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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 R 6M@pO  
    _abVX#5<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~ 4&_$e!  
    OB"QWdh  
    tKJ) 'v?  
     JG4&eK$-  
    建模任务 f0hi70\(X  
    :ss9-  
    m\~[^H~g  
    概述 "= %-  
    =,?@p{g}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "#m*`n  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3@}_ F<"*  
    _wX'u,HrC  
     mKn[>M1  
    tL IE^  
    光线追迹仿真 Q!|71{5U  
    RF6|zCWuI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 oVsl,V  
    •单击go！ 95(VY)_6#A  
    •获得了3D光线追迹结果。 &7<~Q\XZbI  
    XRNL;X%}7  
     _ !Ph1  
    ^Cak/5^K  
    光线追迹仿真 $MsM$]~  
    s%/0WW0y^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 z&- `<uV~  
    •单击go！ tdt6*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 kW(8i}bg  
    hA~}6Qn  
     v=W%|iZ  
    .^v7LF]Q  
    场追迹仿真 PB9<jj;  
    I~mw\K{.3M  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %? iE3j!q  
    •单击go！ :Z+(H+lyZ  
    e%f8|3<6  
    km3-Hp1  
     xr?r3Y~^e  
    场追迹仿真（相机探测器） CiMN J  
    =|G PSRQ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }u|0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h knobk  
    ho:,~ A;k  
     xt-;7  
    4mPg; n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >MhkNy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 koie  
    ZERd#7@m+  
    RnTPU`  
     J}.p6E~j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z2LG/R  
     R2;-WxnN]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 > h:~*g  
    ,Wdyg8&.  
     T*H4kM  
     
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