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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 T]^62(So  
    +vw\y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 GF"hx`zyJ  
    &pP;Neh;  
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    建模任务 ~Zun&b)S  
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    概述 S50k>_a;  
    ]P9l jwR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Q1T$k$n  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]V[q(-Jk  
    R6 y#S&]x  
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    a]$1D!Anc  
    光线追迹仿真 |5X^u+_  
    @#l `iK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]l;o}+`G  
    •单击go！ FVMD>=k  
    •获得了3D光线追迹结果。 RaO-H  
    NyaQI<5D  
     U2ohHJ``  
    N&.H|5  
    光线追迹仿真 3RigzT3  
    Oz w.siD  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Vouvr<43o  
    •单击go！ HNb/-e ,"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~Sdb_EZ  
    :W"~ {~#?  
     aKJwofD  
    V"[g.%%Y  
    场追迹仿真 bc7/V#W  
    <h!_>:2L  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _Ym]Mj' ln  
    •单击go！ <S5BDk  
    'HO$C, 1]  
    # ncRb  
     b\ X@gq  
    场追迹仿真（相机探测器） w{{gu1#]G  
    T5|q RlW  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gGR"Z]DBk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )n1_(;  
    mJ<=n?{Z  
     q'+)t7!  
    i9rN9Mq?O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &]Q@7Nl7:l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <c*FCblv  
     nI[os  
    ?(xnSW@r  
     %3s1z<;R[S  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +[Dx?XM  
     3 D6RLu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pLl(iNf]  
    ZVW'>M7.  
     uY0lR:|  
     
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