切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 994阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7081
    光币
    29546
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 LG@c)H74  
    U37?P7i's  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8|-mzb&  
    ";Ig%]  
    Qpv}N*v^  
     @01D1A  
    建模任务 []N$;~R7  
    `@.s!L(V  
    V8U`%/`N  
    概述 ; R|#ae@  
    ~ GT\RAj[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !9<RWNKV)Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Gv+Tg/  
    vyx\N{  
     QB|fFj58u  
    NUNn[c  
    光线追迹仿真 J)yy}[Fx  
    r5qx! >  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {LJ6't 8y:  
    •单击go！ SnF[mN'  
    •获得了3D光线追迹结果。 674oL,  
    s$\8)V52  
     UV8r&O  
    e}4^N1'd/  
    光线追迹仿真 0S5C7df  
    ut5!2t$c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K,,@',  
    •单击go！ ^Er`{|o6u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A%w]~ chC9  
    lnC Wu@{  
     F)iG D~  
    rn5g+%jX*  
    场追迹仿真 ~$ qJw?r  
    N[bf.5T  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HXV73rDA  
    •单击go！ "oXAIfU#T  
    H|:)K^o  
    NlEWm8u   
     j}.J$RtW1f  
    场追迹仿真（相机探测器） <W%Z_d&Xv  
    -GWzMBS S  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @N_H]6z4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sPTUGx'  
    ?_j6})2zY  
     z*~ PYAt  
    g2>u]3&W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $H@)hY8wA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H_=[~mJ  
    0t[mhmSU,  
    M-K@n$k   
     3N*C]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [,$mpJCI  
     fQ_8{=<-&X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GhQ`{iJM  
    *`pBQZn05O  
     14YV#o:  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表