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摘要 (j"MsCwE zt}p-U2I 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 y5 h[^K3
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$4,6&dwg 建模任务 y$NG . .S 4+b sG6i  !-~(*tn 概述 N DG Bvb H4j qF~ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X|G+N(`|( •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7^ 5BnF@ eQj/)@B:V
 pQ8+T|0x i(rY'o2 BN 光线追迹仿真 #1R
%7*$i >^N :A •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `h 6W@ROb •单击go！ =Y[ Ae7e •获得了3D光线追迹结果。 s ~G{-)* N4-J !r@#~
 Cn '=_1p miqCUbcU 光线追迹仿真 q5PYc.E([ k*^W
lCZ3 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #C mBgxg+M •单击go！ "dTXT •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YZ@-0_Z U)8]pUI+/P
 l-EQh*!j ls Ch K 场追迹仿真 5;Xrf= =oJiNM5_u •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F eLP!oS> •单击go！ RUKSGj_NJ >Z% `&D~u  67?5Cv
566Qik w2 场追迹仿真（相机探测器） v'tk: Hm1 M5uN1* •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 IIk J"Qg. •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X Rn=;gK%J ev $eM
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# gHD pJ[Q.QxU 场追迹仿真（电磁场探测器） `>Cx!sYhV •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PQ>J oRs -yeT $P&|  T! bu}KO
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