-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-07-15
- 在线时间1813小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 b910Z?B^L j<KC$[Kt 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {
&'TA
:mrGB3x{
 $G_<YVXcG
&wuV}S 7 建模任务 )q^vitkjup VM,ZEt3Vy  GWVdNYpmr 概述 UBVb#FNF ul?BKV+3E •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qck/ b •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K7.<,E"M. PsgzDhRv
 KR}0(,Y wu k7mIJ 光线追迹仿真 }j?S?= ;m= *X\c
$ =* •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5);#\&B •单击go！ \z i3.;9|; •获得了3D光线追迹结果。 ;SW-df o2i *lK4yI*%o
 O0~d6Ba c-.>C) 光线追迹仿真 (M+<^3c s=TjM?) •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a~* V •单击go！ R`Lm"5 w •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 JY2
F-0t) $3TTHS o
 )sf~l6 0 M IMs# 场追迹仿真 JF *g!sV% F[ EblJ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Oez}C ,0 •单击go！ hU
7fZl%yl Xa@ wN/"F  7LwS =yP
DANSexW 场追迹仿真（相机探测器） RfBb{?PP ) YfwJBz D •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rcZ SC 3 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 M0SH-0T;Z X u):.0I
 4Aew
)
@ ;fE%N 场追迹仿真（电磁场探测器） pRvs;klf •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H Y4E LUNs |\&  R2a K5~
q|X4[E|{Q 场追迹仿真（电磁场探测器） qb4;l\SfT
$Je"z]cy- •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &H&P)Px*_ 1=Zw=ufqV
 i=U T c1
|
