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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Oc]&1>M  
    6$'6x2,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }/Wd9x  
    p,?8s%  
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     =](c7HEQf  
    建模任务 bW`@9 =E  
    `;^%t  
    YLlw:jN  
    概述 ,{C(<1  
    PAe2 hJ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ':7%@2Zo  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Y[Gw<1F_  
    N_vVEIO9  
     6, Q{/  
    n7vLw7  
    光线追迹仿真 X;5U@l  
    t9&z|?Vz  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zXB]Bf3TH  
    •单击go！ z]k=sk  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]|q\^k)JU  
    VA _O0y2  
     Ih}I`wY-  
    Ii?"`d+JA  
    光线追迹仿真 YbC6&_  
    u.gh04{5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b; SFnZa8  
    •单击go！ `d=$9Pi  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xDBEs*  
    P,"z  
     ufdC'2cp8  
    ?ng?>!  
    场追迹仿真 q{UP_6O F  
    %r5&CUE5?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M* W=v  
    •单击go！ x8T5aS  
    !MB%  
    |}*k|  
     *seKph+'c  
    场追迹仿真（相机探测器） +G&h  
    `n:IXD5'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V/+r"le  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (Jf i 3 m  
    r0kA47  
     |xH"Xvp:  
    1vu4}%nD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t8s1d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RlX;c!K  
    L6j 5pI  
    IxCEE5+`%  
     Cc]s94  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d@"eWvnlZ  
      zUqiz  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8'*z>1ZS5  
    `hS<F" j  
     Ta!.oC[  
     
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