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摘要 :Ob^b3<t 0lniu=xmQ- 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5EQ)pH+
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H.XyNtJ 建模任务 }]dzY( k"gm;,`  hy;V~J# 概述 eDP&W$s# +U
J~/XV •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xLFMC?I •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J`0dF<<{[y =J)-#|eZG
 +{ =U!}3| >f Hu 光线追迹仿真 z7XI`MZN^ *2-b&PQR{ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
+ug2p;<B •单击go！ HU/4K7e` •获得了3D光线追迹结果。 hG~.Sc:G J5jI/P
 $Bc3| `K1v }z/%b<o_ 光线追迹仿真 =to.Oa RR 5655)u.N8 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 W f8@ B#^{ •单击go！ Ws0)B8y,| •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 zi`q([ AU)\ lyB
 g.!k>_g ` 1>\ V>g9 场追迹仿真 ^Tj{}<yT Z-4/xi 7 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =2( 52#pT •单击go！ A7#n BHwxZ ~e hN%-  tMP" 9JE,
ztHx)
! 场追迹仿真（相机探测器） |BhL. r7V !M1 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 p`\>GWuT! •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N<4 nb JQej$=*
 Iy;"ht6 m*B4a9 f 场追迹仿真（电磁场探测器） ?5B?P:=kl •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tUOY`]0 K%
snE7X?)  ]gnEo.R
j -"34 场追迹仿真（电磁场探测器） M6A0D+08
.]4MtG •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2/A*\ pQc-}o"
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