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摘要 j.ucv (Vr%4Z8 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WR3,woo
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V^,eW! 建模任务 )q[P&f( h NJ)Dw`|%|)  MoE&)~0u& 概述 Bb:C^CHIQm L;*
s-j6y •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +ID\u
<? •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'w27Lt'V KW (a@X
 ]q.%_ y ?&hA! x 光线追迹仿真 R!%nzL@e&` Jup)A`64 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {G Jl<G1 •单击go！ #n'.a1R •获得了3D光线追迹结果。 ov,|`FdU^T 0 muC4
 4/Y?e UQ Lx wi"ndP 光线追迹仿真 rNR7}o~ qo d ?8OY •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9H/>M4R T •单击go！ %W"u4
NT7 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \c
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 g5|~ i{"0 dgjK\pH`h 场追迹仿真 T IKkS*$ Z-U u/GjB •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K9lekevB •单击go！ Qz ,2PO st;iGg  B S*79heY
UPI- j#yc 场追迹仿真（相机探测器） 3)y1q>CQf b3^:Bh9 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z 0fa;%: •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [zx|3wWAX- >jX "
 W;Y^ (f 0&UG=q 场追迹仿真（电磁场探测器） k1<^ Ept •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hBjU(}\3 dS ojq6M  !fzS' pkk.
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