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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 '+<(;2Z vL  
    F=G{)*Ih  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'NZGQeb K  
    \(I6_a_{  
    ,]R8(bD)  
     X fz`^x>M  
    建模任务 U7&x rif  
    ba@ax3  
    tXF]t   
    概述 jW*1E *"  
    B1N)9%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 g1DmV,W-Q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?_6YtR,{  
    "$p#&W69"J  
     _BnTv$.P  
    ?y},,  
    光线追迹仿真 x )5V.q  
    #i QX 6WF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HN5W@5m: .  
    •单击go！ vnX  
    •获得了3D光线追迹结果。 Bt^K]F\  
    (J:dK=O@Z  
     zxD,E@lF  
    Mjpo1dw  
    光线追迹仿真 OKuD"   
    {}e^eJ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~M ?|Vn  
    •单击go！ g=]&A  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4h 5_M8I  
    M\/XP| 7  
     D>ai.T%n  
    ~JZ3a0$^  
    场追迹仿真 P1 +"v*  
    5?u[XAE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Qb^q+C)o]  
    •单击go！ H;_yRUY9  
    ka7uK][  
    ,-*iCs<  
     _ P ,@  
    场追迹仿真（相机探测器） V: p)m&y6  
    <3 @}Lj  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~P1_BD(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gzfbzt}?  
    m$UvFP1>u1  
     Z-Wfcnk  
    =v2%Vs\7k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \&|CM8A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nW;kcS*A  
    p]LnE `v  
    c;!g  
     ?A=b6Um  
    场追迹仿真（电磁场探测器） MZm'npRf  
     vb=CFV#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >Gd.&flSj  
    z4O o@3$\R  
     hYt7kq!"  
     
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