-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-01-14
- 在线时间1914小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 6U[bAp '.1_anE] 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ht5eb"c+8 * vW#XDx
%2z]2@ :vRUb>z 建模任务 5@< D6>6 VtzX I2.2 :8 jaW?~ 概述 7FvtWE* FCPiU3 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1PnWgu •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u!D AeE iES?}K/q
Avr2MaY{h zD%@3NA41 光线追迹仿真 e
QGhX( cgF?[Z+x •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o<\9OQ0 •单击go! zcE[wM •获得了3D光线追迹结果。 5fDnr&DR 1:VbbOu->V
P/;d|M( 5*IfI+} 光线追迹仿真 D0HLU
~o d/!R;,^ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ncCgc5uP •单击go! x9s1AzM{ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 p`}'-A|@ :qL1jnR^
L2
^-t7 M8}t`q[-& 场追迹仿真 NvU~? WN ,sln0 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5\\a49k.p •单击go! N]iu
o. Mz#<Vm4 iw)^;8q dzn[4 场追迹仿真(相机探测器) q#!]5 [K4wd%+ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f!n0kXVu6U •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 [d}AlG! y1@*)|
r
5y%-K=d u[;,~eB%w 场追迹仿真(电磁场探测器) WjVj@oC •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /n&Y6@W =
gbB)u-Pc vk]vtjf&% ]|PDsb"e 场追迹仿真(电磁场探测器) AQ`
`Dp ]H_|E •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3sy|pa UoSzxL
? j8S.d~
|