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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 n!h952"  
    juEH$7N !  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o!zo%#0;#)  
    8=-#LVo~c  
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     ,U.|+i{  
    建模任务 %afz{a5  
    ld7B{ ?]  
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    概述 $|VD+[jSV  
    uQ3W =  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7~H"m/;U&  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 En ]"^*  
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     $KPf[JvQ  
    TNlS2b1  
    光线追迹仿真 t;W'<.m_  
    rTzXRMv@o  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D 4<,YBvV  
    •单击go！ BHR(B]EI  
    •获得了3D光线追迹结果。 .NMZHK?%  
    b q8nV  
     *~^M_wej  
    S7B?[SPrN[  
    光线追迹仿真 N3ccn  
    {4r }jH  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B6U4>ZN  
    •单击go！ Vkl]&mYRz  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZmS ]4WM<  
    .e|\Bf0P  
     yH(%*-S  
    -932[+  
    场追迹仿真 ?:Rw[T@ l  
    K}QZdN']  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K QCF "  
    •单击go！ xpWY4Q  
    95*=& d  
    HjT-5>I7f  
     \N.Bx  
    场追迹仿真（相机探测器） Tz{-L%*#  
    \xX'SB#.l  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +GT"n$)+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vq1u !SY  
    1WAps#b.  
     %)=c#H1  
    J'*`K>wV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -NUA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h! w d/jR  
    r^`~GG!,Q  
    O[ug7\cl+  
     6f&qtJQ<A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4B@Ir)^(*  
     4)d"}j  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ADB,gap  
    )odz/\9n3c  
     ;& zBNj  
     
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