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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 lVP |W:~K  
    GKCM|Y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +N7"EROc  
    ?HV}mS[t  
    oooS s&t  
     C\OECVT  
    建模任务 p=H3Q?HJ}  
    ~JLYhA^'+<  
    @cPflb  
    概述 5} G:D  
    mf$Sa58  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *U_S1>0n  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L1:nfH&:'  
    P<vo;96JT  
     =MxpH+spI  
    Xo\S9,s{  
    光线追迹仿真 *Z; r B  
    Je 31".  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R#ya,L  
    •单击go！ sCkO0dl8  
    •获得了3D光线追迹结果。 M1EOnq4-  
    Y([d;_#P  
     "H$@b`)  
    F_v-}bbcFQ  
    光线追迹仿真 &atyDFJ'  
    ; h85=l<8u  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Kr]z]4.d@  
    •单击go！ J+|/-{g  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N}DL(-SQ3  
    .;g}%C  
     ]+ZM/'X  
    {yS;NU`2  
    场追迹仿真 'BhwNuW\"  
    TM-Fu([LMV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kM;o0wi  
    •单击go！ l sr?b  
    D"!jbVz]*  
    f3 vF"O  
     oqYt/4^Q  
    场追迹仿真（相机探测器） L#2ZMy  
    !D;c,{Oz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 VX!hv`E  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \7 Gz\=\LR  
    xNIGO/uI~  
     ]Jn2Ra"j  
    @vt$MiOi  
    场追迹仿真（电磁场探测器） VE$t%QT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kp&3=e;vn{  
    $UC{"0  
    $w/E9EJ)3A  
     ]-bQNYKX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {m[Wyb(  
     kC`Rd:5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1qZG`Vz  
    |'$ l7  
     P,ydt  
     
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