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摘要 E{JTy{z- 8i`T?KB 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 @]X!#&2> TTj] _R{n
nY1PRX\ AM!P?${a 建模任务 4jZt0 Lp$&eROFVs 6I=d0m.io 概述 ?P7QAolrr 8sDw:wTC •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kH0kf-4\ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lp$,`Uz` J^` pE^S
Gv)*[7 0[ n;ZL~ 光线追迹仿真 t9W* N\ U.^%7. •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i0x[w>\- •单击go! E(S$Q^ •获得了3D光线追迹结果。 4yxf/X) fH,h\0
'g)5vI~' A#~CZQY^$ 光线追迹仿真 GZ:1bV37% }darXtZKkK •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "$%&C%t •单击go! J{uqbrJICr •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 O'k<4'TC `a7b,d
uZ1G,9 R^I4_ZA 场追迹仿真 P)=$0kR3 IU}g[OCu •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "\afIYS I •单击go! G\f:H%[5[ w~9Y=|YI7 .0y .0=l a!x?Apww 场追迹仿真(相机探测器) Mm"0Ip2" x2]chN •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '! ;Xxe5 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 JHVesX QbAEWm
)!`>Q|]}Zd c30kb 场追迹仿真(电磁场探测器) +r =p,leb •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N*hx;k9 VelX+|w RjR ;&RHc#1F 场追迹仿真(电磁场探测器) 7bam`)n _vE[TFy •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'F8:|g xb(y15R\I
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