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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 9^*YYK}%  
    +6Fdi*:  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8!`.%)- 4  
    t }C ^E  
    F?AfB[PM  
     yl+)I  
    建模任务 iwx0V  
    Dj&bHC5%  
    [?6D1b[  
    概述 _N#3lU?  
    l*MUDT@M8\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Gqb-3n gH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fU7:3"|s8  
    QgM_SY|Rj  
     Wk#-LkI  
    ${,eQ\  
    光线追迹仿真 R6o<p<fTh  
    ewPdhCK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L*oL KigT  
    •单击go！ 3Ty{8oUs^  
    •获得了3D光线追迹结果。 tpzdYokh >  
    ;4#8#;  
     fv'P!+)t  
    [!efQap  
    光线追迹仿真 TUYl><F5v=  
    #;\;F PuZ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w3UJw  
    •单击go！ <a}|G1 h  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3t6'5{  
    qinQ5t  
     ,/U 9v~  
    Rk0 rHC6[  
    场追迹仿真 717m.t,x  
    T mE4p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <:t\P.  
    •单击go！ Ybg`Z  
    ~i#xjD5  
    #$)rwm.jW?  
     ,IB)Kk2  
    场追迹仿真（相机探测器） `g1~ya(MC  
    ?kefRev<#h  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n=MYv(Pp}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4 V*)0?oYE  
    ,"R_ve  
     . M $D  
    +zPg`/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rqo<Xt`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 55KL^+-~  
    tC~itU=V  
    bv];Gk*Z-  
     W5g!`f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oABPGyv  
     0P >dXd)T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :HQ/vVw'"9  
    C(+BrIS*  
     Tr!X2#)A!  
     
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