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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 4xm&pQo{V6  
    [pii  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AnNP Ti  
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    建模任务 4`nqAX~'f  
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    |q;Al z{  
    概述 {odA[H  
    !@u&{"{`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +W9]ED  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S5N@\ x  
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     0p-#f|ET  
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    光线追迹仿真 J58#$NC `'  
    Xo Y7/&&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Z_FNIM0f  
    •单击go！ c45tmul  
    •获得了3D光线追迹结果。 IAI(Ix  
    Gn59 yG!4  
     ibJl;sJ  
    ASW4,%cl  
    光线追迹仿真 o(qEkR:4kd  
    zmI5"K"'F  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "tL2F*F"6X  
    •单击go！ $jG4pPG  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O)uOUB  
    !h CS#'  
     P-'_}*wxi  
    ?; [ T  
    场追迹仿真 ]>D)#  
    gg[ 9u-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 G>%AZr{M  
    •单击go！ t?{B_Bf  
    %cX"#+e  
    ]#zZWg zv  
     *| YU]b;W  
    场追迹仿真（相机探测器） RN[]Jt#6  
    \jyjQ,v)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 B3mS]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )TU<:V  
    ; 0ko@ \Lq  
     =&7@<vBpy  
    \"x>JW4w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x=]S.XI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;W{b $k@g  
    ewnfeg1  
    \}JrFc%O  
     YT=eVg53  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0xCz'mJ  
     Es.nHN^]%K  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GK?4@<fY  
    \a))  
     )(m0cP{7  
     
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