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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ul/=1]1?  
    M<r' j $g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %h g=@7,|  
    _2q4Aaza  
    t@ #sKdv  
     )W:`Q&/G  
    建模任务 iUi{)xa2  
    a k@0M[d  
    &1%W-&bc6  
    概述 6%JKY+n^  
    f*Xonb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [^A.$,  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {0q;:7Bt  
    =2s 5>Oz+  
     1B+MCt4  
    vpFN{UfD  
    光线追迹仿真 NOP~?p  
    M-K<w(,X  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \OHsCG27  
    •单击go！ PYkcGtVa_  
    •获得了3D光线追迹结果。 ] ^to r  
    +)^F9LPl  
     >1`FR w<  
    ;y%lOYm  
    光线追迹仿真 `x lsvK>  
    !X(Lvt/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7fLLV2  
    •单击go！ Dp6]!;kx  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bESmKe(  
    a^ <  
     Nb>|9nu O  
    R@5jEf  
    场追迹仿真 >T%Jlj3ZG  
    @X>k@M  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6i( V+  
    •单击go！ Ox8dnPcx  
    $)mq  
    xgrk>Fb|R  
     /u<lh. hPW  
    场追迹仿真（相机探测器） _b<Fz`V  
    hqnJ@N$yY  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;9q3FuR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 a_^3:}i~D  
    /R^HRzTO  
     F 71  
    #^gn,^QQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  .LEQ r)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SIKy8?Fn  
    n!|K#  
    p)f OAr  
     %/,PY>:|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） JS642T  
     = PqQJE}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f62z9)`^  
    HW|c -\tS  
     Xj&{M[k<  
     
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