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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 |O (G nsZ  
    = HE m)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j7/(sf  
    k/`i6%F#m  
    960qvz!  
     #)74X% 4(  
    建模任务 %g^" ]  
    0=[0|`x  
    Npa-$N&P{S  
    概述 ^ }#f()  
    b=LF%P  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c^S&F9/U*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]h@{6N'oNS  
    9*pG?3*I  
     !<Z{@7oH  
    `"Dy%&U  
    光线追迹仿真 _T~H[&Hl  
    XZO<dhZX:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2V$9ei6  
    •单击go！ 878tI3-  
    •获得了3D光线追迹结果。 1q!sKoJ<  
    ryEvmWYu  
     H1Xovr  
    D44I"TgqD  
    光线追迹仿真 ^Kw(& v  
    D8/sz`N7Q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 */U$sZQ)  
    •单击go！ s^PmnFR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @3 "DBJ  
    (46U|P(v  
     s1=u{ET  
    +{ab1))/  
    场追迹仿真 ^ wQcB  
    r}@< K  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [+DNM 2A  
    •单击go！ GTFl}t  
    0*{p Oe/u  
    ~~dfpW_"  
     yS"0/Rm}  
    场追迹仿真（相机探测器） a}D&$yz2  
    yHw!#gWM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j?J=w=.Nx  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?M<|r11}  
    }2xb&6g~o  
     Ja=N@&Z#  
    :wCC^Y]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R7t bxC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p,^>*/O>  
    %#Q #N,fw  
    Y D+QX@  
     *EE|?vn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "2K|#,%N  
     `R ]&F$i(E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^ N_`^m  
    B2"+Hwbk  
     Oi#k:vq4  
     
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