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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ;ax%H @o  
    uQ'Izdm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 byetbt(IF  
    qD<\U  
    4vbtB2  
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    建模任务 W"*~1$vf  
    h;?H4j  
    &d/x1=  
    概述 ),]XN#jp(u  
    )$7-CNWr~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E-J<%+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 On4tK\l @  
    >,)tRQS  
     l.`f^K=8  
    eY#_!{*Wn  
    光线追迹仿真 Q/<?v!h{  
    2UJjYrm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OX[pK_:`l  
    •单击go！ t,vj)|:  
    •获得了3D光线追迹结果。 |v31weD8  
    ( !=^(Nd  
     n/jZi54gO  
    ~gJJ@j 0n  
    光线追迹仿真 o"-*,:Qe  
    IFfB3{J  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8JbN&C  
    •单击go！ 3C7}V{?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0$A7"^]  
    A4`3yy{0-  
     .1#G*A|  
    .*W_;Fo  
    场追迹仿真 *N!>c&8  
    7r,h[9~e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Qq*Ks 5   
    •单击go！ s%l`XW;v  
    }Z Nyd  
    W5_aS2$  
     moT*r?l  
    场追迹仿真（相机探测器） uA~T.b\  
    >y{oC5S  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )$oboAv#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y|(C L^(  
    "Q <  
     ,3~[cE<4  
    UK!PMkX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cH>3|B*y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nkii0YB!  
    1b4/  
     "yA=Tw  
     g ;To}0H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i^2-PKPg{  
     yHIZpU|(j  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \mGo k<b4  
    W34_@,GD  
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