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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 -)Y?1w  
    6v9{ $:  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &Tf R].  
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    建模任务 '*KP{"3\  
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    概述 ^gdg0y!5~  
    X&<#3n  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "p\XaClpz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p ?HODwZ  
    ,K'}<dm|x  
     Wsr #YNhx|  
    O;A/(lPW+  
    光线追迹仿真 )pVxp]EI  
    CDcs~PR@B  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \\D~Yg\#  
    •单击go！ sv^; nOAc  
    •获得了3D光线追迹结果。 3\,TI`^C  
    [)gvP'  
     X |f'e@  
    hfvs' .  
    光线追迹仿真 m,u? ^W  
    7#,+Q(2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;D/'7f7.}  
    •单击go！  *ihg'  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A&5$eGe9  
    ]T+.kC M  
     dBG]J18  
     FFgy=F  
    场追迹仿真 %;9e h'  
    T T0O %  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 na FZ<'t>&  
    •单击go！ jkNZv. )p  
    $ZDh8 *ND  
    i[ BR"(  
     \]J" e%  
    场追迹仿真（相机探测器） 4(JxZ49  
    r/Pg,si  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LFSOHJj  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^ d"tymDd  
    "`:#sF9S  
     /]xd[^  
    cQPH le2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ? =IbiT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #U/B,`= >  
    !wrl.A/P  
    VH*j3  
     2 ;B[n;Q{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） U(./LrM05  
     v%aD:%wlY@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .: 7h=neEW  
    'd?8OV  
     ,iPkx(  
     
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