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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Xt84Evo  
    dSZ#,Ea"  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 VC(|t} L4  
    7$=@q|$  
    \(FDR  
     K-u/q6ufK  
    建模任务 3T/j5m}+!  
    ix+x-G  
    (d#Z-w-  
    概述 rfi`Bp  
    !?*!"S-Sl  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RWo B7{G  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 j2M(W/_  
    $SVGpEw  
     <;e#"(7  
    hFfaaB  
    光线追迹仿真 9Ol_z\5  
    iGMONJRO  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  Zwns|23n  
    •单击go！ UJ$:5*S=u  
    •获得了3D光线追迹结果。 a4RFn\4?  
    m5aaY  
      0QqzS  
    ]?`p_G3O  
    光线追迹仿真 PZJ 4: h  
    !@Lc/'w  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [B @j@&  
    •单击go！ <,4(3 >js  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 SqF.DB~  
    6ya87H'e@  
     S5KYZ W  
    !F#aodM1N  
    场追迹仿真 A]%t0>EL<  
    c|( ?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a BH1J]_  
    •单击go！ A i){,nh`0  
     :$c:3~  
    Z[S+L"0  
     TeCpT2!5j  
    场追迹仿真（相机探测器） _C,@eu"9V  
    X\2hKUkT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'A!/pUML  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 89#0vG7m  
    xevP2pYG:  
     fbTw6Fde$  
    S} Cp&}G{P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WAXts]=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hUvuq,LH_  
    `Uj?PcS_  
    ]~S+nl yd<  
     yL x .#kx6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [RPAkp  
     bTQa'y`3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (e3Gs+;  
    tK}p05nPhl  
     <-B"|u  
     
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