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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ORlz1 &hW  
    GEfX,9LF&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g"]%5Ow1  
    YFOK%7K  
    N!m-gymmF  
     eSoOJ[&$  
    建模任务 j#y_#  
    >[,Rt"[V  
    2fTkHBhn&  
    概述 z~+_sTu  
    UZMo(rG.]{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 EaFd1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6'395x_ .\  
    -vwkvNn8  
     +jO1?:Lr  
    ?/)Mt(p  
    光线追迹仿真 O[y.3>l[s  
    )mxY]W+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W&}YM b  
    •单击go！ i68'|4o  
    •获得了3D光线追迹结果。 IV_u f  
    qfvd( w  
     %m!o#y(hD`  
    )<9g+^  
    光线追迹仿真  >>Hsx2M  
    9c8zH{T_{  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =#n05*^  
    •单击go！ uNl<= 1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8^&)A b  
    f!e8xDfA  
     &1893#V  
    )QaI{ z  
    场追迹仿真 UF=5k~7<b  
    I(P|`"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 's@v'u3  
    •单击go！ HD?z   
    R}Uv i9?  
    NwD*EuPF:  
     Hx2UDHF  
    场追迹仿真（相机探测器） j#Ly!%dp  
    !Qjpj KRy  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "v/^nH  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +`u]LOAyP=  
    X<K[` =I  
     mLPQ5`_  
    wd~e3%JM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2W|4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ii2X7Q  
    9 }|Bs=q  
    ?0hk~8c  
     7 ;|jq39  
    场追迹仿真（电磁场探测器） LpaY M d;  
     *'`ByS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z 4Qz9#*"^  
    c~ l$_A  
     m@.4Wrv  
     
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