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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Qz2jV  
    >f-RzQ k  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'IVC!uL,%  
    ]]}iSw'  
    'Ce?!U O  
     2S[:mnK  
    建模任务 4@mJEi{  
    d>#X+;-k  
    K9VP@[zbJ  
    概述 =eDC{/K  
    0HbCT3g.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3KkJQ5a  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /S^>06{-+  
    b`DPlQHj  
     > hGB o  
    I)r6*|mz  
    光线追迹仿真 %X%f0J  
    zA$ f$J7\^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rG[2.\&  
    •单击go！ d#ab"&$bv  
    •获得了3D光线追迹结果。 [x`),3qD  
    ^Mhh2v  
     f/0k,~,*  
    *qm>py`O  
    光线追迹仿真 f= }!c*l"  
    JLu$UR4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dPV<:uO  
    •单击go！ mT|r:Yr:  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rF{,]U9`  
    [ {vX*q 3B  
     X_rv}  
    v9f%IE4fX  
    场追迹仿真 qzZ;{>_f  
    t)O]0) s  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ku>Bxau4>  
    •单击go！ <@4V G  
    j~9Y0jz_  
    K 4{[s z  
     OP_\V8=  
    场追迹仿真（相机探测器） o(D_ /]'8  
    Pe11a zJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {D,- Whi  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 W~l.feW$i  
    Go]y{9+(7  
     l6MBnvi   
    .~^A!t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n#4T o;CS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ye}86{l  
    4Y G\<Zf  
     7(o:J  
     0/%RrE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (Bpn9}F-V.  
     DwTVoCC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gsm.a  
    -y$<fu9 e  
     l Yj$ 3  
     
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