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摘要 S=N3qBH6 WcG}9)9 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 KcK,%! >B
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 EV$$wrohQ`
^qro0]"LD 建模任务 2# 1G)XI \a .^5g  3om_Z /k 概述
^tFbg+. YIc|0[ ]*| •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]8c%)%Vi •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I_k!'zR[N Vp.&X 8
 L2jjkyX] \%!
t2=J! 光线追迹仿真 ?uBZ"^' )v+R+ 3< •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U =G}@Y •单击go！ E;vF
:?| •获得了3D光线追迹结果。 .Z0$KQ'iy h,(f3Ik0O
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# 光线追迹仿真 *\M$pUS{ '@WpJ{]A •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #j?Sd Q •单击go！ >B~vE2^tQ~ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jMP!/t
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f^ 场追迹仿真 .GM}3(1fX` O.HaEg/- •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0Gr ^#` •单击go！ $}TK ,/W p3L0'rY|+  }R\9y bv
jO9w7u6 场追迹仿真（相机探测器） \GFFPCi4 D 97]$*&fH •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]5 _6m;g •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 TA"4yri=7x -{=c T?"+
 $UX^$g G iL ](w3EM 场追迹仿真（电磁场探测器） $X; wj5oj •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ifYC&5}SI p`CVq `k  n1mqe*Mvs/
+kXj+2 场追迹仿真（电磁场探测器） Q
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`PH*tdYrh •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $ zR[2{bg p ^(gXzW
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