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摘要 Um$a9S8b& HGgw<Os-k 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Dg LSDKO!
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FDAREE\j 建模任务 _ z!0 ab JqdNO:8  pw7 _j;}l 概述 L^`oJ9k ! Mlpq2I_x •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D^ Z~>D6 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 GZN@MK*co 2Z-BZu K6p
 lE54RX}e4 A/U tf0{3" 光线追迹仿真 Wb4%=2Qn w^*jhvV%kW •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 pr-{/6j6 •单击go！ JHf}LZu •获得了3D光线追迹结果。 ^saJfr x Mdh(M p(w
 ;D/'7f7.} ^yRCR] oT 光线追迹仿真 rrSA.J{
YV 9*B •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 EMH?z2iGd •单击go！ iR#jBqXD •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 zYOPE 6E U6=m4]~Z
 $`'^&o;&f 0zpP$q$ 场追迹仿真 P|.KMtG `bZ_=UAb •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GX_Lxc_<f •单击go！ S$"A[ JoZC+G  (6\A"jey\x
)m[!HE`cZ 场追迹仿真（相机探测器） j.C C.[$g T 6H"ER$ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 - T{~m6 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {uj9fE ,) Dz )bP{iq"
 @F7QQs3 j7-#">YL 场追迹仿真（电磁场探测器） kX 1hcAa •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5<w0*~Z d~ of& vQ  ,75,~
9Z rn(D 场追迹仿真（电磁场探测器） v2@M,xbxF:
JmY i& •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +[2lS54"W4 N=+Up\h
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