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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 'ySljo*It  
    LY-lTr@A^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >[ug zJ  
    4!l sk:R  
    N%9h~G  
     z,{e]MB)M  
    建模任务 #(%t*"IY;  
    ~{L.f94N  
    yjEI/9_  
    概述 fokwW}>B[f  
    K8?zgRG3~N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gbm0H-A:*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RT% x&j  
    J&M1t#UN  
     fO].e"}  
    T8n-u b<  
    光线追迹仿真 1~%o}+#-  
    GR,J0LT   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '_B_&is  
    •单击go！ 31~hlp;  
    •获得了3D光线追迹结果。 tbq|,"  
    6Wj@r!u  
     9Z&?R++?  
    YgCc|W3{  
    光线追迹仿真 Hu[]h]  
    *^'wFbaBO  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 v btAq^1  
    •单击go！ HOE2*4r  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jOs H2^  
    U,e'ZRU6  
     Bwjg#1E  
    tG/a H%4S  
    场追迹仿真 D%-{q>F!gf  
    TfJL+a0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J"-_{)0lD  
    •单击go！ ITONpg[f  
    yI8 SQ$w0y  
    K<FKu $=  
      }mKwFVZ  
    场追迹仿真（相机探测器） HOfF"QAR$  
    &.zj5*J  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @r F/]UJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y)|~:& tZ  
    @%c81rv?  
     !2z!8kI  
    u+i(";\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !#?8BwnaZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YgEM:'1f  
    hyfR9~  
    vv &BhIf3  
     E/ijvuO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y_*n9 )Ct  
     !i^]UN   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >8|+%pK8<  
    3YW=||;|Yg  
     jeq:  
     
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