,YBe|3 内容简介
-cWGF Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
KRM:h`+-.- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
}OqP`B 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
h-]c XFv^jSF 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
HF<h-gX 目录
e0M'\'J Preface 1
y
q!{\@- 内容简介 2
!-m 'diE 目录 i
XE8%t=V!c$ 1 引言 1
(e#f 2 光学薄膜基础 2
mgTzwE_\ 2.1 一般规则 2
6!C>J#T 2.2 正交入射规则 3
6lL^/$] 2.3 斜入射规则 6
&Z(6i}f,Gp 2.4 精确计算 7
i}O.,iH 2.5 相干性 8
as(Zb*PdH 2.6 参考文献 10
+`ug?`_ 3 Essential Macleod的快速预览 10
c=D~hz N 4 Essential Macleod的特点 32
IN,=v+A 4.1 容量和局限性 33
r%9=75HA 4.2 程序在哪里? 33
Fd#Zu.Np 4.3 数据文件 35
<rFh93 4.4 设计规则 35
ovZ!} 4.5 材料数据库和
资料库 37
V0G[f}tm' 4.5.1材料损失 38
8H,k0~D 4.5.1材料数据库和导入材料 39
?1**@E0 4.5.2 材料库 41
:m<#\!? 4.5.3导出材料数据 43
,F n-SrB: 4.6 常用单位 43
7M~/[f7Z{ 4.7 插值和外推法 46
PU4-}!K 4.8 材料数据的平滑 50
P5W58WxT' 4.9 更多光学常数模型 54
]!uId#OH 4.10 文档的一般编辑规则 55
TUARYJ6= 4.11 撤销和重做 56
(o^?i2)g 4.12 设计文档 57
2|&SG3e+(I 4.10.1 公式 58
"8Lv 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
QZ+G2$ 4.10.3 沉积密度 59
Bh&dV%' 4.10.4 平行和楔形介质 60
VI-6t"l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
dU2:H} 4.10.4 性能 61
k\r^GB
4.10.5 保存设计和性能 64
C#B|^A_ 4.10.6 默认设计 64
F##xVmR~ 4.11 图表 64
V{fG~19
4.11.1 合并曲线图 67
Hzz v 6k 4.11.2 自适应绘制 68
mNsd&Rk' 4.11.3 动态绘图 68
EeGTBVms 4.11.4 3D绘图 69
{B4.G8%Z 4.12 导入和导出 73
viJP6fh 4.12.1 剪贴板 73
}qR6=J+Dx 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
y&V'GhW!dd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
5?0~7^de 4.13 背景 77
}D-jTZlC 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
OuKRaZ 4.15 生成Rugate 84
9ji`.&# 4.16 参考文献 91
$Tal. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
hVl@7B~ 5.1 Jobs 92
S|fb' 5.2 创建一个新Job(工作) 93
:?
s{@7 5.3 输入材料 94
wB:<ICm 5.4 设计数据文件夹 95
n(i/jW~0w 5.5 默认设计 95
\Yn0|j> 6 细化和合成 97
ErgWs Aw- 6.1 优化介绍 97
p=\Q7<Z6d, 6.2 细化 (Refinement) 98
}Syd*%BR[ 6.3 合成 (Synthesis) 100
0\,! 6.4 目标和评价函数 101
nTD4^' 6.4.1 目标输入 102
YABi`;R]' 6.4.2 目标 103
=MvB9gx@r 6.4.3 特殊的评价函数 104
qC5IV}9` 6.5 层锁定和连接 104
x[u6_6=q9 6.6 细化技术 104
oArXP\# 6.6.1 单纯形 105
Ug384RzHN 6.6.1.1 单纯形
参数 106
q,> C^p|2b 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
9aX!<Z 6.6.2.1 Optimac参数 108
QKhGEW~G 6.6.3 模拟退火算法 109
0M?zotv0# 6.6.3.1
模拟退火参数 109
Xtloyph 6.6.4 共轭梯度 111
~,Yd.?.TI 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
CSz+cS 6.6.5 拟牛顿法 112
p 16+(m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
7u
rD 6.6.6 针合成 113
Xoha.6$l5 6.6.6.1 针合成参数 114
] g8z@r"b 6.6.7 差分进化 114
Z{/GT7 / 6.6.8非局部细化 115
KzJJ@D*4M] 6.6.8.1非局部细化参数 115
JcMl*k 6.7 我应该使用哪种技术? 116
KUpj.[5qo 6.7.1 细化 116
m# -&<= 6.7.2 合成 117
A~^x*#q{4 6.8 参考文献 117
$sUn'62JlU 7 导纳图及其他工具 118
))nTd= 7.1 简介 118
,`YIcrya: 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
@sW!g;\T 7.2.1 四分之一
波长规则 119
bAy\Sr
#/ 7.2.2 导纳图 120
s%8,'3& 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
A-J#$B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
;}M&fXFp"| 7.5 斜入射导纳图 141
VDxF%!h( 7.6 对称周期 141
P]OUzI, 7.7 参考文献 142
m&z(2yb1 8 典型的镀膜实例 143
~N7;.
3 7 8.1 单层抗反射薄膜 145
t*dq*(3"c 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
zbGZ\pz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
j)#yyK{k2s 8.4 W-膜层 148
V-E 77u6{0 8.5 V-膜层 149
>;R7r|^k 8.6 V-膜层高折射基底 150
((<\VQ,>( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
'Sesh'2
/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
d+6q%U 8.9 四层抗反射薄膜 153
Pjxj$>&;*j 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
9XhH*tBn7( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
TB= _r(:l+ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
IYHNN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
UoUQ6Ij 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
E|jU8qz>P 8.15十五层宽带抗反射膜 159
/0$405 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
u:6R|%1fNn 8.17 1/4波长堆栈 162
e,Y<$kPV 8.18 陷波滤波器 163
u } +?'B) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
DrbjklcUU 8.20 褶皱 165
"@|rU4Y 8.21 消偏振分光器1 169
tOxH 9 8.22 消偏振分光器2 171
*B84Y.d f 8.23 消偏振立体分光器 172
2$`Y 4b 3t 8.24 消偏振截止滤光片 173
,}"jiGgS4 8.25 立体偏振分束器1 174
wp5H|ctl 8.26 立方偏振分束器2 177
2?v }w<Ydl 8.27 相位延迟器 178
YpRhl(| 8.28 红外截止器 179
#K/JU{" 8.29 21层长波带通滤波器 180
ledr[) 8.30 49层长波带通滤波器 181
tkkh<5{C
8.31 55层短波带通滤波器 182
cMoJHC,! 8.32 47 红外截止器 183
@; I9e 8.33 宽带通滤波器 184
'KT(;Vof 8.34 诱导透射滤波器 186
"Nz@jv? 8.35 诱导透射滤波器2 188
^zS;/% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
A zp!;+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
zSu,S4m_; 8.35 增益平坦滤波器 193
? STO#<a 8.38 啁啾反射镜 1 196
lV$#>2Hh5 8.39 啁啾反射镜2 198
)qOcx
I 8.40 啁啾反射镜3 199
0IP0zil 8.41 带保护层的铝膜层 200
/L5:/Z 8.42 增加铝反射率膜 201
):}A Quy] 8.43 参考文献 202
e&Q
w\Ze 9 多层膜 204
<"xqt7f 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
m~fDDQs 9.2 内部透过率 204
c@)?V>oe 9.3 内部透射率数据 205
u8`S*i/)m 9.4 实例 206
&-X51O C 9.5 实例2 210
065 =I+Vo 9.6 圆锥和带宽计算 212
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