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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 Al1BnFB  
    NwB;9ZhZ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 NP?hoqeKs  
    "FfIq;  
     Lkl+f~m  
     ]f< H?  
    建模任务 )Fw{|7@N  
    'hn=X7  
    U~1jmxE  
    概述 rbD}fUg  
    '<eeCe-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bL9EX$P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ghu8Eg,Y  
    _b(y"+k  
     ~!A*@a C  
    7B| #*IZe  
    光线追迹仿真 pg:1AAhT[  
    ~+r"% KnG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Jx(`.*$  
    •单击go！ |wYOO(!  
    •获得了3D光线追迹结果。 X \GB:#:X  
    yQ{xRtNO  
     n 0*a.  
    yw3E$~k  
    光线追迹仿真 C% )Xz  
    knU=#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]BiLLDz(  
    •单击go！ Zz@0Oj!`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8LZmr|/F*  
    0>KW94  
     "`'' eV3  
    q;{# ~<"+  
    场追迹仿真 tF@hH}{;  
    /y~ "n4CK~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 > lg-j-pV  
    •单击go！ *#n?6KqZ  
    `NNr]__  
    ~ d!F|BH4  
     },@1i<Bb  
    场追迹仿真（相机探测器） NrrnG]#p1  
    +zz\*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ci~pM<+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tnCGa%M  
    N-g=_86C"  
     q\fZ Q  
    ;E{k+vkqy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hb_J. Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lNw8eT~2  
    1aQR9zg%  
    | ]DJz  
     }#3'72  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #'<s/7;~  
     wx,yx3c (  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ck WK+  
    D0f.XWd  
     tAM t7p-  
     
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