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摘要 <z% **gP~G t90M]EAV 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |*w)]2B l
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E<tR8='F 建模任务 t}I@Rmso 3
eF c  +1yi{!j1 概述 fQ1j@{X a )M"NMUuU" •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %E#Ubm! •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -3?
<Ja W+u,[_
 un!v1g9O | S).,B 光线追迹仿真 wmVb0~[ 3f^jy( •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U5-8It2OR •单击go！ ct|0zl~ •获得了3D光线追迹结果。 ng|^Zm%
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 $ S3b<]B tb oQn~&4 光线追迹仿真 -,;woOG 3^&`E} r •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 " 1a!]45 + •单击go！ QGOkB •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *2~WP'~PQd z__t 8yc3
 Op9 ^Eu%n >Q(\vl@N= 场追迹仿真 mX.mX70|J Ce OA_M •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *re?V9 •单击go！ d>I)_05t ayn aV  Wz R)R9x]
v4E=) ? 场追迹仿真（相机探测器） 'xai 5X n2-+.9cY •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rxol7"2l •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2uT6M%OC mh[,E 8'd
 3 } phg z8S]FpM6 场追迹仿真（电磁场探测器） `EMGrw_ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jia@Hr LR )S4ga  a""9%./B
GwDOxH' 场追迹仿真（电磁场探测器） 0&| M/
WdS1v% •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g%]<sRl:- a w lq/
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