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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 4AGc2e'u  
    ,GK>|gNsb  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |A2.W8`o  
    @t_<oOI2  
    F?UL0Q|uv  
     M?,;TJ7Gd  
    建模任务 I0Vm^\8  
    { Z|C  
    ^3e l-dZ  
    概述 ?f%@8%px  
    <a'j8pw9i  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cJt#8P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 r@_;L>  
    m_pK'jc  
     wtZe\ h  
    2-$R@ SVy  
    光线追迹仿真 4F'@yi^Gt  
    u", [ulP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "$WZd  
    •单击go！ R)#"Ab Z'  
    •获得了3D光线追迹结果。 S`NH6?/uH  
    5vS'Qhc  
     !XK p_v  
    =~R 0U  
    光线追迹仿真 ;N)qNiJY  
    $hA[vi\5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5 bgx;z9  
    •单击go！ n |(Y?`(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2^|*M@3r  
    A0'Yfuie  
     _N<8!(|w  
    >:Rc%ILym  
    场追迹仿真 vwP83b0ov"  
    akaQ6DIdG  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AR&u9Y)I  
    •单击go！ k&9 b&-=fk  
    y M>c**9  
    FQ);el'_V  
     (Y-7B  
    场追迹仿真（相机探测器） 3uN;*f  
    A H`6)v<f  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0Tq6\:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m,-:(82  
     M*%iMz  
     qF>}"m  
    Cfa?LgSz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9HWtdJ+^C=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1;SWfKU?.  
    N'TL &]  
    " MlY G6  
     VNF@)!l  
    场追迹仿真（电磁场探测器） iQ:]1H s  
     N{f RZN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'r3I/qg*m  
    ) _"`{2  
     )~rN{W<s`H  
     
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