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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5119
    光币
    19911
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 "Q?k'^@  
    $`- 4Ax4%  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l?Fb ='#  
    1f8GW  
    !X<~-G2)l  
     j'BMAn ?  
    建模任务 TH$N5w%  
    $.GOZqMs  
    w );6K[+;  
    概述 ]- 4QNc=  
    ijdXU8  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 k:#P|z$UD  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 NN1$'"@NL  
    2w-51tqm  
     q7-L53.x  
    ZG du|  
    光线追迹仿真 =@8H"&y`  
    CBD6bl|A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bLd#xXl  
    •单击go！ ulER1\W  
    •获得了3D光线追迹结果。 $LLA,?;!  
    NU*fg`w  
     }LijnHH.  
    ~DsECnD  
    光线追迹仿真 Kbb78S30  
    S.d^T](  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *s>BG1$<  
    •单击go！ -M1YE  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !DI{:I_h(  
    eU N"w,@y  
     3:f[gV9K  
    }oKG}wgY  
    场追迹仿真 sqS=qC  
    h'$ 9C  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Xe^Cn R  
    •单击go！ d'|, [p  
    ]wWPXx[>/  
    )5.C]4jol  
     LT,?$I  
    场追迹仿真（相机探测器） D^-7JbE]  
    Eb=#9f%y>&  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4L73]3&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 60)iw4<wf  
    D Kw*~0  
     s9>(Jzcf9  
    }h}<! s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7oR:1DX w|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rX;Ys2vQ*  
    J-<^P5  
    G5,~Z&}YS  
     p*8-W(u)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -dO'~all  
     B=@ jWz"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3w!c`;c%  
    _"%B7FK  
     hG_?8:W8HT  
     
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