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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 rr(kFQ"  
    $0P16ZlPC  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 eNi#% ?=WB  
    F 2zUz[  
    HOH5_E>d  
     =N\$$3m?  
    建模任务 $6 Hf[(/e  
    bJ"2|VNH(  
    |E$q S)y  
    概述 RL]$"  
    [N%InsA9k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cp~6\F;c  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l:u1P  
    $RF.LVc  
     f>cUdEPBb  
    N M),2%<  
    光线追迹仿真 ;ZcwgsxTM  
    |9$C%@8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 IN#/~[W  
    •单击go！ <_*5BO  
    •获得了3D光线追迹结果。 *0L3#. i  
    ]goV Q'Y  
     ,-k?"|tQ  
    .`J*l=u$  
    光线追迹仿真 7.2!g}E  
    b">"NvlB  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Lp}V 94xT  
    •单击go！ o.|36#Fa  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K%t&a RjS  
    SJLs3iz_)  
     n[y^S3}%;  
    A~k: m0MX  
    场追迹仿真 #wvGS%  
    fMW=ss^fu-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }z\t}lven  
    •单击go！ =c#mR" 1  
    fo/sA9  
    <~v4BiQ3l^  
     qQo*:3/];  
    场追迹仿真（相机探测器） .),9a,  
    ~=HPqe8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .ty2! .  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 asp\4-?$o  
    F`,bFQ  
     /L! =##  
    > 9z-/e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |rhB@k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @V Tw>=94  
    k@n L(2  
    [-e$4^+9  
     j 7O!uUQQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wxvVtV{u>|  
     Jzy:^PObT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f1o^:}5x  
    r,vSDHb`j  
     h.- o$+Sa  
     
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