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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 @&GY5<&b  
    0U! _o2]  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j07b!j:"\}  
    ]Aj5 K  
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     u6 4{w,  
    建模任务 EJ(z]M`f  
    #<vzQ\~Y  
    8Rnq &8A  
    概述 Y ^5RM  
    = cI> {  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C#. 27ah  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :q$.=?X3  
    a[J_H$6H!  
     Q 822 #  
    .#LHj}u  
    光线追迹仿真 ^ R3g7 DG  
    C\* 0621  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1~S'' [  
    •单击go！ 1_> w|6;e  
    •获得了3D光线追迹结果。 54Vb[;`Kkb  
    }ok'd=M  
     "sed{?  
    ~sTn?~  
    光线追迹仿真 Is!+ `[ma  
    .K+5k`kd  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K*5Ij]j&  
    •单击go！ 7e Hj"_;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <o@__l.  
    W,.Exh  
     _ 3{8Zg  
    wvH*<,8V q  
    场追迹仿真 ;W3c|5CE  
    9Yji34eDZ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |%j7Es  
    •单击go！ &&Otj-n5  
    @e+qe9A|  
    ZBjb f_M:  
     MX7$f (Hy  
    场追迹仿真（相机探测器） dl+c+w"  
    rji<g>GQ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T5aeO^x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X + B=?|M  
    Se [>z(  
     =j8g6#'u  
    3# idXc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jtPHk*>^wu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rrl{3 ?  
    q]v{o8:U  
    :-j/Y'H_  
     qR^+K@ *|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u9{Z*w3L7  
     (n2=.9k!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sX(rJLbD  
    `LJ.NY pP  
     oMKGM@V  
     
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