Yg 8AMi 内容简介
@agW{%R:. Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
4::>Ca^{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
9zdp8?T 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
[emUyF aGK =VN}r 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
+Eil:Jz 目录
y`"b%P)+T Preface 1
!olvP*c" 内容简介 2
z^s40707x 目录 i
I }AO_rtb 1 引言 1
x+j5vzhG) 2 光学薄膜基础 2
iI_ad7,u 2.1 一般规则 2
\3P.G S{l 2.2 正交入射规则 3
Vp = 2.3 斜入射规则 6
zWiMl.[ 2.4 精确计算 7
P;%4Imq3 2.5 相干性 8
?Ji.bnfK 2.6 参考文献 10
tw.2h'D 3 Essential Macleod的快速预览 10
GarPnb 4 Essential Macleod的特点 32
R|PFGhi6"A 4.1 容量和局限性 33
F$kLft[: 4.2 程序在哪里? 33
zk+&5d4( 4.3 数据文件 35
qXPT1%+)y 4.4 设计规则 35
auOYi<<>W 4.5 材料数据库和
资料库 37
3nfw:. 4.5.1材料损失 38
f
=H,BQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
NTRw:' 4.5.2 材料库 41
Wsb=SM7; 4.5.3导出材料数据 43
0 S3~IeJ 4.6 常用单位 43
:tP:X+?O 4.7 插值和外推法 46
'}a[9v76 4.8 材料数据的平滑 50
Xg*IOhF6x 4.9 更多光学常数模型 54
<v<TsEI 4.10 文档的一般编辑规则 55
&]VCZQL 4.11 撤销和重做 56
ygm4A j> 4.12 设计文档 57
te?R(& 4.10.1 公式 58
r>+Hwj0> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
'</ 4.10.3 沉积密度 59
ien >Ou 4.10.4 平行和楔形介质 60
n7~!klF- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
<UJgl{- 4.10.4 性能 61
#4h_(Y 4.10.5 保存设计和性能 64
:[gM 5G 4.10.6 默认设计 64
Q1qf'u 4.11 图表 64
-#]?3*NO 4.11.1 合并曲线图 67
WeGT} 4.11.2 自适应绘制 68
'U<-w$!f+^ 4.11.3 动态绘图 68
C3fSSa%b 4.11.4 3D绘图 69
6[BQx)7T 4.12 导入和导出 73
9wLV\>i[k 4.12.1 剪贴板 73
bK `'zi 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
.+XGbs]kCi 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
"rz|sbj 4.13 背景 77
Gy36{* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
} G$rr.G 4.15 生成Rugate 84
J-lQPMI, 4.16 参考文献 91
/kGRN@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
v#/Uq?us 5.1 Jobs 92
Ou IoO 5.2 创建一个新Job(工作) 93
VNx|nP& 5.3 输入材料 94
}?B=R#5 5.4 设计数据文件夹 95
xw-x<7 5.5 默认设计 95
)L#C1DP# 6 细化和合成 97
Wt+aW 6.1 优化介绍 97
R4,j 6.2 细化 (Refinement) 98
620y[iiK$ 6.3 合成 (Synthesis) 100
jnFCtCB 6.4 目标和评价函数 101
2Mx9Kd'a
r 6.4.1 目标输入 102
c }>:>^ 6.4.2 目标 103
S5ka;g 6.4.3 特殊的评价函数 104
.fxI) 6.5 层锁定和连接 104
}fw;{&s{z 6.6 细化技术 104
&F"Mkyf 6.6.1 单纯形 105
4cK6B)X 6.6.1.1 单纯形
参数 106
P[PBoRd2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
lp5`Kw\ 6.6.2.1 Optimac参数 108
!Y_"q^5GG' 6.6.3 模拟退火算法 109
x#"|Z&Dw0 6.6.3.1
模拟退火参数 109
yn<z!z%mz 6.6.4 共轭梯度 111
ug!DL=ZW 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
.E|Hk,c9 6.6.5 拟牛顿法 112
"|pNS) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
~uRG~,{rH 6.6.6 针合成 113
:bMCmY 6.6.6.1 针合成参数 114
G~T]m . 6.6.7 差分进化 114
sqHvrI 6.6.8非局部细化 115
WlP#L` 6.6.8.1非局部细化参数 115
We3*WsX\ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
/=4P<&J 6.7.1 细化 116
yv4ki5u` 6.7.2 合成 117
B?c9cS5Mj 6.8 参考文献 117
th8f 7 导纳图及其他工具 118
.['@:}$1 7.1 简介 118
pmXx2T#= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
ay#cW., 7.2.1 四分之一
波长规则 119
F?'=iY<h 7.2.2 导纳图 120
$DW3H1iW 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
&NV[)6! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
/B"h#v-o 7.5 斜入射导纳图 141
$enh>!mU 7.6 对称周期 141
#"d.D7nA 7.7 参考文献 142
6\4ny 0 8 典型的镀膜实例 143
WM BntB 8.1 单层抗反射薄膜 145
ZC3b9:tk 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
]aq!@rDX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
5gW`;Cdbyc 8.4 W-膜层 148
xEaRuH c 8.5 V-膜层 149
~u1ox_v`%( 8.6 V-膜层高折射基底 150
8Q^yh6z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
w.J[3m/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
ME~ga,|K 8.9 四层抗反射薄膜 153
0m,A`*o 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
<5/r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
a>`\^>G4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
i^sK+v 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
8 f%@:}H 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
+Tc4+q! 8.15十五层宽带抗反射膜 159
}gyJaMA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
(,Yb]/O* 8.17 1/4波长堆栈 162
*=dFTd"# 8.18 陷波滤波器 163
wXDF7tJh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
noe1*2*T E 8.20 褶皱 165
bv0B 8.21 消偏振分光器1 169
n1o/-UY 8.22 消偏振分光器2 171
CmRn 8.23 消偏振立体分光器 172
}uWJ 8.24 消偏振截止滤光片 173
$G5m/[KDI 8.25 立体偏振分束器1 174
MQE=8\
8.26 立方偏振分束器2 177
`LH!"M 8.27 相位延迟器 178
/7*jH2 8.28 红外截止器 179
%Rr!I:[ $ 8.29 21层长波带通滤波器 180
V4qHaG 8.30 49层长波带通滤波器 181
_3tHzDSG# 8.31 55层短波带通滤波器 182
q#v.-013r 8.32 47 红外截止器 183
?LgR8/Io@5 8.33 宽带通滤波器 184
7Upm 8.34 诱导透射滤波器 186
m\7-/e2a 8.35 诱导透射滤波器2 188
>1a-}>r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
KSVIX!EsX 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
F/ 2@%,2n 8.35 增益平坦滤波器 193
9:A>a3KOH 8.38 啁啾反射镜 1 196
%cO;{og M 8.39 啁啾反射镜2 198
# j*$ `W; 8.40 啁啾反射镜3 199
[V{JuG;s 8.41 带保护层的铝膜层 200
w(r$n|Ks9 8.42 增加铝反射率膜 201
K7<'4i~k 8.43 参考文献 202
%H>vMR-,~ 9 多层膜 204
EVNTn`J_ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
NmST1pMk 9.2 内部透过率 204
{b^naE 9.3 内部透射率数据 205
D/V.o}X$ 9.4 实例 206
,Ng3!2&$e 9.5 实例2 210
v6oPAqj,r 9.6 圆锥和带宽计算 212
<,Sy:>:" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
@S?.`o 10 光学薄膜的颜色 216
/}2
bsiJT 10.1 导言 216
3k;U#H 10.2 色彩 216
NUH;GMj,, 10.3 主波长和纯度 220
Y:^ =jV7 10.4 色相和纯度 221
_XXK1H x 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
7t5X 10.6 色差 226
Y@KZ:0< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
ro@Zbm;P 10.8 颜色渲染指数 234
@5
kKMz 10.9 色差计算 235
(&PamsV*8 10.10 参考文献 236
/2>-h-zBjw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
)oTEB#J 11.1 短脉冲 238
w?C_LP 11.2 群速度 239
D\(,:_ge 11.3 群速度色散 241
l4U& CA y 11.4 啁啾(chirped) 245
D> Z>4:EM 11.5 光学薄膜—相变 245
n8[sR;r5f 11.6 群延迟和延迟色散 246
Rt7}e09HV 11.7 色度色散 246
;DC0LJ 11.8 色散补偿 249
$@x3<}X; 11.9 空间
光线偏移 256
:m8ED[9b 11.10 参考文献 258
^Q!:0D* 12 公差与误差 260
}S*6+4 12.1 蒙特卡罗模型 260
^eM=h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
>]:R{1h 12.2.1 误差工具 267
PC\Xm,, 12.2.2 灵敏度工具 271
Ep 5lmzg 12.2.2.1 独立灵敏度 271
6i.'S5. 12.2.2.2 灵敏度分布 275
{Hp?rY@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
]~WP;o 12.3 参考文献 276
bIp;$ZHy`K 13 Runsheet 与Simulator 277
IL.Jx:(0 13.1 原理介绍 277
,z1# |Y 13.2 截止滤光片设计 277
:U)e
8 14 光学常数提取 289
7S]
h:q%% 14.1 介绍 289
N#7 ]xL 14.2 电介质薄膜 289
/lr RbZ 14.3 n 和k 的提取工具 295
C| Mh<,~E 14.4 基底的参数提取 302
,;/4E 14.5 金属的参数提取 306
V]q{N-Iq 14.6 不正确的模型 306
%M}zi'qQ? 14.7 参考文献 311
,9?'Q;20 15 反演工程 313
`}zv17wp 15.1 随机性和
系统性 313
te6[^_k 15.2 常见的系统性问题 314
!ox &` 15.3 单层膜 314
v[Q)cqj/ 15.4 多层膜 314
l06 q1M 3 15.5 含义 319
ykM#EyN 15.6 反演工程实例 319
K"}Dbr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Q~xR'G[N 15.6.2 反演工程提取折射率 327
H~ks"D1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
N->;q^ 16.1 光学性质的热致偏移 329
g!~j
Wn?A 16.2 应力工具 335
>F+:ej 16.3 均匀性误差 339
}rO4b>J 16.3.1 圆锥工具 339
*s%s|/ 16.3.2 波前问题 341
Q@$1!9m 16.4 参考文献 343
]ei])
JI 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
>hQR 17.1 引言 345
ise@,[! 17.2 操作数 345
20fCWVw}?} 18 如何在Function中编写脚本 351
W/\7m\B 18.1 简介 351
Qb(CH 18.2 什么是脚本? 351
spl*[ d 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
vo::y" 18.4 基础 352
qL'3MY.! 18.4.1 Classes(类别) 352
0I#<-9&d- 18.4.2 对象 352
PN.6BJvu 18.4.3 信息(Messages) 352
3zl!x 18.4.4 属性 352
61mQJHl. 18.4.5 方法 353
8p5'}Lq 18.4.6 变量声明 353
iEU(1?m2- 18.5 创建对象 354
S;t~"87v* 18.5.1 创建对象函数 355
>^ Y9p~ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
>)N#n` 18.5.3 丢弃对象 356
Y4{`?UM&h 18.5.4 总结 356
WEsH@
[ 18.6 脚本中的表格 357
:w];N|48s 18.6.1 方法1 357
t
=*K?'ly 18.6.2 方法2 357
8odVdivh 18.7 2D Plots in Scripts 358
V`H#|8\i 18.8 3D Plots in Scripts 359
)T4L^^` 18.9 注释 360
#E ~FF@a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
AH7k|6ku<* 18.11 一个更高级的脚本 362
w1}[lq@ 18.12 <esc>键 364
.U1dcL6 18.13 包含文件 365
#>,cc?H- 18.14 脚本被
优化调用 366
NRl"!FSD;" 18.15 脚本中的对话框 368
+p[~hM6? 18.15.1 介绍 368
?k3b\E3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
,S5#Kka~a 18.15.3 输入框函数 370
1y@- 18.15.4 自定义对话框 371
?UxY4m%R; 18.15.5 对话框编辑器 371
T9$U./69-L 18.15.6 控制对话框 377
9F-k:hD | 18.15.7 更高级的对话框 380
y H'\<bT 18.16 Types语句 384
|`okIqp 18.17 打开文件 385
=QC^7T 18.18 Bags 387
x'KsQlI/
18.13 进一步研究 388
PWmz7*/ 19 vStack 389
v]J# SlF 19.1 vStack基本原理 389
U=t'>;(g 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
I,S'zHR 19.3 五棱镜 393
Ax%BnkU 19.4 光束距离 396
P~ykC{nD 19.5 误差 399
_kd |:, 19.6 二向分色棱镜 399
iWCV(! 19.7 偏振泄漏 404
|-mazvA 19.8 波前误差—相位 405
M'HOw)U 19.9 其它计算参数 405
Y]lqtre*Y 20 报表生成器 406
em]K7B= 20.1 入门 406
w*
I+~o- 20.2 指令(Instructions) 406
@Dy.HQ~ 20.3 页面布局指令 406
{#%xq]r_ 20.4 常见的参数图和三维图 407
3dbf! 20.5 表格中的常见参数 408
"tR.'F[n4P 20.6 迭代指令 408
Z~uKT n 20.7 报表模版 408
.$k"+E 20.8 开始设计一个报表模版 409
@(
t:E`8 21 一个新的project 413
8F*
WT|] 21.1 创建一个新Job 414
Cm4*sN.&) 21.2 默认设计 415
uaKB 21.3 薄膜设计 416
2tv40(M:< 21.4 误差的灵敏度计算 420
sfV.X:ev 21.5 显色指数计算 422
Z C93C7lJ 21.6 电场分布 424
$imx-H`| 后记 426
d0B+syl&4l 有兴趣可以扫码加微咨询
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