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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 x!I@cP#O  
    [i~@X2:Al  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n.N0Nhd  
    6$PQ$  
    0KExB{K  
     :Hitx  
    建模任务 d^?e*USh  
    M"c=_5P  
    Jyd[Sc)  
    概述 / tkV/  
    ]p(es,[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ii`,cJl  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pPsTgGai  
    [D|Uwq  
     # .&t'"u  
    )sIzBC  
    光线追迹仿真 FFwu$S6e  
    ;YokPiBy  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %[*_-%  
    •单击go！ s#8}&2#l  
    •获得了3D光线追迹结果。 Kk.\P|k2  
    #?M[Q:  
     g>ke;SH%KY  
    siuDg,uqK5  
    光线追迹仿真 Or/YEt}  
    uG.`  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \SmYxdU'>  
    •单击go！ >PWDo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qoQ,3&<  
    ak}k e  
     /$qB&OWJn  
    ,uO?f1  
    场追迹仿真 =AK6^v&on  
    Z~ q="CA4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4. %/u@rAi  
    •单击go！ Jk<b#SZ[b  
    V-%jSe<  
    k fOd|-  
     !9C]Fs*`?  
    场追迹仿真（相机探测器） 5?#AS#TD'  
    i[vN3`*B  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M1DV9~S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0rDQJCm  
    1- GtZ2  
     D#ED?Lqf  
    =6'D/| 3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w(%$~]h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (=53WbOh/t  
    yW(A0  
    n?^X/R.22  
     NUY sQO)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7bW ''J*6  
     65c#he[_Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2c9]Ja3:6  
    Ag]Hk %  
     TY#pj  
     
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