切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1049阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7236
    光币
    30321
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 7t=e"|^  
    G{ ~pA4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YzJ\< tkp  
    (yIl]ZN*  
    RO"c+|Py  
     (oO*|\9u  
    建模任务 ]vj=M-:+  
    H'|b$rP0@  
    :fz&)e9  
    概述 G,I[zhX\  
    ]o`qI#{R~R  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zBD ?O!  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &m2FEQLj  
    1CK}XLdr  
     EEFM1asJf  
    .|`J S?L[  
    光线追迹仿真 D{g6M>,\  
    ,{P*ZK3u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m?bd6'&FR  
    •单击go！ I:l<t*  
    •获得了3D光线追迹结果。 WtOpxAq  
     *X- 6]C  
     l]D?S]{a  
    ?Iy$'am]L  
    光线追迹仿真 PhL}V|W>  
    'X&sH/>r  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 lj0"2@z3"E  
    •单击go！ (PAkKY}  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 q8%T)$!  
    !wy Qk  
     ~Z-M?8:  
    7pH`"$  
    场追迹仿真 )jk X&7x  
    1Q1NircJ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u:#+R_0#97  
    •单击go！ 6vp\~J  
    W FVx7  
    , 6 P:S7  
     :L gFd  
    场追迹仿真（相机探测器） .y'iF>QQ\  
    X+zFRL%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5|S|S))_Q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 iq'hel  
    }= OI (Wy  
     BUT{}2+K  
    mYLqT$t.+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W>3[+wB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d,kh6'g2@  
    e~]3/0  
    BoQLjS{kN  
     GPBp.$q+B  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *Kj*|>)  
     OUCL tn\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _GEt:=DAP#  
    K=,nX7Z5  
     +vOlA#t%Z  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表