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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 \S[I:fw#&  
    IJ#+"(?7,u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?$Jj^/luD  
    $hq'9}ASOL  
    :DoE_  
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    建模任务 d}--}&r  
    xmNs<mz  
    Dwg_#GSr  
    概述 l[u=_uaYl  
    =dDr:Y<@*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A#KfG1K>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $fFh4O4  
    |cIv&\ x  
     Z|6,*XEc   
    G7uYkJO  
    光线追迹仿真 O"V;otlC  
    o#9 Q   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lNba[;_  
    •单击go！ R8C#D B  
    •获得了3D光线追迹结果。 xnvG5  
    pRH'>}rtuH  
     &"'Z)iWm  
    28x:]5=jb  
    光线追迹仿真 @M&qH[tK-A  
    p4^&G/'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +Hk r\  
    •单击go！ r}i}4K[1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 S:8 WBY]M  
    B<\HK:%{  
     k<}3_   
    !yo@i_1D  
    场追迹仿真  rBUWzpE"  
    }BI|M_q.1~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FL E3LH  
    •单击go！ 7Xf52\7n  
    UAe8Ct=YJ  
    ]8/g[Ii  
     d3"QCl  
    场追迹仿真（相机探测器） \dJOZ2J<z  
    Nk;ywC"e;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TXo`P_SE  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1\ Gxk&  
    3 nnoXc'  
     <rxtdI"3  
    )=pa*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q)Q1a;o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3@42u G>  
    / }Pj^^6A<  
    &a.A8v)  
     M@+Pq/f:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q?>DbT6  
     lc\{47LwZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o[)*Y`xq<w  
    >!Dp'6  
     nrg$V>pD  
     
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