切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 445阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 R? Ys%~5  
    E9N.b.Q)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5f}GV0=n  
    !'5t(Zw5  
    PSB@yV <  
     [&MhAzF  
    建模任务 PrQs_ t Ni  
    CqAv^n7 }  
    h*lU&8)m\  
    概述 QnMN8Q9  
    $`'%1;y@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p E56CM  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sry`EkS  
    hsJS(qEh.'  
     8|2I/#F}]  
    (X|`|Y  
    光线追迹仿真 XEpwk,8*g  
    \L]T|]}(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x6iT"\MO  
    •单击go！ R=m9[TgBm  
    •获得了3D光线追迹结果。 Su>UXuNdE#  
    d{FD.eI 0  
     @\)a&p]a  
    6>e YG <y{  
    光线追迹仿真 IzWS6!zKU  
    m2r %m y  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >sZ207*  
    •单击go！ Xxmvg.Nl  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W^T6^q5;H  
    @'lO~i  
     IA(+}V  
    ,]cb3nP   
    场追迹仿真 ptCAtEO72  
    ?S0gazZm  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \EC7*a0  
    •单击go！ a";xG,U  
    'i7!"Y6>  
    M].D27  
     EwuBL6kN  
    场追迹仿真（相机探测器） V+MhS3VD  
    Q VJvuiUh  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ng;Fhv+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1v"r8=Wt  
    4K<T_B/  
     L\/YS;Y  
    P%^\<#Ya7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w@Gk#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (U@uJ  
    63Dm{ 2i}F  
    bR&<vrMmrA  
     "~=\AB=+Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]>'yt #]  
     *JmU",X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EC0M0qQ  
    v>]^wH>/"  
     +E-f  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表