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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 5]'iSrp  
    QKHmOVh]  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Qj3UO]>  
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    s,` n=#  
     O#u)~C?)8  
    建模任务 rV2}> k  
    cH2 nG:H  
    B=n]N+  
    概述 LU;ma((yy[  
    C5XCy%h  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?:H9xJ_^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U*1~Zf  
    (y(V,kXwa8  
     i37W^9 R  
    =YPWt>\a}  
    光线追迹仿真 ym,S /Uz  
    EH4WR/x  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RsrZ1dhPvV  
    •单击go！ _VY]  
    •获得了3D光线追迹结果。 sy>Pn  
    p&ow\A O  
     &;%+Hduc  
    cl)MI,/>  
    光线追迹仿真  JTz1M~  
    B5tJ|3!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %iJ6;V 4  
    •单击go！ h]MSjC.X  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 IP{Cj=  
    Ww8C![ ,  
     #2cH.`ty  
    ^P{'l^CVX  
    场追迹仿真 o8Bo%OjE  
    $F/&/Aa  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 EDnmYaa)dZ  
    •单击go！ y& Dd  
    ;7 IVg[f  
    6] <?+#uQ  
     /Ee0S8!Z!1  
    场追迹仿真（相机探测器） (& ~`!]  
    ^g~-$t<!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1noFXzeU3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4)XN1r:  
    jh g!K.A  
     G&3j/5V  
    ytAhhwN~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） czHO)uQ?d`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?V7[,I1?  
    ;M'R/JlUN  
    kWoy%?|RRa  
     '{7A1yJnY%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xRaYm  
     ^[ id8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]v9<^!  
    Zr$PSp}  
     "bw4 {pa+  
     
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