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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 T!W~n ZC  
    vILy>QS)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 LflFe@2  
    ;d$qc<2uA  
    midsnG+jnf  
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    建模任务 ,%bhyww<  
    [~D|peM3  
    I &*_,d  
    概述 ^% Q|s#w.  
    ~tB;@e  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AGA`fRVx  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <ktzT&A  
    Fyyg`J  
     SvvUkQ#1w  
    a'\By?V]  
    光线追迹仿真 n3MWs);5  
    ;jK#[*y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5W =(+Q>C  
    •单击go！ sM1RU  
    •获得了3D光线追迹结果。 /RLq>#:h**  
    weMww,:^[  
     'cDx{?  
    #$vRJ#S}U  
    光线追迹仿真 7:=5"ScV  
    URcR  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }2)DPP:ic  
    •单击go！ !~<siy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N12:{U  
    *0Gz)'  
     NkxCs  
    $N$ FtpB  
    场追迹仿真 p<WFqLe(":  
    3HyhEVR-#~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [-*F"}D,  
    •单击go！ e2$]g>  
    u%O-;>J  
    ZA#y)z8!E  
     09M;}4ev&7  
    场追迹仿真（相机探测器） PBks` |+  
    | P6EO22p  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Mu_i$j$vvP  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 47 u@4"M  
    ]Gc3Ea;4  
     -'rj&x{Q)U  
    dTEJ=d40  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fm1X1T.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SP 2 8  
    e{G_GycH  
    KiLvI,9y  
     \9)[ #Ld  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'Tb0-1S?  
     rlok%Rt4Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #`GbHxd  
    w#PZu+  
     hN`gB#N3  
     
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