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摘要 r@r%qkh(.@ b ^Hr zn 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 93-Y(Xx)bY
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 Ur j*V0^
k<1yv$/mW 建模任务 vN v?trw NGra/s,9 |  A 'qe2] 概述 gmTBT#{6yH }ze+ tf •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 61\u{@o$ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1I Yip\:lS #GsOE#*>T
 p< R:[rz (5a73%>@ 光线追迹仿真 ?}||?2=P eK8H5YE •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 UuG%5 ZC •单击go！ <Ij!x`MS+ •获得了3D光线追迹结果。 wNON h`b }v1wpv/b(
 ;!yK~OBxt 337.' |ZE 光线追迹仿真 P - m_] , rK~-Wzwu •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {+N<
9(O •单击go！ (1/Sf&2i •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,|%KlHo^ ~{x1/eH
 `CK~x = ~W'DEpq_ 场追迹仿真 hW7u#PY [%IOB/{N •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !3Dq)ebBz •单击go！ ;qx#]Z0 < Rq4; {a/j  =4y gbk
LPs%^*8(2 场追迹仿真（相机探测器） ?2<Q oS H KN|pO3v •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _S!^=9bJ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }"Y<<e<z: Bz+oM N#XJ
 &lc@]y8 B`pBI Uu 场追迹仿真（电磁场探测器） UhB +c •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :4AQhn^;" w+ $$u z  PZ[-a-p40
ZvY"yl ?e 场追迹仿真（电磁场探测器） ET*A0rt
$`pf!b2Z •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0
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