fTqC:r|st 内容简介
e'2Y1h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
I;7nb4]AmF 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
^N{ltgQY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
at6149B\) 99=s4*xzM 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
""{|3XJe 目录
-Xz&}QA Preface 1
]JE TeZ^/ 内容简介 2
at|g%$% 目录 i
S[,8TErz 1 引言 1
{f/ ]5x(_ 2 光学薄膜基础 2
LZ U$ 2.1 一般规则 2
K>2 #UzW 2.2 正交入射规则 3
Kmz7c| 2.3 斜入射规则 6
FJNF%a)x2I 2.4 精确计算 7
PXzT6) 2.5 相干性 8
T[?6[,. 2.6 参考文献 10
_q?<at}y 3 Essential Macleod的快速预览 10
pFsc}R/0/8 4 Essential Macleod的特点 32
M+`Hg_#Q 4.1 容量和局限性 33
tNIlzR- 4.2 程序在哪里? 33
i)ASsYG! 4.3 数据文件 35
[zkikZy 4.4 设计规则 35
1tMQqI`N 4.5 材料数据库和
资料库 37
U__(;
/1; 4.5.1材料损失 38
G{9X)|d
4.5.1材料数据库和导入材料 39
xSK~s 4.5.2 材料库 41
28andfl 4.5.3导出材料数据 43
*[+)7 4.6 常用单位 43
{@Y 4.7 插值和外推法 46
Ae uX Qt 4.8 材料数据的平滑 50
awewYf$li 4.9 更多光学常数模型 54
($nrqAv4 4.10 文档的一般编辑规则 55
?7MqeR4/E 4.11 撤销和重做 56
|=a}iU8 4.12 设计文档 57
jJZgK$5+ 4.10.1 公式 58
]i*](UQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
ww k
P F 4.10.3 沉积密度 59
os lJC$cy' 4.10.4 平行和楔形介质 60
Cx_Q :6T 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
a4i:| 4.10.4 性能 61
m~hoE8C$ 4.10.5 保存设计和性能 64
JUAS$Y 4.10.6 默认设计 64
CjIu[S1% 4.11 图表 64
Q,h7Sk* 4.11.1 合并曲线图 67
D4JLtB'= 4.11.2 自适应绘制 68
f.B>&%JRZ 4.11.3 动态绘图 68
ra N)8w}- 4.11.4 3D绘图 69
A'&n5)tb 4.12 导入和导出 73
9Z5D\yv?H 4.12.1 剪贴板 73
mqff]m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
eP.Vd7ky 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
{nT^tAha 4.13 背景 77
\dQx+f&t 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
&k7;DO 4.15 生成Rugate 84
CSPKP#,B0[ 4.16 参考文献 91
<"D=6jqZ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
jjM\. KL] 5.1 Jobs 92
bI.t<; 5.2 创建一个新Job(工作) 93
>>i@r@ 5.3 输入材料 94
bI)u/ 5.4 设计数据文件夹 95
8X|r4otn4 5.5 默认设计 95
3@Z#.FV~C[ 6 细化和合成 97
PQKaqv}N 6.1 优化介绍 97
0[?ny`Y 6.2 细化 (Refinement) 98
E37<"(; 6.3 合成 (Synthesis) 100
S [h];eM 6.4 目标和评价函数 101
0$+fkDf 6.4.1 目标输入 102
h:zK(; 6.4.2 目标 103
54-#QIx| 6.4.3 特殊的评价函数 104
oh"O07 6.5 层锁定和连接 104
<s5qy- 6.6 细化技术 104
~_IHaw$hg 6.6.1 单纯形 105
v:Tzv^ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
ZQ^r`W9_+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
jcNT<}k
C 6.6.2.1 Optimac参数 108
iy.2A!f^. 6.6.3 模拟退火算法 109
:c9U>1`g& 6.6.3.1
模拟退火参数 109
.h&k jD 6.6.4 共轭梯度 111
V7G7&' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
lv vs%@b> 6.6.5 拟牛顿法 112
A1P
K 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
i
wxVl)QL 6.6.6 针合成 113
&[NG]V!Oc 6.6.6.1 针合成参数 114
r78TE@d 6.6.7 差分进化 114
]?x:
Qm'yo 6.6.8非局部细化 115
cLPkK3O\= 6.6.8.1非局部细化参数 115
t5)+&I2 6.7 我应该使用哪种技术? 116
oI)GKA_Ng7 6.7.1 细化 116
Yt|6
X:l 6.7.2 合成 117
,QzL)W7 6.8 参考文献 117
+dA ,P\ 7 导纳图及其他工具 118
SS`qJZ|w
7.1 简介 118
[aI]y=v 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
E9?phD 7.2.1 四分之一
波长规则 119
?(*t@
{k 7.2.2 导纳图 120
h~{aGo 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
7eWk7&Xul 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
DvvT?K 7.5 斜入射导纳图 141
) ri}nL. 7.6 对称周期 141
VJ ^dY; 7.7 参考文献 142
*(PL
_/: 8 典型的镀膜实例 143
.h0b~nI>> 8.1 单层抗反射薄膜 145
.9md~j:o^s 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
3}|'0(hYL 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Y"-^%@|p 8.4 W-膜层 148
L?5Ck<!xG 8.5 V-膜层 149
btdb%Q* 8.6 V-膜层高折射基底 150
>^XBa*4;Y 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
;<G=M2 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
F(na{<g}; 8.9 四层抗反射薄膜 153
L\y;LSTU 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Qne/g}PD` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
5M9 I, 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
0b4R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
It2" x; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
u,}{I}x_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
vjjSKP6B 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
u%~igt@x 8.17 1/4波长堆栈 162
&\apwD 8.18 陷波滤波器 163
>A@Y$. 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
D#&q&6P{ 8.20 褶皱 165
R+&jD;U{ 8.21 消偏振分光器1 169
5/po2V9) 8.22 消偏振分光器2 171
l}$ U])an# 8.23 消偏振立体分光器 172
t3dlS`O 8.24 消偏振截止滤光片 173
5jUYN-$GO 8.25 立体偏振分束器1 174
>yY'7Ey 8.26 立方偏振分束器2 177
:n /@z4# 8.27 相位延迟器 178
ChCrL[2 8.28 红外截止器 179
S[7WW$lF 8.29 21层长波带通滤波器 180
TEDAb> 8.30 49层长波带通滤波器 181
Duc#$YfGm 8.31 55层短波带通滤波器 182
*
S=\l@EW 8.32 47 红外截止器 183
D@!=d@V. 8.33 宽带通滤波器 184
i;!H!-sM 8.34 诱导透射滤波器 186
J!:SPQ 8.35 诱导透射滤波器2 188
r#xg#u oj 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
5Hcf;P7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
,=l7:n 8.35 增益平坦滤波器 193
Z!U)I-x& 8.38 啁啾反射镜 1 196
>3c@x 8.39 啁啾反射镜2 198
ezPz<iZ\N 8.40 啁啾反射镜3 199
~#kT_*sw) 8.41 带保护层的铝膜层 200
UKM2AZ0lb 8.42 增加铝反射率膜 201
uL[.ND2._& 8.43 参考文献 202
44-R! 9 多层膜 204
7EXI6jGJ| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
b$Vz2Fzx 9.2 内部透过率 204
o1<_fI 9.3 内部透射率数据 205
}g4 M2| 9.4 实例 206
I_A@BnM{I 9.5 实例2 210
f%V4pzOc" 9.6 圆锥和带宽计算 212
A'2w>8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
.nyfYa+ 10 光学薄膜的颜色 216
Nj?/J47?, 10.1 导言 216
WD1G&5XP 10.2 色彩 216
+zy=50, 10.3 主波长和纯度 220
PG,_^QGCX 10.4 色相和纯度 221
cq$i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
e*L.U~ZR 10.6 色差 226
T8^5=/ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
E8-P"`Qba 10.8 颜色渲染指数 234
lGVEpCS} 10.9 色差计算 235
4fe7U=# ;Y 10.10 参考文献 236
U*3uq7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
$ aUo aI 11.1 短脉冲 238
HeG)/W?r 11.2 群速度 239
VO"("7L 11.3 群速度色散 241
C*`mM'# 11.4 啁啾(chirped) 245
w+N> h;j 11.5 光学薄膜—相变 245
3"O>&Q0c 11.6 群延迟和延迟色散 246
Aj0Tfdxy 11.7 色度色散 246
Q9Q|lO 11.8 色散补偿 249
og0*Nt+ 11.9 空间
光线偏移 256
Qci4J 11.10 参考文献 258
nB!&Zq 12 公差与误差 260
xKFn.qFr 12.1 蒙特卡罗模型 260
&9Xhl'' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
1|ra&(=) 12.2.1 误差工具 267
u?+Kkkk 12.2.2 灵敏度工具 271
c_V;DcZ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
N2w"R{) j\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
(7 r<'' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Q_t`.jus 12.3 参考文献 276
Ry|!pV 13 Runsheet 与Simulator 277
L =8rH5 13.1 原理介绍 277
(<)]sp2 13.2 截止滤光片设计 277
ldp%{"ZZ 14 光学常数提取 289
AW,53\ 0 14.1 介绍 289
"70WUx(\t 14.2 电介质薄膜 289
Jm42b4 14.3 n 和k 的提取工具 295
El@(mOu| 14.4 基底的参数提取 302
="g*\s?r 14.5 金属的参数提取 306
Yboiwy,n 14.6 不正确的模型 306
MX@_=Sp- 14.7 参考文献 311
$ mI0Bk 15 反演工程 313
}oNhl^JC 15.1 随机性和
系统性 313
yfm^?G|sW 15.2 常见的系统性问题 314
$5*WLG&AK 15.3 单层膜 314
~t~-A,1 15.4 多层膜 314
{>F7CT'G6 15.5 含义 319
M{*Lp6h 15.6 反演工程实例 319
TsGE cxIg 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
z-b*D}& 15.6.2 反演工程提取折射率 327
3#TV5+x*"` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
AU$Uxwz4 16.1 光学性质的热致偏移 329
<^lRUw 16.2 应力工具 335
K5XK%Gl" 16.3 均匀性误差 339
=|YxDas 16.3.1 圆锥工具 339
+9")KQT 16.3.2 波前问题 341
r3\cp0P;s 16.4 参考文献 343
PZ*pQ=` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
a(0*um( 17.1 引言 345
pi
,eIm 17.2 操作数 345
qk;{cfzHA 18 如何在Function中编写脚本 351
E8~}PQW:I 18.1 简介 351
>mjNmh7 18.2 什么是脚本? 351
_C`K*u
6Z< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
l'TWkQ- 18.4 基础 352
Yk5}`d!: 18.4.1 Classes(类别) 352
r}jGUe}d 18.4.2 对象 352
n;:rf 7hGY 18.4.3 信息(Messages) 352
A$a1(8H 18.4.4 属性 352
(4Zts0O\ 18.4.5 方法 353
9t#S= DP 18.4.6 变量声明 353
|lkNi 18.5 创建对象 354
7Ddaf> 18.5.1 创建对象函数 355
yn/rW$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
1Q.\s_2 18.5.3 丢弃对象 356
E,f>1meN= 18.5.4 总结 356
a!u
rew# 18.6 脚本中的表格 357
%C=]1Q=T) 18.6.1 方法1 357
pe{;~-|6 18.6.2 方法2 357
NwZ@#D#[ Y 18.7 2D Plots in Scripts 358
cJL'$`gWf 18.8 3D Plots in Scripts 359
:bC40@ 18.9 注释 360
[ U wi 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
6A=8+R'`F 18.11 一个更高级的脚本 362
|USX[jm\ 18.12 <esc>键 364
U8G%YGMG.4 18.13 包含文件 365
.fdL&z 18.14 脚本被
优化调用 366
44F`$.v96 18.15 脚本中的对话框 368
b&5lY p"d 18.15.1 介绍 368
hjQ~uqbg 18.15.2 消息框-MsgBox 368
;j)FnY=: - 18.15.3 输入框函数 370
._+J_ts 18.15.4 自定义对话框 371
V.{H9n]IO 18.15.5 对话框编辑器 371
rrCNo^W1 18.15.6 控制对话框 377
37RLE1Yf 18.15.7 更高级的对话框 380
($~RoQ=0S 18.16 Types语句 384
H8'Z#"h 18.17 打开文件 385
eVM/uDD 18.18 Bags 387
ZPD[5)~ 18.13 进一步研究 388
w &%~3Cz. 19 vStack 389
_Y[jyD1> 19.1 vStack基本原理 389
+r<0zh,n. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
bk\yCt06y; 19.3 五棱镜 393
5e fpeu 19.4 光束距离 396
bHI<B)=` 19.5 误差 399
u@4V7;L 19.6 二向分色棱镜 399
kWrp1` 19.7 偏振泄漏 404
q]\g,a 19.8 波前误差—相位 405
c~v~2DM 19.9 其它计算参数 405
v%RP0%%{s 20 报表生成器 406
_IdRF5<4 20.1 入门 406
YXI'gn2b# 20.2 指令(Instructions) 406
PClMQL# 20.3 页面布局指令 406
\2vg{ 20.4 常见的参数图和三维图 407
FEJ~k1z 20.5 表格中的常见参数 408
nYJTKU 20.6 迭代指令 408
s|NjT 20.7 报表模版 408
O/!bG~\Y 20.8 开始设计一个报表模版 409
!S_^94 b@ 21 一个新的project 413
;-Jb1"5 21.1 创建一个新Job 414
.YZgOJi 21.2 默认设计 415
:(H> 2xS,s 21.3 薄膜设计 416
9Fr3pRIJ 21.4 误差的灵敏度计算 420
1u|Rl:Q 21.5 显色指数计算 422
T =2=k&| 21.6 电场分布 424
p^pOuy8 后记 426
HyR!O> 有兴趣可以扫码加微咨询
Hp(D);0+)