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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 \U?{m)N  
    *%dWNvN4X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rzKn5Z  
    &^ =Y76  
    e pAC%a  
     f q*V76F  
    建模任务 {Yt i  
    zh4m`}p  
    ulXe;2  
    概述 U&6f:IV  
    3]/Y= A  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t2z@"e   
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x{{ZV]  
    ;4(FS  
     GnW_^$Fs  
    Y.o-e)zX  
    光线追迹仿真 E2|c;{ c  
    ;<v9i#K5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bhT:MW!  
    •单击go！ !%YV0O0  
    •获得了3D光线追迹结果。 H{*R(S<I  
    >c@1UEwkm  
     p:qj.ukw  
    9,Ug  
    光线追迹仿真 a~;`&Uj  
    aEqDxr6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .sbV<ulbc  
    •单击go！ <k2]GI-}h  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 L3X[; |v}  
    AlT04H   
     !CuLXuM  
    i9y&<^<W  
    场追迹仿真 *mXs(u  
    \YsYOFc|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )V*V  
    •单击go！ ' |K408i   
    v]BMET[w  
    MQGR-WV=5  
     ZIM 5$JdCv  
    场追迹仿真（相机探测器） Kg;1%J>ee  
    0~j0x#  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZfN%JJOz(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Tg.}rNA4  
    9!oNyqQ  
     Zae$M0)  
    SiQszV.&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [0mg\n?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 = eDi8A*~  
    ~uz4  
    ) %&~CW+  
     B@2VI 1%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GFBku^pi  
     + %07J6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2N:|BO>  
    <Xr {1M D  
     P ||:?3IH  
     
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