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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 x"NQatdq  
    d9;&Y?fp  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 72Y 6gcg  
    nk%v|ZxoFv  
    N\g=9o|Q  
     rD SYR\cg  
    建模任务 *S:~U  
    kF~(B]W(  
    Dn 0L%?_   
    概述 S, AxrQc  
    wb?k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [=q/f2_1.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 n2B%}LLa  
    I\k<PglRA  
     PD0&ep1h7G  
    iiIns.V  
    光线追迹仿真  c2M  
    EXr2d"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^py=]7[I  
    •单击go！ eb\SpdM6  
    •获得了3D光线追迹结果。 /)Cfm1$ic  
    <Q9l'u]3$c  
     rtJER?A  
    dnoF)(d&Cm  
    光线追迹仿真 ?I[8rzBWU  
    P|$n   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '@.6Rd 8  
    •单击go！ FDLo|aP/v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {f #QZS!E  
    (6ga*5<  
     ` 5Kg[nB:  
    D:U6r^c  
    场追迹仿真 B\RAX#  
    :C} I6v=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =6Ok4Z  
    •单击go！ "@eGgQ  
    <@;}q^`  
    l'EO@D/M  
     ; um)JCXz  
    场追迹仿真（相机探测器） @-dGZ 5  
    );d07\V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `CS\"|z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wG[n wt0L  
    h$'6."I  
     RQQ' Wg  
    bQautRW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） U*=E(l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D wJ^ W&*  
    +fXwbZ?p  
    E,Rj;?  
     paIjXaU1Mb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F;ttqL  
     r89AX{:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @\y{q;  
    kFp^?+WI%H  
     >SDQ@63E?  
     
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