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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 p<#aXs jy  
    Lo#G. s|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v9Sk\9}S  
    t[|t0y8  
    o3GkTn O  
     O9/)_:Wdh  
    建模任务 #;W4$ q  
    v'b%m8  
    G &NK  
    概述 \w>Rmf'|  
    Ui"{0%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 79@CO6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S50}]5K  
    9+PAyI#w  
     V,0$mBYa  
    kGo2R]Dd[  
    光线追迹仿真 wy tMoG\  
    /4 OmnE;  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 C;K+ITlJ  
    •单击go！ sxph#E%  
    •获得了3D光线追迹结果。 KK2YT/K$SG  
    -]Su+/3(,  
     VPuR4 p.  
    REE .8_  
    光线追迹仿真 <tZZ]Y]  
    p9u*l  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?[m1?  
    •单击go！ , QWus"5H  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6kLy!QS  
    *fI n<Cc  
     4g8o~JI:v  
    b @0= &4  
    场追迹仿真 &]RE 5!  
    * jWh4F,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e98QT9  
    •单击go！ UH}lKc=t  
    =xRD %Z  
    CJ%'VijhD  
     0F%8d@Y2  
    场追迹仿真（相机探测器） ~ZSX84~@u  
    1/w8'Kf'u  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M9BEG6E9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OG?7( UJ  
    w9VwZow  
     ^Cp2#d*  
    0#eb] c   
    场追迹仿真（电磁场探测器） jS[=Zx`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d;0]xG?%=  
    .Y]0gi8z  
    tzGQo5\  
     KB|mtsi  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  c1s&  
     -V}xvSVg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dhLR#m30T  
    uGb+ *tD  
     nb=mY&q}~  
     
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