P_}/#N{C 内容简介
H<Hrwy~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
$3 4j6;oN 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
5z~\5x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
yb?{LL-uy waCboK' 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
zP&q7 t;> 目录
JOHRmfqR Preface 1
{i>Jfl]G} 内容简介 2
thptm 目录 i
5oJ Dux } 1 引言 1
z,x"a 2 光学薄膜基础 2
,1
P[ 2.1 一般规则 2
~ezCu_ 2.2 正交入射规则 3
(Y2mmd 2.3 斜入射规则 6
sAYV)w3u" 2.4 精确计算 7
7)J6/(' 2.5 相干性 8
{zP#woz2Q 2.6 参考文献 10
|sf*hlrJ 3 Essential Macleod的快速预览 10
i3PKqlp. 4 Essential Macleod的特点 32
4LsHs 4.1 容量和局限性 33
U^rm:*f 4.2 程序在哪里? 33
P"F{=\V1`< 4.3 数据文件 35
W2eAhz& 4.4 设计规则 35
] H&c' 4.5 材料数据库和
资料库 37
[(|v`qMv/g 4.5.1材料损失 38
/.P9MSz0G 4.5.1材料数据库和导入材料 39
-CD\+d " 4.5.2 材料库 41
RqLNp?V% 4.5.3导出材料数据 43
aD ESr? 4.6 常用单位 43
@]=f?+y[ 2 4.7 插值和外推法 46
+9[SVw8 4.8 材料数据的平滑 50
:6lwO%=F 4.9 更多光学常数模型 54
s<&[\U 4.10 文档的一般编辑规则 55
$"8d:N?I[ 4.11 撤销和重做 56
DMd ,8W7a 4.12 设计文档 57
=IHje;s 4.10.1 公式 58
?4G(N=/& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
,J(lJ,c 4.10.3 沉积密度 59
:#$F)]y'\ 4.10.4 平行和楔形介质 60
=Ndli>x}1 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
.X'<
D* 4.10.4 性能 61
ia4k :\ 4.10.5 保存设计和性能 64
#s2B%X 4.10.6 默认设计 64
[AR>?6G- 4.11 图表 64
AmcC:5 4.11.1 合并曲线图 67
.X
`C^z]+ 4.11.2 自适应绘制 68
OOB^gf}$' 4.11.3 动态绘图 68
m<: IFx# 4.11.4 3D绘图 69
-@M3Dwsi3 4.12 导入和导出 73
RUGv8"j 4.12.1 剪贴板 73
vT7g< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
JE!("]& 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
u9]1X1wV 4.13 背景 77
)X5(#E 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
0@pu@ DP~ 4.15 生成Rugate 84
|0
!I5|<k 4.16 参考文献 91
maC>LBa2/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
!M;A*:- 5.1 Jobs 92
?`AGF%zp
5.2 创建一个新Job(工作) 93
SRL-Z&M 5.3 输入材料 94
Wx]d $_ 5.4 设计数据文件夹 95
q*8lnk 5.5 默认设计 95
>85zQ
1aL 6 细化和合成 97
wsnK3tM7- 6.1 优化介绍 97
@6&JR<g*t 6.2 细化 (Refinement) 98
s[AA7>]3 6.3 合成 (Synthesis) 100
}c|U X
ZW 6.4 目标和评价函数 101
AhxGj+ 6.4.1 目标输入 102
3nFt1E
6.4.2 目标 103
n?E}b$6 6.4.3 特殊的评价函数 104
fz}?*vPW 6.5 层锁定和连接 104
u7=T(4a 6.6 细化技术 104
H+l,)Se 6.6.1 单纯形 105
u Z(? > 6.6.1.1 单纯形
参数 106
(V?@?25 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
u) *Kws 6.6.2.1 Optimac参数 108
,X/- 6.6.3 模拟退火算法 109
s".HEP~]= 6.6.3.1
模拟退火参数 109
1`-r#-MGG 6.6.4 共轭梯度 111
NL!9U,h5| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Gv~p 6.6.5 拟牛顿法 112
z~Na-N 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
lf$Ve 6.6.6 针合成 113
!LIlt`ag9 6.6.6.1 针合成参数 114
4%_M27bu[ 6.6.7 差分进化 114
pbn\9C/ 6.6.8非局部细化 115
MYdx .NZT 6.6.8.1非局部细化参数 115
sN/+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
keCRvl Z4 6.7.1 细化 116
Cs1>bpY*R6 6.7.2 合成 117
kso*} uh0 6.8 参考文献 117
97LpY_sU 7 导纳图及其他工具 118
]vo_gKZ 7.1 简介 118
4~|<`vqN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
36$[ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Z[ZDQ o1 7.2.2 导纳图 120
91d },Mq: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
.\)A@ua^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
'HaD~pa 7.5 斜入射导纳图 141
kGHC]Fb) 7.6 对称周期 141
j[e,?!8; 7.7 参考文献 142
v?j!&d> 8 典型的镀膜实例 143
:&yDqoQKJ 8.1 单层抗反射薄膜 145
g.C5r]=+& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
-:`V< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
qnIew?-* 8.4 W-膜层 148
+)/Uu3"= 8.5 V-膜层 149
LP<<'(l` 8.6 V-膜层高折射基底 150
)bDnbO$s_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
YQVcECj 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
:.&{Z" 8.9 四层抗反射薄膜 153
+AI`R`Tm 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
DTY<0Q. 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
>D_F!_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Pil;/t)" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
lLiQ ;@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
'%7 Bx of 8.15十五层宽带抗反射膜 159
fx?$9(r, 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
= `t^~.5 8.17 1/4波长堆栈 162
N|dD! 8.18 陷波滤波器 163
A3R#z]Ub 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
>*qQ+_ 8.20 褶皱 165
[Z<Z;=t 8.21 消偏振分光器1 169
I}.i@d'O 8.22 消偏振分光器2 171
k-jahm4 8.23 消偏振立体分光器 172
o`? zF+M0 8.24 消偏振截止滤光片 173
E zT`,#b 8.25 立体偏振分束器1 174
;l!`C' :' 8.26 立方偏振分束器2 177
GozPvR^/ 8.27 相位延迟器 178
>^SEWZ_[ 8.28 红外截止器 179
qX6D1X1_ 8.29 21层长波带通滤波器 180
\}dyS8 8.30 49层长波带通滤波器 181
92[a;a 8.31 55层短波带通滤波器 182
VmvQvQ/9R 8.32 47 红外截止器 183
4JMiyiW& 8.33 宽带通滤波器 184
8<dOMp;}r 8.34 诱导透射滤波器 186
658^"]Rk'/ 8.35 诱导透射滤波器2 188
r>|-2}{N/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
D>#l -{d 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
1}g:|Q 8.35 增益平坦滤波器 193
-9+se 8.38 啁啾反射镜 1 196
8Y{s;U0n 8.39 啁啾反射镜2 198
$c9k*3{<+A 8.40 啁啾反射镜3 199
PCE4W^ns 8.41 带保护层的铝膜层 200
1FERmf? ?d 8.42 增加铝反射率膜 201
5Ec/(-F 8.43 参考文献 202
`
\ZqgX4 9 多层膜 204
lU.Kc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
%1}6q`:w 9.2 内部透过率 204
>k(MUmhX 9.3 内部透射率数据 205
;Yts\4BSM 9.4 实例 206
H lB]38 9.5 实例2 210
:qj<p3w~} 9.6 圆锥和带宽计算 212
,+1m`9} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
j8$Zv%Ca% 10 光学薄膜的颜色 216
Poy^RpnX 10.1 导言 216
Mr3-q 10.2 色彩 216
")UwkF 10.3 主波长和纯度 220
q]c5MlJXF 10.4 色相和纯度 221
JK)qZ= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
-$-8W 10.6 色差 226
h*l&RR:i 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
6|;Uq' 10.8 颜色渲染指数 234
\caH pof 10.9 色差计算 235
^DAu5 |--R 10.10 参考文献 236
/@Y CA}|/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
wEEn? 11.1 短脉冲 238
C/@LZ OEL 11.2 群速度 239
cxyM\@QB3 11.3 群速度色散 241
?S[Y:<R{: 11.4 啁啾(chirped) 245
%J7UP4 11.5 光学薄膜—相变 245
m7jA
,~O 11.6 群延迟和延迟色散 246
dE(tFZx 11.7 色度色散 246
SNY (* 11.8 色散补偿 249
vmZ"o9-{#X 11.9 空间
光线偏移 256
l*}FXL 11.10 参考文献 258
ZI13 12 公差与误差 260
)u} Q:`9 12.1 蒙特卡罗模型 260
p]gT&[iJ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
>lzA]aM$c 12.2.1 误差工具 267
`E`HVZ} 12.2.2 灵敏度工具 271
93Yn`Av; 12.2.2.1 独立灵敏度 271
1=)r@X/6d 12.2.2.2 灵敏度分布 275
T3,1m=S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
\vbk#G
hH 12.3 参考文献 276
`=)2<Ca;~@ 13 Runsheet 与Simulator 277
E3l*8F%<3 13.1 原理介绍 277
E`;;&V q- 13.2 截止滤光片设计 277
3vic(^Qh 14 光学常数提取 289
~^US/" 14.1 介绍 289
v}(6 <wnnS 14.2 电介质薄膜 289
KtN&,C )lJ 14.3 n 和k 的提取工具 295
-1%OlKC 14.4 基底的参数提取 302
+pmu2}E.3 14.5 金属的参数提取 306
[0@`wZ 14.6 不正确的模型 306
S\x=&R z 14.7 参考文献 311
_M5%V>HO 15 反演工程 313
L36Yx7gT< 15.1 随机性和
系统性 313
.qD@
Y3- 15.2 常见的系统性问题 314
S-Fo 15.3 单层膜 314
}VCI=?- 15.4 多层膜 314
Ol@_(U 15.5 含义 319
#5ax^p2*~ 15.6 反演工程实例 319
$95~5]-nh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
g.DLfwI| 15.6.2 反演工程提取折射率 327
't (O$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Z|m`7xeCy 16.1 光学性质的热致偏移 329
>)nS2bOE 16.2 应力工具 335
'+y_\ 16.3 均匀性误差 339
fw-\|fP 16.3.1 圆锥工具 339
vT{ kL 16.3.2 波前问题 341
Qu\@Y[eia5 16.4 参考文献 343
yW7'? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
_ -..~K.| 17.1 引言 345
QfpuZEUK 17.2 操作数 345
@cvP0A 18 如何在Function中编写脚本 351
PX
O!t]* 18.1 简介 351
Ud%s^A-qS 18.2 什么是脚本? 351
JgfVRqm
18.3 Function中脚本和操作数对比 351
<^R{U&Z@ 18.4 基础 352
'S4)?Z 18.4.1 Classes(类别) 352
&%=D \YzG 18.4.2 对象 352
&l2TeC@; 18.4.3 信息(Messages) 352
i775:j~zx0 18.4.4 属性 352
Qs 2.ef? 18.4.5 方法 353
DocbxB={I 18.4.6 变量声明 353
~2*9{ 18.5 创建对象 354
j]4,<ppWSH 18.5.1 创建对象函数 355
|i%2%V#
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
E#%}ZY 18.5.3 丢弃对象 356
PR7f(NC 18.5.4 总结 356
,XKCz ]8V 18.6 脚本中的表格 357
G-um`/ <% 18.6.1 方法1 357
hUpnI@ 18.6.2 方法2 357
$K}DB N; 4 18.7 2D Plots in Scripts 358
(c\hy53dP 18.8 3D Plots in Scripts 359
iAn'aW\TF 18.9 注释 360
Q(7ob}+jQ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
1+kE!2b;b 18.11 一个更高级的脚本 362
;@mRo`D` 18.12 <esc>键 364
t;qP']2
18.13 包含文件 365
h) (*q+a 18.14 脚本被
优化调用 366
\}*k)$r 18.15 脚本中的对话框 368
P7 y q^| 18.15.1 介绍 368
$9!D\N,}]C 18.15.2 消息框-MsgBox 368
w`HI]{hE~N 18.15.3 输入框函数 370
ub:ly0;t 18.15.4 自定义对话框 371
/%rq
hHs 18.15.5 对话框编辑器 371
#&.]"
d 18.15.6 控制对话框 377
Ww3wsy x 18.15.7 更高级的对话框 380
%CnxjtTo 18.16 Types语句 384
TV59(bG.2 18.17 打开文件 385
>7Jr^o#|_x 18.18 Bags 387
q?j|K|%
18.13 进一步研究 388
"?}uQ5f 19 vStack 389
.)XP\m\ 19.1 vStack基本原理 389
#E7AmmqD% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
G 7LIdn= 19.3 五棱镜 393
C|-pD 19.4 光束距离 396
Gctsp2ndW 19.5 误差 399
TYns~X_PR 19.6 二向分色棱镜 399
8AFczeg[[ 19.7 偏振泄漏 404
-1|iz2^N 19.8 波前误差—相位 405
Of}|ib^t 19.9 其它计算参数 405
m}j:nk 20 报表生成器 406
R*pC.QiB~ 20.1 入门 406
`RRE(SiKU 20.2 指令(Instructions) 406
cW8\d 20.3 页面布局指令 406
62'1X" 20.4 常见的参数图和三维图 407
{r85l\u)Q\ 20.5 表格中的常见参数 408
bJ /5|E? 20.6 迭代指令 408
l{c]p- 20.7 报表模版 408
k0z&v < 20.8 开始设计一个报表模版 409
RD,5AShP 21 一个新的project 413
<PN"oa# 21.1 创建一个新Job 414
A=5epsB 21.2 默认设计 415
,zTb<g 21.3 薄膜设计 416
Zi\['2CG 21.4 误差的灵敏度计算 420
Q4* -wF-P 21.5 显色指数计算 422
L5YnG_M& 21.6 电场分布 424
/'.=sH 后记 426
2;3f=$3 有兴趣可以扫码加微咨询
Y]|:?G7l]