rR@]`@9 内容简介
TW&s c9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
iSf%N>y'K 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
-S]ercar 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
UNb7WN d4IQ;u 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
2i6=g< 目录
vT{(7m!Ra Preface 1
*3Lo[GE> 内容简介 2
<$?#P#A 目录 i
c$[2tZ 1 引言 1
46T(1_Xt~ 2 光学薄膜基础 2
g0biw? 2.1 一般规则 2
6,LE_ -G5 2.2 正交入射规则 3
dl=)\mSFjF 2.3 斜入射规则 6
k8ILo) 2.4 精确计算 7
(^B1Kt!< 2.5 相干性 8
YkF LNCg4} 2.6 参考文献 10
R-pON4D"* 3 Essential Macleod的快速预览 10
yj_/:eX 4 Essential Macleod的特点 32
]vcT2lr] 4.1 容量和局限性 33
aO1.9!<v 4.2 程序在哪里? 33
7<70\6 4.3 数据文件 35
, Zie2I?q 4.4 设计规则 35
|g{50r'= 4.5 材料数据库和
资料库 37
f1SKOq 4.5.1材料损失 38
E^n!h06~G 4.5.1材料数据库和导入材料 39
5KB Z-, 4.5.2 材料库 41
z<t2yh(DF 4.5.3导出材料数据 43
'g<{l&u 4.6 常用单位 43
<k1muSe 4.7 插值和外推法 46
uu]C;wl 4.8 材料数据的平滑 50
nl2Lqu1 4.9 更多光学常数模型 54
!Usmm8!K 4.10 文档的一般编辑规则 55
Q3+%8zZI 4.11 撤销和重做 56
.mrv"k\< 4.12 设计文档 57
tpzWi
W/ 4.10.1 公式 58
hs+)a%A3G 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
]2"UR_x 4.10.3 沉积密度 59
S`[(y?OF? 4.10.4 平行和楔形介质 60
A1B[5a*o! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
Rh~j -; 4.10.4 性能 61
\``w>Xy8 4.10.5 保存设计和性能 64
^0_ > 4.10.6 默认设计 64
P)y2'JKL 4.11 图表 64
bp8sZK"z 4.11.1 合并曲线图 67
2@_3V_ 4.11.2 自适应绘制 68
5R.jhYAj 4.11.3 动态绘图 68
G1X73qoHT< 4.11.4 3D绘图 69
lgt&kdc%o 4.12 导入和导出 73
:1t&>x=T 4.12.1 剪贴板 73
JUGq\b&m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
d/T Fx 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
CPsl/.$tC 4.13 背景 77
, =*^XlO=c 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
}n^}%GB 4.15 生成Rugate 84
nRq[il0 `i 4.16 参考文献 91
"<^
Vp-7r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
B[&l<*O-y 5.1 Jobs 92
`mZ1!I-T 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Ia9!ucN7DA 5.3 输入材料 94
_{LmJ?! 5.4 设计数据文件夹 95
B2BG*xa 5.5 默认设计 95
&2y9J2aA 6 细化和合成 97
'Q7t5v@FF 6.1 优化介绍 97
*mn9CVZ(}M 6.2 细化 (Refinement) 98
., thdqOO 6.3 合成 (Synthesis) 100
='Oxy 6.4 目标和评价函数 101
g-x;a0MQx 6.4.1 目标输入 102
DKlHXEt> 6.4.2 目标 103
3M^`6W[; 6.4.3 特殊的评价函数 104
H`3w=T+I 6.5 层锁定和连接 104
.aK=z) 6.6 细化技术 104
.Xxxz
Wyk 6.6.1 单纯形 105
3uvl'1(%J 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Pa; *%7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
w3fD6$ 6.6.2.1 Optimac参数 108
(/>
yfL]J 6.6.3 模拟退火算法 109
)zP"Uuu 6.6.3.1
模拟退火参数 109
P4MP`A 6.6.4 共轭梯度 111
guy!/zQ>A 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
EO",|V- 6.6.5 拟牛顿法 112
?q'r9Ehe 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
v<0S@9~ 6.6.6 针合成 113
x41 t=E]( 6.6.6.1 针合成参数 114
*D7oHwDU 6.6.7 差分进化 114
HW6Cz>WxOW 6.6.8非局部细化 115
-%VFC^'5 6.6.8.1非局部细化参数 115
z%6egi> 6.7 我应该使用哪种技术? 116
eEmLl(Lb 6.7.1 细化 116
1mEW]z 6.7.2 合成 117
oY@]&A^ah 6.8 参考文献 117
Eh`W J~ 7 导纳图及其他工具 118
M
8mNeh 7.1 简介 118
)gR3S%Ju 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
eLyIQo W 7.2.1 四分之一
波长规则 119
d7kv
<YG 7.2.2 导纳图 120
brn>FFAwO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
a}Jy o!. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
\\"CgH- 7.5 斜入射导纳图 141
D{t0OvQag 7.6 对称周期 141
2[Qzx%Vp 7.7 参考文献 142
z8};(I>) 8 典型的镀膜实例 143
38JU-aq 8.1 单层抗反射薄膜 145
l4^8$@;s 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
%#]/]B/4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Ga* 8.4 W-膜层 148
61TL]S8 8.5 V-膜层 149
5_L43- 8.6 V-膜层高折射基底 150
7nPm{=BG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
}M\G 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
%bnjK#o"Q 8.9 四层抗反射薄膜 153
_..5G7%#% 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
l)0yv2[h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
9l7 youZ] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Qnp.Na[JV 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
ui^v.YCMI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
w?c~be$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Qc:Sf46O 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
j)O8&[y= 8.17 1/4波长堆栈 162
23UXOY0BW 8.18 陷波滤波器 163
`VOLw*Ci 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Z~7} 8.20 褶皱 165
_ID =]NJ_ 8.21 消偏振分光器1 169
_k
W:FB 8.22 消偏振分光器2 171
y\[GS2nTX 8.23 消偏振立体分光器 172
]h&?^L<. 8.24 消偏振截止滤光片 173
`JG7Pl/ih 8.25 立体偏振分束器1 174
O`(it%Ho! 8.26 立方偏振分束器2 177
'#8;bU 8.27 相位延迟器 178
V P4ToYc 8.28 红外截止器 179
O /4)aW3B 8.29 21层长波带通滤波器 180
7otqGE\2 8.30 49层长波带通滤波器 181
^TY8,qDA 8.31 55层短波带通滤波器 182
AwGDy + 8.32 47 红外截止器 183
+&TcTu#.` 8.33 宽带通滤波器 184
}A_>J7w 8.34 诱导透射滤波器 186
p$%g$K 8.35 诱导透射滤波器2 188
e?b<-rL
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
K,GX5c5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
1HNX6 8.35 增益平坦滤波器 193
vro5G') 8.38 啁啾反射镜 1 196
}\\6"90g* 8.39 啁啾反射镜2 198
\~q cYp 8.40 啁啾反射镜3 199
i(>v~T,( 8.41 带保护层的铝膜层 200
^-7{{/ 8.42 增加铝反射率膜 201
3H47 vm(` 8.43 参考文献 202
=R\-mov$ 9 多层膜 204
/T2f~1R 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
pDx}~IB 9.2 内部透过率 204
[Z?vC 9.3 内部透射率数据 205
A&fh0E (t 9.4 实例 206
Th//u I+ 9.5 实例2 210
Pi|oO-M 9.6 圆锥和带宽计算 212
\it<]BN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
6hm6h7$F1 10 光学薄膜的颜色 216
KbV%8nx!! 10.1 导言 216
/waZ9 10.2 色彩 216
ui6B 10.3 主波长和纯度 220
V/-~L]G 10.4 色相和纯度 221
}tT*Ch?u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
*:A)j?( 10.6 色差 226
ETVT.R8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"ae55ft// 10.8 颜色渲染指数 234
%z0@4Gq 10.9 色差计算 235
+nslS:( 10.10 参考文献 236
|]H2a;vUJR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
p{Gg,.f!HM 11.1 短脉冲 238
WH$
Ls(' 11.2 群速度 239
7u^6`P 11.3 群速度色散 241
w8g36v*+(u 11.4 啁啾(chirped) 245
$bKa"T* 11.5 光学薄膜—相变 245
K\ \UF 11.6 群延迟和延迟色散 246
/_554q 11.7 色度色散 246
fJC,ubP[5 11.8 色散补偿 249
w65
$ R 11.9 空间
光线偏移 256
SVo`p;2r 11.10 参考文献 258
tgYIM`f 12 公差与误差 260
7iKbd 12.1 蒙特卡罗模型 260
g%<7Px[W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
*lG$B@;rc| 12.2.1 误差工具 267
JhDjY8?86 12.2.2 灵敏度工具 271
Z@8amT;Y 12.2.2.1 独立灵敏度 271
qO9_e 12.2.2.2 灵敏度分布 275
F<w/@.&m 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
-}juj;IVv 12.3 参考文献 276
&4DV]9+g 13 Runsheet 与Simulator 277
,O(XNA(C 13.1 原理介绍 277
\9/n~/{ 13.2 截止滤光片设计 277
L4;n$=e 14 光学常数提取 289
EX&y
! 14.1 介绍 289
_H8)O2mJ 14.2 电介质薄膜 289
o#wF/ I 14.3 n 和k 的提取工具 295
sEvJ!$Tt?I 14.4 基底的参数提取 302
Gf'V68,l$ 14.5 金属的参数提取 306
T
"G! H 14.6 不正确的模型 306
Qg
_?..% 14.7 参考文献 311
+V8yv-/{ 15 反演工程 313
>8tE`2[i* 15.1 随机性和
系统性 313
Gz@%UIv 15.2 常见的系统性问题 314
nhCB])u8l 15.3 单层膜 314
I"JT3[*s 15.4 多层膜 314
"rjJ"u1 15.5 含义 319
z4J-qK~2 15.6 反演工程实例 319
@3S2Xb{ra1 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
i]$7w! r& 15.6.2 反演工程提取折射率 327
` ?6m0|\@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
);|~4# 16.1 光学性质的热致偏移 329
?0;b}Xl-
16.2 应力工具 335
t8)Fkx#8} 16.3 均匀性误差 339
^LC5orO 16.3.1 圆锥工具 339
U.6hLFcE 16.3.2 波前问题 341
JrL/LGY 16.4 参考文献 343
H[Pb Wy: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
"a"[B' 17.1 引言 345
(%fGS.TR 17.2 操作数 345
yMSRUQ
x 18 如何在Function中编写脚本 351
w pCS]2 18.1 简介 351
mc$c!Ax* 18.2 什么是脚本? 351
329xo03-[ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Mm[%v
t40 18.4 基础 352
O:BP35z_F 18.4.1 Classes(类别) 352
@i)tQd!s 18.4.2 对象 352
sy@k3wQ 18.4.3 信息(Messages) 352
UU
,)z 18.4.4 属性 352
z!L0j+ 18.4.5 方法 353
"+Qh,fTt 18.4.6 变量声明 353
+NXj/ 18.5 创建对象 354
y=j[v},4 18.5.1 创建对象函数 355
9vj:=,TNu 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
~V|!\CB 18.5.3 丢弃对象 356
<?J7Z| 18.5.4 总结 356
Dps{[3Y+ 18.6 脚本中的表格 357
``E;!r="v 18.6.1 方法1 357
YJ6vyG>%C 18.6.2 方法2 357
p.}[!!m P 18.7 2D Plots in Scripts 358
X%F9.<4 18.8 3D Plots in Scripts 359
0F~9t! 18.9 注释 360
{Jy%h8n* 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
k?8W2fC 18.11 一个更高级的脚本 362
P<&/$x6 18.12 <esc>键 364
1aDDl-8, 18.13 包含文件 365
mcX akWmi 18.14 脚本被
优化调用 366
Vl z T 18.15 脚本中的对话框 368
.>nd@oU 18.15.1 介绍 368
Ni)#tz_9 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Y'HF^jv]R 18.15.3 输入框函数 370
%7@H7^s}9 18.15.4 自定义对话框 371
J-f0 18.15.5 对话框编辑器 371
z0UO<Y?9 18.15.6 控制对话框 377
eJA{]^Zf 18.15.7 更高级的对话框 380
Uy1xNb/d 18.16 Types语句 384
#~f+F0#%? 18.17 打开文件 385
C}kJGi 18.18 Bags 387
,qHG1#^ 18.13 进一步研究 388
9}mp,egV 19 vStack 389
.#eXNyCe 19.1 vStack基本原理 389
=iQm_g 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
%Uk/P 19.3 五棱镜 393
U; xWW9 19.4 光束距离 396
? 7EVmF 19.5 误差 399
:&-}S>pC 19.6 二向分色棱镜 399
.:raeDrd 19.7 偏振泄漏 404
-:>#w`H 19.8 波前误差—相位 405
16Y~5JAc 19.9 其它计算参数 405
C4uR5U 20 报表生成器 406
Pb;`'<*U 20.1 入门 406
H7=z%Y9y 20.2 指令(Instructions) 406
b?NeSiswn 20.3 页面布局指令 406
/#=J`*m_ 20.4 常见的参数图和三维图 407
8'[wa 20.5 表格中的常见参数 408
T6r~OV5 20.6 迭代指令 408
(R<4"QbE 20.7 报表模版 408
fYjsSUnf 20.8 开始设计一个报表模版 409
pi}H.iF 21 一个新的project 413
1Qu,]i` 21.1 创建一个新Job 414
UhTr<(@ 21.2 默认设计 415
nQHd\/B
21.3 薄膜设计 416
-c?wEqa~2 21.4 误差的灵敏度计算 420
wg.fo:Q 21.5 显色指数计算 422
49$4 21.6 电场分布 424
&FVlTo1 后记 426
Hu7zmh5FF 有兴趣可以扫码加微咨询
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