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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 vW6 a=j8  
    =BD}+(3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8yW8F26  
    BR&T,x/d  
    tG8)!  
     !`kX</ha.  
    建模任务 RF3?q6j ,  
    LV4\zd6  
    2_S%vA<L  
    概述 -,xCUG<g  
    H~Z$pk%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 y{ & k`H  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4%!#=JCl  
    Zl,c+/  
     un*Ptc2%  
    nsT]Yxo%M  
    光线追迹仿真 3k YVk  
    E`E$ }iLs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $}&r.=J".  
    •单击go！ (CUrFZT$  
    •获得了3D光线追迹结果。 g)Ep'd-w"  
    -dRnozs6W  
     NO$n-<ag  
    GCrIa Z  
    光线追迹仿真 2bJqZ,@  
    K)-Gv|*t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N=2BrKb)o  
    •单击go！ T >pz/7gb  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l'yX_`*Iq  
    O $dcy!  
     v %?y5w  
    CMQlxX?  
    场追迹仿真 tKr.{#)  
    LwPZRE#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oAnNdo  
    •单击go！ L&D+0p^lI  
    ,(1n(FZ  
    U,G!u=+  
     S7|6dwQ&  
    场追迹仿真（相机探测器） 6CQ.>M:R  
    O"'.n5>:`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f82$_1s^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |6qxRWT"  
    R,3E_me"}  
     @ve4rc/LI  
    7z.(pg=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /mdPYV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 KBUClx?  
    ,]:vk|a#;  
    S\\3?[!p  
     ">{Ruv}$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a'NxsByG]s  
     ywSV4ZtM  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Sio> QL Y  
    '7'*+sgi$  
     "-y 2En  
     
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