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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 *(q{k%/M  
    V.u^;gr3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0 fT*O  
    /];N1  
    <ZZfN@6  
     /G7^l>pa  
    建模任务 um]*nXIr  
    2N &B  
    T<7}IH$6xE  
    概述 UV;I6]$}A7  
    ( zm!_~1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /rD9)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KS~Q[-F1P  
    YGChVROG~  
     C'A D[`p  
    8b,Z)"(U3  
    光线追迹仿真 wd|^m%  
    ^8oN~HLZ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZU B]qzmK  
    •单击go！ 7SkW!5  
    •获得了3D光线追迹结果。 0W6= '7  
    kp[&SKU c  
     6@^ ?dQ  
    Iu~(SKr=|$  
    光线追迹仿真 C|FI4/-e  
    V e[Kv07  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 FN sSJU3ld  
    •单击go！ 8[^b8^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 u5qaLHoEP  
    A;C4>U Y  
     p,8:(|(  
    mrE> o !  
    场追迹仿真 d<\X)-"  
    I %1P:-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4yxf/X)  
    •单击go！ |1OF!(:  
    'g)5vI~'  
    = "Lb5!  
     {|zQ .s A  
    场追迹仿真（相机探测器） u?g;fh6  
    wjID*s[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Pa\yp?({q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =x^IBLHN  
    =1B;<aZH!  
     Cq=k3d#}  
    +Sv2'& B  
    场追迹仿真（电磁场探测器） QE;,mC>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i}:^<jDv?  
    i"!j:YEo  
    1RQM-0W,  
     QA!'p1{#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） , YE+k`:  
     +>mU4Fwp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y-DHW/Z~  
    <m`Os2#  
     pi*?fUg!W  
     
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