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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 w ,*#z  
    * ,L e--t  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 I ]ZksC  
    M 4E|^p=5  
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    建模任务 |R;`  
    k x%\Cz  
    &3Ry0?RET  
    概述 e}NB ,o  
    cTja<*W^xv  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0nPg`@e.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 weMufT  
    4axuE]  
      c?*x2Vk  
    w~~[0e+E  
    光线追迹仿真 m KJO?7tj  
    q*!Vyk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =5O&4G`}  
    •单击go！ CG ,H  
    •获得了3D光线追迹结果。 XnKf<|j6k  
    m 0]1(\%  
     oXQI"?^+  
    Y,m=&U  
    光线追迹仿真 'soll[J  
    t(99m=9>  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 S;" $02]  
    •单击go！ 62o nMY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [+!~RV_  
    ~ Ofn&[G  
     a|ZJzuqo  
    MSb0J`  
    场追迹仿真 fskc'%x  
    To;r#h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 b?-KC\}v  
    •单击go！ o,qUf  
    U9XOs)^  
    &23{(]eO  
     +.a->SZ5"  
    场追迹仿真（相机探测器） `^ )oVs  
    8aY}b($*ZI  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M1eM^m8U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >&JS-j Fg  
    z J V>;  
     BO>[\!=y  
    b~;M&Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dW%;Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 acI%fYw5p`  
    JD ~]aoH  
    loD:4e1  
     Y+C6+I<3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） + 7nA; C  
     eMjW^-RgE5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RaA7 U   
    7G%^8 ce{!  
     8Ib5  
     
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