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摘要 duc\/S' jT`u!CwdT 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 BmaY&? wLxuSs|
?}HZJ@:lB `aSbGMz 建模任务 4lI&y<F NR"C@3kD]o A@Cvx7X 概述 z{/#/,V5D4 KQ0f2? •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F~/~_9RJ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 WW-}c;cnK $3xDjiBb
uK0L> 9'p*7o 光线追迹仿真 :s1.TQ;Y( &%tW •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3xgU=@!; •单击go! \F)WUIK •获得了3D光线追迹结果。 Gn4XVzB`O 8!
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#mD_<@@ +0%Y.O/{ 光线追迹仿真 7Kpv fyL{ $ago •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pcQgWjfS •单击go! _#we1m •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 bK{ VjXF N*\ri0
v1/Y0 '<'5BeU 场追迹仿真 aGAr24]y ,;Uf>8~ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5g.Kyj| •单击go! 5Q: %f @'y8* _ TP/bX&bjCy `aA)n;{/2u 场追迹仿真(相机探测器) 0Qy L}y2 I9xkqj •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L uW""P/ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 <U8w# dc yqR]9"a
m -0EcA/ SiJ{ 场追迹仿真(电磁场探测器) bfYVA2=Z •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \ 7IT[<Se `fl$ o6S/ @LSX@V
!#W3Q 场追迹仿真(电磁场探测器) i 1Kq(7 /SyAjZ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~_IQ:]k '8FHn~F
Spn)M79
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