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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 2+y4Gd 7  
    z2nDD6N  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z$6W)~;,  
    @GjWeOj]  
    n;2W=N?y  
     -+O8v;aC'  
    建模任务 srg#<oH|{c  
    OP``g/x)  
    9)mJo(  
    概述 xr.fZMOh4  
    :) mV-(+o  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =Z%&jul  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Hyc19|  
    1gCp/m2r7  
     y{"8VT)  
    ihs@ 'jh  
    光线追迹仿真 Wp T.25  
    D Q~+\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MPNBA1s  
    •单击go！ se7_:0+w  
    •获得了3D光线追迹结果。 hM+nA::w  
    ^Z2%b>  
     <R_3; 5J%  
    ><^A4s  
    光线追迹仿真 HLTz|P0JZ  
    5?6 ATP:[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /:C"n|P7Z  
    •单击go！ &bA;>Lu#|o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YwHnDVV+  
    MqXA8D  
     "f5u2=7 }  
    CDR^xo5 dP  
    场追迹仿真 !"p,9  
    NoiU5pP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sveFxI  
    •单击go！ S@Jl_`<  
    *>Om3[D  
    N b(se*Y#  
     aD0w82s]J  
    场追迹仿真（相机探测器） hLJO\=0rJz  
    6n;ewl}  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qH"0?<$9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "52wa<MV J  
    #N,\c@Gy  
     A5 8i}G9  
    =XudL^GF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >8jDW "Ua  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /WMG)#kw'  
    kZf7  
    vjbot^W9  
     tHhY1[A8m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `| R8WM  
     LOe!qt\&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bNIT 1'v  
    Zw"6-h4  
     /rJvw   
     
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