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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 YKU|D32  
    W f8@ B#^{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @|"K"j#  
    LqI&1$#  
     U&  
     vs+aUT C\  
    建模任务 9pj6`5Zn@6  
    <>$CYTb  
    ?o6#i3k#'  
    概述 @N<h`vDa  
    A7#nBHwxZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qTbc?S46pt  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 WQN`y>1#@_  
    x%H,ta%  
     W+8s>  
    !PeSnO  
    光线追迹仿真 YW~ 9N  
    di+ |` O  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wBw(T1VN  
    •单击go！ *'H\`@L  
    •获得了3D光线追迹结果。 /3hY[#e  
    Z*b l J5YC  
     M~`^deU1  
    ;<T,W[3J  
    光线追迹仿真 #/H2p`5  
    ' e!WZvr  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h$9ut@I  
    •单击go！ =a+  } 6  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9dAtQwGR"6  
    0uM&F[.x@g  
     ci2Z_JA+  
    M,kO7g  
    场追迹仿真 HEc.3   
    3Ur_?PM+C  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ojm IEzsz  
    •单击go！ @^ &p$:  
    =E!Y f#p+q  
    /+`%u&<  
     @T L|\T  
    场追迹仿真（相机探测器） K8 [Um!(  
    =6 zK 1Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 KTot40osj  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kmu`sk"  
    :/$_eg0A  
      W{Z 7=  
    =w`uZ;l$Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7p!ROl^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Svo\+S  
    A*/8j\{n  
    za 7+xF  
     I7=A!C"  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \ %MsG  
     2cIbX  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YXqYIG.G  
    (@!K tW  
     ;34p [RT  
     
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