[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 LVNq@,s  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c'M#va  
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建模任务 NAd|n+[d  
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光栅特性与参数的严格分析 >iD&n4TK  
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不同光栅周期下的衍射效率 ?sfas57&y  
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关于光栅周期选择的考虑 $
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偏振相关的衍射特性 g'2'K  
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通过参数优化进行光栅设计 R^8L^8EL  
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固定周期的2D参数优化 oU/CXz?H  
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2D参数优化–设计1 `PML4P[  
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制造公差分析–设计2 Rb!|2h)  
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变化光栅周期的3D参数优化 \#1*r'V8  
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制造公差分析 gz{~\0y  
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走进VirtualLab Fusion D,cGW,2Nv  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 9 Vn  
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•构造光栅结构 UNx|+  
−通过使用界面来配置光栅结构 -)
cau-(X  
[用例] FE}!I  
•分析光栅衍射效率 $e(]L(o;  
−光栅级次分析器[用例] <d2?A}<  
•使用参数运行搜索初始解决方案 %BdQ.\4DS  
−参数运行文档的使用[用例] m 2tw[6M  
•通过参数优化找到最终设计 x#wkODLqi  
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VirtualLab Fusion技术 @|e4.(9A  
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