摘要
9@wmngvM*Y g]jCR*] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
H -t" Z} ]; *?`}# "GB493=v Y{ OnW98 建模任务
MQq!<?/ .05x=28n% J
Mm'JK? 光栅特性与参数的严格分析
D|g{]nO C^7M>i 不同光栅周期下的衍射效率
HleMzykF M"5S A 1B_EX. jS4fANG 关于光栅周期选择的考虑
yeIcQ% ="P&!lu $Go)Zs-bL? M i047-% ( 偏振相关的衍射特性
pZ5eGA= U(5 Yg FQM9>l@6)> Uf#9y182*c S3ZIC\2 }ZJ*N Y c|Fu6LF a M`H@
% M
通过参数优化进行光栅设计
K(rWM>Jv lS/l
iI'Y 固定周期的2D参数优化
6"/4@? i/RA/q fr<V]) 2D参数优化–设计1
(lt{$0 z4 KKt& 3c[]P2Bh ?63ep:QEk 2D参数优化–设计2
:(#5%6F UnOcw j> dL:V&`
liPaT 制造
公差分析–设计2
Y'76! Y #7=- zda5 3`Gb;D 3o`c`;H%p 变化光栅周期的3D参数优化
@.} @K 'm k_s4J l`."rei%) mZ~f?{ 制造公差分析
\nU_UH f47dB_{5f. Or:P*l i!yE#zew 走进
VirtualLab Fusion
^wz 2e @|<qTci .q|k459oi L u1pxL VirtualLab Fusion中的工作流程
WkDXWv\{,{ dz1kQzOU* 6mV^akapv #3_
@aq* •构造光栅
结构 zoZ10?ojC −
通过使用界面来配置光栅结构 czT]XF [用例]
lPw`KW •分析光栅衍射效率
=Y5_@}\0 −
光栅级次分析器[用例]
CTJwZY7 •使用参数运行搜索初始解决方案
mX[J15 −
参数运行文档的使用[用例]
#~[{*[B+ •通过参数优化找到最终设计
yaPx=^& 1 Q*AQYVY VirtualLab Fusion技术
H7}f[4S% vQy+^deW e?+&2zMq