NS65F7<& 内容简介
/w1M%10 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
ZfH+Iqd 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
F"bz<{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
u0GHcpOm O%3Hp.|! 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
|r*)U(c` 目录
"M, 1ElQ Preface 1
D#AqZS>B 内容简介 2
[~u!*W 目录 i
ruQt0q,W3% 1 引言 1
-V:HT
j 2 光学薄膜基础 2
(6.uNLr 2.1 一般规则 2
n1JtY75#,/ 2.2 正交入射规则 3
TF%Xb>jy[ 2.3 斜入射规则 6
8PzGUn;\ 2.4 精确计算 7
hLbWqF 2.5 相干性 8
+SR{FF 2.6 参考文献 10
b8e\( Dww 3 Essential Macleod的快速预览 10
lH;V9D^ 4 Essential Macleod的特点 32
F#>00b{Q 4.1 容量和局限性 33
)q[P&f(h 4.2 程序在哪里? 33
NJ)Dw`|%|) 4.3 数据文件 35
<:V~_j6P0 4.4 设计规则 35
Bb:C^CHIQm 4.5 材料数据库和
资料库 37
F~8'3!<9 4.5.1材料损失 38
=C2sl;7~* 4.5.1材料数据库和导入材料 39
'w27Lt'V 4.5.2 材料库 41
:{2~s 4.5.3导出材料数据 43
o]~\u{o#. 4.6 常用单位 43
kDE-GX"Y 4.7 插值和外推法 46
|DV?5>> 4.8 材料数据的平滑 50
fO$){(]^ 4.9 更多光学常数模型 54
#D4 4.10 文档的一般编辑规则 55
QXZyiJX} 4.11 撤销和重做 56
p_h/hTi 4.12 设计文档 57
4SZ,X^]I> 4.10.1 公式 58
X+C*+k,z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
ZRG
Cy5Rk 4.10.3 沉积密度 59
eD?&D_l~6 4.10.4 平行和楔形介质 60
oX;.v9a 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
H.m]Dm,z 4.10.4 性能 61
{YgU23;q 4.10.5 保存设计和性能 64
V2ih/mh 4.10.6 默认设计 64
b!P,+!< 4.11 图表 64
a(|6)w- 4.11.1 合并曲线图 67
7-``J#9= 4.11.2 自适应绘制 68
\y5lYb,*c_ 4.11.3 动态绘图 68
l[Z o,4* 4.11.4 3D绘图 69
Z^:_,aJ? 4.12 导入和导出 73
$G-<kC}8: 4.12.1 剪贴板 73
:YI5O/gsk? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
-;7xUNQ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
(T_-`N| 4.13 背景 77
>UvP/rp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
E ?Mgbd3 4.15 生成Rugate 84
bGCC?}\ 4.16 参考文献 91
3'Y-~^ml| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
'9zW#b 5.1 Jobs 92
c|k_[8L 5.2 创建一个新Job(工作) 93
=I`S7oF 5.3 输入材料 94
|n/;x$Cb 5.4 设计数据文件夹 95
8f9wUPr 5.5 默认设计 95
} Bf@69 6 细化和合成 97
(dq_,LI 6.1 优化介绍 97
TP
rq:"K 6.2 细化 (Refinement) 98
]>1Mq,! 6.3 合成 (Synthesis) 100
m ol,iM*l 6.4 目标和评价函数 101
Nvgi&iBh8 6.4.1 目标输入 102
Vr
EGR$ 6.4.2 目标 103
gsbr8zwG, 6.4.3 特殊的评价函数 104
^eh.Iml'@ 6.5 层锁定和连接 104
`NNP<z+\ 6.6 细化技术 104
QN#"c 6.6.1 单纯形 105
l8FJ \5'M 6.6.1.1 单纯形
参数 106
]E-/}Ysz 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
SBreA-2 6.6.2.1 Optimac参数 108
)8A.Wg4S;c 6.6.3 模拟退火算法 109
KL'1)G"OH 6.6.3.1
模拟退火参数 109
]q1w@)]n} 6.6.4 共轭梯度 111
9"S2KT @8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
@Chl>s 6.6.5 拟牛顿法 112
SE+hB 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
!T,<p
6.6.6 针合成 113
)#m{"rk[x, 6.6.6.1 针合成参数 114
/o9it; 6.6.7 差分进化 114
] 0X|_bU 6.6.8非局部细化 115
f)*?Ji|5F 6.6.8.1非局部细化参数 115
(%X *b.n= 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!-lI<$S: 6.7.1 细化 116
ESCN/ocV 6.7.2 合成 117
gy}3ZA*F 6.8 参考文献 117
juR>4SH 7 导纳图及其他工具 118
6TW<,SM 7.1 简介 118
V
*@q< rQ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
CtCReH03 7.2.1 四分之一
波长规则 119
$VmV>NZ 7.2.2 导纳图 120
j2D!=PK; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
\6wltTW]# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Ak?9a_f 7.5 斜入射导纳图 141
OkciL] 7.6 对称周期 141
uVqc:Q" 7.7 参考文献 142
{N2GRF~c-y 8 典型的镀膜实例 143
B~I ]3f 8.1 单层抗反射薄膜 145
RnkV)ed( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
z:-{Y2F 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
g=\(%zfsxr 8.4 W-膜层 148
`j{3|C= 8.5 V-膜层 149
wO,qFY 8.6 V-膜层高折射基底 150
B&_:20^y~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
mfj{_fR3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
E{Wn&?i>A 8.9 四层抗反射薄膜 153
?ES{t4" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
uU)t_W&-J 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
t\/H. Hb 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
? X8`+`nh 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
>&.N_,* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
"q?(rx; 8.15十五层宽带抗反射膜 159
z -?\b^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
sccLP_#Z 8.17 1/4波长堆栈 162
%bP+P(vZ 8.18 陷波滤波器 163
dzIBdth 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
OAkqPG&w 8.20 褶皱 165
\Q#pu;Y*N] 8.21 消偏振分光器1 169
~aotV1"D 8.22 消偏振分光器2 171
XO;_F"H= 8.23 消偏振立体分光器 172
{Vu=qNx 8.24 消偏振截止滤光片 173
\*MZ1Q*x 8.25 立体偏振分束器1 174
YHN6/k7H 8.26 立方偏振分束器2 177
(hwzA
*(c 8.27 相位延迟器 178
vVB WhY] 8.28 红外截止器 179
c^_+<C-F 8.29 21层长波带通滤波器 180
q,sO<1wAT\ 8.30 49层长波带通滤波器 181
A5R"|<UPR 8.31 55层短波带通滤波器 182
#sU>L= 8.32 47 红外截止器 183
PlCw,=K 8f 8.33 宽带通滤波器 184
3SY1>}(Y 8.34 诱导透射滤波器 186
Z84w9y7O< 8.35 诱导透射滤波器2 188
n!zB+hW 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
@u+LF]MY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
S>5w=RK 8.35 增益平坦滤波器 193
}D1?Z7p 8.38 啁啾反射镜 1 196
x<t?Yc9 8.39 啁啾反射镜2 198
"A[.7 w 8.40 啁啾反射镜3 199
Ne9VRM
P 8.41 带保护层的铝膜层 200
M7qg\1L 8.42 增加铝反射率膜 201
VKPsg 8.43 参考文献 202
~e|E5[-i 9 多层膜 204
}G(#jOYk 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
[Qr_0O 9.2 内部透过率 204
[?6+ r 9.3 内部透射率数据 205
O4nA?bA 9.4 实例 206
.&u
@-Vm 9.5 实例2 210
sfVzVS[ 9.6 圆锥和带宽计算 212
N8T.Ye N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
&xr (Kb 10 光学薄膜的颜色 216
wI7.M
Gt 10.1 导言 216
?z.
Z_A& 10.2 色彩 216
* k\;G? 10.3 主波长和纯度 220
>uJu!+# 10.4 色相和纯度 221
Eb,M+c? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
k'v+/6 Y 10.6 色差 226
f/
3'lPK^ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
U7LCd+Z5X 10.8 颜色渲染指数 234
pl}W|kW} 10.9 色差计算 235
XcbEh 10.10 参考文献 236
DW,Z})9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
v%#@.D!) 11.1 短脉冲 238
0 Swu]OE 11.2 群速度 239
87pu\(,' 11.3 群速度色散 241
JrxQ.,*i 11.4 啁啾(chirped) 245
G_WFg$7G% 11.5 光学薄膜—相变 245
asW
W@E 11.6 群延迟和延迟色散 246
}w=|"a|, 11.7 色度色散 246
]'<}kJtN. 11.8 色散补偿 249
iQ;lvOja 11.9 空间
光线偏移 256
RSeav 11.10 参考文献 258
Gp_flGdGQ 12 公差与误差 260
x[&)\[t 12.1 蒙特卡罗模型 260
aEEb1Y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
[:izej(\ 12.2.1 误差工具 267
>of9m 12.2.2 灵敏度工具 271
}L`Z<h*H 12.2.2.1 独立灵敏度 271
uC]c`Ue 12.2.2.2 灵敏度分布 275
*>GRU8_} 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
'K23oQwDB 12.3 参考文献 276
xxgdp. ( 13 Runsheet 与Simulator 277
y`z?lmV)xM 13.1 原理介绍 277
U[pR`u 13.2 截止滤光片设计 277
=OrVaZ0 14 光学常数提取 289
oh:.iL}j 14.1 介绍 289
?>R(;B|ER 14.2 电介质薄膜 289
Q*f0YjH! 14.3 n 和k 的提取工具 295
(j%"iQD 14.4 基底的参数提取 302
DEPsud ; 14.5 金属的参数提取 306
jlyuu 14.6 不正确的模型 306
H ~<.2b 14.7 参考文献 311
qus%?B{b} 15 反演工程 313
ErQGVE;zk 15.1 随机性和
系统性 313
*\0h^^|@ 15.2 常见的系统性问题 314
6/0bis
H 15.3 单层膜 314
nWd;XR6| 15.4 多层膜 314
(76tYt~I= 15.5 含义 319
3z k},8fu 15.6 反演工程实例 319
Z0 c|; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
M^n^wz 15.6.2 反演工程提取折射率 327
T0o0_R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
<pFbm 16.1 光学性质的热致偏移 329
YvUV9qps~ 16.2 应力工具 335
R2Q1Rk# 16.3 均匀性误差 339
n482?Wp 16.3.1 圆锥工具 339
02[*b 16.3.2 波前问题 341
JGYJ;j{E] 16.4 参考文献 343
e\ZV^h}TQ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
GG4FS 17.1 引言 345
`Gg,oCQg 17.2 操作数 345
H=XdgOui 18 如何在Function中编写脚本 351
wO]H+t 18.1 简介 351
yx<-M 18.2 什么是脚本? 351
5^{2g^jH6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
MMQ\V(C 18.4 基础 352
R$2\Xl@qQF 18.4.1 Classes(类别) 352
y=}o|/5" 18.4.2 对象 352
,9buI=' 18.4.3 信息(Messages) 352
F_iZ|B 18.4.4 属性 352
0c&DSL}6 18.4.5 方法 353
5',&8 18.4.6 变量声明 353
] $F% 18.5 创建对象 354
Xk :_aJ 18.5.1 创建对象函数 355
:?gp}. 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
d263#R 18.5.3 丢弃对象 356
!#4b#l(e6 18.5.4 总结 356
&'m&'wDt: 18.6 脚本中的表格 357
>=Na, D 18.6.1 方法1 357
! ^aJS'aq 18.6.2 方法2 357
\5#eBJ 18.7 2D Plots in Scripts 358
;YrmT9Jx6 18.8 3D Plots in Scripts 359
cj|Urt 18.9 注释 360
DH])Q5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
]_m(q`_ 18.11 一个更高级的脚本 362
d-I&--"ju 18.12 <esc>键 364
}(#;{_ 18.13 包含文件 365
);xTl6Y9 18.14 脚本被
优化调用 366
Vo(bro4ZQi 18.15 脚本中的对话框 368
Cv<
s| 18.15.1 介绍 368
A ?[Wfq| 18.15.2 消息框-MsgBox 368
xeRoif\4c 18.15.3 输入框函数 370
=]L ALw 18.15.4 自定义对话框 371
xE6hE'rh.O 18.15.5 对话框编辑器 371
?V =#x.9 18.15.6 控制对话框 377
WFfn:WSWU 18.15.7 更高级的对话框 380
xQxq33\ 18.16 Types语句 384
B*}:YV 18.17 打开文件 385
U ?6.UtNf 18.18 Bags 387
C|S~>4` 18.13 进一步研究 388
XrGP]k6.^ 19 vStack 389
4@9xq<<5 19.1 vStack基本原理 389
=<r1sqf
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
+o K*5 Y 19.3 五棱镜 393
pE{Ecrc3| 19.4 光束距离 396
CE|rn8MB 19.5 误差 399
z7HM/<WY 19.6 二向分色棱镜 399
=DXN`]uN 19.7 偏振泄漏 404
mv#*%St5 19.8 波前误差—相位 405
rouaT 19.9 其它计算参数 405
be
HEAQ 20 报表生成器 406
j;EH[3 20.1 入门 406
;esOe\zjE 20.2 指令(Instructions) 406
(J.k\d 20.3 页面布局指令 406
Pk`3sfz 20.4 常见的参数图和三维图 407
~L"?C 20.5 表格中的常见参数 408
5jsZJpk$ 20.6 迭代指令 408
yXCHBz 6& 20.7 报表模版 408
bg^<e}{<H 20.8 开始设计一个报表模版 409
wT +\:y 21 一个新的project 413
1;~|[C 21.1 创建一个新Job 414
ULzrJbP'7 21.2 默认设计 415
1H8/b D 21.3 薄膜设计 416
cT
nC 21.4 误差的灵敏度计算 420
,hE989x<iI 21.5 显色指数计算 422
#cqI0ny?G 21.6 电场分布 424
!iW>xo 后记 426
pz]!T' 有兴趣可以扫码加微咨询
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