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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 iQ{z6Qa  
    .,mM%w,^O  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {!t=n   
    stXda@y<p  
    oD,C<[(p  
     i4VK{G~g"  
    建模任务 : ;TYL[  
    3{pk5_c  
    ~ B]jV$=  
    概述 F[`vH  
    /e<5Np\X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ff)@L-Y\K  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [<Jp#&u6sb  
    k<O y%+C  
     *(nJX.7  
    ^j iE9k)  
    光线追迹仿真 4:`[qE3  
    8KKz5\kn7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $_bZA;EMQ  
    •单击go！ :<UtHf<=k  
    •获得了3D光线追迹结果。 $WClpvVj  
    ucM.Ro=@  
     `EVg'?pl  
    B_tQeM  
    光线追迹仿真 +!xu{2!  
    kF2Qv.5!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ['t8C  
    •单击go！ 2_N/wR#=&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qp@m&GH  
    hiIya WU  
     mR,O0O}&  
    sW'6} ^Q  
    场追迹仿真 raF] k0{  
    AZBC P  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0V7 _n  
    •单击go！ '$*[SauAG  
    ^k;mn-0  
    f| =# q  
     F-tFet  
    场追迹仿真（相机探测器） RxMoD.kx  
    1=>2uYKR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ()B7(Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 369Zu4|u  
    6Wb!J>93  
     vlAy!:CV  
    {s9<ej~<R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <b'1#Pd>0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N5ci};?  
     RY9. n  
    U\?+s2I)v  
     UI_v3c3b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u`+ 'lBE,  
     d^y86pq.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _1\poAy  
    =t HD 4I  
     | F8]Xnds  
     
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