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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 wD`jks  
    S5xum_Dq  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]=T-C v=t  
    @xPWR=Lb  
    (GDW9:  
     ZE0D=  
    建模任务 ^@n?&  
    z+qrsT/?L  
    LIMPWw g  
    概述 Qj',&b  
    tG(!d$^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =S}SZYw l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )i*-j =  
    ^,N=GZRWW  
     Ga#5xAI{a  
    _|vY)4B 4U  
    光线追迹仿真 QwgP+ M+  
    n0%]dKCB  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3YOYlb %j  
    •单击go！ f" g-Hbl5  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,5HC &@  
    u:s[6T0  
     QcG-/_,'}  
    I<^&~==  
    光线追迹仿真 0}iND$6@a  
    KO5! (vi@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;ax%H @o  
    •单击go！ S{F'k;x/5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7,&M6<~  
    UbSAyf  
     qD<\U  
    4vbtB2  
    场追迹仿真 U *']7-  
    W"*~1$vf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h;?H4j  
    •单击go！ `c%{M4bF\  
    EHqcQx`K_  
     pu?D^h9/  
     - TU^*  
    场追迹仿真（相机探测器） eY#_!{*Wn  
    >%{H>?Hn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8|Vm6*TY&p  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1^_V8dm)  
    #Z>EX?VS:  
     o/5loV3h  
    yEB1gYJB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） KR sY `[Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P{gy/'PH,  
    IFfB3{J  
    iX\]-_D  
     :#&Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $Y9Wzv3Ra  
     vm Y*K  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oQ"J>`',  
    -K*&I!  
     O[O[E}8#  
     
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