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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 vz\^Aa #fv  
    /o$C=fDF  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 T-;|E^  
    _m;H$N~I#  
    v;%>F)I  
     _LYI#D  
    建模任务 VL[}  
    ZxDh94w/  
    KOYU'hw  
    概述 ><l|&&e-  
    =>y%Aj&4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Te\i;7;4u  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 li4"|T&  
    {.,-lFb\  
     Hzn6H4Rc  
    EG7.FjnVu  
    光线追迹仿真 O/N Ed)H!  
    |qp^4vq.p  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D^\gU-8M  
    •单击go！ MBjo9P(  
    •获得了3D光线追迹结果。 [v,Y-}wQ)  
    =IIB~h[TB  
     ::&hfHR*P  
    r_p4pxs  
    光线追迹仿真 (^U 8wit/  
    @v:p)|Ne;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +nOa&d\  
    •单击go！ hFLLg|@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A;ti$jy  
    ;7 F'xz"  
     n/zTS3<  
    ML)5nJD  
    场追迹仿真 P { 8d.  
    IXz)xdP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RaX :&PE  
    •单击go！ ,cF $_7M  
    u3VSS4RG%  
    usFhcU  
      4u.v7r  
    场追迹仿真（相机探测器） 5 `Mos  
    MODi:jsl  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 an<loL W  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y/Dah*  
    &% infPI'  
     LOPw0@  
    B=,j$uH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {*lRI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3<:m;F*#  
    ww^!|VVa  
    (G#QRSXc\  
     1|Q-|jq`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :jP4GCxU|  
     920 o]Dh=t  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j 56Dt_  
    \-F F[:|J  
     O"c@x:i  
     
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