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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 r`AuvwHPs[  
    >tO`r.5u9  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g)s{ IAVx  
    Eq$&qV-?(  
    FL(6?8zK  
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    建模任务 BZud) l24  
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    F#5B<I  
    概述 %CS@g.H=_  
    S/Fkw4%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 OR}c)|1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )\6&12rj  
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    Jrg2/ee,*  
    光线追迹仿真 L:_bg8eD#  
    Bn61AFy`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9uRF nzJVx  
    •单击go！ PQK(0iCo4  
    •获得了3D光线追迹结果。 .so[I  
    \[gReaI  
     QmLF[\Oo_  
    F1jglH/MF)  
    光线追迹仿真 Ps%qfL\  
    0Z0:,!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 S,<EEtXQ  
    •单击go！ $aN-Y?U%  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *uo'VJI7_,  
    x~GQV^(l3  
     yY[<0|o u  
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    场追迹仿真 6oLwfTy  
    ]u4Hk?j~<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :um|nRwy9  
    •单击go！ ;9~6_@,@o  
     .&9 i  
    PH> b-n  
     '@jXbN  
    场追迹仿真（相机探测器） H ,+? t  
    Wx~k&[&E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _~rI+lA  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /9zE^YcT  
    ?0YCpn  
     ~=KJzOS,S  
    *^RmjW1I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )(tM/r4`c&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2Fz|fW_  
    A |3tI  
    {_Lg tu  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） wKi^C 8Z2  
     `.T}=j|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c%[#~;E  
    K]j0_~3s  
     ukvtQz)  
     
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