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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 E{JTy{z-  
    8i`T?KB  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @]X!#&2>  
    TTj] _R{n  
    nY1PRX\  
     AM!P?${a  
    建模任务 4jZt0  
    Lp$&eROFVs  
    6I=d0m.io  
    概述 ?P7QAolrr  
    8sDw:wTC  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kH0kf-4\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lp$,`Uz`  
    J^` pE^S  
     Gv)*[7  
    0[ n;ZL~  
    光线追迹仿真 t9W*N\  
    U .^%7.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i0x[w>\-  
    •单击go！ E(S$Q^  
    •获得了3D光线追迹结果。 4yxf/X)  
    fH ,h\0  
     'g)5vI~'  
    A#~CZQY^$  
    光线追迹仿真 GZ:1bV37%  
    }darXtZKkK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "$%&C%t  
    •单击go！ J{uqbrJICr  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O'k<4'TC  
    `a7b,d  
     uZ1G,9  
    R^ I4_ZA  
    场追迹仿真 P)=$0kR3  
    IU}g[O Cu  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "\afIYS I  
    •单击go！ G\f:H%[5[  
    w~9Y=|YI7  
    .0y .0=l  
     a! x?Apww  
    场追迹仿真（相机探测器） Mm"0Ip2"  
    x2]chN  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '! ;Xxe5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JHVesX  
    QbAEW m  
     )!`>Q|]}Zd  
    c30 kb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +r =p ,leb  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N*hx;k9  
    VelX+|w  
    RjR  
     ;&RHc#1F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7bam`)n  
     _vE[TFy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'F8:|g  
    xb(y15R\I  
     %LdFS~  
     
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