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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 0 ,-b %X  
    W<"\hQI  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "Ycd$`{Vgt  
    5eA]7$ic  
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     <J-Z;r(gQN  
    建模任务 ISew]R2  
    `x)bw  
    UmX[=D|  
    概述 (N4(r<o;  
    (+dRD] |T  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @U@yIv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >N-%  
    QE2^.|d{  
     L0tKIpk  
    J_ |x^  
    光线追迹仿真 2]=I'U<E!  
    p)xI5,b$9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;NE/!!  
    •单击go！ ~-wJ#E3g  
    •获得了3D光线追迹结果。 <9a_wGs  
    Y{RB\}f(  
     |wQZ~Ux:  
    30+l0\1  
    光线追迹仿真 y51D-vj  
    yMl'1W  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5C1Rub)  
    •单击go！ 'hw@l>1\9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H^;S}<pxW  
    @;D}=$x  
     6xh#;+e }  
    ok%!o+nk.  
    场追迹仿真 Q0Qm0B5eY  
    Mk/!,N<h#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?0<INS~  
    •单击go！ o~_>p/7;  
    )+4}Ix/q  
    Juqn X  
     (!5}" fj  
    场追迹仿真（相机探测器） =v$s+`cP  
    Ej09RO"pB  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g{)H" 8L  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3H#/u! W  
    ugCS &  
     DPQGh`J  
    F%Umau*1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Tv,.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oEoJa:h  
    m:f ouMS  
    0k 0c   
     ?En| _E_C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <`j[;>O  
     m4SXH> o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m4U+,|Fa  
    7h9[-d6  
     9'#.>Q>0=j  
     
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