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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 (%'`t(<  
    G\R6=K:f7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c*r@QmB:  
    [HhaBy9  
    %%9T-+T  
     m2HO .ljc  
    建模任务 Y()ZM  
    Ej $.x6:  
    @~&|BvK% \  
    概述 <qVOd.9c  
    f\FqZ?w  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Wo  Z@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >,.\`.0  
    mA#;6?6  
     IOa@dUh7a,  
    7pN&fAtj/  
    光线追迹仿真 "pO** z$Z  
    }zIWagC6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LVy`U07CV  
    •单击go！ <kJ`qbOU  
    •获得了3D光线追迹结果。 ju!V1ky  
    W6RjQ1  
     9VMk?   
    <E:_9#Z0sc  
    光线追迹仿真 (Vn3g ra  
    _0y]U];ce  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Uu|2!}^T  
    •单击go！ )LsUO#%DO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |n;5D,r0C  
    `QZKW  
     K+d{R=s^  
    `4e| I.`^r  
    场追迹仿真 Rp!"c  
     4&%E?_M  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oN)I3wO$  
    •单击go！ ;I6C`N  
    lR/Uboyy  
    !^EA}N.u  
     $ nMx#~>a  
    场追迹仿真（相机探测器） 11Uu5e!.  
    B 74  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b~{nS,_Rn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q[FDk63;w  
    B`w8d[cL7  
     M,cz7,  
    TxH amI l  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XjmAM/H4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X5(oL  
    nGsFt.  
    UGvUU<N|N  
     =>JA; ft  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p}JGx^X ~  
     [x- 9m\h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k8i0`VY5Y  
    3#aLCpVla  
     Zad>i w}  
     
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