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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 MP Z3D9  
    ^d}gpin  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N`iwC!  
    >r`b_K  
    m>USD? i  
     }En  
    建模任务 qm/Q65>E  
    )?+$x[f!*  
    W} WI; cI  
    概述 &'cL%.  
    \(226^|j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GjoIm?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =q N2Xg/  
    Uc/+gz Z;  
     DPi_O{W>  
    HeBcT^a  
    光线追迹仿真 @SCI"H%[  
    g^*<f8 ~d  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~l;[@jsw F  
    •单击go！ )`^p%k  
    •获得了3D光线追迹结果。 }VDqj}is  
    *s@Qtgu  
     <ZU=6Hq  
    IV\J3N^  
    光线追迹仿真 ss;R8:5  
    5 ae2<Y=  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [O: !(G je  
    •单击go！ 7 |DHplI  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >0Q|nCx  
    1lv2@QH9  
     2^?:&1:  
    sz9L8f2  
    场追迹仿真 OY?y^45y  
    !^Q.VYY  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iNMx"F0r  
    •单击go！ qJ0fQI\  
    3sd"nR?aX  
    O%r;5kP  
     YM5fyv?  
    场追迹仿真（相机探测器） a# c6[!   
    vTv]U5%:>%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P./VmY'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 .^b;osAU  
    k}~O}~-  
     u,3#M ~  
    *OQG 4aWy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xLx]_R()  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (%`Q hH  
    vf8\i-U=  
    M,ir`"s  
     (ND4Q[*6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o=nsy]'&  
     >2By +/!X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $-On~u0g  
    Gt wT  
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