uY To9A 内容简介
\FaP|28h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
1% ` Rs
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
{JLtE{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
PKz':_| At;LO9T3z 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
;uGv:$([g 目录
/;$[E Preface 1
a<e[e> 内容简介 2
]SEZaT 目录 i
2 %]X+`+O 1 引言 1
u ga_T 2 光学薄膜基础 2
<P<z N~i9j 2.1 一般规则 2
x8|J-8A( 2.2 正交入射规则 3
%]i15;{X 2.3 斜入射规则 6
h";L 2.4 精确计算 7
c71y'hnT 2.5 相干性 8
"[N!m1i:{ 2.6 参考文献 10
{!`6zBsP 3 Essential Macleod的快速预览 10
x+]" 4 Essential Macleod的特点 32
2~V*5~fb 4.1 容量和局限性 33
Fr-SvsNFB 4.2 程序在哪里? 33
uY*L,j^) 4.3 数据文件 35
U<XG{<2 4.4 设计规则 35
zt%Mx>V@ 4.5 材料数据库和
资料库 37
>\8+:oS^ 4.5.1材料损失 38
LzL
So"n 4.5.1材料数据库和导入材料 39
8P`"M#fI 4.5.2 材料库 41
a+QpM*n7Lq 4.5.3导出材料数据 43
!,PWb3S 4.6 常用单位 43
XWw804ir 4.7 插值和外推法 46
n6v6K1 4.8 材料数据的平滑 50
\=o- 4.9 更多光学常数模型 54
b.938#3, 4.10 文档的一般编辑规则 55
k?}Zg* 4.11 撤销和重做 56
wL[
M: 4.12 设计文档 57
O6Y0XL 4.10.1 公式 58
X8\GzNE~R 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
<VE@DBWyl~ 4.10.3 沉积密度 59
!R$`+wZ62 4.10.4 平行和楔形介质 60
F0#
'WfM# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
w-jVC^C] 4.10.4 性能 61
~LC-[&$ 4.10.5 保存设计和性能 64
Ys7]B9/1O 4.10.6 默认设计 64
p
ll)Y 4.11 图表 64
$cgcX 4.11.1 合并曲线图 67
"N#Y gSr 4.11.2 自适应绘制 68
H?w6C):] 4.11.3 动态绘图 68
dr"1s-D4IQ 4.11.4 3D绘图 69
|j|rS5 4.12 导入和导出 73
'"Nr, vQo 4.12.1 剪贴板 73
A}!J$V:w] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
vQ.R{!",> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
2<6UwF 4.13 背景 77
TA\vZGJ(' 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
MK*r+xfSae 4.15 生成Rugate 84
W*G<X.Hf 4.16 参考文献 91
Nboaf 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
\U0'P;em 5.1 Jobs 92
EX"yxZ~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Ul# r 5.3 输入材料 94
$VR{q6[0S? 5.4 设计数据文件夹 95
>mkFV@` 5.5 默认设计 95
,: ^u-b| 6 细化和合成 97
~M$Wd2Th 6.1 优化介绍 97
?A0)L27UE& 6.2 细化 (Refinement) 98
fV~~J2IK 6.3 合成 (Synthesis) 100
E`J@hl$N 6.4 目标和评价函数 101
$Kd>:f=A 6.4.1 目标输入 102
'fW-Y!k% 6.4.2 目标 103
;@J}}h'y 6.4.3 特殊的评价函数 104
BLFdHB.$T 6.5 层锁定和连接 104
^?|"L>y 6.6 细化技术 104
5twhm 6.6.1 单纯形 105
MOC/KNb 6.6.1.1 单纯形
参数 106
V~#tuv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
u:b=\T L 6.6.2.1 Optimac参数 108
4z)]@:`}z 6.6.3 模拟退火算法 109
k{0o9, 6.6.3.1
模拟退火参数 109
4!$"ayGv;D 6.6.4 共轭梯度 111
<naz+QK' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
yQrD9*t&g 6.6.5 拟牛顿法 112
(%9$! v{3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
,u m|1dh 6.6.6 针合成 113
Ca-j?bb! 6.6.6.1 针合成参数 114
[Qr"cR^ 6.6.7 差分进化 114
[ hsds\ 6.6.8非局部细化 115
@|!z9Y* 6.6.8.1非局部细化参数 115
4K74=r),i 6.7 我应该使用哪种技术? 116
P2Y^d#jO 6.7.1 细化 116
n@w%Zl 6.7.2 合成 117
?ubro0F: 6.8 参考文献 117
cCX*D_kCB 7 导纳图及其他工具 118
rlD8D|ZG 7.1 简介 118
a{e4it 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
=H~j,K 7.2.1 四分之一
波长规则 119
7z-[f'EIUI 7.2.2 导纳图 120
,?3G;- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
5dg(e3T 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
QW"! (`K 7.5 斜入射导纳图 141
+[P{&\d4} 7.6 对称周期 141
{Ha57Wk8D 7.7 参考文献 142
\v/[6&|X0s 8 典型的镀膜实例 143
xC?h2hIt 8.1 单层抗反射薄膜 145
PW4q~rc=: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
;rS{: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
SAz 8.4 W-膜层 148
aDCwI :Li( 8.5 V-膜层 149
I_BJH'!t 8.6 V-膜层高折射基底 150
W>LR\]Ti@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
=lC7gS!U 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
/O9EQ Pm( 8.9 四层抗反射薄膜 153
+h$
9\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
uq{beC 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Wjc'*QCPl 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
%$mA03[MQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
;Qq\DFe.w 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
y)*RV;^ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
[
3HfQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
7d vnupLh 8.17 1/4波长堆栈 162
j<x_ &1 8.18 陷波滤波器 163
Mfs?x
a 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
NO3/rJ6- 8.20 褶皱 165
9VT;ep 8.21 消偏振分光器1 169
BuwY3F\-O 8.22 消偏振分光器2 171
/E>e"tvss 8.23 消偏振立体分光器 172
_Y!IEAU/# 8.24 消偏振截止滤光片 173
*](iS 8.25 立体偏振分束器1 174
he4(hX^ 8.26 立方偏振分束器2 177
f5r0\7y0 8.27 相位延迟器 178
D]}G.v1 8.28 红外截止器 179
>V~E]P%@ 8.29 21层长波带通滤波器 180
fIF8%J ^3 8.30 49层长波带通滤波器 181
kP"9&R`E 8.31 55层短波带通滤波器 182
"}!G!k: 8.32 47 红外截止器 183
HV.t6@\}; 8.33 宽带通滤波器 184
=Uh$&m 8.34 诱导透射滤波器 186
;aBG,dr}i 8.35 诱导透射滤波器2 188
]tD]Wx% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
}*-@!wc-N 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
G2Zer=rC 8.35 增益平坦滤波器 193
OYd !v`< 8.38 啁啾反射镜 1 196
OCUr{Nh 8.39 啁啾反射镜2 198
?EL zj 8.40 啁啾反射镜3 199
]!
dTG 8.41 带保护层的铝膜层 200
weQ_*<5% 8.42 增加铝反射率膜 201
Ib`XT0k 8.43 参考文献 202
OH88n69 9 多层膜 204
Qd-A.{[h 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
"#] $r 9.2 内部透过率 204
g ?k=^C 9.3 内部透射率数据 205
<m m[S 9.4 实例 206
z}@7'_iJ 9.5 实例2 210
`g,..Ns-r 9.6 圆锥和带宽计算 212
~`/V(r;o 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
*Uh!>Iv; 10 光学薄膜的颜色 216
p[-O( 3Y 10.1 导言 216
K;(mC< 10.2 色彩 216
zTp"AuNHN 10.3 主波长和纯度 220
/,dz@ 10.4 色相和纯度 221
j6YOKJX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
yr6V3],Tp 10.6 色差 226
Si7*& dw= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
yuVs
YV@" 10.8 颜色渲染指数 234
?(PKeq6 10.9 色差计算 235
Nl/dX-I 10.10 参考文献 236
6mE\OS-I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
|zU-KGO& 11.1 短脉冲 238
pJ=#zsE0 11.2 群速度 239
GeqPRah 11.3 群速度色散 241
.N3mb6#[R 11.4 啁啾(chirped) 245
(mOtU8e 11.5 光学薄膜—相变 245
TseGXYH 11.6 群延迟和延迟色散 246
: +u]S2u{ 11.7 色度色散 246
fox6)Uot 11.8 色散补偿 249
%C0Dw\A*: 11.9 空间
光线偏移 256
@ 7u 0v 11.10 参考文献 258
7P
T{lT 12 公差与误差 260
E@\e$?*X 12.1 蒙特卡罗模型 260
>sF)BoLc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
b'y%n 12.2.1 误差工具 267
lFkR=!?= 12.2.2 灵敏度工具 271
5N]"~w* 12.2.2.1 独立灵敏度 271
FsPw1A$y 12.2.2.2 灵敏度分布 275
B:<VA= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
u?"Vm 12.3 参考文献 276
YQ}o?Q$z 13 Runsheet 与Simulator 277
Q/?$x*\> 13.1 原理介绍 277
Kq!3wb; 13.2 截止滤光片设计 277
gr{ DWCK 14 光学常数提取 289
ni<(K
0~ 14.1 介绍 289
3R/bz0 V> 14.2 电介质薄膜 289
fJ\[*5eiS 14.3 n 和k 的提取工具 295
,+VGSd 14.4 基底的参数提取 302
0_/[k*Re 14.5 金属的参数提取 306
>~f]_puT 14.6 不正确的模型 306
TvM~y\s 14.7 参考文献 311
"tZe>>I 15 反演工程 313
m'U0'}Ld}; 15.1 随机性和
系统性 313
+t.b` U`- 15.2 常见的系统性问题 314
IBGrt^$M 15.3 单层膜 314
h1RSVp+?n 15.4 多层膜 314
54,er$$V 15.5 含义 319
/
1RpM]d 15.6 反演工程实例 319
jdN`mosJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
=wJX0A| 15.6.2 反演工程提取折射率 327
}\f0 A- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
mv><HqDL1 16.1 光学性质的热致偏移 329
qK+5NF| 16.2 应力工具 335
}ZI7J 16.3 均匀性误差 339
R_KH"`q 16.3.1 圆锥工具 339
z}<^jgJ 16.3.2 波前问题 341
r%_djUd 16.4 参考文献 343
:s,Z<^5a)g 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
=|=(l)8 17.1 引言 345
~o( 17.2 操作数 345
kM6
Qp 18 如何在Function中编写脚本 351
]5O~+Nf 18.1 简介 351
v19-./H^
j 18.2 什么是脚本? 351
W^Yxny 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
7$b1<.WX 18.4 基础 352
#E?4E1bnB 18.4.1 Classes(类别) 352
"Q0@/bYq 18.4.2 对象 352
wY#E?, 18.4.3 信息(Messages) 352
`uFdwO'DD 18.4.4 属性 352
<%d>v-=B 18.4.5 方法 353
HQ g^
h 18.4.6 变量声明 353
^~dWU> 18.5 创建对象 354
O^.#d 18.5.1 创建对象函数 355
'F<TSy|4kI 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
e(sk[guvX 18.5.3 丢弃对象 356
T%Lx%Qn 18.5.4 总结 356
CAJ'zA|o 18.6 脚本中的表格 357
_w{Qtj~s| 18.6.1 方法1 357
.H|-_~Yx| 18.6.2 方法2 357
*hx 18.7 2D Plots in Scripts 358
.8R@2c`}Cs 18.8 3D Plots in Scripts 359
"[k3kAm 18.9 注释 360
8y L Y 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Z r8*et 18.11 一个更高级的脚本 362
y `UaB3q 18.12 <esc>键 364
uD'6mk* 18.13 包含文件 365
M7T5
~/4 18.14 脚本被
优化调用 366
bsX[UF 18.15 脚本中的对话框 368
,hVli/
18.15.1 介绍 368
zdYjF| 18.15.2 消息框-MsgBox 368
8r{.jFGv 18.15.3 输入框函数 370
}pYqWTG 18.15.4 自定义对话框 371
+R &gqja 18.15.5 对话框编辑器 371
vt8By@]: 18.15.6 控制对话框 377
l;Wj] 18.15.7 更高级的对话框 380
WMdg1J+~ 18.16 Types语句 384
vQCy\Gi 18.17 打开文件 385
\85i+q:LuA 18.18 Bags 387
M-71 1|eGI 18.13 进一步研究 388
fex@,I&
19 vStack 389
wp_0+$?s 19.1 vStack基本原理 389
A&VG~r$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
*pq\MiD/ 19.3 五棱镜 393
nUO0Ce 19.4 光束距离 396
v+XJ*N[W 19.5 误差 399
3S{/>1Y 19.6 二向分色棱镜 399
RP"kC4~1 19.7 偏振泄漏 404
ueudRb 19.8 波前误差—相位 405
r&CiSMS* 19.9 其它计算参数 405
K-4PI+qQ\ 20 报表生成器 406
CZ;6@{ o 20.1 入门 406
HfVZ~PP 20.2 指令(Instructions) 406
CTb%(<r 20.3 页面布局指令 406
L,\Iasv 20.4 常见的参数图和三维图 407
qm}@!z^ 20.5 表格中的常见参数 408
A"]YM'. 20.6 迭代指令 408
&Jj<h: * 20.7 报表模版 408
@C$]//; 20.8 开始设计一个报表模版 409
>7|VR:U?B 21 一个新的project 413
-f .,tM= 21.1 创建一个新Job 414
7dWS 21.2 默认设计 415
K0~rN.C!0 21.3 薄膜设计 416
It(_v 21.4 误差的灵敏度计算 420
4 KiY6) 21.5 显色指数计算 422
dN q$} 21.6 电场分布 424
K1KreYlF 后记 426
By|4m 有兴趣可以扫码加微咨询
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