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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 0)V-|v`  
    C:MGi7f  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ai18]QD-  
    FaE orQ  
    q&T'x> /  
     T(^8ki  
    建模任务 C/Bx_j((  
    )fc"])&8  
    0f/!|c  
    概述 P'9io!Z-s  
    ^\jX5)2{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }9 2lr87  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z,YUguc|  
    Ilb |:x"L  
     G | oG:  
    $#3<rcOq  
    光线追迹仿真 g8A{aHb1}  
    C /XyDbH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 B Rj KV  
    •单击go！ h\\2r>  
    •获得了3D光线追迹结果。 JBAK*g  
    3MJWCo-[  
     xGv,%'u\  
    Yka&Kkw  
    光线追迹仿真 s FYJQ90it  
    f ?zK "  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C+m^Z[  
    •单击go！ i}F;fWZ`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l'". }6S  
    [k 7N+W8  
     /M*\t.[ 46  
    ,h.Jfo54,  
    场追迹仿真 bK$D lBZ  
    ~V"cLTj"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (`.qG &6p  
    •单击go！ ss@}Dt^  
    3nC#$L-   
    ^I~T$YjC '  
     _QUu'zJ  
    场追迹仿真（相机探测器） Mth`s{sATa  
    B "F`OS[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z6([/n  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~K$"PK s3  
    SOQ-D4q  
     #0<y0uJ(y  
    \{=`F`oB=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q '{<c3&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dzE Q$u/I  
    qb&N S4#  
    D)ne *},  
     o7a6 )2JK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mImbS)V  
     IL2Gsj)M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m/c&/6nk  
    &c?hJ8"  
     SAE '?_  
     
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