&9P<qU^N) 内容简介
e- 6(F4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
TA;,>f* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
j%xBo: 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
9k`~x1Y) qx%jAs+~ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
]P3[.$z 目录
<Jwo?[a Preface 1
^, wnp@ 内容简介 2
%V_eJC""? 目录 i
wRbw 1 引言 1
CA^.?&CH^O 2 光学薄膜基础 2
fN[n>%)VO< 2.1 一般规则 2
R}k69-1vL 2.2 正交入射规则 3
=J3`@9; 2.3 斜入射规则 6
_S5gcPcF" 2.4 精确计算 7
\(u@F<s- 2.5 相干性 8
K%2I 2.6 参考文献 10
<%?uYCD 3 Essential Macleod的快速预览 10
Xw(3j)xQ 4 Essential Macleod的特点 32
4A o{M 4.1 容量和局限性 33
aL)$b 4.2 程序在哪里? 33
6ZgNHARS 4.3 数据文件 35
B9W/bJ6% 4.4 设计规则 35
,%8$D-4#_ 4.5 材料数据库和
资料库 37
^pw7o6} 4.5.1材料损失 38
ZR
mPP 4.5.1材料数据库和导入材料 39
.zwVCW,u 4.5.2 材料库 41
j],&z^O$ 4.5.3导出材料数据 43
=1Sy@M bH3 4.6 常用单位 43
?N_)>&b 4.7 插值和外推法 46
vU9ek:.l 4.8 材料数据的平滑 50
)@$
&FFIu 4.9 更多光学常数模型 54
npj5U/
4.10 文档的一般编辑规则 55
1^sb T[%R 4.11 撤销和重做 56
.EzSSU7n) 4.12 设计文档 57
Sw
"|iBZ@ 4.10.1 公式 58
ybYXD? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
sH@ &* 4.10.3 沉积密度 59
i-"<[*ePd 4.10.4 平行和楔形介质 60
JP%RTGu 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
1>;6x^_h0S 4.10.4 性能 61
eoL0^cZj 4.10.5 保存设计和性能 64
~Jxlj(" 0( 4.10.6 默认设计 64
|VYr=hjo 4.11 图表 64
K*:Im#Q 4.11.1 合并曲线图 67
Gl"wEL* 4.11.2 自适应绘制 68
X&,N}9>B 4.11.3 动态绘图 68
f~iML5lG 4.11.4 3D绘图 69
2;}xN! 8 4.12 导入和导出 73
ZmP1C`> 4.12.1 剪贴板 73
$~ VcQ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
D:6N9POB 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
-G!6U2*# 4.13 背景 77
9Q=>MOB- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
<L%HG 4.15 生成Rugate 84
x' ?.~ 4.16 参考文献 91
/rOnm=P+Q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
+> ^[W~[2 5.1 Jobs 92
Ltl]j*yei 5.2 创建一个新Job(工作) 93
\CDAFu# 5.3 输入材料 94
DbQBVy 5.4 设计数据文件夹 95
Sn0Xl3yr
5.5 默认设计 95
'l8eH$ 6 细化和合成 97
Cl{{H]QngX 6.1 优化介绍 97
-$b?rt]h1g 6.2 细化 (Refinement) 98
T77)Np 6.3 合成 (Synthesis) 100
ko>M&/^ 6.4 目标和评价函数 101
Ipg\9*c` 6.4.1 目标输入 102
FfjC
M7? 6.4.2 目标 103
"LXXs0 6.4.3 特殊的评价函数 104
zQ=aey% 6.5 层锁定和连接 104
zK,~ 37)\ 6.6 细化技术 104
v(a9#bMZU 6.6.1 单纯形 105
ItMl4P`| 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Dn: Yi8= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
83B\+]{hD 6.6.2.1 Optimac参数 108
D8a)( wm 6.6.3 模拟退火算法 109
U:J /\- 6.6.3.1
模拟退火参数 109
]m RF[b$ 6.6.4 共轭梯度 111
pDP33`OFh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
+$'e4EwqV 6.6.5 拟牛顿法 112
l(.7t' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
z=u~]:.1O 6.6.6 针合成 113
gca|?tt 6.6.6.1 针合成参数 114
+Z )`inw 6.6.7 差分进化 114
I8:"h 6.6.8非局部细化 115
3SmqXPOw 6.6.8.1非局部细化参数 115
IM$'J 6.7 我应该使用哪种技术? 116
z/pDOP Ku 6.7.1 细化 116
d"z *Nb 6.7.2 合成 117
h)"'YzCt 6.8 参考文献 117
T..-)kL+p 7 导纳图及其他工具 118
O^y$8OKEi, 7.1 简介 118
{E3;r7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
p0"BO4({{ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
-v;iMEZ) 7.2.2 导纳图 120
9tW3!O^_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
cPx66Dh& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
\%Pma8&d 7.5 斜入射导纳图 141
w6%l8+{R 7.6 对称周期 141
gX/|aG$a!U 7.7 参考文献 142
% cU-5\xF 8 典型的镀膜实例 143
A[K:/tB 8.1 单层抗反射薄膜 145
&mCs%l 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
5L/Yi 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
|L*6x
S[ 8.4 W-膜层 148
c>M_?::)0 8.5 V-膜层 149
D-;J;m
\ 8.6 V-膜层高折射基底 150
h<t<]i' 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
9t,aT!f 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
rjfc.l#v 8.9 四层抗反射薄膜 153
lv*Wnn@k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
T]5U_AI@ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
FA5k45wL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
L2:oZ&:u`J 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
[I#Q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
NHst7$Y< 8.15十五层宽带抗反射膜 159
u0<d2Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
5;r({J 8.17 1/4波长堆栈 162
!.x=r 8.18 陷波滤波器 163
Tom}sFl][ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
:FEd:0TS 8.20 褶皱 165
'5&B~ 1& 8.21 消偏振分光器1 169
x'VeL| 8.22 消偏振分光器2 171
":5~L9&G 8.23 消偏振立体分光器 172
&e5^v 8.24 消偏振截止滤光片 173
K*hf(w9="% 8.25 立体偏振分束器1 174
H{p[Ghp 8.26 立方偏振分束器2 177
vLVSZX 8.27 相位延迟器 178
p]atH<^;K 8.28 红外截止器 179
s2,`eV 8.29 21层长波带通滤波器 180
#l8K8GLuf 8.30 49层长波带通滤波器 181
i[V,IP + 8.31 55层短波带通滤波器 182
lk5_s@V
l 8.32 47 红外截止器 183
0~LnnDN 8.33 宽带通滤波器 184
'eTpcrS3 8.34 诱导透射滤波器 186
*}50q9)/ 8.35 诱导透射滤波器2 188
NpjsZcA 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
/
r`Y'rm 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
&k {t0> 8.35 增益平坦滤波器 193
nJnO/~| 8.38 啁啾反射镜 1 196
-M(58/y 8.39 啁啾反射镜2 198
@5uyUSt] 8.40 啁啾反射镜3 199
;1Tpzm 8.41 带保护层的铝膜层 200
3@#,i<ge : 8.42 增加铝反射率膜 201
`0/gs 8.43 参考文献 202
hU=f?jo/ 9 多层膜 204
J{v6DYhi 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
4.$hHFqS^5 9.2 内部透过率 204
^$^Vd@t>a 9.3 内部透射率数据 205
dvH67 x 9.4 实例 206
vM$#m1L? 9.5 实例2 210
#EwRb<'Em 9.6 圆锥和带宽计算 212
s?z=q%-p 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
pD)/-Dgdm 10 光学薄膜的颜色 216
OmQuAG
^\x 10.1 导言 216
7i%P&oB 10.2 色彩 216
8I|1Pl 10.3 主波长和纯度 220
6'X.[0M 10.4 色相和纯度 221
Sxx.>gP"61 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
}pU!1GsO 10.6 色差 226
/-cX(z
7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
l"V8n BR` 10.8 颜色渲染指数 234
Amq8q 10.9 色差计算 235
wHDFTIDI 10.10 参考文献 236
e=NQY8? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
q,19NZ 11.1 短脉冲 238
+=lcN~U2 11.2 群速度 239
Ix l"'Q_z 11.3 群速度色散 241
LP-KD 11.4 啁啾(chirped) 245
uc{Qhw!;: 11.5 光学薄膜—相变 245
m/"=5*pA 11.6 群延迟和延迟色散 246
[~&:`I1 11.7 色度色散 246
pu
m9x)y1 11.8 色散补偿 249
7{6cLYl 11.9 空间
光线偏移 256
~P.-3 11.10 参考文献 258
pR^Y|NG! 12 公差与误差 260
jmwQc& 12.1 蒙特卡罗模型 260
B[k+#YYY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
"#"Fp&Z7 12.2.1 误差工具 267
=.3P)gY) 12.2.2 灵敏度工具 271
T[2f6[#[_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
rSFXchD/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
^?l-YnQqm? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
;Bc<u[G 12.3 参考文献 276
:j5 0]zLy{ 13 Runsheet 与Simulator 277
r
z>zdj5} 13.1 原理介绍 277
`W;cft4 13.2 截止滤光片设计 277
\Q
BpgMi( 14 光学常数提取 289
"YJ;-$rb 14.1 介绍 289
J7aK3he 14.2 电介质薄膜 289
]9l% 14.3 n 和k 的提取工具 295
"Z1&z- 14.4 基底的参数提取 302
B7QtB3bn 14.5 金属的参数提取 306
M%dl?9pbq 14.6 不正确的模型 306
fgz'C? 14.7 参考文献 311
2$/gg"g+ 15 反演工程 313
h,RUL 15.1 随机性和
系统性 313
(YWc%f4 15.2 常见的系统性问题 314
X
+ 15.3 单层膜 314
Gxt<kz 15.4 多层膜 314
x;b+gIz* 15.5 含义 319
$5p'+bE 15.6 反演工程实例 319
38.J:?Q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
fbbl92p 15.6.2 反演工程提取折射率 327
7&S|y]$~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
?@ye*%w_ 16.1 光学性质的热致偏移 329
-JW6@L@ 16.2 应力工具 335
;<ma K*f\S 16.3 均匀性误差 339
It:QXLi; 16.3.1 圆锥工具 339
*'S%gR=Aa+ 16.3.2 波前问题 341
R;m0eG` 16.4 参考文献 343
j`&i4K: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
S5JR`o
17.1 引言 345
WT? U~.U 17.2 操作数 345
1H@rNam& 18 如何在Function中编写脚本 351
4I[FE;^ 18.1 简介 351
2n r
UE 18.2 什么是脚本? 351
8QgL7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
0GR9C%"] 18.4 基础 352
UA u4x 7 18.4.1 Classes(类别) 352
w*R-E4S?2 18.4.2 对象 352
qc4"0Ap' 18.4.3 信息(Messages) 352
$}c@S0%P" 18.4.4 属性 352
(dprY1noC 18.4.5 方法 353
= 8e8!8 18.4.6 变量声明 353
:^L]Da3 18.5 创建对象 354
x!Y@31!Dy 18.5.1 创建对象函数 355
>Ezwl5b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
U[ungvU1U 18.5.3 丢弃对象 356
s
!vROJ 18.5.4 总结 356
])l[tVHm 18.6 脚本中的表格 357
p5rRhu/|k3 18.6.1 方法1 357
#\;w:: 18.6.2 方法2 357
]|BSX-V.%i 18.7 2D Plots in Scripts 358
( #"s!!b 18.8 3D Plots in Scripts 359
YD.^\E4o 18.9 注释 360
1KR|i" 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
E"yf!* 18.11 一个更高级的脚本 362
~,65/O 18.12 <esc>键 364
{!?RG\EYN 18.13 包含文件 365
`GWq3c5 18.14 脚本被
优化调用 366
.v&h>@'m 18.15 脚本中的对话框 368
T/6=A$4
# 18.15.1 介绍 368
6(^9D_"@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
=8D4:Ds 18.15.3 输入框函数 370
h4i$z-! 18.15.4 自定义对话框 371
twS3J)UH 18.15.5 对话框编辑器 371
ABDUp: 18.15.6 控制对话框 377
%$KO]
18.15.7 更高级的对话框 380
OYy !4Fp 18.16 Types语句 384
ng*E9Puu[ 18.17 打开文件 385
<~*Ol+/ 18.18 Bags 387
OkUpgXU 18.13 进一步研究 388
u@'zvkb@ 19 vStack 389
u\?u4 19.1 vStack基本原理 389
-ix1<e 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
sB/s17ar 19.3 五棱镜 393
\8aF(Y^H 19.4 光束距离 396
W>nb9Isp 19.5 误差 399
iRtDZoiD' 19.6 二向分色棱镜 399
zL}hFmh 19.7 偏振泄漏 404
jdf@lb=5l 19.8 波前误差—相位 405
]*U') 19.9 其它计算参数 405
%.U{):lNx 20 报表生成器 406
m3-J0D<
20.1 入门 406
]<LU NxBR 20.2 指令(Instructions) 406
B'/ >Ax& 20.3 页面布局指令 406
T$;XJx 20.4 常见的参数图和三维图 407
(\>'yW{f 20.5 表格中的常见参数 408
BF!zfX?n 20.6 迭代指令 408
N+75wtLy& 20.7 报表模版 408
a $%[!vF 20.8 开始设计一个报表模版 409
;VRR=p%, 21 一个新的project 413
rv%[?Ml 21.1 创建一个新Job 414
d~8~RT2m 21.2 默认设计 415
ptQ(7N 21.3 薄膜设计 416
(*BW/.Fq 21.4 误差的灵敏度计算 420
-=IM8Dny 21.5 显色指数计算 422
uJ\Nga<? 21.6 电场分布 424
XCriZ|s 后记 426
~Xw?>& 有兴趣可以扫码加微咨询
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