摘要
8."B cKt=_4Lf 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
34S0W]V -\C;2&( ,.;q[s8 G^E"#F 建模任务
hKo& ZWPq ,MH/lQq% /U\k<\1~m 光栅特性与参数的严格分析
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dW-9~9 不同光栅周期下的衍射效率
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J C sXV0 LYY3*d BN??3F8C 关于光栅周期选择的考虑
1.29%O8V_ ;7,>2VTm G`1!SEae Fo\* Cr9D 偏振相关的衍射特性
w)}' {]P"c BMaw]D Egy#_ RT{ })~M}d2LXB ')eg6IC0&T m5i?<Ko@ v+\&8)W= 2>`m1q: 通过参数优化进行光栅设计
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[2E* 3vdhoS| 固定周期的2D参数优化
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6.lV VINb9W}G[ BF)!VnJ 2D参数优化–设计1
R*PR21g Owd{; f%#q}vK- =(]yl_ 2D参数优化–设计2
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jimWLF5Q5" {N.JA= /i:c!l9 制造
公差分析–设计2
!i4/#H MgpjC` :X+!W_xR RX])#=Cs 变化光栅周期的3D参数优化
qS|ns'[ /9QC$Z):< n,Gvgf >^!)G^B 制造公差分析
hiT&QJB` _ b+/z,c6w bz'#YM 7cMHzhk^ 走进
VirtualLab Fusion
;rj|> Bjc<d,]
h85kQ^% #ULjK*)R VirtualLab Fusion中的工作流程
4QZ|e{t _48@o^{ Kry^47" #_pQS}$ •构造光栅
结构 "h\ (a< −
通过使用界面来配置光栅结构 H*KZZTKd [用例]
d,XNok{ •分析光栅衍射效率
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Q −
光栅级次分析器[用例]
:iEIo7B •使用参数运行搜索初始解决方案
^l8&y;-T −
参数运行文档的使用[用例]
SoJ=[5W •通过参数优化找到最终设计
KAI/*G\z \2#j1/d4 VirtualLab Fusion技术
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