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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 {I9 N6BQ&  
    H")N_BB  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g t^]32$  
    g\\1C2jG  
    nl-t<#z[  
     ;;w6b:}-c  
    建模任务 @Tfwh/UN  
    ELrZ8&5G  
    R2Rstk  
    概述 cbu nq"  
    `mKlv~$1^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BsK|:MM]  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `gt&Y-  
    v(Bp1~PPZM  
     #7~tL23}]  
    %EVV-n@  
    光线追迹仿真 (U(/ C5'  
    o[6vxTH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wj#J>C2]  
    •单击go！ jV4hxuc$  
    •获得了3D光线追迹结果。 xOV A1p b,  
    | z#m  
     GcZM+c  
    :,S8T%d  
    光线追迹仿真 QxL@'n#5   
    UVT >7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +24|_Lx0  
    •单击go！ B-\,2rCCZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2;%#C!TG;  
    OAW=Pozr9  
     |C$:]MZx  
    % UW=:  
    场追迹仿真 1#> &p%P!  
    tKG;k"wk  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q/QQ:t<XUi  
    •单击go！ waXDGdl0  
    V~J*49t&2J  
    Evr2|4|O~  
     2AXF$YjY  
    场追迹仿真（相机探测器） BN\fv,  
    nW $A^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &\"Y/b]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [}A_uOGEP  
    QmH/yy3.%  
     w69>tC  
    9Qt)m fqM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /'Qu u)~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rV8(ia  
    OH$ F >wO  
    k_*XJ<S!Y  
     B^i mG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j<l#qho{h  
     0NL :z1N-h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hi;WFyJTu  
    E/wQ+rv  
     ERp:EZ'  
     
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