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摘要 nx:KoB"ny 7l."b$U4yv 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .c^
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nRb^<cZf 建模任务 ?(
=p<TUw 1^dJg8  b?Pj< tA 概述 sp QLG_o,J 'r} zY-FM` •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 659v\51 * •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |!H?+Jj: Sd))vS^g
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sM\lO 光线追迹仿真 "BVdPS DBk SQWafD •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 # FYAV%pi •单击go！ 9B dt (}0A •获得了3D光线追迹结果。 J I|6B V (rr"K+
 Aaw(Ed J^m<* 光线追迹仿真 9
L?;FY)_ I,ci >/+b •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V5D2\n3A •单击go！ h:/1X'
3d •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /^#G0f*N p|XAl ia
 Rt( J/%; +VU4s$w6 场追迹仿真 K(T\9J. f+Dn9t •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7Bz*r0 9S •单击go！ x.$1<w64t JmOW~W  GZ }/leR
5V- jMB 场追迹仿真（相机探测器） % do1i W #T~&]|{, •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4B-yTyO •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DFe;4BdC ~! + _[ uJ
 Nm]%
} :DkAQ-<~ 场追迹仿真（电磁场探测器） qJ8-9^E,L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |G=[5e^s[ Y/U{Qc\ 6  */ OI *{ Q
; !$m1 场追迹仿真（电磁场探测器） ?\H.S9 CZ^
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A8?[6^%O | yu&Kh4AP
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