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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 an.`dBm  
    _Yy:s2I8B  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9N^+IZ@l  
    VE*j*U j  
    uS&LG#a  
     &lq^dFP&Su  
    建模任务 Hxn<(gd G  
    A*Rn<{U  
    EQ/^&  
    概述 oE6|Zw  
    W-ez[raY  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ljuNs@q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k8 u%$G  
    t{6ap+%L  
     e$ 32  
    W"|mpxp  
    光线追迹仿真 GZ"&L?ti  
    b[yE~EQxr  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4T%cTH:.9N  
    •单击go！ l=xt;c!  
    •获得了3D光线追迹结果。 Y+@g~TE  
    o)p[ C   
     4~*Y];!Q  
    ><K!~pst}  
    光线追迹仿真 1|]xo3j"'  
    ]x@~-I )  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 F3Ap1-%z  
    •单击go！ W_%W%i|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8""mp]o9  
    E23w *']  
     VXwPdMy*L  
    <ZVZ$ZW~D  
    场追迹仿真 +aj^Cs1$  
    rFfy#e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0E1=W 6UZ  
    •单击go！ Z}+yI,  
    [Y$V\h=V  
    1AT'S;`  
     -;U3w.-  
    场追迹仿真（相机探测器） 5uttv:@=  
    _Z.cMYN  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;iQp7aW{$  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y&g&n o_  
    {>h97}P  
     }PZ=`w*O  
    'W(xgOP1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ABZ06S/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hd374U<8]T  
    rREzM)GA  
    cQn)^jx=  
     R6<4"?*r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ??(Kwtx{  
     n,sY\=vB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 > H~6NBd5D  
    >XnO&hW  
     ul=7>";=|  
     
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