切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 464阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5786
    光币
    23082
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 {zb'Z Yz  
    p1KhI;^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -8n1y[  
    fUjo',<s  
    #kC~qux^  
     arL>{mj  
    建模任务 =?OU^ u`C  
    8 Rj5~+5  
    bB_LL  
    概述 Z 8rD9 k$6  
    i6if\B  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "h+Z[h6T  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 eI1zRoIl-  
    ukR0E4p  
     +dCDk* /m  
    8 1Kf X {|  
    光线追迹仿真 6(8 F4[D  
    0<m7:D Gd  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]\M{Abqd{  
    •单击go！ _EMI%P& s  
    •获得了3D光线追迹结果。 ' ##?PQ*u  
    q}@L"a`  
     Z@Rm^g]o  
    5T;LWS  
    光线追迹仿真 {xTq5`&gT  
    0>|q[SC  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 c-$rB_t+  
    •单击go！ =0cTct6\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *?m)VvR>|  
    #kW=|8X  
     JG!B3^qB  
    %ztZ#h~g  
    场追迹仿真 e/D{^*~S  
    B[uyr)$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  y<Koc>8  
    •单击go！ #*.!J zOg  
    xG sOnY;  
    ^OV; P[  
     iE'_x$i  
    场追迹仿真（相机探测器） %p}vX9U')  
    MJ:c";KCq0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 hY4#4A`I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3WwS+6R  
    iV{_?f1jo  
     !BoGSI  
    !4p{ b f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;?Pz0,{h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9 /H~hEVK  
    l+Wux$6U  
    Gld~GyB\k  
     JO|j?%6YY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {vD$odi  
     ei= 4u'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FF8jW1  
    :BxO6@>Xc  
     ;u2[Ww~k  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表