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摘要 _DsA<SJ] >KHR;W 03 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `G*7y7
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a (AKVk\ 建模任务 wK OljE6d 8G$ %DZ $  F5UvD [i 概述 ZoX24C' 6.
N ?=R •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xC N6? •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Zjis0a]v~k X`#,*Hk K
 $ N`V %<W |^fubQs;2 光线追迹仿真 *D`]7I~} ]0v;;PfVl6 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6v8HR}iK •单击go！ @}[ >*Xy% •获得了3D光线追迹结果。 q#LB 2 M h OYm
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 ;W%nBdE6| ]xGo[:k|E 光线追迹仿真 /`(Kbwh 2iOn\
^]x •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 m 2c>RCq •单击go！ W P7 RX|7 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )Z6bMAb0'N AI
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 y 8} fj= k(hYNmmo
j 场追迹仿真 C]S~ DK1 ` =m[(CLb •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #,dNhUV# •单击go！ F`!B!uY (al.7VA;9  6Gt~tlt:L
$ti*I;)h4 场追迹仿真（相机探测器） M) v\7a nW)-bA V< •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]U[y3 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Xjb 4dip Xa e0xs
 b"D? @dGB, }YV,uJH[ 场追迹仿真（电磁场探测器） SCwAAE9s] •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~ZrSoVP= 0e. /yPTT  DI9hy/T(
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'A`ram 场追迹仿真（电磁场探测器） $db]b
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