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摘要 Y*X6lo ALt";8Oa 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $O</akn;
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N+@@EOmH 建模任务 +?m=f}>W1 /z- C
:k\  _itN.^ 概述 T+{ 'W XxU}|jTO# •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P}u<NPy3Q •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6Q?6- ,?_ jnLu| W&
 *x` l1o 7X3l&J2C4l 光线追迹仿真 [x() ^{;2 {]m
e?I •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 V@xnz)^t •单击go！ 4a-F4j' •获得了3D光线追迹结果。 }sNZQ89V*v W)P_t"'@L
 |;1:$E " yaGVY*M0 光线追迹仿真 2{tJ '3 &CsBG?@Z| •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `2~Ea_Z •单击go！ [0
f6uIF •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DG9;6"HBX w 8@| b}
 Fi=8B&j lz5j~t5>Q 场追迹仿真 oDDH;Q"M( w [x+2 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /PuWJPy; •单击go！ %+JTQ y BTQC1;;N  WC&Ltw8
c oz}VMp 场追迹仿真（相机探测器） !8M'ms>s= s-DL=MD •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vPq\reKe •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /9 # jv]C: G7{: d
 Jg6[/7*m ~PvzU T-^ 场追迹仿真（电磁场探测器） 6$;)CO!h •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kqB 00
; IY6S\Gn  }u)G ERWO
cuk}VZ 场追迹仿真（电磁场探测器） LBi>D`]
pjn%CR`; •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w~-d4M NM ZDD|MH
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