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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 daZQz"PP  
    q]4pEip  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #~?kYCtC)  
    3+OsjZ  
    (UEXxUdQ_Q  
     =G-N` 39  
    建模任务 FE5Q?*Ea  
    Zu<]bv  
    lx,`hl%  
    概述 }dSFAKI2dM  
    %4>x!{jwV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 US?Rr  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H*e'Cs/  
    "c`xH@D  
     ~krS#\  
     ((DzUyK  
    光线追迹仿真 2%rLoL$Y2+  
    M<8ML!N0;t  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !FG%2L4?,5  
    •单击go！ t Y1Et0  
    •获得了3D光线追迹结果。 Mpx/S<Z  
    Lue|Plm[y  
     utO.WfWP  
    *07sK1wW  
    光线追迹仿真 L&w.j0fq  
    CyM}Hc&w  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hol<dB  
    •单击go！ OHp5z? z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~I_owCVZ  
    /NBTvTI  
     !G=>ve  
    #n})X,ip2  
    场追迹仿真 ^7XAw: ?  
    P2k7M(I_&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -Wo15O"  
    •单击go！ NCt~9xS.  
    M'jXve(=yF  
    K}x/ BhE+  
     H7IW"UkBR  
    场追迹仿真（相机探测器） juno.$ 6  
    ( )|3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C|e+0aW  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |XcH]7Ai"  
    SPwPCI1?  
     g6' !v  
    $p6N|p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *6*-WV6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PW[6/7  
    Pz~q%J  
    v}`1)BUeF  
     #( uj$[o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {\We72!  
     z}APR@?`n8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,/o(|sks  
    H-&3}   
     :('I)C  
     
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