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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 [F6=JZ  
    VW'e&v1.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ff{ESFtD  
    -gC=%0sp\  
    55yP.@i9J  
     3S.rIai+  
    建模任务  [bv.`  
    X}? cAo2N  
    xorFz{  
    概述 ;f6G&>p  
    q Rtgk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -@i2]o  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8LkC/  
    ;GvyL>|-~  
     IOfo]p-  
    v3~,1)#aI  
    光线追迹仿真 2{&|%1Jg  
    tfdP#1E  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,Q}/#/  
    •单击go！ ~){*XJw6  
    •获得了3D光线追迹结果。 [#14atv  
    Kj'm<]u  
     SIbQs8h]  
    * y`^Fc  
    光线追迹仿真 ty7a&>G  
    Q}]Q0'X8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SYl :X   
    •单击go！ +z9;BPw %  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 g fO.Ky6  
    . vYGJ8(P  
     M,mj{OY~x  
    HeF[H\a<  
    场追迹仿真 E!ZDqq  
    o_={xrmIA  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 czedn_}%Q  
    •单击go！ ;/e!!P]jP  
    ]C]tLJ!M  
    b;S~`PL  
     u8o!ncy  
    场追迹仿真（相机探测器） T0aK1Lh  
    _|~2i1 Ms,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 m6g+ B>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @.MM-  
    lOZ.{0{f,  
     xb1)ZJH  
    abI[J]T9G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c) 1m4SB@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /T_tI R>  
    v< ;, x  
    />+JK5  
     J }JT%S W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :X@;XEol~  
     >5]Xl*{H)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ] niWRl  
    7E|0'PPR  
     ;'cv?3Y  
     
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