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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 z?[r  
    vy_D>tp  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !iH-#B-  
    !l|5z G  
    O$D'.t  
     5~Cakd ]>  
    建模任务 61/.K_%I.  
    a\IP12F?  
    u)3 $~m~  
    概述 lE!a  
    NM]s8cK_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BYTnrPA&Z;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #Y0-BYa^  
    rEHkw '  
     fbWFLS m;  
    ( Fynok  
    光线追迹仿真 B.g[c97  
    s <   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `Ja?fI'H-  
    •单击go！ "Vw m  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?pYKZg /c  
    ?+g`HTY u  
     vo\fUT@k  
    %{(x3\ *&  
    光线追迹仿真 )uK{uYQl  
    K`/`|1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'eo KZX+  
    •单击go！ $U$V?x uE  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h G gx  
    < 'f dkW  
     @HRC \OG  
    %9k!A]KD  
    场追迹仿真 V[}4L| ad  
    NE/m-ILw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \A#1y\ok  
    •单击go！ nSF``pp+  
    WVmq% ,7  
    ZAJp%   
     -+7uy.@cS  
    场追迹仿真（相机探测器） :(a]V"(&Eq  
    "6R 5+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -6tgsfEr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b B  x?  
    Xg=x7\V  
     uKz,SqX  
    _* IPk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d~/q"r1"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o\88t){/kB  
    ot`%*  
    3I!?e!y3(  
     b+6"#/s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %'xb%`t  
     v~T7`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ew;ur?  
    }w/;){gu  
     ~_9n.C  
     
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