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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 *i zPLM}+  
    8 tMfh  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \GYh"5  
    $"&0  
    SA_5..  
     m<L.H33'  
    建模任务 4mR{\ d  
    ufF$7@(+  
    2mUq$kws  
    概述 I;iJa@HWQ  
    U-/-aNJ]U  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l>K z5re^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;=\vm"I?  
    @IL_  
     j3{8]D  
    F<SMU4]YdG  
    光线追迹仿真 q#9JJWSs  
    0>hV?A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6 ,jp-`  
    •单击go！ +Hx$ABH  
    •获得了3D光线追迹结果。 dqwCyYC  
    N&g9z{m7  
     df@IC@`pB  
    1F?`.~q  
    光线追迹仿真 Lc,`  
    ioxs x>e<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3LXS}~&  
    •单击go！ o.Ld.I)  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !DsKa6Zj  
    A[20ic  
     j8/rd  
    UeNa  
    场追迹仿真 Hc.r/  
    2<&lrsh  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 qK}4r5U  
    •单击go！ "fWAp*nI3t  
    N"-</kzV  
    Y rq-(  
     S!!i  
    场追迹仿真（相机探测器） ap|7./yg  
    {m1=#*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &t .9^;(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bvHF;Qywg  
    'iy &%?  
     MbY?4i00%h  
    E`vCYhf{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vLQ!kB^\W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ho*44=j  
    r9!jIkILz  
    ]Tmx;[D  
     WjfUbKg0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OcR6\t'  
     i4 BCm/h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bb<qnB  
    jP*5(*[&y  
     PF$K> d  
     
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