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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 duc\/S'  
    jT`u!CwdT  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 BmaY&?  
    wLxuSs|  
    ?}HZJ@:lB  
     `aSbGMz  
    建模任务 4lI&y<F  
    NR"C@3kD]o  
    A@Cvx7X  
    概述 z{/#/,V5D4  
    KQ0f2?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F~/~_9RJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 WW-}c;cnK  
    $3xDjiBb  
     uK0L>  
    9'p*7o  
    光线追迹仿真 :s1.TQ;Y(  
    &%tW  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3xgU=@!;  
    •单击go！ \F)WUIK  
    •获得了3D光线追迹结果。 Gn4XVzB`O  
    8! /ue.T  
     #mD_<@@  
    +0%Y.O/{  
    光线追迹仿真 7Kpv fyL{  
    $ago  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pcQgWjfS  
    •单击go！ _#we1m  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bK{ VjXF  
    N*\r i0  
     v1/Y0  
    '<'5BeU  
    场追迹仿真 aGAr24]y  
    ,; Uf>8~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5g.K yj|  
    •单击go！ 5Q:%f  
    @'y8* _  
    TP/bX&bjCy  
     `aA)n;{/2u  
    场追迹仿真（相机探测器） 0QyL}y2  
    I9x kqj  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L uW""P/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <U8w#dc  
    yqR]9 "a  
     m -0EcA/  
     SiJ{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bfYVA2=Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \7IT[<Se  
    `fl$ o6S/  
    @LSX@V   
     !#W3Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i 1Kq (7  
     /SyAjZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~ _IQ:]k  
    '8FHn~F  
     Spn)M79  
     
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