l81&[ 内容简介
_#/!s]$d#
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
B
rez&3[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
[$hptQv 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
z*Myokhf H arFo 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
n@G:e-m{A 目录
Ymwx(Pm Preface 1
TSc~$Q] 内容简介 2
3%It~o? 目录 i
=XZF.ur 1 引言 1
7yMieUF 2 光学薄膜基础 2
DBu)xr}7A 2.1 一般规则 2
-_y~rx
> 2.2 正交入射规则 3
XD_P\z 2.3 斜入射规则 6
s[0prm5. 2.4 精确计算 7
nU=f<]S= 2.5 相干性 8
n;-x!Gs 2.6 参考文献 10
r~S!<9f 3 Essential Macleod的快速预览 10
W
/~||s 4 Essential Macleod的特点 32
OvyB<r 4.1 容量和局限性 33
c7FfI"7HR 4.2 程序在哪里? 33
R-g>W 4.3 数据文件 35
LV}UBao5n 4.4 设计规则 35
gp#bQ 4.5 材料数据库和
资料库 37
<Z\MZ&{k{* 4.5.1材料损失 38
'0'"k2"vC 4.5.1材料数据库和导入材料 39
}Q{
=:X9 4.5.2 材料库 41
pl
jV|.? 4.5.3导出材料数据 43
z4%Z6Y 4.6 常用单位 43
"ay,Lr 4.7 插值和外推法 46
#U",,*2 4.8 材料数据的平滑 50
j6&zRFX 4.9 更多光学常数模型 54
)z?&"I 4.10 文档的一般编辑规则 55
*@-q@5r}! 4.11 撤销和重做 56
eZ8Y"i\!y 4.12 设计文档 57
_|^&eT-u 4.10.1 公式 58
Ev$-PX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
p%1xj2 ?nN 4.10.3 沉积密度 59
sx;V,"Y 4.10.4 平行和楔形介质 60
'T&=$9g7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
~aauW? 4.10.4 性能 61
q5?rp|7D 4.10.5 保存设计和性能 64
e 5WdK 4.10.6 默认设计 64
bMK#^ZoH 4.11 图表 64
Lyf? V(S 4.11.1 合并曲线图 67
$>S}acuC 4.11.2 自适应绘制 68
V'HlAQr 4.11.3 动态绘图 68
)$gsU@H - 4.11.4 3D绘图 69
`>`K7-H 4.12 导入和导出 73
;qT!fuN; 4.12.1 剪贴板 73
jza}-=&+e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
rvwl 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
1OiZNuI:E 4.13 背景 77
e-Ybac% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
Qq;m"M / 4.15 生成Rugate 84
H3/Y 4.16 参考文献 91
K-"HcHuF 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
^ RcIE ( 5.1 Jobs 92
s0`|G|.} 5.2 创建一个新Job(工作) 93
QC\, 5.3 输入材料 94
"a0u-}/D 5.4 设计数据文件夹 95
f}9PEpa,Z 5.5 默认设计 95
iS:PRa1 6 细化和合成 97
Zgy2Pot 6.1 优化介绍 97
+}`O^#<qLX 6.2 细化 (Refinement) 98
}0Kqy; 6.3 合成 (Synthesis) 100
,#'o)O# 6.4 目标和评价函数 101
T
,O<LFv 6.4.1 目标输入 102
"dLMBY~ 6.4.2 目标 103
Pw^c2TQ 6.4.3 特殊的评价函数 104
[c
KI0 6.5 层锁定和连接 104
u]]5p[|S 6.6 细化技术 104
-NflaV~ 6.6.1 单纯形 105
l_YdIUl 6.6.1.1 单纯形
参数 106
cvs"WX3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
v'bd.eqw 6.6.2.1 Optimac参数 108
"zeJ4f 6.6.3 模拟退火算法 109
}VGI Y>v 6.6.3.1
模拟退火参数 109
&,Zz 6.6.4 共轭梯度 111
11@2 ;vw 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
+Qi52OG 6.6.5 拟牛顿法 112
1EAVMJ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Zjp5\+hHV 6.6.6 针合成 113
ku[=QsMv 6.6.6.1 针合成参数 114
|S>J<]H
p 6.6.7 差分进化 114
lU50.7<08 6.6.8非局部细化 115
gGiV1jN_ 6.6.8.1非局部细化参数 115
v_@#hf3 6.7 我应该使用哪种技术? 116
YP\4XI 6.7.1 细化 116
z)<pqN 6.7.2 合成 117
Q,,fDBN 6.8 参考文献 117
RZ/+K= 7 导纳图及其他工具 118
wsb=[$C 7.1 简介 118
Lm*LJ_+ B 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
"- j@GCme 7.2.1 四分之一
波长规则 119
m[xf./@f{ 7.2.2 导纳图 120
U+RCQTo 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
uZ2v;]\Y6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
&;@b&p+ 7.5 斜入射导纳图 141
R0YC:rAt 7.6 对称周期 141
Z_OqXo= 7.7 参考文献 142
V Q,\O 8 典型的镀膜实例 143
dV2b)p4J 8.1 单层抗反射薄膜 145
dS;|Kl[Om 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
RP@idz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
TNyY60E 8.4 W-膜层 148
Y^*$PED? 8.5 V-膜层 149
ukDH@/ 8.6 V-膜层高折射基底 150
P#2TM 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
)oxP.K8q)U 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
_7j/[ 8.9 四层抗反射薄膜 153
zk 'e6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
kDpZnXP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
ry'^1~, 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
%`T^qh_dE 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
J*lYH]s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
c"sw@<HG 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Ff#N|L'9_ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Wn,g!rB^@ 8.17 1/4波长堆栈 162
f$@". 8.18 陷波滤波器 163
85@6uBh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
U5ud?z()OA 8.20 褶皱 165
qf&a<[p~ 8.21 消偏振分光器1 169
_8b>r1$ 8.22 消偏振分光器2 171
%{VI-CQ 8.23 消偏振立体分光器 172
eUw;!Du
8.24 消偏振截止滤光片 173
K[|P6J 8.25 立体偏振分束器1 174
qP^0($ 8.26 立方偏振分束器2 177
)RCqsFjK 8.27 相位延迟器 178
h9n<ped`A; 8.28 红外截止器 179
lSbM)gL 8.29 21层长波带通滤波器 180
XOU-8;d 8.30 49层长波带通滤波器 181
NMY!-Kv 5 8.31 55层短波带通滤波器 182
sK9h=J;F/ 8.32 47 红外截止器 183
"$"mWF- 8.33 宽带通滤波器 184
O7CYpn4<7 8.34 诱导透射滤波器 186
BLH3$*,H 8.35 诱导透射滤波器2 188
W%XS0k}x 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
cp?P@- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
S| -{wC% 8.35 增益平坦滤波器 193
e4W];7_K! 8.38 啁啾反射镜 1 196
ZE(RvPW 8.39 啁啾反射镜2 198
TtjSLkF 8.40 啁啾反射镜3 199
y`@4n.Q 8.41 带保护层的铝膜层 200
; o@`l$O 8.42 增加铝反射率膜 201
/sC[5G% 8.43 参考文献 202
1H[;7@o$e 9 多层膜 204
|v'5*n9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
\w_[tPz} 9.2 内部透过率 204
eD1MP<>h 9.3 内部透射率数据 205
rMFZ#38d 9.4 实例 206
dvWlx]' 9.5 实例2 210
|Gs-9+'y 9.6 圆锥和带宽计算 212
*U^I`j[u 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
[[DFEvOEh 10 光学薄膜的颜色 216
yrYaKh 10.1 导言 216
L8K 3&[l% 10.2 色彩 216
!skWe~/ 10.3 主波长和纯度 220
Sm_:SF!<D6 10.4 色相和纯度 221
i@j ?< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
E|uXi)!.x 10.6 色差 226
b`Ek;nYek 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
>)Z2bCe 10.8 颜色渲染指数 234
O
xaua 10.9 色差计算 235
N)y;owgo 10.10 参考文献 236
~HI0<;r=eL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
vlyNQ7"% 11.1 短脉冲 238
cCKda3v!O 11.2 群速度 239
<4HuV.K 11.3 群速度色散 241
G8-d%O p 11.4 啁啾(chirped) 245
daJ-H 11.5 光学薄膜—相变 245
m/B9)JzY 11.6 群延迟和延迟色散 246
';!UJWYl 11.7 色度色散 246
J
2~B<=V 11.8 色散补偿 249
I}0- 11.9 空间
光线偏移 256
%a^!~qV 11.10 参考文献 258
Z$K%@q,10+ 12 公差与误差 260
;ypO' 12.1 蒙特卡罗模型 260
W&[9x%Ba 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
.z7f_KX^ 12.2.1 误差工具 267
}4`YdN 12.2.2 灵敏度工具 271
g8@HAV^H 12.2.2.1 独立灵敏度 271
by ee-BU 12.2.2.2 灵敏度分布 275
kZEy 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
`fVA.% 12.3 参考文献 276
+mPB?5 13 Runsheet 与Simulator 277
1L9
<1 13.1 原理介绍 277
8k% :w0H 13.2 截止滤光片设计 277
V0B4<TTAo~ 14 光学常数提取 289
L| qY 14.1 介绍 289
*hgsS~ 14.2 电介质薄膜 289
j*\MUR= 14.3 n 和k 的提取工具 295
\aRB 14.4 基底的参数提取 302
Y(mwJud| 14.5 金属的参数提取 306
Y{{,62D 14.6 不正确的模型 306
I`lH6hHp 14.7 参考文献 311
U.)eJ1a 15 反演工程 313
YWd(xm"4 15.1 随机性和
系统性 313
!}m8]& 15.2 常见的系统性问题 314
Nq1RAM 15.3 单层膜 314
w8zQDPVB% 15.4 多层膜 314
EE{%hGb 15.5 含义 319
9{&x-ugM 15.6 反演工程实例 319
cv&hT.1 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
a[#BlH 15.6.2 反演工程提取折射率 327
N#qoKY(# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
aMD?^ 16.1 光学性质的热致偏移 329
RT9|E80 16.2 应力工具 335
\EqO;A%< 16.3 均匀性误差 339
sbb{VV`I 16.3.1 圆锥工具 339
?q7Gs)B=^' 16.3.2 波前问题 341
u(qpdG||7 16.4 参考文献 343
}0*7bb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
EH%j$=@X 17.1 引言 345
RR9s%>^ 17.2 操作数 345
#`EMK 18 如何在Function中编写脚本 351
<CdO& xUY 18.1 简介 351
3KZ h?~B 18.2 什么是脚本? 351
v7RDoO]I 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
A-5%_M3\G 18.4 基础 352
HxAa,+k 18.4.1 Classes(类别) 352
ijT^gsLL 18.4.2 对象 352
}\*|b@)] 18.4.3 信息(Messages) 352
8A=(,)`}9 18.4.4 属性 352
f5eX%FR 18.4.5 方法 353
oWT0WS 18.4.6 变量声明 353
Z%{2/mQ 18.5 创建对象 354
=!2 18.5.1 创建对象函数 355
B.b)YE ' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
^B>6! 18.5.3 丢弃对象 356
gnec#j 18.5.4 总结 356
;* Jd#O 18.6 脚本中的表格 357
o
qTh ) 18.6.1 方法1 357
o!N@W 18.6.2 方法2 357
MsiSC 18.7 2D Plots in Scripts 358
Z7/lFS'~N 18.8 3D Plots in Scripts 359
CK%W+"; 18.9 注释 360
q1j[eru 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Sx7xb]3XI" 18.11 一个更高级的脚本 362
#Ki@=* 18.12 <esc>键 364
Si(?+bda0c 18.13 包含文件 365
B;$5*3D+ 18.14 脚本被
优化调用 366
7KLq-u-8 18.15 脚本中的对话框 368
xFh}%mwpt[ 18.15.1 介绍 368
IbC)F> Dq 18.15.2 消息框-MsgBox 368
]y/:#^M+ 18.15.3 输入框函数 370
/fEXAk 18.15.4 自定义对话框 371
xae7#d0 18.15.5 对话框编辑器 371
-u(#V#}OV? 18.15.6 控制对话框 377
[DviN 18.15.7 更高级的对话框 380
}#@LZ)]hK 18.16 Types语句 384
hvwr!(|W 18.17 打开文件 385
iQQJ` 18.18 Bags 387
scmbDaOn 18.13 进一步研究 388
j
jQ= 19 vStack 389
(G
Y`O 19.1 vStack基本原理 389
0&|-wduR= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
)ALcmC?!# 19.3 五棱镜 393
92R{V%)G 19.4 光束距离 396
lwlR"Z 19.5 误差 399
F$v
G=3 19.6 二向分色棱镜 399
7Udr~0_) 19.7 偏振泄漏 404
>ZT3gp?E 19.8 波前误差—相位 405
TOs|f8ay 19.9 其它计算参数 405
~EymD * 20 报表生成器 406
GOjri 20.1 入门 406
pbNVj~#6 20.2 指令(Instructions) 406
4?cg6WJ'6 20.3 页面布局指令 406
L!5HE])<) 20.4 常见的参数图和三维图 407
2epL!j)Wh 20.5 表格中的常见参数 408
fQ@["b 20.6 迭代指令 408
k 'o?/ 20.7 报表模版 408
Gvw el!6 20.8 开始设计一个报表模版 409
bk|>a=o3 21 一个新的project 413
]`x~v4JU 21.1 创建一个新Job 414
]dH;+3} 21.2 默认设计 415
?:,j9:m? 21.3 薄膜设计 416
zcc]5> 21.4 误差的灵敏度计算 420
fjf\/% 21.5 显色指数计算 422
xE:p)B-] 21.6 电场分布 424
{chl+au*l 后记 426
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