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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 WvWZzlw  
    5 OF*PBZ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 hVu~[ 'Me  
    ( ALsc@K  
    ^uIKwql  
     6G>bZ+  
    建模任务 S{ qn^\0  
    f9J]-#Iif  
    k1M?6TW&  
    概述 [`=:uUf3  
    O]\eMM&  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Axx{G~n![  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Zz56=ZX*_  
    jp+#N pH  
     QlWkK.<Z3_  
    p0j-$*F  
    光线追迹仿真 5fud:k  
    j0IuuJ+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {m 5R=22^  
    •单击go！ b ;t b&o  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?1lx8+  
    )\,hc$<=m  
     '2c4 4F)i  
    &6@e9ff0  
    光线追迹仿真 4L[-[{2  
    7\JA8mm  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X>VxE/  
    •单击go！ `jH0FJQ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wq`\p['Q,  
    wvg>SfV,e  
     bL18G(5  
    J|[`8 *8  
    场追迹仿真 xm}`6B^f  
    T|lyjX$Q]9  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @)m+b;  
    •单击go！ /A/k13 J  
    &\s>PvnquX  
    {t&+abY  
     2[$` ]{U  
    场追迹仿真（相机探测器） MA5BTq<&  
    ;/<J& #2.  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vxx7aPjC  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >,%7bq=T!  
    z3p #`  
     U0%m*i  
    `(?x@Y>.Ht  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t"Djh^=y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .6#Y- iJqc  
    "M5&&\uT  
    s7TV@Y)  
     LuIs4&[EW  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  `jB2'  
     sy.U] QG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ij~023$DTt  
    #y%?A;  
     zMQ|j_ l9E  
     
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