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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 9|x{z  
    WJBwo%J  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H|I.h{:  
    ['DYP-1J  
    7$A=|/'nSA  
     9ohO-t$XkY  
    建模任务 q!whWA  
    dz,4);Mg  
    TFYp=xK(  
    概述 m.&"D> \t  
    Sp./*h\}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J"?jaa2~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~ea&1+Z[3  
    6>F1!Q  
     }c ,:uN  
    M|IgG:a;T  
    光线追迹仿真 >fx/TSql:J  
    ]>oI3&6s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]~kgsI[E  
    •单击go！ RWdx) qj{  
    •获得了3D光线追迹结果。 PmlQW!gfBi  
    6T-iBJT  
     TSKR~3D#  
    J  7]LMw7  
    光线追迹仿真 3&5AbIZ  
    x>[f+Tc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {PS|q?  
    •单击go！ I!Uj~jV  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 P.'$L\  
    CooOBk  
     7f\/cS^  
    )O$T; U  
    场追迹仿真 ^y2}C$1V  
    drd5o Z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n~'cKy )m  
    •单击go！ &O|qx~(  
    Oi$$vjs2  
    ea6`%,lF~  
     91:TE8?Z  
    场追迹仿真（相机探测器） i?IV"*Ob1N  
    0wZAsG"Bg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *ez7Q   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?Suv.!wfLl  
    x_OZdI  
     g#r,u5<*?  
    ^k4 n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;`rz]7,*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iuHs.k<z  
    2hFOwI  
    ]X<L~s_*  
     L,* #  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zD): yEc  
     Na{&aqdz  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dZ"d`M>o6  
    W0s3nio  
     +Q&CIo  
     
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