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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 G&/RJLX|w  
    H%:~&_D  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $pm5G} .  
    "##Ylq("  
    ,#P eK(  
     8s_'tw/{  
    建模任务 JtrLTo  
    YI*Av+Z)  
    T 6g(,xPcL  
    概述 iCYo?>  
    mw1|>*X&R  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b^Xq(q>5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >}~Pu| _ S  
    \)pT+QxZ  
     /M;A)z  
    SDTX3A1  
    光线追迹仿真 W c"f  
    p Rn vd|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g6kVHxh-  
    •单击go！ QDg\GA8|  
    •获得了3D光线追迹结果。 %usy`4 2  
    ]_yk,}88d  
     eVZ/3o  
    TrHz(no  
    光线追迹仿真 n3t0Qc  
    b[3K:ot+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jMvWS71  
    •单击go！ b=!G3wVw<  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _T 5ZL  
    }l/ !thzC  
     4{d!}R  
    n 4:Yc@,  
    场追迹仿真 ptXLWv`  
    (dxkDS-G  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '{:WxGgi  
    •单击go！ '1[}PmhD  
    NX^%a1D!  
    &xlz80%  
     at@B>Rb  
    场追迹仿真（相机探测器） 8lo /BGxS>  
    .FS`Fh;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (#WE9~Sru  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 AKVll  
    E.$1CGd+  
     %.kJ@@_e  
    cCd2f>EHw  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dHnR)[?e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gOpGwpYZ,  
    LY%`O#i.  
    7dXR/i\  
     6e6~82t8/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }\E2Z[  
     \lVxlc0{?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F)mlCGv:R  
    1k2+eI  
     D=U"L-rRs  
     
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