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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 o=7,U/{D!  
    a_P|KRl  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @!dIa1Q"  
    S=) c7t?a  
    YdO*5Gb6  
     e7"T37  
    建模任务 z7IJSj1gQI  
    ?} 8r h%  
    ;&CLb`<y  
    概述 o+=wQ$"tP  
    ./XX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q,)V0Ffe[|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 xkRMg2X.>9  
    M#o.O?.`  
     J78.-J5 j0  
    1Mp-)-e  
    光线追迹仿真 Sk 7R;A  
    H@@ 4n%MK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1-E6ACq  
    •单击go！ G-)e(u   
    •获得了3D光线追迹结果。 q&z'S  
    ds!n l1  
     [(x<2MTj  
    ZAfuW^r  
    光线追迹仿真 ].xSX0YQ%  
    ;GG,Z#\m  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >D!R)W`  
    •单击go！ *]U`]!Esp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l,h`YIy  
    '(B -{}l  
     ZH\t0YhrVe  
    td7(444]  
    场追迹仿真 %dPk,Ylz  
    Jfr'OD2$ %  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m0;j1-t  
    •单击go！ (K=0c 6M3=  
    w*XM*yJHU  
    lfDd%.:q4S  
     J' uaZI>'  
    场追迹仿真（相机探测器） "|Q.{(|kO1  
    1z7+:~;l  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k"cMAu.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 EF:ec9 .  
    ;]1t| td8  
     <rgK}&q  
    6 agG*x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *d=}HO/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HL"c yxe  
    9Zl4NV&B  
    |x1OWm1:<  
     *B!Ox}CI.L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J8S$YRZ_  
     $7AsMlq[(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }:faHLYT  
    qX\85dPn@}  
     u~uz=Yse  
     
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