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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 F}D3,&9N  
    ?eV_ACpZ8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0oSQY[ht/  
    X'x3esw w  
    9/@ &*  
     P`EgA  
    建模任务 F;P5D<  
    +Rqbf  
    M\9F:.t=  
    概述 RDJ+QOVKg  
    b/u8} J  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Q_]~0PoH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .*Vkua  
    (rcMA>2=  
     FaY_ 0G;y  
    +AoP{ x$Ia  
    光线追迹仿真 1HbFtU`y~  
    ?v4E<iXs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "Zcu[2,  
    •单击go！ &yU>2=/T  
    •获得了3D光线追迹结果。 \GL*0NJ  
    ^H3m\!h  
     `\N]wlB2/b  
    E!! alc{  
    光线追迹仿真 ,q#2:b<E  
    !n<o)DsZR  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CxDcY  
    •单击go！ ^m%52Tm h  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 OCNPi4  
    9x?'}  
     &94W-zh  
    R0wf#%97  
    场追迹仿真 Svw<XJ   
    S!h Xf|*0[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,Dp0fauJ  
    •单击go！ qTM%G-  
    TH4\HY9qa?  
    +sf .PSz$  
     c}-(.eu  
    场追迹仿真（相机探测器） dJD(\a>r.u  
    W5SNI>|E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 89H sPB1"t  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3^wC<ZXcD  
    ER^QV(IvP8  
     opp!0:jS*  
    q3h'l,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x[i`S8D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +Gh7^v|"  
    K_ke2{4Jm  
    |V|+lx'sc  
     N3%*7{X 9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a]B[`^`z  
     3t" 4TjAy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b>11h  
    4W;S=#1  
     jfp z`zE  
     
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