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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 H skN(Ho  
    L~~Yh{<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "dTXT  
    iSHl_/I<  
    @Iu-F4YT  
     _TF>c:m3  
    建模任务 _#B/# ^a  
    ak [)+_k_  
    EVsZ:Ra^k  
    概述 Ea?.H Rxl  
    EM}z-@A>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RUKSGj_NJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *_wBV M=2  
    67?5Cv  
     566Qik w2  
    v'tk: Hm1  
    光线追迹仿真 M5uN1*   
    IIkJ"Qg.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 X Rn=;gK%J  
    •单击go！ ev $eM  
    •获得了3D光线追迹结果。 Q #gHD  
    -s"lW 7N^  
     8vK&d>  
    PQ>JoRs  
    光线追迹仿真 -yeT$P&|  
    T!bu}KO  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jLSZ#H  
    •单击go！ _rd{cvdR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iY-dM(_:]  
    ,H*3_c&Q  
     s?Kn,6Y  
    P>|2~YxjU  
    场追迹仿真 9&cZIP   
    \BL9}5y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <=Qk^Y2k  
    •单击go！ jxvVp*-=<j  
    5oS\uX|  
    'Nh^SbD+_|  
     32yNEP{  
    场追迹仿真（相机探测器） "|if<hx+  
    KXJHb{?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kN)ev?pQ[  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h.*|4;  
    a0R]hENC  
     3>+;G4  
    U{EW +>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D6w0Y:A{.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `;;!>rm  
    9!LAAE`  
    '' 6  
     J5k%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f@0`,  
     &>o)7H];  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Qxwe,:  
    H|Ems}b  
     tz,FK;8  
     
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