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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 y 37n~~%  
    g.&&=T  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Mi S$Y  
    8[xb+_  
    *mq+w&  
     t;ggc{  
    建模任务 C>t1~^Q},9  
    : h-N  
    lSQANC'  
    概述 V. :imj  
    <.RgMPi  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Gu&zplB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 t0Ec` +)  
    ~` #t?1SP  
     ?%;)> :3N  
    Ql#:Rx>b  
    光线追迹仿真 ?hsOhUs(5  
    Z]"ktb;+[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |67<h5Q1  
    •单击go！ R.+Q K6B&  
    •获得了3D光线追迹结果。 :DQHb"(  
    -1Tws|4gc  
     (hdP(U77  
    O"_FfwO a  
    光线追迹仿真 +9,"ne1'e  
    3'*SSZmnOB  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 IjJ3./L!5  
    •单击go！  |o=eS&)  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Q4q3M=0  
    #OH# &{H  
     ^;Ap-2Ww  
    > : \lDz  
    场追迹仿真 zj"J~s;?  
    p@>_1A}qh_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 V$<og  
    •单击go！ zziujs:  
    :] {+ 3A  
    MS><7lk-  
      `q%Z/!}  
    场追迹仿真（相机探测器）  fW|1AUD,  
    (fb&5=Wzw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4AzS~5S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A2$:p$[  
    9`QWqu[  
     ~vBmW_j  
    $w#C;2k]N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D_(xhM  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :Uj+iYE8Z8  
     :v8j3=  
    4LJUO5(y@  
     q-X)tH_+w@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0KU,M+_  
     vgo-[^FiP$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h+}`mi  
    69TQHJ[  
     E(>RmPP=7  
     
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