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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Rsm^Z!sn  
    6P l<'3&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /hR&8 `\\  
    ASA,{w]  
    Ty?cC**  
     V~3a!-m\  
    建模任务 eF$x1|  
    D#C~pdp  
    iOghb*aW  
    概述 x=P\qjSa  
    P/eeC"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zY{A'<\O  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zR:L! S  
    EI%89i`3^  
     rglXs  
    .uZ3odMlx  
    光线追迹仿真 }o(-=lF  
    r#p9x[f<Y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QA`sx  
    •单击go！ Q Z  
    •获得了3D光线追迹结果。 j</: WRA`]  
    {%H'z$|{  
     |0b`fOS  
    X&`t{Id?6  
    光线追迹仿真 A?P_DA  
    f}P3O3Yv&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :g0zT[f  
    •单击go！ ]w8(&,PP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 gR;i(81U  
    wlqksG[B  
     tS=(}2Q  
    FTUv IbT  
    场追迹仿真 kn 4`Fa;)O  
    #q=Efn'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :DNY7TvZ  
    •单击go！ *.t 7G  
    @RKryY)  
    (uE!+2C  
     VY4yS*y  
    场追迹仿真（相机探测器） _Y;W0Z  
    YU'E@t5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 nDxz~8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hRhe& ,v  
    h*](a_0  
     `M8i92V\qY  
    b3, _(;A!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /y}xX  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OQJ6e:BGt  
    %>{0yEC  
    8&slu{M- t  
     zQd 2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UZ+<\+q3^  
     F={a;Dvrn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 uK Hxe~  
    -[.[>&`/  
     HG^'I+Yn  
     
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