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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 jyGVbno`  
    Pp/{keEye  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MP,*W}@  
    @EY}iK~  
    &FrB6 y  
     `0^i #  
    建模任务 Vi#im`@  
    1,j9(m2  
    +I<Sq_-  
    概述 ]K7  64}  
    |&Pl4P  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #& wgsGV8C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vy@Lu cB  
    X6.O ;  
     #'x?) AS  
    A E&n^vdQW  
    光线追迹仿真 &%X Jf~IQ  
    u mlZ(??.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9@Sb! 9h  
    •单击go！ ? sW`**j  
    •获得了3D光线追迹结果。 V@:=}*E  
    ;n!X% S<z*  
     i8Y gG0[)  
    -mJ&N  
    光线追迹仿真 }qv-lO  
    rhTk}2@h  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +&,\ J9'B  
    •单击go！ 6wB>-/'Y  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rO$>zdmYHs  
    g u =fq\`  
     ?0NSjK5ma  
    kA<r:/  
    场追迹仿真 KN:dm!A  
    hZWK5KwT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rp#*uV9;  
    •单击go！ +~Lzsh"  
    `_U0>Bfg;  
    H}V*<mg w  
     % `T5a<  
    场追迹仿真（相机探测器） XOg(k(&T  
    ~cBc&u:"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 m=\eL~ h  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 K}`p_)(  
    0 a6@HwO  
     +Z&&H'xD  
    q;../h]Ne  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e'Us(]ZO  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o>;0NF| }  
    bNjaCK<  
    V 1nZ M  
     1+tt'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mUyv+n,  
     jnp6qpY{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >?W;>EUH  
    d)1sP0Z_@  
     5m USh3  
     
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