摘要
LBF 1;zjK u]vQ>Uu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y(44pA&oN B" 3dQwQ 建模任务
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!qX_I db\ 光栅特性与参数的严格分析
}#X8@ e^ v.) 不同光栅周期下的衍射效率
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c+2FC@q{l H@ t'~ZO 关于光栅周期选择的考虑
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~i `>adJ: -&<Whhs.@ 偏振相关的衍射特性
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+"1NC\<* 6oBfB8]:d 通过参数优化进行光栅设计
up'Tit %Q.&ZhB 固定周期的2D参数优化
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%JLk$sP9y` 2D参数优化–设计1
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IKi5 v~bE D:Zy 2D参数优化–设计2
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&8z[`JW,T Ps 8%J; 制造
公差分析–设计2
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aJcf`<p b?Ki;[+O 变化光栅周期的3D参数优化
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c_V;DcZ N2w"R{) j\ 制造公差分析
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. Z%{'CC lIProF0 走进
VirtualLab Fusion
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>$ e9igwe 5:kH;/U VirtualLab Fusion中的工作流程
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;v$4$D]L =dFv/F/RW •构造光栅
结构 [3@):8
−
通过使用界面来配置光栅结构 1n@8Kv [用例]
\.3D~2cU •分析光栅衍射效率
n+PzA[ −
光栅级次分析器[用例]
DS'n •使用参数运行搜索初始解决方案
zF`c8Tsx]) −
参数运行文档的使用[用例]
Iyyh!MVF •通过参数优化找到最终设计
Y_QH&GZ ? 8LXP VirtualLab Fusion技术
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