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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 o/grM+_  
    D\}A{I92F4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'gDhi!h%  
    gZI88Q  
    cN}Aeo  
     .</`#   
    建模任务 }0& @J'<  
    95 7Cr  
    n2NxO0  
    概述 {s8v0~  
    }pOem}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \t6k(5J  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _sEkKh8x  
    sYQ=nL  
     IUt/V^  
    ,i>{yrsOh  
    光线追迹仿真 PyOj{WX>W  
    'P1I-ue  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s<f<:BC  
    •单击go！ 9~ [Sio~  
    •获得了3D光线追迹结果。 i(hI\hD  
    Z2HH&3HA  
     (%&HufT  
    ~C|. .Z  
    光线追迹仿真 f~HC%C YH  
    tVB9kxtE  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y8 c#"vm(  
    •单击go！ rHzwSR@}1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f,Z* o  
    i%M6$or  
     F/91Es  
    4CUzp.S`h  
    场追迹仿真 ID/=YG@  
    0X.(BRI~6p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O;bnyB$  
    •单击go！ E}7@?o7u}  
    |@6t"P]@  
    cPFs K*w  
     7Nu.2qE  
    场追迹仿真（相机探测器） 5G >{*K/  
    g4Y1*`}2f  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 nY]5pOF:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~F gxhK2+  
    d) i:-#Q  
     3sh}(  
    _>b=f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :eL{&&6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _h?hFs,N]  
    TBAF_$  
    L5-p0O`R  
     M>eMDCB\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [&Yrnkgr  
     Y@jO#6R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Ox !7Lp  
    .paKV"LJ  
     n(#|  
     
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