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摘要 l!u_"I8j5 $-sHWYZ
F7#JLE= #QMz<P/Gl6 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 $6SW;d+>n +52{-a,> 建模任务 0n{=%Q t1x1,SL
W7nw6;7= %1+4_g9 由于组件倾斜引起的干涉条纹 II,8O Qzw;i8n{
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fn 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 3(80:@| 0<@@?G
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