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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 *M5C*}dl  
    0tyU%z{RV  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S8<aq P  
    @&> +`kgU-  
    9peB+URV  
     f 8U;T$)  
    建模任务 2l%iXK[  
    0']M,iC/  
    CtxK{:  
    概述 Y^f|}YO%y  
    RH'R6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N|d@B{a(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 F.hC%Ncu  
    S)h1e%f, f  
     1Pc'wfj  
    Q5ao2-\   
    光线追迹仿真 ;T(^riAEl  
    O#k+.LU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :W55JD'  
    •单击go！ I}{eYXh  
    •获得了3D光线追迹结果。 O%{>Zo_<  
    )nVx 2m4  
     Ja2.1v|r .  
    =n&83MYX  
    光线追迹仿真 !Ai;S  
    ,.B8hr@H6-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7va%-&.&t  
    •单击go！ s,8%;\!C  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 hCrgN?M z  
    %G*D0pE  
     3m'6cMQ  
    }K\_N]#6n  
    场追迹仿真 oc3/ IWII  
    #;)7~69  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :A[/;|&  
    •单击go！ %]` WsG  
    nK[$ID  
    P#C`/%$S  
     l%O-c}X  
    场追迹仿真（相机探测器） f\JyN@w+  
    zq#o8))4X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d>}%A ]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 w>e OERZa  
    -MZ Eli g  
     oT'XcMn  
    &*}S 0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y\:2Re/*Jt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T &1sfS,  
    A, os rv  
    F^ f]*MhT"  
     X$aMf &x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7D,+1>5^Ne  
     6\bbP>ql  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (]JJ?aAF  
    W{`;][  
     ]Vubz54  
     
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