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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ?LE\pk R  
    M'Fa[n*b?!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v X=zqV  
    _^{!`*S  
    /F#_~9JXG  
     C*O648yz[  
    建模任务 ;IklS*p]  
    .Z[Bz7  
    cb ICO  
    概述 "M e)'  
    []opPQ 1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uL`6}0  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sfLH[Q?  
    6$42 -a%b  
     VU~ R  
    Grot3a  
    光线追迹仿真 kGaK(^w  
    "'389*-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^.']-XjC  
    •单击go！ -p|JJx?r  
    •获得了3D光线追迹结果。 H)#HK!F6f  
    %Pl 7FHfB  
     rLt`=bl&&U  
    -Fi{[%&u  
    光线追迹仿真 y]1:IJL2;  
    : z=C   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w QV4[  
    •单击go！ aD5jy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :`FL95  
    }o>6 y>=  
     T(< [k:`  
    N*d )<8_  
    场追迹仿真 g[Tl#X7F  
    +f#o ij  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3$c Im+  
    •单击go！ -K+" :kiS  
    1_chO?&,I  
    y^M ~zOe  
     'g3!SdaLF  
    场追迹仿真（相机探测器） :g1C,M~  
    RPb/U8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =\jp%A1$  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 a[Q\8<  
    `R}q&|o7<  
     e|ChCvk  
    {|Ew]Wq  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SZGeF;N  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z]P =>w  
    i5oV,fiZo  
    B.zRDB}i=  
     (eTe`   
    场追迹仿真（电磁场探测器） O\=U'6 @  
     6\8 lx|w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `RRC8]l  
    *rs@6BSj  
     QG~4 <zy  
     
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