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摘要 k kD#Bb *re?V9 VFF5Tp RAhDSDf 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Y~I>mc] #l&*&R~> 建模任务 :ln|n6X 3SbZD XW8@c2jN\7 ,KM%/;1Dm 由于组件倾斜引起的干涉条纹 w0nbL^f .eVX/6, ?-Of\fNu z<!A;.iD 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 qHe
H/e%`V p`7d9MV^ Yz[Rl
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