_II;$_N 内容简介
[=V8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
Bb-x1{t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
-Ep-v4} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
t`F%$q !3HMGzt 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
(5Cm+Sy 目录
Yt|{l Preface 1
Q%t8cJL 内容简介 2
hKX-]+6" 目录 i
/jS 1 引言 1
c&'T By 2 光学薄膜基础 2
.5ingB3% 2.1 一般规则 2
:UScbPG 2.2 正交入射规则 3
!sR`]0 2.3 斜入射规则 6
Q>sq:R+' 2.4 精确计算 7
DM>j@(uWF 2.5 相干性 8
NEJ
Nu_Z 2.6 参考文献 10
O"Xjv`j: 3 Essential Macleod的快速预览 10
lHP[WO
4 Essential Macleod的特点 32
t%8*$"~X 4.1 容量和局限性 33
.^Ek1fi. 4.2 程序在哪里? 33
4|Z3;;%+ 4.3 数据文件 35
,&l>^w/ 4.4 设计规则 35
YpNTq_S1, 4.5 材料数据库和
资料库 37
bLf }U9 4.5.1材料损失 38
W6wgX0H 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Kq.)5%~> 4.5.2 材料库 41
qU=$ 0M 4.5.3导出材料数据 43
$vc:u6I[ 4.6 常用单位 43
(?J&Ar0 4.7 插值和外推法 46
-y$|EOi? 4.8 材料数据的平滑 50
zeR!Y yt! 4.9 更多光学常数模型 54
B-eYWt8s 4.10 文档的一般编辑规则 55
L*L3;y| 4.11 撤销和重做 56
6'*?zZrz 4.12 设计文档 57
UHR)]5Lt 4.10.1 公式 58
.;$/nz6vk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
]LP&v3 4.10.3 沉积密度 59
r0S"}<8O 4.10.4 平行和楔形介质 60
x2K.5q> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
)8e_<^M 4.10.4 性能 61
,gRsbC 4.10.5 保存设计和性能 64
#<!oA1MH4 4.10.6 默认设计 64
[g<6i.<I 4.11 图表 64
5GpRN 4.11.1 合并曲线图 67
(^057 4.11.2 自适应绘制 68
b]*9![_ 4.11.3 动态绘图 68
T_I"Tsv 4.11.4 3D绘图 69
*4+;Ey 4.12 导入和导出 73
%iF<
px?Vc 4.12.1 剪贴板 73
9~>;sjJk 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
:Fm+X[n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Q=w\)qJ 4.13 背景 77
KZ<zsHX8H 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
J6::(0HM 4.15 生成Rugate 84
wRU pQ~=B2 4.16 参考文献 91
M[Ls:\1a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
9Y*6AaKE6 5.1 Jobs 92
tQUp1i{j\ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
w{Dk,9>w) 5.3 输入材料 94
ZmYp!B_~ 5.4 设计数据文件夹 95
[l'~> 5.5 默认设计 95
cV)C:!W2
6 细化和合成 97
XlB`Z81j 6.1 优化介绍 97
+h[$\_y 6.2 细化 (Refinement) 98
#9p{Y}2# 6.3 合成 (Synthesis) 100
xB
4A"| 6.4 目标和评价函数 101
HiVF<tN 6.4.1 目标输入 102
~M43#E[oOF 6.4.2 目标 103
qb
"H&)aHw 6.4.3 特殊的评价函数 104
0y|}}92: 6.5 层锁定和连接 104
l<^#@S H 6.6 细化技术 104
.qF@
}dO 6.6.1 单纯形 105
}U+gJkY2 6.6.1.1 单纯形
参数 106
;xwa,1] 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
DhkzVp_ 6.6.2.1 Optimac参数 108
tQ] R@i 6.6.3 模拟退火算法 109
8pt;'' 6.6.3.1
模拟退火参数 109
Uj6R?E{Jt 6.6.4 共轭梯度 111
_<kE32Bb 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
$5cLhi"` 6.6.5 拟牛顿法 112
Q_LPLmM 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
AUxLch+"5K 6.6.6 针合成 113
3}n=o d= 6.6.6.1 针合成参数 114
*1}9`$ 6.6.7 差分进化 114
Bn47O~ 6.6.8非局部细化 115
0XL
x@FYn 6.6.8.1非局部细化参数 115
(a]'}c$X9` 6.7 我应该使用哪种技术? 116
>MS}7Hk\ 6.7.1 细化 116
#Rjm3#gc 6.7.2 合成 117
R7Hn8;.. 6.8 参考文献 117
L=4?vs 7 导纳图及其他工具 118
d*8 c,x 7.1 简介 118
1wqCoDgkp 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
pg*'2AT 7.2.1 四分之一
波长规则 119
d<(1^Rto 7.2.2 导纳图 120
S
#&HB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
M_$pqVm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
C[? itk! 7.5 斜入射导纳图 141
pShSKRg 7.6 对称周期 141
W"VN2 7.7 参考文献 142
ks
sXi6^ 8 典型的镀膜实例 143
>Mrz$
z{x 8.1 单层抗反射薄膜 145
XC0G5rtB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
-5kq9Dy\, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
RYS]b[-xZz 8.4 W-膜层 148
Z(*nZT, 8.5 V-膜层 149
a%Cq?HZ7 8.6 V-膜层高折射基底 150
?GB($D=Y'& 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
_(J- MCY\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
DTn=WGm) 8.9 四层抗反射薄膜 153
^=E4~22q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
*Rr,ii 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
%v
:a 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
} +i
ZY\t 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
aSXoYG0\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
q;tsA"l 8.15十五层宽带抗反射膜 159
/2Y
Nu*v 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
>sPu*8D40a 8.17 1/4波长堆栈 162
.l !:|Fd 8.18 陷波滤波器 163
5|S|HZ8G 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Q gDjc' 8.20 褶皱 165
f(?>z!n0 8.21 消偏振分光器1 169
:[|`&_D9J 8.22 消偏振分光器2 171
L'"20=sf 8.23 消偏振立体分光器 172
ZUAWSJ,s 8.24 消偏振截止滤光片 173
qC.jXU?rO 8.25 立体偏振分束器1 174
|C7GI[P 8.26 立方偏振分束器2 177
JS}W4 N 8.27 相位延迟器 178
ZCbxL.fFz 8.28 红外截止器 179
E'JVf%) 8.29 21层长波带通滤波器 180
4#;rv$
{ 8.30 49层长波带通滤波器 181
L~I<y;x 8.31 55层短波带通滤波器 182
<s]K~ Vo 8.32 47 红外截止器 183
A$Es(<'9g 8.33 宽带通滤波器 184
u0w2v+ 8.34 诱导透射滤波器 186
V*U"OJ% 8.35 诱导透射滤波器2 188
hLYSYMUb 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
^ylJ_lN&=1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
=h5&\4r= 8.35 增益平坦滤波器 193
sjWhtd[fgG 8.38 啁啾反射镜 1 196
r7JILk 8.39 啁啾反射镜2 198
OtY.s\m y 8.40 啁啾反射镜3 199
92+({ fgW 8.41 带保护层的铝膜层 200
u2JkPh&!rq 8.42 增加铝反射率膜 201
0wAZ9AxA{ 8.43 参考文献 202
{nm#aA%, 9 多层膜 204
6\OSIxJZF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
[3t
N-aj[ 9.2 内部透过率 204
^dYFFKQ 9.3 内部透射率数据 205
F@"Xd9q? 9.4 实例 206
uC 5mxZ 9.5 实例2 210
f ,K1 a9. 9.6 圆锥和带宽计算 212
HPVT$EJ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
5p
U(A6RtS 10 光学薄膜的颜色 216
;G;vpl 10.1 导言 216
e_\4(4x 10.2 色彩 216
vb5tyY0c 10.3 主波长和纯度 220
DK*2d_ 10.4 色相和纯度 221
7I(Sa?D: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Ij@YOt 10.6 色差 226
|+cyb<(V J 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
+]`MdOu 10.8 颜色渲染指数 234
6H.D`"cj 10.9 色差计算 235
i. `S0 10.10 参考文献 236
%mtW-drv> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
^0~?3t5 11.1 短脉冲 238
UMx>n18;f9 11.2 群速度 239
p,]Hs{R 11.3 群速度色散 241
e,`+6qP{ 11.4 啁啾(chirped) 245
!_l W#feR 11.5 光学薄膜—相变 245
xI}]q%V 11.6 群延迟和延迟色散 246
JgYaA*1X 11.7 色度色散 246
hb_YdnG 11.8 色散补偿 249
3AX /A+2 11.9 空间
光线偏移 256
amlE5GK; 11.10 参考文献 258
QOy+T6en 12 公差与误差 260
b==<7[8 12.1 蒙特卡罗模型 260
M2my> 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
5<,}^4wWZ 12.2.1 误差工具 267
.OXvv _?< 12.2.2 灵敏度工具 271
19bP0y 12.2.2.1 独立灵敏度 271
[M
Z'i/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
cXE42MM 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
> 9 i @W@M 12.3 参考文献 276
A5!f# 13 Runsheet 与Simulator 277
#RlI([f|& 13.1 原理介绍 277
v)okVyv 13.2 截止滤光片设计 277
3MNo&0M9 14 光学常数提取 289
.OX.z~":y 14.1 介绍 289
42ttmN1F 14.2 电介质薄膜 289
i/-Xpj]Zf 14.3 n 和k 的提取工具 295
+\\,FO_ 14.4 基底的参数提取 302
|v[{k>7f 14.5 金属的参数提取 306
h+t{z"Ic= 14.6 不正确的模型 306
|a3)U%rUEQ 14.7 参考文献 311
pWw aN4 15 反演工程 313
D!TS/J1S;u 15.1 随机性和
系统性 313
]\sBl 15.2 常见的系统性问题 314
oizD:| 15.3 单层膜 314
T$0//7$') 15.4 多层膜 314
6@ToPbj4 15.5 含义 319
ZK{VQ~ 15.6 反演工程实例 319
y9pQ1H<F; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
v&xk?F?WU, 15.6.2 反演工程提取折射率 327
,DXNq`24 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
R`!x<J 16.1 光学性质的热致偏移 329
Y>R|Uf.o z 16.2 应力工具 335
>m44U 9 16.3 均匀性误差 339
~
9^1m 16.3.1 圆锥工具 339
j'X]bd' 16.3.2 波前问题 341
m9wV#Ldu 16.4 参考文献 343
.FXq4who 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
)+u|qT3% 17.1 引言 345
;jo,&C 17.2 操作数 345
HZkC3$ 18 如何在Function中编写脚本 351
f|1y?w?I 18.1 简介 351
7'J}|m{7 18.2 什么是脚本? 351
>e>Q'g{ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Hh$x8ADf 18.4 基础 352
=S|SQz5%w 18.4.1 Classes(类别) 352
V[HHP_ 18.4.2 对象 352
x6.an_W6 18.4.3 信息(Messages) 352
Jc-0.^]E} 18.4.4 属性 352
C-@@`EP 18.4.5 方法 353
o'D{ql 18.4.6 变量声明 353
O-U_Zx0zd 18.5 创建对象 354
)o
SFHf 18.5.1 创建对象函数 355
[JO'ta 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
.px*.e s 18.5.3 丢弃对象 356
m!$"-nh9 18.5.4 总结 356
s@jzu 18.6 脚本中的表格 357
OzA"i y 18.6.1 方法1 357
,fT5I6l 18.6.2 方法2 357
H9xxId?3u 18.7 2D Plots in Scripts 358
[6FCbzS_W 18.8 3D Plots in Scripts 359
lJ62[2=V 18.9 注释 360
DSM,dO' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
05TZ 18.11 一个更高级的脚本 362
u f.Zg;Vc 18.12 <esc>键 364
ALiA+k N 18.13 包含文件 365
6HCP1`gg 18.14 脚本被
优化调用 366
]$EKowi 18.15 脚本中的对话框 368
HZ>Xm6DnC5 18.15.1 介绍 368
dp&4G6Y<A 18.15.2 消息框-MsgBox 368
k10dkBoEX 18.15.3 输入框函数 370
sc@v\J;k 18.15.4 自定义对话框 371
53=VIN] 18.15.5 对话框编辑器 371
V#ZF0a] 18.15.6 控制对话框 377
INyreoMp 18.15.7 更高级的对话框 380
$83TA><a 18.16 Types语句 384
ullq}} 18.17 打开文件 385
lo,?mj%M 18.18 Bags 387
E@}t1!E< 18.13 进一步研究 388
>dUnk)7 19 vStack 389
|0vY'A)] 19.1 vStack基本原理 389
>/. -N 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
LrX7WI 19.3 五棱镜 393
d?$FAy'o5 19.4 光束距离 396
Zh)Qq?H 19.5 误差 399
4hg#7#?boW 19.6 二向分色棱镜 399
2~<?E`+ 19.7 偏振泄漏 404
eRWTuIV6 19.8 波前误差—相位 405
|>gya& 19.9 其它计算参数 405
nBgksB*A 20 报表生成器 406
exiCy1[+ 20.1 入门 406
D^E1 20.2 指令(Instructions) 406
ZL:nohB 20.3 页面布局指令 406
a-MDZT<xA+ 20.4 常见的参数图和三维图 407
]uI#4t~ 20.5 表格中的常见参数 408
t,]r% 20.6 迭代指令 408
S#/[>Cb 20.7 报表模版 408
;$ D*,W
* 20.8 开始设计一个报表模版 409
nr
Jl>H
21 一个新的project 413
m*6C *M
21.1 创建一个新Job 414
lM3UjR|@ 21.2 默认设计 415
,P3nZ 21.3 薄膜设计 416
]E .+)> 21.4 误差的灵敏度计算 420
nbj &3z, 21.5 显色指数计算 422
?\L@Pr|=Dr 21.6 电场分布 424
QmvhmsDL 后记 426
>)YaWcI 有兴趣可以扫码加微咨询
%G1kkcdH<