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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 yX%> %#$  
    $ 9E"{6;@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (?lT @RY/  
    ~ahu{A4Bw  
    ">S1,rhgS  
     ,9ew75Jl  
    建模任务 0tPwhJ  
    +&J1D8  
    TV0Y{x*~iH  
    概述 wyAh%'V  
    -Ekf T_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PlgpH'z4$  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wAzaxeV=  
    +%~me?  
     N+H[Y4c?F&  
    6Bexwf<u  
    光线追迹仿真 JRE\R&>g  
    %\)AT"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 knb0_nA  
    •单击go！ m`Z.xIA7;  
    •获得了3D光线追迹结果。 O#>,vf$  
    v:>sS_^  
     z8)&ekG  
    V%C'@m(/SZ  
    光线追迹仿真 S@~ReRew2  
    ' dv(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 s&wm^R  
    •单击go！ c|(Q[=   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D4$"02"  
    [;'$y:L=g  
     z U *Mk  
    4<5*HpW  
    场追迹仿真 J*ZcZ FbWN  
    nvc(<Ovw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3RcnoXX_  
    •单击go！ uaCI2I  
    Pi,86?  
    _. EM])b  
     L&]{GNw  
    场追迹仿真（相机探测器） w^7[4u4  
    Z7?\ >4V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j<9^BNl  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 d?cCSf  
    *xKy^f  
     N f}ZG  
    C*t0`3g d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M~Er6Zg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p6Ia)!xOGF  
    =Pp-9<& S  
    wNNg"}&P  
     aqQ  U7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zU4*FXt  
     kn`O3cW/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [g=4'4EZc  
    Wrt5eYy  
     SK*<H~2  
     
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