切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 670阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 +O P8U]~  
    bmN'{09@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e"HA.t[A  
    ;w ";s$  
     m~"<k d  
     EGWm0 F_  
    建模任务 !-1UJqO  
    5X>b(`  
    o/273I  
    概述 t|q@~B :  
    71`)@y,Z,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4'JuK{/ A7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 P)x&9OHV  
    -Z )j"J  
     4PG]L`J{  
     GZ.Xx  
    光线追迹仿真 A?[06R5E#  
    "HI&dC  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^hPREbD+f  
    •单击go！ n$B SO  
    •获得了3D光线追迹结果。 aOZSX3;wg  
    %5<uQc9  
     nojJGeW%  
    -0[?6.(s"  
    光线追迹仿真 G3O`r8oZcJ  
    R7%' v Zk  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `)e5pK  
    •单击go！ Ce 3{KGBw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 feg  
    f5p>oXo4b  
     :^~I@)"ov  
    n/$1&x1  
    场追迹仿真 qRk&bF/  
    =.19 7)e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nn'a` N  
    •单击go！ NN(ZH73  
    dO/iL7K&  
    ^Pqj*k+F  
     z0=(l?)#  
    场追迹仿真（相机探测器） N]gJ( g  
    5[<" _  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y(gL.08<  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N<&"_jzm  
    tf?syk+jB7  
     f;os\8JdM  
    {C+blzh6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） HLMcOuj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Cq mtO?vne  
    (C{l4  
    kw,eTB<;R  
     S0-f_,(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OR84/^>  
     )-yJKmV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @ \{L%y%a0  
    Da.eVU;  
     fC6zDTis8A  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表