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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 AJq'~fC;I  
    C~:aol i;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :k JSu{p  
    =n$,Vv4A  
    G*n5`N@>7  
     O/Da8#S<  
    建模任务 *BSL=8G{  
    9}5Q5OZ  
    ;;UvK v  
    概述 U-|g tND  
    JP[BSmhAV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "ua/65cq9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 whvM^  
    c?[A  
     bu\,2t}B  
    ncu> @K$n  
    光线追迹仿真 B9+oI c O  
    Inr ~9hz  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /X8b=:h  
    •单击go！ o%CBSm]  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;g?5V  
    \z<'6,b  
     d<!bE(  
    O^ f[ ugs  
    光线追迹仿真 2)mKcUL-  
    $yOfqr  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g pO@xk$  
    •单击go！ KJSN)yn\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UD"e:O_  
    ~Ge-7^Fo7  
     .XS rLb?  
    p2tB F98  
    场追迹仿真 ptrLnJ|%  
    ?^k-)V  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =@B9I<GKf  
    •单击go！ U<o,`y[Tn  
    zYF'XB]4  
    kvryDM  
     q}(UC1|  
    场追迹仿真（相机探测器） :0#!=  
    3+Xz5>"a  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <L:v28c  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RYmk6w!w  
    O8n\>pkI  
     `N2zeFG  
    "jb?P$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0I079fqk<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sL[,J[AN;  
    1<pbO:r  
    -s4qm)\  
     7?B]X%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H@'Y>^z?  
     c5^i5de  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AVHn7olG  
    Ge|caiH1I  
     =3""D{l  
     
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