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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 4"\x#  
    j&U7xv  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 CEBu[TT/9  
    w `+.F;}s  
    /sn }Q-Zy2  
     5!pNo*QK  
    建模任务 }gFa9M<  
    g-,lY|a  
    =M9R~J!  
    概述 \Ui8gDJ8y5  
    C~?p85  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t,'J%)j  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9P,[MZ  
    >rSCf=  
     :fnJp9c  
    =[[I<[BZq  
    光线追迹仿真 T!Tp:&O-  
    >;F}>_i  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J`C 2}$ ~  
    •单击go！ \){_\{&  
    •获得了3D光线追迹结果。 9G"4w`P  
    &x=_n'  
     XH0o8\.  
    TaaCl#g$?  
    光线追迹仿真 cvf?ID84  
    MmU`i ,z  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |'uBkL0q  
    •单击go！ @P>>:002/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C3N1t  
    m:Rm(ga9  
     L_|iQwU%  
    Wb#<ctM>  
    场追迹仿真 MRZN4<}9  
    8r:T&)v  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <AiE~l| D  
    •单击go！ U3-MvI,Q  
    ?R4u>AHS@  
    V$:%CIn  
     \zBZ$5 rE  
    场追迹仿真（相机探测器） KY0<N 9{  
    \TnK<83  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @[`]w`9Q7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^|vP").aQm  
    m(dW["8D  
     p&0 G  
    1}SON4U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F&^&"(H}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :oYSvK7>  
    U#sv.r/L}3  
    9eE FX7  
     WX`wz>KK^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~(NFjCUY?  
     8Fbt >-N<\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \d:Uq5d)0  
    wlh%{l  
     ^y93h8\y  
     
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