切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1048阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7232
    光币
    30301
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 XV:icY  
    xJF}6yPm@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z)RV6@(  
    ^Mi&2AvS  
    aDVBi: _  
     y<*/\]t9L[  
    建模任务 _U`1BmTC2  
    lb[\Lzdvmu  
    !F~*Q2PZ9  
    概述 `T~~yM)q  
    Nt P=m @  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 88M$mjx  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fv?vfI+m  
    zua=E2  
     ~t.M!vk  
    <hM`]/J55  
    光线追迹仿真 $(ei<cAV  
    2JS&zF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )|CF)T-  
    •单击go！ R[_UbN 28  
    •获得了3D光线追迹结果。 Qlgii_?#@  
    n0< I  
     KL6FmL)HH  
    6[l{@*r"  
    光线追迹仿真 ={gfx;  
    8^ezqd`  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?^z.WQ|f@  
    •单击go！ 0N(o)WRv  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [ #1<W`95  
    f*& 4d  
     d1=fA%pJ  
    A6# 5 z  
    场追迹仿真 /R% Xkb  
    >V1v.JH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +ZK12D}  
    •单击go！ y o |"-  
    Uc<j{U ,  
    p a)2TL/@  
     }4A $j{\  
    场追迹仿真（相机探测器） hxQx$  
    uF89B-t  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0k\BE\PQk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [c_o.`S_\  
    zv}3Sl@  
     c.;}e:)s  
    krI@N}OU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） DcL;7IT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i{+W62k*  
    PH]/*LEj  
    s}5,<|DL  
     ZN `D!e6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gJUawK  
     XzF-g*e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -0 o1iU7  
    rE[:j2HF  
     8n1<nS<  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表