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摘要 y!gM)9vq Qs9 U&*L 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 pV6HQ:y1
IxZ.2 67
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3 \n{,Q 建模任务 &a_kJ)J qb4;l\SfT  B)]{]z0+` 概述 A+*oT(` \83A|+k •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8 tygs •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 50ew/fZj| r. b6E% D
 "O[76}I+.q <cv1$
x ~P 光线追迹仿真 J md
? .crM!{<Y •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4E-A@FR •单击go！ =>0 M3 Qh{ •获得了3D光线追迹结果。 I'9s=~VfY, 4)H WPX
 ;3|Lw<D5; CQ Hp4_ 光线追迹仿真 O^Vy"8Ji}y rz }l<t~H •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4 l}M
i •单击go！ N>fYH.c3Y •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yVI;s|jG X$ B]P 7G7
 C cr+SR2 p/1 }>F|i 场追迹仿真 g1wI/ iQ ! •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1O2h9I$bk •单击go！ 6IY}SI0N Ui |a}`c  ; G59}d
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s`iNbW =" 场追迹仿真（相机探测器） Sq|1f?_gU {vT55i<mk •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 DV[ Jbl:) •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gQh C cv 2v9s@k/k)6
 v^],loi<V H'0*CiHes 场追迹仿真（电磁场探测器） ]X:
rby$ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oiv2rOFu 4 ?@uF[  S`c ]F c
?gR\A8:8 场追迹仿真（电磁场探测器） n E,gQHw
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