te:"1:e 内容简介
C7+TnJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
=C#,aoa! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
E>'pMw 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Iv/yIS 6f1;4Jfp 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
?;{A@icr 目录
3tLh{S?uJ Preface 1
t1ZZru'r 内容简介 2
AQ0L9? 目录 i
u:,B"! 1 引言 1
h gVwoZ{`] 2 光学薄膜基础 2
m,up37-{ 2.1 一般规则 2
f"-<Z_ 2.2 正交入射规则 3
6 #{=
E@ 2.3 斜入射规则 6
7B&nV92S 2.4 精确计算 7
1km=9[;w' 2.5 相干性 8
&F.lo9JJ 2.6 参考文献 10
~Kb(`Px@ 3 Essential Macleod的快速预览 10
d[$1:V 4 Essential Macleod的特点 32
K8ThZY% 4.1 容量和局限性 33
0q`'65 lx 4.2 程序在哪里? 33
k8*=1kl" 4.3 数据文件 35
BC4u,4S 4.4 设计规则 35
&12aI|u^< 4.5 材料数据库和
资料库 37
<M\Z}2 d 4.5.1材料损失 38
Hss{Sb( 4.5.1材料数据库和导入材料 39
vNtbb]')m 4.5.2 材料库 41
%pg*oX1VK6 4.5.3导出材料数据 43
?xG #4P<C= 4.6 常用单位 43
Wq>j;\3b3 4.7 插值和外推法 46
\h0e09& I 4.8 材料数据的平滑 50
^ul `b 4.9 更多光学常数模型 54
"?S#vUS+ 2 4.10 文档的一般编辑规则 55
0cS.|\ZTA 4.11 撤销和重做 56
foJ|Q\Z,T 4.12 设计文档 57
:YV!;dKJ 4.10.1 公式 58
m=}kGzIY4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
d+^4;Hv4 4.10.3 沉积密度 59
Jp,ohVRNq 4.10.4 平行和楔形介质 60
igo7F@_, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
49kY]z|"w 4.10.4 性能 61
hnY^Z_v! 4.10.5 保存设计和性能 64
Y*AHwc<w` 4.10.6 默认设计 64
6"=e+V@ 4.11 图表 64
T[;{AXLeI 4.11.1 合并曲线图 67
8?)Da&+f 4.11.2 自适应绘制 68
-u9{R \S 4.11.3 动态绘图 68
};KmMpBn 4.11.4 3D绘图 69
"3>#[o 4.12 导入和导出 73
U>I#f 4.12.1 剪贴板 73
i$NnHj| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
tx.YW9xD 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
*yX_dgC>[ 4.13 背景 77
y-Ol1R3:c# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
sP&E{{<QTF 4.15 生成Rugate 84
-51L!x}1c 4.16 参考文献 91
C<7J5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
HL!-4kN
<$ 5.1 Jobs 92
+5HO T{wj 5.2 创建一个新Job(工作) 93
|LjCtm)@+ 5.3 输入材料 94
:?^(&3; 5.4 设计数据文件夹 95
AzQ}}A;TSx 5.5 默认设计 95
M,{F/Yu 6 细化和合成 97
c,-< 4e 6.1 优化介绍 97
r%a$u%)oD 6.2 细化 (Refinement) 98
4t+88e 6.3 合成 (Synthesis) 100
#?,cYh+ 6.4 目标和评价函数 101
UHg^F4>4 6.4.1 目标输入 102
"?il07+w% 6.4.2 目标 103
9\n}!{@i 6.4.3 特殊的评价函数 104
UU !I@ 6.5 层锁定和连接 104
AKWw36lm 6.6 细化技术 104
uL= \t= 6.6.1 单纯形 105
,onv
` 6.6.1.1 单纯形
参数 106
);*GOLka 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
{:dE_tqo 6.6.2.1 Optimac参数 108
dG|\geD 6.6.3 模拟退火算法 109
t+#Ss v8 6.6.3.1
模拟退火参数 109
8~I>t9Q+ 6.6.4 共轭梯度 111
bEE:6)]G 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
+pV3.VMH0 6.6.5 拟牛顿法 112
:L?zk"0C 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
un/R7" 6.6.6 针合成 113
[v&_MQ 6.6.6.1 针合成参数 114
pp-Ur?PM 6.6.7 差分进化 114
duqu}*Jw 6.6.8非局部细化 115
N ;hq 6.6.8.1非局部细化参数 115
E }yxF. 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Rza\n8 6.7.1 细化 116
*V\kS 6.7.2 合成 117
}1>a 71 6.8 参考文献 117
YA|*$$ 7 导纳图及其他工具 118
[_~U<
7.1 简介 118
n/6A@C 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
+Q '|-># 7.2.1 四分之一
波长规则 119
n}+
DO6J 7.2.2 导纳图 120
{jl4` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Vy?w,E0^: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
M aEh8* 7.5 斜入射导纳图 141
jgYiuM3c\ 7.6 对称周期 141
5_O.p3$tV 7.7 参考文献 142
AsLAm#zq 8 典型的镀膜实例 143
C$hsR& 8.1 单层抗反射薄膜 145
'=ZE*nGC 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
qd.b&i 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
3!
+5MsR+ 8.4 W-膜层 148
oT_,k}L IX 8.5 V-膜层 149
l5MxJ>?4%B 8.6 V-膜层高折射基底 150
JDs<1@ \ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
W,<Vr2J[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
x O)nS _I 8.9 四层抗反射薄膜 153
Z4e?zY 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
RDZq(rKc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
eMF%!qUr 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
99eS@}RC 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
n-\B z. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
IFE C_F> 8.15十五层宽带抗反射膜 159
g&za/F 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
E*ic9Za8`h 8.17 1/4波长堆栈 162
IKU- 8.18 陷波滤波器 163
?e@Ff"Y@e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Soa.thP 8.20 褶皱 165
!!QMcx_C#/ 8.21 消偏振分光器1 169
z#\Z|OKU 8.22 消偏振分光器2 171
fT@#S}t 8.23 消偏振立体分光器 172
!pN,,H6Y 8.24 消偏振截止滤光片 173
e*g; +nz 8.25 立体偏振分束器1 174
Qh *|mW 8.26 立方偏振分束器2 177
|hpm|eZG"h 8.27 相位延迟器 178
gC3{:MC-G 8.28 红外截止器 179
YcGqT2oLP 8.29 21层长波带通滤波器 180
XJlun l)(K 8.30 49层长波带通滤波器 181
%'>. R 8.31 55层短波带通滤波器 182
?;*mSQA`J 8.32 47 红外截止器 183
55;xAsG 8.33 宽带通滤波器 184
$v^F>*I1 8.34 诱导透射滤波器 186
,4\vi| 8.35 诱导透射滤波器2 188
|%tR#!&[:g 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
v-l):TL+= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Y,8M[UIK 8.35 增益平坦滤波器 193
p5bH-km6 8.38 啁啾反射镜 1 196
s<5t}{x 8.39 啁啾反射镜2 198
"#9WF} 8.40 啁啾反射镜3 199
9xSAWKr,l 8.41 带保护层的铝膜层 200
X+*| nvq] 8.42 增加铝反射率膜 201
We9mkwK7C 8.43 参考文献 202
1xx-}AIH# 9 多层膜 204
% va/x]K 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
"16==tLFE 9.2 内部透过率 204
+zlaYHj 9.3 内部透射率数据 205
8IX6MfR}C 9.4 实例 206
U,]z)1#X| 9.5 实例2 210
sFGXW 9.6 圆锥和带宽计算 212
:;JJvYIs 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
qH-dT,`"{ 10 光学薄膜的颜色 216
)kkO:j 10.1 导言 216
B!Qdf8We 10.2 色彩 216
"ex?
#qD& 10.3 主波长和纯度 220
UyJ5}fBJ 10.4 色相和纯度 221
J>+Dv?Ni$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
nyMA%9,B 10.6 色差 226
eag$i.^aS 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
<oR Nd3d 10.8 颜色渲染指数 234
LAr6J 10.9 色差计算 235
Q0r_+0[7j 10.10 参考文献 236
l&C%oW 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;bZ)q 11.1 短脉冲 238
:H?p^d
e 11.2 群速度 239
{o]OxqE@ 11.3 群速度色散 241
1.';:/~( 11.4 啁啾(chirped) 245
E]gKJVf9[ 11.5 光学薄膜—相变 245
e%qMrR 11.6 群延迟和延迟色散 246
7f`jl/ 11.7 色度色散 246
plp).Gq 11.8 色散补偿 249
C4n5U^ 11.9 空间
光线偏移 256
P= ]ZXj[ 11.10 参考文献 258
L$jRg 12 公差与误差 260
MBa/-fD 12.1 蒙特卡罗模型 260
mG2}JWA
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
mp5]=6~:m 12.2.1 误差工具 267
2S/^"IM[" 12.2.2 灵敏度工具 271
[szwPNQ_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
+ W +<~E 12.2.2.2 灵敏度分布 275
+\{!jB*g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
hZ%Ie%~n 12.3 参考文献 276
ha(hG3C 13 Runsheet 与Simulator 277
IP~g7`Y 13.1 原理介绍 277
fs`<x*}K 13.2 截止滤光片设计 277
1dKLNE 14 光学常数提取 289
,2]6cP(6qQ 14.1 介绍 289
FS20OD 14.2 电介质薄膜 289
kp0>8rkF 14.3 n 和k 的提取工具 295
@c&)K^v8 14.4 基底的参数提取 302
,>Yz1P)L 14.5 金属的参数提取 306
N/y.=] 14.6 不正确的模型 306
t%=ylEPW 14.7 参考文献 311
tBf u{oC 15 反演工程 313
R Jg# A` 15.1 随机性和
系统性 313
QGsUG_/_P 15.2 常见的系统性问题 314
#_H=pNWe 15.3 单层膜 314
d2 d^XMe! 15.4 多层膜 314
KR z\ct| 15.5 含义 319
9,F(f}(t 15.6 反演工程实例 319
'r'uR5jR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
O[8Lp? 15.6.2 反演工程提取折射率 327
~JBQjb] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
gzuM>lf*{ 16.1 光学性质的热致偏移 329
\;g{qM 8 16.2 应力工具 335
Ot/Y?=j~ 16.3 均匀性误差 339
$YW z~^f 16.3.1 圆锥工具 339
lQ)8zI 16.3.2 波前问题 341
WLizgVM 16.4 参考文献 343
dLo%+V#/A 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
5[I9/4, 17.1 引言 345
m>a6,#I 17.2 操作数 345
^^)Pv#[3 18 如何在Function中编写脚本 351
6 C 18.1 简介 351
(D))?jnC 18.2 什么是脚本? 351
^&.F! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
kH{axMNc 18.4 基础 352
LtCkDnXk 18.4.1 Classes(类别) 352
6g<JPc 18.4.2 对象 352
;}:"[B3$ 18.4.3 信息(Messages) 352
ku\_M 18.4.4 属性 352
E|Z Y2&J`4 18.4.5 方法 353
ogPxj KSI 18.4.6 变量声明 353
psYfz)1; 18.5 创建对象 354
;;UvK
v 18.5.1 创建对象函数 355
B_:K.]DK` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
\24neD4cM@ 18.5.3 丢弃对象 356
JSO>rpO 18.5.4 总结 356
kkqrlJO| 18.6 脚本中的表格 357
uD<*g(R 18.6.1 方法1 357
agt7b@-5= 18.6.2 方法2 357
koaH31Q 18.7 2D Plots in Scripts 358
)0/DY 18.8 3D Plots in Scripts 359
@aBZ|8 18.9 注释 360
d<#Xqc 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
4R^'+hy|? 18.11 一个更高级的脚本 362
Q:tW LVE#0 18.12 <esc>键 364
o.sa?* 18.13 包含文件 365
A*@!tz< 18.14 脚本被
优化调用 366
0Wk}d(f 18.15 脚本中的对话框 368
=#uXO< 18.15.1 介绍 368
!dmI}<@&k 18.15.2 消息框-MsgBox 368
BEu9gu 18.15.3 输入框函数 370
)D(XDN 18.15.4 自定义对话框 371
`Ol*"F.+I 18.15.5 对话框编辑器 371
C[&Lh_F\ 18.15.6 控制对话框 377
AD~\/V&+ 18.15.7 更高级的对话框 380
#XNe4# 18.16 Types语句 384
Nnx"b 5I}n 18.17 打开文件 385
utRvE(IbmV 18.18 Bags 387
wGw}a[a 18.13 进一步研究 388
o#E
z_D[ 19 vStack 389
.lRO;D 19.1 vStack基本原理 389
Lt=#tu&d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
dB< \X. 19.3 五棱镜 393
!+CRS9\D 19.4 光束距离 396
)|\72Z~eq 19.5 误差 399
3/4xP| 19.6 二向分色棱镜 399
d(R3![: 19.7 偏振泄漏 404
=q>eoXp 19.8 波前误差—相位 405
~I2IgEj>] 19.9 其它计算参数 405
C9({7[k^% 20 报表生成器 406
S1zV.] 20.1 入门 406
1\_4# @') 20.2 指令(Instructions) 406
"jb?P$ 20.3 页面布局指令 406
0I079fqk< 20.4 常见的参数图和三维图 407
W0l|E&fj[ 20.5 表格中的常见参数 408
1<pbO:r 20.6 迭代指令 408
HOXqIZN85 20.7 报表模版 408
Ujb||(W 20.8 开始设计一个报表模版 409
`P"-9Ue= 21 一个新的project 413
b\H~Ot[i 21.1 创建一个新Job 414
Mx[tE?!2 21.2 默认设计 415
/q(+r5k \ 21.3 薄膜设计 416
Rl<~:,D
21.4 误差的灵敏度计算 420
~h0SD( 21.5 显色指数计算 422
~M,nCG^4 21.6 电场分布 424
Qz[~{-< 后记 426
aRg-
rz 有兴趣可以扫码加微咨询
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