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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 mxz-4.  
    Bc6|n :;u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t5#rps\;  
    a^=-Mp  
    ],RdySN&  
     ,)iKH]lY=  
    建模任务 L7V G`h;  
    't6V:X  
    d"6&AJ5a  
    概述 F@<CsgKB-  
    *g[^.Sg  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^sVX)%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _c, '>aH=  
    "87ghj_}  
     A9kzq_ 3  
    4Qo]n re!  
    光线追迹仿真 v7DE  
    DM}YJ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \U[ {z&]~  
    •单击go！ Q)LM-ZJKQ  
    •获得了3D光线追迹结果。 dO4{|(z  
    6Qx#%,U^ J  
     %7gkNa  
    |Tm!VFd  
    光线追迹仿真 w\DVzeW(  
    qt;y2gf=  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LWHd~"eU  
    •单击go！ l"2OP6d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %"af748!+D  
    82]vkU  
     R8T] 2?Q1  
    k31I ysh  
    场追迹仿真 ^1L>l9F  
    E5N{j4\F  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7 <Q5;J&;  
    •单击go！ ]@0NO;bK>F  
    =<NljOR4`  
    tc!wLnhG  
     Ldl 5zc  
    场追迹仿真（相机探测器） Ie4hhW  
    ?HV`| Cw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !Z5[QNVaV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~I799Xi  
    hDp6YV,q  
     Xixqxm*8  
    HH@qz2w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vMs$ceq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^-[?#]  
    A%{W{UP8N  
    _dJ{j   
     mUz\ra;z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T7d9ChU\#.  
     & _g TD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j~e;DO  
    \;mH(-  
     BZXUwqEh  
     
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