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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 `Ns@W?  
    99*k&mb  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 RdD>&D$I  
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    建模任务 U)f('zD  
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    概述 *;}xg{@  
    Z:^#9D{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I H=$ w c  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +pG+ xI  
    V5$ Gb6?K  
     rP]|`*B  
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    光线追迹仿真 "XxmiK  
    eEBNO*2  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?xv."I%  
    •单击go！ 34Gu @"  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;MNUT,U  
    6oLOA}q   
     ynM:]*~K  
    VK*_p EV,}  
    光线追迹仿真 })<u ~r  
    F8<G9#%s\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4>oM5Yf8  
    •单击go！ v#{Nh8n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [ x+ -N7  
    ~vt*%GN3  
     >vo 6X]p~  
    &4evh<z  
    场追迹仿真 }v}F8}4  
    ZqrS]i@$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  Mj1f;$  
    •单击go！ 0,~s0]h0V  
    pLe4dz WA  
    "{~FEx4  
     3 .#L  
    场追迹仿真（相机探测器） 4+>yL+sC%v  
    xP~GpVhLF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;/kd.Q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _!zc <&~I  
    OEl;R7aOB&  
     M2ex 3m  
    0qNmao4E_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T8\@CV!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l(rm0_  
    ;"IWm<]h;-  
    8tSY|ME  
      ij:a+T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;taZixOH  
     Z<>gx m<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j?*n@'   
    %t,42jQ9  
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