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摘要 { sL(PS.z p,+$7f1S 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~ugK&0i[2
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#~^Y2-C# 建模任务 CzZm C]5 G>0S( M)  E6d0YgfD 概述 \[w 82%U y2eeE CS] •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '\X<+Sm' •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G#;$; L7tC?F]}SK
 @c ZNoD ISuye2tExq 光线追迹仿真 g^DPb pWxu P=V=\T<4_ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %maLo RJ •单击go！ RWi~34r •获得了3D光线追迹结果。 438+ zU Yg6 f
 EV 8}C= V{[vIt* 光线追迹仿真 lT3, G#( fK|F`F2V •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @iwg`j6ol •单击go！ f|1GlUA{t •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W=R u? sG= GJY7vS ^#
 ^\uj&K6l 8*^Q#;^~99 场追迹仿真 5/v@VUzH `\: 9 2+ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 & Q[Y&vNn •单击go！ MKYXYR p`3pRrER  Fss7xP'
r~uWr'}a} 场追迹仿真（相机探测器） =M'y& iz- L
s=2! •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <=*xwI&q •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &z r..i4O c"3 a,&
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~ 7 nOw Fa$ pr` 场追迹仿真（电磁场探测器） )}
y1 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V Z[[zYe D^Bd>E y4  E3\O?+ h#
a(Bo.T<2@ 场追迹仿真（电磁场探测器） 0.-2FHc9L
2 fX-J •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H/p<lp 9Kw4K#IqQ
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