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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Qx_K)  
    1I'ep\`"X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 J!%cHqR  
    x8]9Xe:_>O  
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     }F*u 9E  
    建模任务 oEqt7l[I{  
    ~}SOd<n)|  
    ;'o:1{Y  
    概述 *mqoyOa  
    @ =RH_NB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bS0z\!1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 YWf w%p?n"  
    IZ2c<B5&  
     QE:%uT  
    Cq7EdK;x  
    光线追迹仿真 > 5i(U_`l  
    =w~phn  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zuWfR&U|W  
    •单击go！ [WOLUb  
    •获得了3D光线追迹结果。 DhQYjC[  
    N6GvzmG#g  
     |JpLMUG  
    MTKd:.J6  
    光线追迹仿真 29 +p|n  
    -3M6[`/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N XwQvm;q  
    •单击go！ :Fm{U0;"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 kEM5eY  
    lP@/x+6tg  
     sA3=x7j%c  
    }&Eb {'  
    场追迹仿真 [:HT=LX3  
    WQ\H 2go  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3^>D |  
    •单击go！ 0]dL;~0y.  
    DA[s k7  
    B}= WxG|)  
     H3=U|wr|  
    场追迹仿真（相机探测器） @:'swO/\<  
    O k-*xd  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /f!CX|U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *mQOW]x%  
    D`;Q?f C  
     ^cYm.EHI  
    *"N756Cj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OUY 65K  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bg\~"  
    AiXxn'&i  
    I' URPj:t  
     b"+ J8W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `(|jm$Q  
     /aepE~T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 su~_l[6  
    wo;`D  
     U>^u!1X  
     
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