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摘要 sejT] rJ *^CN2tm 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (0rcLNk{|
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:)FNhx3 建模任务 7p>T6jK) MM( ,D&
Z  MPYYTQ1FB 概述 c5pK%I }O d@zxgn7o •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +> yspOEz •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Hr T@Df ' p F$6n;
 ;alt% :$n 5r d t 光线追迹仿真 /+WC6& {wO .nOB •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 q ;_?e_ •单击go！ ^N`KT •获得了3D光线追迹结果。 ce719n$
]I]G3 e
 /UaQ 2 h\ }iLi5Qkx 光线追迹仿真 /AY q^ . k#O[^~] •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dKL9}:oUa •单击go！ 6j|~oMYP •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1&Ma`M(' uzLm TmM+
 q6x}\$mL i TF%}( 场追迹仿真 <TS ps!(# )QmmI[,tq •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (&, E}{p9 •单击go！ OC\cN%qlw u;b 6uE  KvI /!hl\
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t/mLw& 场追迹仿真（相机探测器） ~4c,'k @
0BAZWm •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [FBc&HN •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y{XNB}E /gn\7& =P
 f/Z-dM\e *Tmqs@L 场追迹仿真（电磁场探测器） }"q#"s •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0/cgOP!^ !A14\  kHQn' r 6
5bol)Z9BO 场追迹仿真（电磁场探测器） .dvs&+I
ZT,au SX •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0t*PQ% R/2L9 Lcv
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