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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ZbrE m  
    # _7c>gn  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 UA9LI<Y  
    <R(2 9QN  
    ~ZNhU;%YW  
     :3t])mL#   
    建模任务 h|H;ZC(B  
    e)xWQ=,C  
    1v4kN -  
    概述 l xfdJNb  
    A;!FtD/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5oKc=iX_3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 uqUo4z5T  
    AWDjj\Q4  
     ]x G8vy  
    $"8k|^Z3  
    光线追迹仿真 5a ~tp'  
    Tpukz_F  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KVR}Tp/R  
    •单击go！ x/7G0K2\}  
    •获得了3D光线追迹结果。 3ngLEWT  
    lnDDFsA  
     {K:Utdu($q  
    W/>?1+r.Z  
    光线追迹仿真 j''Iai_  
    7fay:_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Nd_@J&  
    •单击go！ Oez}C,0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .( h$@|Y  
    C._sgO  
     z#VpS=  
    -o_T C  
    场追迹仿真 } 4]<P  
    yCIgxPv|7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zd U{`>v  
    •单击go！ LU,"i^T  
    kqW<e[  
    g>xUS_d>  
     }t2pIkF;  
    场追迹仿真（相机探测器） 7NB 9Vu|gD  
    TucAs 0-bF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [4Faq3T"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _P<lG[V  
    fG2&/42J  
     GR ?u?-  
    18"VB50b}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rm=~^eB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r!$NZ2I  
    tOg 8L2  
    P%`R7yk  
     oPu|Q^I=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V$<G)dwUG5  
     S"^KJUUc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]KK ZbEO  
    :aq>  
     GoSWH2N  
     
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