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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 l5N\> q  
    VgC9'"|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }IalgQ(i  
    51FK~ 5  
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    建模任务 "< hx  
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    T\b";+!W  
    概述 4- ?`#  
    ( _F  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d8y =.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Stp*JU  
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     BBuYO$p  
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    光线追迹仿真 K:mL%o2J  
    1{fwr1b  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ur"e F  
    •单击go！ aK=3`q  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~ dI&> CL  
    i6\!7D]  
     `b'|FKc]  
    d_?Zr`:  
    光线追迹仿真 & b^*N5<Z  
    3S2p:\]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (A<sFw?  
    •单击go！ L|xen*O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3x;y}:wQa  
    @ 6VH%  
     u g$\&rM>  
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    场追迹仿真 QIz N# ;g  
    hZ /  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Vh[o[ U  
    •单击go！ Rb>RjHo S  
    uJ5%JB("E  
    r+.4|u  
     ]TZWFL-  
    场追迹仿真（相机探测器） e.Q K%  
    p'c<v)ia  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?%fZvpn-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3ij I2Zy  
    'L+BkE6+%  
     ALieUf  
    "Ohpb!J9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O0*L9C/Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L-:L= snO  
    oHFDg?Z`  
    Y\9*e5?`I3  
     D$!p+Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $m0x8<7nu  
     |l\/ {F  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nXaX=  
    ?g#t3j>zoF  
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