_7;:*'>a4 内容简介
/IRXk[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
q{Z#}|km# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
7LVG0A2>7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
BXYH&2]Q 6^'BTd 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
I@9'd$YY 目录
6u+aP Preface 1
ySmbX 内容简介 2
v}Ju2 }IK 目录 i
u>"0>U
1 引言 1
"hf
|7E_ 2 光学薄膜基础 2
w(6n 2.1 一般规则 2
*|dr-e_j 2.2 正交入射规则 3
%?PFe} 2.3 斜入射规则 6
&R%'s1]o 2.4 精确计算 7
I!S Eb 2.5 相干性 8
?PT>V,& 2.6 参考文献 10
\\FT.e6 3 Essential Macleod的快速预览 10
G7nhUg 4 Essential Macleod的特点 32
<ErX<(0`ig 4.1 容量和局限性 33
I}
jgz 4.2 程序在哪里? 33
MY@&^71i4 4.3 数据文件 35
zd=O;T;. 4.4 设计规则 35
_rwJ:r 4.5 材料数据库和
资料库 37
Y/FPkH4 4.5.1材料损失 38
L\PmT 4.5.1材料数据库和导入材料 39
c[,h|~K/_? 4.5.2 材料库 41
2aM7zP[Z 4.5.3导出材料数据 43
u##th8h4U 4.6 常用单位 43
m|aK_ 4.7 插值和外推法 46
D=#RQ- 4.8 材料数据的平滑 50
cQK-Euum 4.9 更多光学常数模型 54
:D) (3U5 4.10 文档的一般编辑规则 55
A#=TR_@: 4.11 撤销和重做 56
3x0t[{l 4.12 设计文档 57
sF{aG6u 4.10.1 公式 58
EsMX#1>/m 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
wfmM`4Y 4.10.3 沉积密度 59
=n5'~1?X? 4.10.4 平行和楔形介质 60
kUf i 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
\#_ymM0 4.10.4 性能 61
?Afe} 4.10.5 保存设计和性能 64
gA!@oiq@ 4.10.6 默认设计 64
"Wwu Ty| 4.11 图表 64
4#B'pJMw9 4.11.1 合并曲线图 67
S<"Fp1#"l 4.11.2 自适应绘制 68
$8=|<vt 4.11.3 动态绘图 68
@KQ.t F* 4.11.4 3D绘图 69
CF '&Yo 4.12 导入和导出 73
KC6Cg?y^ 4.12.1 剪贴板 73
gc.Lh~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
r=H?fTY<3E 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
1[!v{F%] 4.13 背景 77
q!ZM Wg 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
o.{W_k/n 4.15 生成Rugate 84
vk92j? 4.16 参考文献 91
Ek_5% n 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
l-+=Yk!X 5.1 Jobs 92
h1w({<q*ov 5.2 创建一个新Job(工作) 93
GJeG7xtJKl 5.3 输入材料 94
q>$MqKWM 5.4 设计数据文件夹 95
%F;BL8d 5.5 默认设计 95
Dr3_MWJ+ 6 细化和合成 97
ZZY# . 6.1 优化介绍 97
vYed_'_ 6.2 细化 (Refinement) 98
bhqSqU}6~ 6.3 合成 (Synthesis) 100
Lx0nLJ\ 6.4 目标和评价函数 101
{zwH3)|Hn 6.4.1 目标输入 102
"v8p<JfB` 6.4.2 目标 103
s#9q3JV0 6.4.3 特殊的评价函数 104
\MP~}t}c 6.5 层锁定和连接 104
wjA
wJOw| 6.6 细化技术 104
Eomfa:WL 6.6.1 单纯形 105
}
oPO` 6.6.1.1 单纯形
参数 106
+%JBr+1#\ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
s1:Wrz?4 6.6.2.1 Optimac参数 108
pU$k{^'UK 6.6.3 模拟退火算法 109
&93{>caf+ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
z'YWomfZm 6.6.4 共轭梯度 111
YM}a>o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
uJw?5kEbv< 6.6.5 拟牛顿法 112
jn<?,UABD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
\P<aK$g 6.6.6 针合成 113
XO+BZB`F 6.6.6.1 针合成参数 114
im<bo Mv 6.6.7 差分进化 114
R}nvSerVb 6.6.8非局部细化 115
r9[S%Def 6.6.8.1非局部细化参数 115
$.PRav 6.7 我应该使用哪种技术? 116
e\%,\uV} 6.7.1 细化 116
K:,V>DL 6.7.2 合成 117
(` *BZ_ 6.8 参考文献 117
\|HEe{nA 7 导纳图及其他工具 118
#Rw!a#CX. 7.1 简介 118
wQhNQ(H~\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
AV5={KK 7.2.1 四分之一
波长规则 119
;b<w'A_1 7.2.2 导纳图 120
\ruQx)5M 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Xw?DN*`L 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
]o6ZZK 7.5 斜入射导纳图 141
W$4$%r8 7.6 对称周期 141
J p'^! 7.7 参考文献 142
yf&g\ke 8 典型的镀膜实例 143
)DgXsT 8.1 单层抗反射薄膜 145
Ku(YTXtK 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
`YNzcn0x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
2"IV 8.4 W-膜层 148
19E(Hsz 8.5 V-膜层 149
(GJtTp~2C4 8.6 V-膜层高折射基底 150
HpnF,4A> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
l_g$6\&| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
IW~R{ ]6 8.9 四层抗反射薄膜 153
s<I)THC 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
$vs],C"pX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
GA^hev 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
msl.{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
[l}H:%O, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
aU!}j'5Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159
s scbf 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
~KK}
$iM 8.17 1/4波长堆栈 162
=7 l
uV_5 8.18 陷波滤波器 163
3#7V1 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
htBA.eQ 8.20 褶皱 165
Y~"tL(WfJl 8.21 消偏振分光器1 169
69c4bT:b" 8.22 消偏振分光器2 171
Z/Rp?Jz\j/ 8.23 消偏振立体分光器 172
IiPX`V>RC 8.24 消偏振截止滤光片 173
-CvmZ:n 8.25 立体偏振分束器1 174
.n8R%|C5 8.26 立方偏振分束器2 177
,^/Wv!uPE 8.27 相位延迟器 178
CIW4E 8.28 红外截止器 179
x3+
-wv 8.29 21层长波带通滤波器 180
wHLQfrl0 8.30 49层长波带通滤波器 181
@%4'2b 8.31 55层短波带通滤波器 182
v;,W ^#` 8.32 47 红外截止器 183
Z
RVt2 8.33 宽带通滤波器 184
x-%O1frc 8.34 诱导透射滤波器 186
0L}`fYf 8.35 诱导透射滤波器2 188
{ DYY9MG8 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
UmR)L!QT8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
<Lb LMV 8.35 增益平坦滤波器 193
%1?t)Bg 8.38 啁啾反射镜 1 196
%' DOFiU 8.39 啁啾反射镜2 198
,=)DykP 8.40 啁啾反射镜3 199
9Yt|Wj 8.41 带保护层的铝膜层 200
kV'zAF
v 8.42 增加铝反射率膜 201
[ V.67_~ 8.43 参考文献 202
!>48`o^ 9 多层膜 204
a\P :jgF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
" MnWd BS 9.2 内部透过率 204
Rw+r1vW:A 9.3 内部透射率数据 205
KL$.E!d 9.4 实例 206
;\pr05 9.5 实例2 210
ex>7f%\ 9.6 圆锥和带宽计算 212
'\bokwsP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
e{x>u( 10 光学薄膜的颜色 216
mP)bOAU 10.1 导言 216
L^qCE-[ 10.2 色彩 216
13?:a[~=Y 10.3 主波长和纯度 220
A$2
;Bf 10.4 色相和纯度 221
[4"(\r\f 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
u62H+'k}F 10.6 色差 226
r_+Vb*|Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
d+DO}=] 10.8 颜色渲染指数 234
gC$_yd6m
L 10.9 色差计算 235
]L3U2H`7 10.10 参考文献 236
"Q@m7j)( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
\&F4Wl>` 11.1 短脉冲 238
Kbu>U{' 11.2 群速度 239
kFjv'[Y1N 11.3 群速度色散 241
CR [>5/:M 11.4 啁啾(chirped) 245
%{
BV+& 11.5 光学薄膜—相变 245
LATizu
11.6 群延迟和延迟色散 246
h,\{s_b 11.7 色度色散 246
6FDj :~ 11.8 色散补偿 249
It3k#A0 11.9 空间
光线偏移 256
l%+ &V^: 11.10 参考文献 258
z</C)ObL 12 公差与误差 260
L&6^(Bn 12.1 蒙特卡罗模型 260
3eY>LWx 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
-;cF)C--12 12.2.1 误差工具 267
2/3yW.C 12.2.2 灵敏度工具 271
zY/Oh9`=v 12.2.2.1 独立灵敏度 271
#M!u';bZ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
jU-LT8y: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
fr~Eb'8
12.3 参考文献 276
0(i3RPIj\ 13 Runsheet 与Simulator 277
>vD}gGBe 13.1 原理介绍 277
`R0~mx&6G 13.2 截止滤光片设计 277
b_sasZo 14 光学常数提取 289
j&