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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 !Ztqh Xr  
    )][U6e  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b'\Q/;oz>  
    ?).;cG:<  
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    建模任务 {ogBoDS  
    EjLq&QR.  
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    概述 gZ4' w`4r  
    i"}z9Ae~.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HpEd$+Mz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \1!Q.V  
    UE'=9{o`  
     U0_)J1Yp  
    rNq* z,  
    光线追迹仿真 4C=W~6~  
    ~{I.qv)>M~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @}H u)HO  
    •单击go！ ByY2KJ7  
    •获得了3D光线追迹结果。 Ei_ ~ K';  
    G$>?UQ[  
     *)Qv;'U=rn  
    J =^IS\m  
    光线追迹仿真 ,,{;G'R|  
    pJ] Ix *M  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '(5GR I<  
    •单击go！ F"] P|   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8z1z<\  
    Ljd`)+`D  
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    vUpAW[[  
    场追迹仿真 g,+ e3f  
    {]Zan'{PCO  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I`0-q?l  
    •单击go！ &zJI~R  
    % Ln`c.C  
    %4*c/ c6  
     j*DPW)RkKX  
    场追迹仿真（相机探测器） a#j,0FKv  
    kZw"a*6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z)3TB&;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]rlZP1".  
    KOy{?  
     ! UT'4Fs  
    b&rBWp0#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *cb|9elF^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~~/,2^   
    >-MnB  
    40kAGs>_  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） A%8 Q}s$<s  
     *$eH3nn6g  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0<m7:D Gd  
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     tRoSq;VrS  
     
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