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摘要 %g}ri8 jV`xRj h 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !\.x7N<)0
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!_)*L+7f_ 建模任务 xpt *S ~ Oe=7z'o  E\&~S+:Xp 概述 ! 8M]n E9t[M b %0 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |13UJ
vR •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &m_4# i/`N~r
 gtWJR `Xvrf 光线追迹仿真 Q.Tn"rE| F
Cg{!h •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 + DFG762 •单击go！ }stc]L{79 •获得了3D光线追迹结果。 H 'Q4 IRT <5
G+(vP
 .^0@^%Wi 0@ []l{N 光线追迹仿真 | u{NM1, d- w#\ ^ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wB~Ag$~ •单击go！ 'H- : >'k •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :r* skV| Lgl%fO/<t
 H@o 3u>} ;:N W 场追迹仿真 c. y8 x +x$Gw X •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1:5jUUL8 •单击go！ /iFtW#K+ zsnXP RF  45fk+#
!2>MaV1, 场追迹仿真（相机探测器） ,;9byb ~ {OBRC •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FY h+G-Y# •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mb_*FJB-_ BMMWP
 R: 8\z0"L* fH[Yc>(oj 场追迹仿真（电磁场探测器） FY U)sQ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WBdC}S
}3t X,dOF=OJL  H|& [,&M>
,q$'hY TaJ 场追迹仿真（电磁场探测器） KLi&T mIB
\UZlFE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P 5/\*~} #5*|/LD
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