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摘要 "`K_5"F 6\l F 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]|F`;} 7
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 ~98q1HgS]D
4r;le5@ 建模任务 iM!V4Wih6 )Fd)YJVR  0qR#o/~I 概述 MZV bOcSAd idBd aZg •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z^]Oic/0Oa •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &K !0yR 3B[tbU(
 ,ng/T**@G zx)} XOYf 光线追迹仿真 (M;d*gN r 8;~,jZ
s •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =WN8> <K! •单击go！ %D-!< )z •获得了3D光线追迹结果。 `!N.1RP _ vy
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 Y".? j5f? ?/}IDwu h 光线追迹仿真 0<A*I{,4L 860y9wzU •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7.{+8#~nV •单击go！ DFfh!KKR$ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wR 2`*.O k K/>,Eg
 ci%$So 2# v7j/_;JE; 场追迹仿真 0XE6H w ,X|
>d •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vzAY+EEx •单击go！ %N\45nYU: K\}qY dPF  0I)eYksh
REc90v2" 场追迹仿真（相机探测器） M$v\7vBgO! Q&$2F:4f& •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0<-A 2O), •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *` -
B*`[8kb,
 ,o2x,I `,FA3boE 场追迹仿真（电磁场探测器） 3kr. 'O •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i @M^ l`w 4,`t9f^:  Hm 0;[i
4d`f?8vS 场追迹仿真（电磁场探测器） 1A]
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