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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 6,UW5389  
    1;N5@0%p  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MWron_xg  
    zY&/^^y  
     Oa/#2C~  
     GYK&QYi,  
    建模任务 SK G!DKQ  
    SdQ"S-H  
    ,f?+QV\T.  
    概述 LyA}Nd]pyq  
    i*ErxWzu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 = & =#G3f  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wwD?i.3  
    X4Y!Z/b  
     TuX9:Q  
    {m7>9{`  
    光线追迹仿真 we;QrS(Hi  
    !,zRg5Wp4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 - TU^*  
    •单击go！ ?kKr/f4N  
    •获得了3D光线追迹结果。 z*B-`i.  
    K \_JG $(9  
     (nLT 8{>0  
    uKE?VNC]  
    光线追迹仿真 =UMqa;\K  
    # 8fq6z|JZ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WXX)_L$2  
    •单击go！ sbV {RSl  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }SZU'lYHoM  
    |;k@Zlvc  
     7ajkp+E6  
    ;j^C35  
    场追迹仿真 %1^E;n  
    Hm*?<o9mxC  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1<TB{}b Z  
    •单击go！ I` +%ab  
    UG:S!w'  
    m6 @,J?X  
     !H/5Ud9  
    场追迹仿真（相机探测器） +(l(|lQy$  
    AIX?840V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GB\1'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wseb]=U  
    a15kFun  
     1K&l}/zUl  
    T\b-<Xle  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .qGfLvx%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h}knn3"S  
    (+lCh7.  
    LOX}  
     3; Ztm$8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C^8n;i9  
     vS'l@`Eg]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j8#xNA  
    ZtPnHs.x  
     !bg2(2z  
     
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