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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ~vKDB$2  
    B3Ws)nF"  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wp<f{^ et  
    v*^'|QyM7  
    $.O(K4S  
     OQ+kOE&  
    建模任务 oT- Y  
    rQ)I  
    R:U!HE8j   
    概述 9^@#Ua  
    KNSMx<GP  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ; Z2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &?^"m\K4J*  
    Yq%r\[%*  
     6JD~G\$  
    }8Nr .gY  
    光线追迹仿真 QxiAC>%K  
    ,yTT,)@<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9n;6;K#  
    •单击go！ ?zK\!r{  
    •获得了3D光线追迹结果。 P]H4!}M  
    p5#UH  
     @VnK/5opS  
    C,,S<=L:  
    光线追迹仿真 8[x{]l[  
    89ab?H}/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Mc 6v  
    •单击go！ i*e'eZ;)  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bl[2VM7P  
    ^`fqK4<  
     EO"G(v  
    r[3 2'E  
    场追迹仿真 CzI/Z+\  
    ]f*.C9Y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ):nC&M\W~  
    •单击go！ ~X,ZZ 9H  
    zZiga q"  
    P=.T|l1  
     y~<_ux,  
    场追迹仿真（相机探测器） x*wr8$@J  
    l:j>d^V*&x  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '19kP.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !gj_9"<  
    ]>,Lw=_[_  
     +z+u=)I  
    +,J!xy+~,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v(^;%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Nh+XlgXG  
    @O HsM?nW  
    s:^Xtox /  
     %] !xr6d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [~k!wipK  
     2 5I a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >(a[b@[K  
    tTPjCl  
     g]U! ]  
     
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