07ppq?,y 内容简介
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M-t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
[+}0K{(O= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
UKB/>:R G1ruF8 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
/~+Fzz 目录
|B^Picu Preface 1
tBsvi%F 内容简介 2
l%yQ{loTh 目录 i
6bf!v 1 引言 1
j4=\MK 2 光学薄膜基础 2
>29c[O"[ 2.1 一般规则 2
_Ii=3Qsf 2.2 正交入射规则 3
ZHoYnp-~z 2.3 斜入射规则 6
Uhyf 2.4 精确计算 7
0+e0<' 2.5 相干性 8
F6h IG G 2.6 参考文献 10
{!.w} 3 Essential Macleod的快速预览 10
KXWz(L!1 4 Essential Macleod的特点 32
TKEcbGhy 4.1 容量和局限性 33
n2[h`zm1{B 4.2 程序在哪里? 33
sULsU t# 4.3 数据文件 35
gh^w
!tH3 4.4 设计规则 35
<l+hcYam 4.5 材料数据库和
资料库 37
0B~x8f 4.5.1材料损失 38
AB<bW3qf( 4.5.1材料数据库和导入材料 39
jOK!k 4.5.2 材料库 41
;2sP3!* 4.5.3导出材料数据 43
y4&x`|tv 4.6 常用单位 43
9}q)AL-ga 4.7 插值和外推法 46
mFd|JbW 4.8 材料数据的平滑 50
vP%:\u:{ 4.9 更多光学常数模型 54
~!%G2E! 4.10 文档的一般编辑规则 55
rQTG-& , 4.11 撤销和重做 56
lf R}cx 4.12 设计文档 57
Pt6d5EIG 4.10.1 公式 58
eqWs(` 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
2xBh 4.10.3 沉积密度 59
/}CAd 4.10.4 平行和楔形介质 60
s)sT\crP@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
[V5,1dmkI 4.10.4 性能 61
D@@"w+ 4.10.5 保存设计和性能 64
Pb59RE:7V 4.10.6 默认设计 64
9wdX#=I 4.11 图表 64
X|R"8cJ 4.11.1 合并曲线图 67
dXU6TCjU7 4.11.2 自适应绘制 68
1gLET.I: 4.11.3 动态绘图 68
rD c$# 4.11.4 3D绘图 69
lg^Lk\Y+re 4.12 导入和导出 73
cf%2A1I2W 4.12.1 剪贴板 73
`bd9N!K 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
%PK(Z*> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
(^<skx> 4.13 背景 77
A\.{(,;kp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
d%p{l)Hd 4.15 生成Rugate 84
9h6siK(F 4.16 参考文献 91
/-=h|A#Kh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
w`zS`+4 5.1 Jobs 92
yv$hIU2X 5.2 创建一个新Job(工作) 93
91k-os(4] 5.3 输入材料 94
v,iq,p)& 5.4 设计数据文件夹 95
EKmn@S-&P 5.5 默认设计 95
#VZ
js`d6 6 细化和合成 97
&m TYMpA 6.1 优化介绍 97
.j"@7#tW 6.2 细化 (Refinement) 98
A 0;ng2& 6.3 合成 (Synthesis) 100
pE.TG4 6.4 目标和评价函数 101
e&Z ?I2J 6.4.1 目标输入 102
}0OQm?xh 6.4.2 目标 103
X%`:waR 6.4.3 特殊的评价函数 104
QS-X_ 6.5 层锁定和连接 104
@U =~c9 6.6 细化技术 104
$vnx)#r3 6.6.1 单纯形 105
Z)}2bJwA 6.6.1.1 单纯形
参数 106
%+C6#cj 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
^<j
=.E 6.6.2.1 Optimac参数 108
U.N&~S 6.6.3 模拟退火算法 109
V7
hO} 6.6.3.1
模拟退火参数 109
:y_]JL;w 6.6.4 共轭梯度 111
Lu4>C 2{ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
6ywOL'OBM 6.6.5 拟牛顿法 112
X*&Thmee 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
]qEg5:yY 6.6.6 针合成 113
Q>L. 6.6.6.1 针合成参数 114
bj?=\u 6.6.7 差分进化 114
J!@R0U. 6.6.8非局部细化 115
Rq|]KAN 6.6.8.1非局部细化参数 115
mRC 6.7 我应该使用哪种技术? 116
s/P+?8'9 6.7.1 细化 116
&=wvlI52` 6.7.2 合成 117
SPtx_+ Q)S 6.8 参考文献 117
I(Vg 7 导纳图及其他工具 118
0sF|Y%N 7.1 简介 118
p.x2R,CU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
'7.4!I0' 7.2.1 四分之一
波长规则 119
KfQR(e9n 7.2.2 导纳图 120
$A T kCO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
h)z2#qfc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
,!P}Y[| 7.5 斜入射导纳图 141
b]N&4t 7.6 对称周期 141
Qp>Z&LvC5 7.7 参考文献 142
ylQ9Su>o 8 典型的镀膜实例 143
FRayB VHL 8.1 单层抗反射薄膜 145
S{,|Fa^PPO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
9A9T'g)Du 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Nc?'}, 8.4 W-膜层 148
1*trtb4F 8.5 V-膜层 149
w`gT]Rn 8.6 V-膜层高折射基底 150
@\a~5CLN 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
nt%p@e!, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
*dsI>4%m 8.9 四层抗反射薄膜 153
"h8fTB\7S\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
&+yoPF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
|ZOdfr4uW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Au:R]7 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^S!;snhn 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
:Vw{ lB 8.15十五层宽带抗反射膜 159
;{v2s; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
8uA!Vrp3 8.17 1/4波长堆栈 162
T*'WS!z 8.18 陷波滤波器 163
g~76c.u- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
z8xBq%97us 8.20 褶皱 165
!w;/ J^ 8.21 消偏振分光器1 169
2)-4?uz~ 8.22 消偏振分光器2 171
Q&/WVRD 8.23 消偏振立体分光器 172
m!]J{OGG: 8.24 消偏振截止滤光片 173
d;{k,rP6 8.25 立体偏振分束器1 174
QuC_sFP10 8.26 立方偏振分束器2 177
V~do6[( 8.27 相位延迟器 178
Gz(l~!n~a 8.28 红外截止器 179
eDvh3Y<D 8.29 21层长波带通滤波器 180
g2A#BMe'.$ 8.30 49层长波带通滤波器 181
Rgl cd 8.31 55层短波带通滤波器 182
1X9J[5|ll 8.32 47 红外截止器 183
UKPr[ 8.33 宽带通滤波器 184
n+nZ;GJ5d 8.34 诱导透射滤波器 186
M0`1o p1 8.35 诱导透射滤波器2 188
$xjfW/k?M 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
'6L@l 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
=r3g:j/>q 8.35 增益平坦滤波器 193
F_4Et
8.38 啁啾反射镜 1 196
RF~G{wz 8.39 啁啾反射镜2 198
3{wuifS 8.40 啁啾反射镜3 199
9mjJC 8.41 带保护层的铝膜层 200
<5}j(jxz} 8.42 增加铝反射率膜 201
po.QM/b
\ 8.43 参考文献 202
4t>"-/ 9 多层膜 204
*p9k> )'J 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
!T
9CpIM% 9.2 内部透过率 204
O2"V'( 9.3 内部透射率数据 205
G2-0r.f 9.4 实例 206
9~jS_Y)" 9.5 实例2 210
/ vu]ch 9.6 圆锥和带宽计算 212
n~tb z"& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
ukRmjHbLf 10 光学薄膜的颜色 216
tD4-Llj6 10.1 导言 216
>Psq" Xj 10.2 色彩 216
($W%&(:/ 10.3 主波长和纯度 220
[jrfh>v 10.4 色相和纯度 221
MH0wpHz 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
v5U'ky: 10.6 色差 226
i'\-Y]?[ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
.tQ(q=# 10.8 颜色渲染指数 234
'yV*eG?^& 10.9 色差计算 235
/XU=l0u 10.10 参考文献 236
Kf_xKW)^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
0)ZLdF_6 11.1 短脉冲 238
16 \)C/* 11.2 群速度 239
2 )3oX 11.3 群速度色散 241
kE|x'(x 11.4 啁啾(chirped) 245
p1(" 11.5 光学薄膜—相变 245
yO,Jgn 11.6 群延迟和延迟色散 246
0Ng?U+6 11.7 色度色散 246
|f!J-H) 11.8 色散补偿 249
oK$Krrs0& 11.9 空间
光线偏移 256
-Q&@P3x 11.10 参考文献 258
@u:` 12 公差与误差 260
zQ<;3+* 12.1 蒙特卡罗模型 260
k8%@PC$ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Sw5:T 12.2.1 误差工具 267
F^S]7{ 12.2.2 灵敏度工具 271
.k
+>T*c{ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
pS}IU{#; 12.2.2.2 灵敏度分布 275
1LAd5X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
oN%zpz;OR 12.3 参考文献 276
axq~56"7E 13 Runsheet 与Simulator 277
.GL@`7" 13.1 原理介绍 277
&\b( 13.2 截止滤光片设计 277
O'{kNr{u 14 光学常数提取 289
#f/4%|t: 14.1 介绍 289
9)o@d`*
14.2 电介质薄膜 289
yPs6_Qo!p 14.3 n 和k 的提取工具 295
y`
'#gH 14.4 基底的参数提取 302
\7pEn 14.5 金属的参数提取 306
$R+gA{49% 14.6 不正确的模型 306
3IB9-wG 14.7 参考文献 311
WWH<s%C 15 反演工程 313
y,6kL2DM 15.1 随机性和
系统性 313
w5
] lU 15.2 常见的系统性问题 314
pU'>!<zGr 15.3 单层膜 314
_Hfpizm 15.4 多层膜 314
Z @ef2y; 15.5 含义 319
(n7{?`Yid 15.6 反演工程实例 319
|]k,0Y3v 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
xXa4t4gR 15.6.2 反演工程提取折射率 327
,^Q~w
b!{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
56.JBBZZ 16.1 光学性质的热致偏移 329
*+2_!=4V 16.2 应力工具 335
;Bj&9DZd 16.3 均匀性误差 339
X(rXRP# 16.3.1 圆锥工具 339
9=}[~V n 16.3.2 波前问题 341
z8]@Gh+
( 16.4 参考文献 343
,S(s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
gA}<Y 17.1 引言 345
-.ZP<,?@F 17.2 操作数 345
s S#/JLDx] 18 如何在Function中编写脚本 351
ZkQ6~cM 18.1 简介 351
MI^$df 18.2 什么是脚本? 351
b-#lKWso 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
4cM0f,nc+ 18.4 基础 352
HW,v" 18.4.1 Classes(类别) 352
BHYguS^qz 18.4.2 对象 352
-!O8V 18.4.3 信息(Messages) 352
F]r'j
ZL 18.4.4 属性 352
$p&eS_f 18.4.5 方法 353
D!/ 4u0m 18.4.6 变量声明 353
%#eQN
~ 18.5 创建对象 354
=Y6W
Qf 18.5.1 创建对象函数 355
T!>h Pg 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
W[
W)q%[) 18.5.3 丢弃对象 356
" zD9R4\X. 18.5.4 总结 356
O!XSU, 18.6 脚本中的表格 357
sPeTW*HeR 18.6.1 方法1 357
Dm8fcD 18.6.2 方法2 357
Az8ZA ~Op= 18.7 2D Plots in Scripts 358
DI2e%`$ 18.8 3D Plots in Scripts 359
I"x|U[*B 18.9 注释 360
&GJVFr~z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
JMo r[* 18.11 一个更高级的脚本 362
c$L1aZo 18.12 <esc>键 364
GEh( pJ 18.13 包含文件 365
Zf<T`'_d 18.14 脚本被
优化调用 366
$x]/|u/9 18.15 脚本中的对话框 368
"J2q|@. 18.15.1 介绍 368
]?wz. 18.15.2 消息框-MsgBox 368
CI$z+zN 18.15.3 输入框函数 370
yt="kZ 18.15.4 自定义对话框 371
knph549 18.15.5 对话框编辑器 371
~u2f`67{ 18.15.6 控制对话框 377
alHA&YC{K 18.15.7 更高级的对话框 380
-T{2R:\{ 18.16 Types语句 384
j>:N0:
18.17 打开文件 385
5;p|iT 18.18 Bags 387
|3!) 18.13 进一步研究 388
Pmd[2/][ 19 vStack 389
Yk|.UuXT 19.1 vStack基本原理 389
1Q? RD%lkf 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
" M?dU^U^ 19.3 五棱镜 393
aGi`(|shW 19.4 光束距离 396
JJ}DYv 19.5 误差 399
H)gc"aRe;Y 19.6 二向分色棱镜 399
ZAN~TG<n 19.7 偏振泄漏 404
% X %zK1 19.8 波前误差—相位 405
Hv^Bw{"/R 19.9 其它计算参数 405
2gZp
O9 20 报表生成器 406
;R#RdUFH 20.1 入门 406
V,d\Wk k/ 20.2 指令(Instructions) 406
{j]cL!Od 20.3 页面布局指令 406
JW^ ${4 20.4 常见的参数图和三维图 407
JJ_Z{ 20.5 表格中的常见参数 408
w?|qKO 20.6 迭代指令 408
6Z J-oT!. 20.7 报表模版 408
M."/"hV`- 20.8 开始设计一个报表模版 409
d4\JM 65 21 一个新的project 413
un-%p# 21.1 创建一个新Job 414
.<z7$lz\ 21.2 默认设计 415
"B
(?|r% 21.3 薄膜设计 416
j<0;JAL 21.4 误差的灵敏度计算 420
Q8m%mJz~] 21.5 显色指数计算 422
@_-,Q5 21.6 电场分布 424
rM
A%By^L- 后记 426
*!&?Xy%\"j 有兴趣可以扫码加微咨询
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