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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 G\mKCaI8  
    L[]^{ O   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -lp"#^ ;  
    =K6c;  
    -931'W[s,  
     u`p_.n:5)  
    建模任务 9A*rE.B+W  
    Dm4B  
    {"4<To]z  
    概述 /W9 &Ke  
    %AgA -pBp  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8m7eaZ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X<K9L7/*  
     ("F)  
     & >b+loF  
    fIEw(k<*  
    光线追迹仿真 {*__B} ,N  
    T/7vM6u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 # `58F.  
    •单击go！ qhwoV4@f  
    •获得了3D光线追迹结果。 `G0*l|m>  
    E.#6;HHzN  
     ^+a  
    SauHFl8?  
    光线追迹仿真 9mm2Vps;  
    =WjJN Q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 n>T:2PQ3  
    •单击go！ ULTNhq R*n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AI R{s7N  
    .S6ji~;r  
     #jgqkMOd,j  
    -XLo0  
    场追迹仿真 mLULd}g/o  
    Q4 CJ]J`  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Y'&8L'2Z[  
    •单击go！ `;}H%  
    6mAB(X^+  
    -+ko}He  
     edTMl;4  
    场追迹仿真（相机探测器） - &NQ\W  
    Wv NI=>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,P!D-MN$V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :F9q>  
    uNg'h/^NZ|  
     Q-jf8A]  
    -3\7vpcdN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k~R{Y~W!!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Vl4Z_viNH  
    pIvfmIm  
    v*vn<nPAQ>  
     Q;Q%SI`yT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "'~|}x1Uv  
     hRRkFz/0&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _o&94&  
    OZa88&  
     PE|PwqX  
     
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