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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Jbn^G7vH<6  
    `b KJ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AD~_n ^  
    F<4>g+Ag  
    &EhOSu  
     > zfFvx_q  
    建模任务 c"diNbm[  
    +xS<^;   
    K SJ Ko  
    概述 '?Xf(6o1  
    fRjp(m  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >mj WC) U  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #sE: xIR  
    y9U~4  
     88VI _<  
    :W#?U yo  
    光线追迹仿真 SmUiH9qNd,  
    6a704l%#hb  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <m,bP c :R  
    •单击go！ Z>[n~{-,p  
    •获得了3D光线追迹结果。 Y,?kS dS  
    = &^tfD  
     j8+>E ?nm  
    u%5 ,U-  
    光线追迹仿真 uFuP%f!yY  
    akG|ic-~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 iD<}r?Z  
    •单击go！ WidLUv   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MaLH2?je^n  
    R5xV_;wD  
     y+ 4#Iy  
    o$#q/L  
    场追迹仿真 Bkg./iP5x  
    ]GDjR'[z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :1;"{=Yx}  
    •单击go！ a1EQ.u  
    [Wxf,rW i  
    p^w_-( p  
     :`c@&WF8  
    场追迹仿真（相机探测器） LfJMSscfv  
    @ V_i%=go  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o7^0Lo5Z?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )6%a9&~H  
    \wR\i^  
     ;M"[dy`dY  
    cUO$IR)yL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3_>=Cv}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ikO9p|J  
    FD5OO;$  
    qfRrX"  
     g9Ty%|Q7(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :m36{#  
     PAH#yM2Ic  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O)"Z%B  
    )$K\:w>  
     Sbeq%Iwm.  
     
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