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摘要 K FV&Dt}< SPKGbp& 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {IEc{y7?gO
"l~wzPY)
 , Zs:e.
68 d\s 4 建模任务 "3CQ0 kQ4-W9u  f ?:
o 概述 v!(B S, 2\&uO •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W6f?/{Oo8 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K~ gt =NH CuRYtY@9
 [)U |HnAJ hX4 & B 光线追迹仿真 Sz4YP l _?Zg$7 VJ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M@@l>"g@ •单击go！ xV HZZ?e •获得了3D光线追迹结果。 xI?%.Z;*+ 6W&huIQ[
 7 J$ d
dB}mk6 光线追迹仿真 u50 o1^<X 3]DUUXg$ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9%aBW7@SK •单击go！ B- `d7c5 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 & Ji!*~sE d` 9% :2qE
 j4H]HGHv CDcZ6.f 场追迹仿真 n'a= @/ ^(7<L< H •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @ht= (Jk9 •单击go！ M]&F1< $%9.qy\8  9^ITP!~e*
Hq'mv_}qG 场追迹仿真（相机探测器） ximW!y7 iev02 8M •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LAqmM3{fA •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2(V;O WY(@ Rn 6;@Cw
 yT<6b)&*& guJS;VC6U 场追迹仿真（电磁场探测器） =`fJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S*,DX~vig \x D.rBbt  #(6^1S%
TtA6N8G 场追迹仿真（电磁场探测器） :%ms6j/B&V
?;NC (Z, •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !p$z8~ "w3#2q&
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