切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1051阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7244
    光币
    30361
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 N^\<y7x  
    PT7-_r  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6ge,2[PU  
    'O%itCy)  
    OT[&a6_  
     }w{ 6Ua  
    建模任务 !2-f%x]tO  
    A}Q6DHh26  
    m5c?A+@fZ  
    概述 J!40` 8i  
    YIjY?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AI{Tw>hZ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 V\$'3(*  
    $on"@l%U  
     ~:`5Y"Av:  
    a<c]N:1  
    光线追迹仿真 $T.u Iq  
    37OU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^U"$uJz!c  
    •单击go！ vGe];  
    •获得了3D光线追迹结果。 {k CCpU  
    wKxw|Fpn  
     2a=3->D&  
    (}Q(Ux@X  
    光线追迹仿真  GtR!a  
    k!?sHUAj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7+_TdDBYs  
    •单击go！ #0HZ"n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Rcg q7W  
    "Y%fk/v8  
     =E6ND8l@2  
    <v&L90+s\;  
    场追迹仿真 Yatd$`,hW  
    in-|",O`Z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &B1j,$NRc  
    •单击go！ 6T"4<w[  
    }W2FF  
    LxdF;JCz:  
     JVfSmxy.  
    场追迹仿真（相机探测器） S2y_5XJ<D  
    B*0TM+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 p **Sd[|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0m2%ucKw  
    &>nB@SQZ  
     I /2{I  
    bVLBqa=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hn`yc7<}(u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,> Ya%;h2k  
    6 zyxGJ(  
    4d x4hBd  
     ]|m?pt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5#275Hyv  
     91f{qq=#J{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ke2zxX2 f  
    .(J~:U  
     e1<9:h+  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表