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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 s^obJl3  
    8R&z3k;!t  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l(.7t'  
    E8+8{ #f;  
    fO0- N>W'P  
     TjT](?'o  
    建模任务 #T Z!#,q  
    ST#PMb'izn  
    ,I("x2  
    概述 ws#hhW3qK  
    7eTA`@v5A  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gq=0L:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9]"\"ka3>  
    )0'Y et}  
     }'%$7vL`Ft  
    {|G&W^`  
    光线追迹仿真 :m)c[q8  
    X5|?/aR}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K,Lr +  
    •单击go！ R%Kl&c  
    •获得了3D光线追迹结果。 5/*)+  
    [''=><  
     GcPB'`!M  
    ~_ (!}V  
    光线追迹仿真 :Xb*m85y  
    rHH#@ Zx  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3L%Y"4(mm  
    •单击go！ V=:,]fTr  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =B1`R%t  
    1 OuSH+  
     44z=m MR<  
    \xy:6gd:  
    场追迹仿真 FuIWiO(  
    Z`e$~n(Bh  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 E>o&GYc  
    •单击go！ t201ud2$  
    ,"4X&>_f  
    [R roHXdk+  
     =f/avGX  
    场追迹仿真（相机探测器） 1Al=v  
    jJiCF,m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <h)deB+}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D7 8) 4>X  
    (\5<GCW-  
     Fo--PtY`p  
    2n<qAl$t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FZ;Y vdX6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &e5^v  
    K*hf(w9="%  
    N9~'P-V  
     P#M<CG9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,i1fv "  
     c~Q`{2%+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >EPaZp6  
    Cf8R2(-4  
     $\=6."R5<  
     
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