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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 SI=vA\e  
    )s6pOxWx  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :ND5po#(  
    "?|sC{'C4j  
    YC#N],#  
     ]}2+yK  
    建模任务 gF;i3OJg  
     4l+"J:,  
    Bk&ry)`gD  
    概述 OD !b*Iy|  
    9L;fT5Tp7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8 /1 sy.R  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5BCHW X*y  
    OosxuAC(  
     i-)OY,  
    hjywYd]8  
    光线追迹仿真 >K$9 (  
    =Jfo=`da  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0R&$P 6  
    •单击go！ )(`I1"1   
    •获得了3D光线追迹结果。 y@"6Dt|  
    VSa\X~  
     He att?(RR  
    7Z0fMk  
    光线追迹仿真 [V_Z9-f*  
    m.ev~Vv~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I!?-lI@(  
    •单击go！ s(W]>Ib  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 &U%AVD[  
     L5/J  
     T)J=lw  
    Pu dIb|V2  
    场追迹仿真 n46H7e(ej\  
    L=4%MyZ.e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T9.3  
    •单击go！ 9~i=Af@  
    !t/I j~o  
    Eb66GXF[  
     ]cvP !  
    场追迹仿真（相机探测器） &@CcH_d*  
    R&Y+x;({  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rnW(<t"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \^O&){q(9  
    Z _W.iBF  
     qScc~i Oq  
    K*^3FO}JG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） NuZiLtC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IzPnbnS}  
    aMdWT4  
    7M;7jI/C  
     Q-<N)K$F(4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） yClX!OL  
     &`+tWL6L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W]b>k lp;  
    PhTMXv<cE  
     <4r3ZV;'  
     
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