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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 IHTim T?  
    !R8%C!=a  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aEN` `  
    :{a< ~n`  
    .HZd.*  
     IWE([<i}i[  
    建模任务 es7;eH*O9  
    egu{}5  
    JX0M3|I=  
    概述 /V,xSK9.&  
    NQqw|3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5Od%Jhtt  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Xmr}$<<=  
    == wX.y\.n  
     +JErc)%  
    Q:q0C  +T  
    光线追迹仿真 k'iiRRM  
    _UVpQ5pN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b/_Zw^DPC  
    •单击go！ ExG(*[l  
    •获得了3D光线追迹结果。 JwMRquQv  
    9\"\7S/Z  
     GDLi ?3q  
    O=A R`r#u  
    光线追迹仿真 <%^/uS  
    x;[ .ZzQ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZuGSRGX'  
    •单击go！ P3Ql[ 2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G`l\R:Q  
    1"y !wsM%  
     Rs=Fcvl  
    1>e30Ri,g  
    场追迹仿真 ; $rQ  
    ?J2{6,}O*.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !*v% s  
    •单击go！ ]y {tMC  
    6SCjlaGW5  
    pwN2Nzski  
     >7BP}5`.;  
    场追迹仿真（相机探测器） &6\&McmkX  
    cB,^?djJ3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5.^pD9[mT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8fqabR  
    9i\}^ s2  
     a[hF2/*  
    F/2cQ .u2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <4TI;yy6?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XEiVs\) G  
    uL)MbM]  
    bbjba36RO  
     "c[>>t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） b=Nsz$[  
     CRo'r/G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OD'~t,St  
    /K!)}f( 6  
     bZ_&AfcB  
     
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