切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 572阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6220
    光币
    25245
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 WQ}wQ:]  
    0-[naGz  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 cS'{h  
    Fuzb4Df  
    haY]gmC  
     /y$Fw9R;  
    建模任务 ``P9fd  
    s[sv4hq  
    h=0a9vIXF  
    概述 x1?mE)n]  
    w|6/i/X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hPUAm6 b;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,:e~aG,B  
    swxX3GR  
     :dh; @kp  
    SDC'S]{ew  
    光线追迹仿真 ol*,&C:{  
    mEbI\!}H0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Eamt_/LKf  
    •单击go！ Z[OX {_2]K  
    •获得了3D光线追迹结果。 . }/8 ]  
    W2#<]]-  
     F_(~b  
    rHTZM,zM=H  
    光线追迹仿真 6e rYjq  
    cZQ8[I  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5E-;4o;RI(  
    •单击go！ X!qK[b@Z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Sz@z 0'  
    HWsV_VAw}  
     !9WGZfK+0Y  
    **L&I5Hhm  
    场追迹仿真 |y[I!JdR  
    F5qA!jZ1]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P*A+k"DU1  
    •单击go！ -dixiJ=  
    fwv^dEe  
    \^*:1=|7u]  
     &J&'J~N  
    场追迹仿真（相机探测器） *: @KpYWx"  
    o 2 Nu@^+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :31_WJ^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "t&=~eOe3  
    G;}WZy  
     !:!(=(4$P  
    W|m(Jh[w]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ku l<Q<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D{6 y^@/  
    Q-'j131[  
    5[Vr {^)  
     (s,&,I=@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M5ZH6X@5  
     5[jcw`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7K\v=  
    /=S@3?cQAB  
     ~j'D%:[+VH  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表