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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 +L hV4@zC  
    (`)ZR %i  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $_Kcm"oj  
    n1    
    );!IGcgF  
     I(Gl8F\c~  
    建模任务 E(p#Je|@[  
    VtYrU>q  
    jzb%?8ZJ  
    概述 IY40d^x  
    ESyb34T`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !4vepa}Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \u$[$R5  
    Wo2W/{  
     c_Lcsn  
    von<I  
    光线追迹仿真 y"T(Unvc  
    h]>7Dl]  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 59#o+qo4   
    •单击go！ ?8-ho0f0  
    •获得了3D光线追迹结果。 xtFGj,N  
    EN/r{Cm$B  
     epGC Ta  
    )N3XbbV  
    光线追迹仿真 Ux-i iH#s  
    vJ9IDc|[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P<C=9@`!  
    •单击go！ xRbtiFk9H  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 sIzy/W0iV  
    ^R h`XE  
     F S!D  
    oYAHyCkVq  
    场追迹仿真 | {Tq/  
    xU;/LJ6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S~hoAl"xb/  
    •单击go！ TOw;P:-  
    F10TvJ U  
    &2sfu0K  
     i)q8p  
    场追迹仿真（相机探测器） \\P*w$c   
    ;iO5 8S3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?bGk%jjHXM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 CLgfNrW~  
    U(:Di]>{  
     :$Xvq-#$|  
    c>%%'c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dZ|x `bIgs  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iI Dun Ih  
    ")Qhg-l  
    ;[B-!F>  
     #<DS-^W!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fL~@v-l#~  
     UIC~%?oIA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v2Vmcc_]9x  
    Eg(.L,dj  
     pEq }b+-  
     
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