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摘要 lVP |W:~K GKCM|Y 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 +N7"EROc ?HV }mS[t
oooS s&t C\OECVT 建模任务 p=H3Q?HJ} ~JLYhA^'+< @cPflb 概述 5}
G:D mf$Sa58 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *U_S1>0n •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L1:nfH&:' P<vo;96JT
=MxpH+spI Xo\S9,s{ 光线追迹仿真 *Z; r
B Je 31". •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R#ya,L •单击go! sCkO0dl8 •获得了3D光线追迹结果。 M1EOnq4- Y([d;_#P
"H$@b`) F_v-}bbcFQ 光线追迹仿真 &atyDFJ' ;
h85=l<8u •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Kr]z]4.d@ •单击go! J+|/-{g •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 N}DL(-SQ3 .;g}%C
]+ZM/'X {yS;NU`2 场追迹仿真 'BhwNuW\" TM-Fu([LMV •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kM;o0wi •单击go! l
sr?b D"!jbVz]* f3vF"O oqYt/4^Q 场追迹仿真(相机探测器) L#2ZMy
!D;c,{Oz •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 VX!hv`E •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 \7 Gz\=\LR xNIGO/uI~
]Jn2Ra"j @vt$MiOi 场追迹仿真(电磁场探测器) VE$t%QT •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kp&3=e;vn{ $UC {"0 $w/E9EJ)3A ]-bQNYKX 场追迹仿真(电磁场探测器) {m[Wyb( kC`Rd:5 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1qZG`Vz |'$ l7
P,ydt
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