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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 UI U:^g0  
    9lR6:}L7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3HYdb|y  
    'q |"+;  
    R%\3[  
     3Wbd=^hRvq  
    建模任务 U]vUa^nG  
    A46q`l9B  
    :/szA?:W  
    概述 b|DU  
    e@0|fB%2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r,0D I  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 24? _k]Y  
    ]GY8f3~|{  
     L FJ@4]%V  
    DT>`.y%2W  
    光线追迹仿真 JQ0Z%;"  
    Y<VX.S2kf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 % H"  
    •单击go！ jLI1Ed  
    •获得了3D光线追迹结果。 /*Q3=Dse]  
    wzwv>@}  
     ;w"h n*  
    kwT)j(pp<  
    光线追迹仿真 6V1oZ-:}  
    nA(" cD[,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f~a 7E;y  
    •单击go！ #@`c7SR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H+Bon=$cE!  
    #xu1 eX0<  
     @#t<!-8d  
    ^ [HUtq  
    场追迹仿真 ^" g?m  
    ]J!#"m-]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +[uh);vD`G  
    •单击go！ l:e C+[_;>  
    oYf+I  
    E Zf|>^N  
     8\' tfHL  
    场追迹仿真（相机探测器） =UK:83R(  
    s-Yu(X2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K g#Bg##  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RxJbQs$Ph  
    hf9i%,J  
     27c0wzq  
    NdLe|L?c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y|MhV/P04  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {[Ri:^nHgL  
    %pOz%v~  
    2INpo  
     %u&Vt"6m=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2(3Q#3V  
     _oBx:G6E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M$ieM[_T  
    P}gtJ;  
     ^i_v\E[QU  
     
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