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摘要 \o3)\
e]o Sn=|Q4ZN 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Lh.?G#E M
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 Q`k=VSUk
YCZl1ry:V= 建模任务 VL= . JwK 4# Wc zk-b  B@g 0QgA 概述 Y^DS~CrM 0 Y[LzLn •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (8DJf"} •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?,~B@Kx ,>% 2`Z)
 j f25Ky~ Y/cnj n 光线追迹仿真 G?$|aQ0j DZo7T! •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G?D7R/0) •单击go！ _)s<E9t2N •获得了3D光线追迹结果。 G q%q x4 1| $V
 !]AM#LJ 7x` dEi< 光线追迹仿真 xL8r'gV@ 2z9\p%MX •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |h BX" •单击go！
~/Gx~P] •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /RD@ [ 8 {( ;dHF%{
 lnuf_;0 F:nhSd 场追迹仿真 H]& a}WQ_ G"w
?{W @ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +oa\'.~? •单击go！
1@Abs gz fs9e  xCU^4DO3p
ZC}'! $r7 场追迹仿真（相机探测器） Y_m/? [: wh4ik`S 1 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 48;6C g •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }
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 `o~ dQb/k+ _'pow&w~ 场追迹仿真（电磁场探测器） 2d: <P !B •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %:i; eUKR WAr;g?Q8  GJ YXCi
n8W +q~sW% 场追迹仿真（电磁场探测器）
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B*=m%NXf •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I k[aiz D m Dsn
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