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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 i$dF0.}Q  
    Xf*}V+&WN  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $X]Z-RCK3  
    e<-^  
    }`D-]/T8.  
     w02t9vz  
    建模任务 BTa#}LBZ+  
    FXo{|z3  
    M =6  
    概述 1j\wvPLr  
    _NB8>v  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U?(+ {4l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :AM_C^j~ D  
    EV|L~^Q  
     `fUP q ;  
    8e}8@[h  
    光线追迹仿真 :B1a2Y^"  
     q a}=p  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g33Y]\  
    •单击go！ P(Z\y^S  
    •获得了3D光线追迹结果。 q-4#)EnW  
    ?J's>q^X  
     9Lqo^+0)\  
    x qLIs:*  
    光线追迹仿真 x(bM   
    X2to](\% X  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +8|r_z\A5a  
    •单击go！ ^=Egf?|[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6I~{~YvB"  
    Y"'k $jS-  
     #Q$`3rr  
    (*dJ   
    场追迹仿真 jW0aIS2O  
    Ps9YP B-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Uiu9o]n  
    •单击go！ w"?E=RS  
    8,YxCm ie  
    5H |<h  
     4{J'p19  
    场追迹仿真（相机探测器） ?%RR+(2m  
    kG|pM54:^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 77o&$l,A|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 eKek~U&  
    ~7"6Y ]  
     J&jig?t  
    O!.mc=Gx7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SM8m\c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3-$w5O3}  
    aIABx!83>  
    5"8R|NU:\0  
     6v9A7g;4.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .W q"  
     *r]Mn~3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )uIH onXU  
    tx{tIw^2;  
     PbN"+qM  
     
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