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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要  9TeDLp  
    j*P@]&e7d  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 re<"%D  
    {#7t(:x  
    XOxm<3gXn  
     I%%$O' S  
    建模任务 <4Ak$ E %"  
    XVY^m}pMe  
    3T_-_5[c  
    概述 nkpQM$FW  
    ]^s4NXf+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f1JvP\I0Q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PoC24#vS  
    }ts?ZR^V,  
     Rq;R{a  
    p{.EFa>H  
    光线追迹仿真 *FO']D  
    #ujcT%1G  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,O2Uj3"  
    •单击go！ nwz}&nR  
    •获得了3D光线追迹结果。 xe 6x!  
    0\.y0 K8  
     Wc(?ezn  
    Nz2}Ma 2  
    光线追迹仿真 1y 6H2  
    ak<?Eu9rV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '?#e$<uS-  
    •单击go！ K~[/n<ks  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 SMnbI .0  
    (!;4Y82#  
     I5  
    x *(pr5k  
    场追迹仿真 #B54p@.}  
    4/HyO\?z5  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7n %QP  
    •单击go！ (R.k.,z  
    a "8/y4Y  
    GK:*|jV  
     bw+~5pqM  
    场追迹仿真（相机探测器） wN;o++6V  
    #t9&X8:U  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +>{{91mN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BoFJ8Ukq|  
    1#XMUbFc  
     `$Q $l  
    nAg|m,gA  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  8DyE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >a Q; 8  
    5 '.j+{"  
    Hz28L$  
     N9_9{M{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p-M QI }  
     ar R)]gk 7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZCV&v47\p_  
    mR?OSeeB  
     :QB Wy  
     
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