摘要
M?3#XQDvD :WM[[LOaC 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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+}-Ecr O~L/>Ya 建模任务
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vN8Xq+ 光栅特性与参数的严格分析
YgCSzW&( lr-:o@q{ 不同光栅周期下的衍射效率
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m!H7;S-( 4.o[:5' 关于光栅周期选择的考虑
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zZ})$Ny( ^Ss4< 偏振相关的衍射特性
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|d0,54! -'wFaW0%I 通过参数优化进行光栅设计
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$R2%*y 固定周期的2D参数优化
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公差分析–设计2
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#Emz9qTsce RLtIn!2OU 变化光栅周期的3D参数优化
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Pcox~U/j `kERM-@A 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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cHO8%xu` R:}u(N •构造光栅
结构 _# mo6')j −
通过使用界面来配置光栅结构 !`VC4o [用例]
:(o6^%x •分析光栅衍射效率
y!;PBsU%Sx −
光栅级次分析器[用例]
fvUD'sx •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Uq8=R)1<|d •通过参数优化找到最终设计
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