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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 !p-'t]  
    M\9at\$  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (6e!09P&  
    0W;q!H[G  
    $,}Qf0(S  
     &"sX^6t  
    建模任务 LQ~LB'L  
    A1mYkG)l  
    ( P  
    概述 [t {vYo  
    ])+Sc"g4k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X@i+&Nv"<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FAH[5VD r%  
    ] ,!\IqO  
     m};~JMo]  
    M|1eqR%x-?  
    光线追迹仿真 t^`<*H  
    I[tAT[ <  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s4!|v`+$M  
    •单击go！ ,G916J*XA  
    •获得了3D光线追迹结果。 H4P\hOK7r  
    Q,OkO?uY  
     ['/;'NhdlY  
    e@='Q H  
    光线追迹仿真 Rh!L'? C  
    Wpiv1GZ%c8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 EG'7}W  
    •单击go！ oc!biE`u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {KF7j63  
    _bN))9 3  
     ~5-~q0Ge  
    SIKk|I)  
    场追迹仿真 "r5'lQI  
    4U}.Skzq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^hQ:A4@q  
    •单击go！ 9nP*N`  
    M>`?m L  
    #R~">g:w  
     uYG #c(lc  
    场追迹仿真（相机探测器） ?AqrlR]5  
    f]@[4<Ny  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >WGX|"!"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &xPOp$Sx~  
    GM34-GH+  
     T{5M1r  
    eukX#0/^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） , V0iMq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h$#4ebp  
    A"P\4  
    B`'}&6jr.  
     ;j[q?^ b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mSVX4XW<  
     |q1b8A\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <MI$N l  
    jgZX ~D  
     hW*^1%1  
     
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