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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 0FHN  
    :\gdQG  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "J7=3$CA  
    wVV'9pw}  
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     8@Y]dz gjj  
    建模任务 #t po@pJsE  
    s#-`,jqD  
    n: Ka@  
    概述 Ws.F=kS>h  
    _Su$oOy(Ea  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lc#su$xR>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M)( 5S1ndq  
    x4R[Q&:M  
     ^Jsx^?  
    3Sf <oYF  
    光线追迹仿真 3zv_q&+8b  
    !fZ{ =  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l<! ?`V6}  
    •单击go！ *8t_$<'dQ  
    •获得了3D光线追迹结果。 Gpo(Zf?  
    p.gi8%f`  
     QUwSnotgU  
    34&n { xv  
    光线追迹仿真 cZPv6c_w  
    N'=8Dj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 GUJx?V/[  
    •单击go！ %9uLxC;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,J!G-?:@n  
    q0SYV  
     jV#{8 8  
    <`+U B<K  
    场追迹仿真 7GB>m}7  
    U# G0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zu,rf9LMj  
    •单击go！ LlrUJ-uC7  
    :Fm;0R@/k  
    {OXKXRCa  
     _ 2R;@[f2  
    场追迹仿真（相机探测器） ~$Xz~#~  
    Akb#1Ww4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BRi\&&<4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {D={>0  
    DW\';"  
     Y1h8O%?  
    &O/;YGEAB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G\@ uj>Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G0Eqo$W)S  
    %scSp&X  
    7y""#-}V[r  
     \_bk+}WJ]s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jgQn^  
     K -cRNt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lZCTthr\  
    *9Ej fs7L  
     k?zw4S  
     
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