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摘要 2+y4Gd 7 z2 nDD6N 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Z$6W)~;, @GjWeOj]
n;2W=N?y -+O8v;aC' 建模任务 srg#<oH|{c OP``g/x) 9) mJo( 概述 xr.fZMOh4 :)mV-(+o •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =Z%&jul •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Hyc19| 1gCp/m2r7
y{"8VT) ihs@
'jh 光线追迹仿真 Wp T.25 DQ~+\ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MPNBA1s •单击go! se7_:0+w •获得了3D光线追迹结果。 hM+nA::w ^Z2%b>
<R_3;5J% ><^A4s 光线追迹仿真 HLTz|P0JZ 5?6ATP:[ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /:C"n|P7Z •单击go! &bA;>Lu#|o •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 YwHnDVV+ MqXA8D
"f5u2=7 } CDR^xo5
dP 场追迹仿真 !"p,9 NoiU5pP •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sveFxI •单击go! S@Jl_`< *>Om3[D Nb(se*Y# aD0w82s]J 场追迹仿真(相机探测器) hLJO\=0rJz 6n;ew l} •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qH"0?<$9 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 "52wa<MVJ #N,\c@Gy
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8i}G9 =XudL^GF 场追迹仿真(电磁场探测器) >8jDW "Ua •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /WMG)#kw' kZf7 vjbot^W9 tHhY1[A8m 场追迹仿真(电磁场探测器) `| R8WM LOe!qt\& •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bNIT 1'v Zw"6-h4
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