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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 6U[bAp  
    '.1_anE]  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ht5eb"c+ 8  
    * v W#XDx  
    %2z] 2@  
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    建模任务 5@< D6>6  
    VtzX I2.2  
    :8jaW?~  
    概述 7FvtWE*  
    FCPi U3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1PnWgu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u!DAeE  
    iES?}K/q  
     Avr2MaY{h  
    zD%@3NA41  
    光线追迹仿真 e QGhX(  
    cgF?[Z+x  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o<\9OQ0  
    •单击go！ zcE[wM  
    •获得了3D光线追迹结果。 5fDnr&DR  
    1:VbbOu->V  
     P/;d|M(  
    5*IfI+}  
    光线追迹仿真 D0HLU ~o  
    d/!R;,^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ncCgc5uP  
    •单击go！ x9s1AzM{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p`}'-A|@  
    :qL1jnR^  
     L2 ^-t7  
    M8}t`q[-&  
    场追迹仿真 NvU~?WN  
    ,sln0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5\\a49k.p  
    •单击go！ N]iu o.  
    Mz#<Vm4  
    iw)^; 8q  
     dzn[4  
    场追迹仿真（相机探测器） q#!]5  
    [K4wd%+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f!n0kXVu6U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [d}AlG!  
    y1@*)| r  
     5y%-K=d  
    u[;,~eB%w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WjVj@oC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /n&Y6@W  
    = gbB)u-Pc  
    vk] vtjf&%  
     ]| PDsb"e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） AQ` `Dp  
      ]H_|E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3sy|pa  
    UoSzxL  
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