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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 //LXbP3/  
    'Y vW|Iq  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 D ^ &!  
    (4g; -*N  
    qtgK}*9ptv  
     aY {.  
    建模任务 2>EIDRLJ-  
    s?`)[K'-  
    yv'rJI~ Ps  
    概述 vG\Wr.h0!=  
     )bK<t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p!Gf ^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $C[YqZO  
    qQ1m5_OD`z  
     Q'|cOQX  
    6B+ @76wH  
    光线追迹仿真 lA]u8+gXd  
    +5({~2Lzvp  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ol[{1KT{  
    •单击go！ R K'( {1  
    •获得了3D光线追迹结果。 8\a)}k~4  
    g|+G(~=e|  
     k~vmHb  
    t]@ Zd*  
    光线追迹仿真 a"EQldm|d  
    uY;/3 ?k&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C8t+-p  
    •单击go！ 4\$Ze0tv  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5#fLGXP  
    Fza)dJ 7  
     9 /zz@  
    NeK:[Q@je  
    场追迹仿真 jkdNisq37  
    w{r ->Phe  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Tbwq_3f K  
    •单击go！ t|y4kM  
    J-QQ!qa0  
    z$<6;2  
     _*;cwMne-  
    场追迹仿真（相机探测器） We4 FR4`  
    q%y_<Fw#E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ke/P [fo  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rxz3Mqg  
    +<q^[<pS  
     z`Q5J9_<cV  
     JA)gM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） K9P"ncMt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P"]+6sm&es  
    %-*vlNC)  
    XWvs~Xw@  
     SP*5 W)6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~::R+Lh(  
     OcH- `A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3@&H)fdp6a  
     HOD2/  
     b:3hKW  
     
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