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摘要 _pW\F(+8
st pa2z 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 M,6m*
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ca-|G'q 建模任务 !30 BZM ^ xez~Yw2  {V8 v
概述 voCQ_~*)9 Xa+ u>1"2" •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .|cQ0:B[ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '% kk&&3' v2dC na\
 d &t |Y:,8 A"p7N?|% 光线追迹仿真 %KRAcCa7 +K]kG F •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^O4.$4t| •单击go！ vxK} f*d •获得了3D光线追迹结果。 YG<?|AS/ S_aml
 'Aai.PE: |no '^ 光线追迹仿真 = p:D_b #\ o
VbVq •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1+v)#Wj •单击go！ b4i=eI8 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6 C;??Y>b vY:A7yGW
 wF[^?K ' 79=w]y 场追迹仿真 V # =o< (+(YO\ng6 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
Q]A;VNx •单击go！ u:NSPAD) x-m RPH  80LKxA;5N
gVl%:Ra% 场追迹仿真（相机探测器） R"VmN2 u.gnv dU •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -BgzAxa •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ) j_g*< Z@=#ry
 ^LX 1&yT@ D*I%=);B_ 场追迹仿真（电磁场探测器） X~G!{TT_x6 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FhHcS>]:. `c ^2  wZ5 + H%x
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"N4! 场追迹仿真（电磁场探测器） =i4 Ds
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