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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 k^vmRe<lk  
    p lz=G}Y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z)Xq!]~/g  
    9R t(G_'  
    }!J/ 9WKgU  
     % 'L=  
    建模任务 .bY1N5=sz  
    _#\5]D~""  
     ZeDDH  
    概述 U%S NROj  
    ~ jrU#<'G9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _tg3%X]  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "p_[A  
    5Dh&ez`oR'  
     qkyX*_}  
    7zOvoQ}  
    光线追迹仿真 fjeE.  
    ROI$;B(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 u{y5'cJ{  
    •单击go！ BfO}4  
    •获得了3D光线追迹结果。 &<; nl^  
    W0C$*oe!_i  
     &`9bGO  
    h11bK'TIv  
    光线追迹仿真 =K&q;;h  
    j(2tbWg9-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /(}l[jf  
    •单击go！ jind!@}!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e1Z;\U$&.  
    _ d"Y6 0  
     q?b)zeJ  
    %>QSeX  
    场追迹仿真 r|sy_Sk/{  
    J5r L7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 boHm1hPKS  
    •单击go！ _M[[o5{  
    m]b.P,~v  
    m~\m"zJ4  
     WW Kr & )  
    场追迹仿真（相机探测器） P|QnZ){  
    RI].LB_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]{l O  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X$Qi[=L  
    <GU(/S!}  
     =dJEcC_J  
    'Y/V9;`)s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c[e GpZ]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vmQ DcCw  
    Vf* B1Zb  
    |x~ei_x7.p  
     {s^n|b}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G;.u>92r|  
     XcW3IO  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '[M2Q"X  
    @ F"ShT0  
     fxCPGj  
     
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