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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 EE W_gFn  
    0MdDXG-7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 L5\WpM=  
    cx0*X*  
    s91JBP|B7  
     Zp# v Hs  
    建模任务 g"> {9YE  
    ze]h..,]K  
    l c '=mA  
    概述 2Roc|)-47  
    aT$9;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `kJ^zw+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]:~OG@(  
    Jtk|w[4L  
     t0T"@t#c  
    ,c)uX#1  
    光线追迹仿真 ,9o"43D:a|  
    smDw<slC  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >lIk9|  
    •单击go！ EB8\_]6XJ  
    •获得了3D光线追迹结果。 |a!fhl+  
    }x wu*Zx  
     jav#f{'  
    w:<W.7y?0  
    光线追迹仿真 ,5*eX  
    v3jg~"!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \<)9?M :  
    •单击go！ 9b*nLyYVz  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a0ObBe'  
    JQ@E>o7_  
     _&b4aW9<  
    7fba-7-P  
    场追迹仿真 u9EgdpD  
    jYhB +|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LmnymcH  
    •单击go！ ZXuv CI  
    c. 2).Jt,  
    /x1![$oC0  
     Ub * wuI  
    场追迹仿真（相机探测器） /Bm( `T  
    KW^7H  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 la+[bm< v  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 LMAE)]N  
    >\Ww;1yV  
     k-{<=>uM  
    :FTMmW,>'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <U\B!fO'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Oz%>/zw[h  
    ^i} L-QR  
    w_{wBL[3e  
     n@,G8=J?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `.Qi?* ^  
     Evjj"h&0J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cj'}4(  
    cbT7CG  
     ,~]tg77  
     
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