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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 <\`qRz0/  
    _Nacqa  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A"i $.dR{  
    *%CDQx0}  
    %Hu?syo  
     z07Xj%zX9  
    建模任务 d}Xb8SaE%c  
    G3dA`3  
    8/T[dn  
    概述 sZPyEIXie  
    /(8"9Sfm  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zmhL[1qj  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _lrvK99  
    U%)-_ *`z  
     {H3B1*Dk  
    J_7#UjGA,  
    光线追迹仿真 Qo\?(E M  
    O-&^;]ieJ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >!MRk[@ V-  
    •单击go！ =z zmz7op  
    •获得了3D光线追迹结果。 s"5wnp6pW  
    GB4^ 4Ajx  
     IoZ _zz0  
    ~JHEr48  
    光线追迹仿真 bT15jNa  
    >|aVGY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 m:6*4_!  
    •单击go！ ,H>'1~q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UM2yv6:/  
    ~9Qd83`UH  
     5a&BgBO1M  
    MY'T%_i d  
    场追迹仿真 K-[;w$np0  
     [ J4n%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @%jY  
    •单击go！ >i"WKd=  
    I]a [Ngj  
    ;FJFr*PM  
     rvuasr~  
    场追迹仿真（相机探测器） -"rANP-UI  
    Irui{%T  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .uSVZqJ7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _Kbj?j  
    gx8i|]  
     N}nE?|N=5  
    '<$*N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T: SqENV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $WXO1o(O  
    \k{d'R#~(  
    4~Y?*|G]m  
     8jY<S+[o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4~1lP&  
     aNBwb9X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |w{C!Q8l  
    (8~D ^N6Z  
     zkquXzlgB  
     
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