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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 O+ .*lo  
    H30OUrD  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #n})X,ip2  
    gT1P*N;v  
    "G?9b  
     -Wo15O"  
    建模任务 ,-#GX{!  
    M'jXve(=yF  
    ]rX9MA6  
    概述 Pern*x9$  
    o'UHStk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i2F(GH?p[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 T)\NkM&  
    INNAYQ  
     VuWib+fT  
    IcoowZZ   
    光线追迹仿真 Q-('5a19J  
    .H;B=nd*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <f%/px%1  
    •单击go！ J|j;g!fK  
    •获得了3D光线追迹结果。 .9 kyrlm  
    xh'^c^1  
     O~'FR[J  
    %Y',|+Arx  
    光线追迹仿真 z\Ui8jo:;  
    fi=?n{e'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 mTjm92  
    •单击go！ sc xLB;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^5)_wUf  
    x;U|3{I o  
     B7 c[ 4  
    1X:&* a"5  
    场追迹仿真 &va*IR  
    ~I$}#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fOBN=y6x  
    •单击go！ C_-E4I Z)  
    #O|lfl>}  
    >l2w::l%  
     "?H+ u/8$  
    场追迹仿真（相机探测器） (Jpm KO  
    ~07RFR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8A/>JD3^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0M\NS$u(Y  
    qy9i9$8  
     -A;w$j6*  
    gb_X?j%p7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4<Kgmy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E\! n49  
    kH2oK:lN  
    Sh$U-ch@  
     sRi%1r7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #Q+R%p  
     Z:^3Fm->+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A\g%  
    vzy!3Hiw  
     F(0Z ]#+  
     
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