2Qxo3"3  
rN1U.FRe/
 
构建光栅结构 LkGf|yd_  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
]}[Yf  
−倾斜光栅高级设定[用例] xs'kO=  
•光栅衍射效率分析 <*"pr
a{3  
−光栅阶序分析器[用例] ml.;wB|  
•使用参数优化进行光栅参数优化 y168K[p  
•使用参数运行的容差分析 x}&a{;  
J+b!6t}mZn  

图片:1-19110G51933119.png

hyb +#R  
tB7K&ssi  
VirtualLab Fusion技术 /Pn.)Lxf
l  
*)bd1B#  

图片:1-19110G52045463.png

W 9Vz[  

了解一下光栅。