摘要
4)1;0,tlG #-#NqX: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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+cB&Mi5 eE]hy'{d< 建模任务
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PX,rWkOce 光栅特性与参数的严格分析
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tA*pL'/V n!ok?=(kQ 不同光栅周期下的衍射效率
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^du' 关于光栅周期选择的考虑
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b"j|Bb 7"v$- W y 偏振相关的衍射特性
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${&5]!E[>D `$RA< 3 通过参数优化进行光栅设计
sq0 PBEqq lhLGG 固定周期的2D参数优化
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mGAt[Cc 2D参数优化–设计1
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su') lX!`zy{3k 2D参数优化–设计2
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制造
公差分析–设计2
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P&A|PY,P L\aBc} 变化光栅周期的3D参数优化
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*TdnB'Gd $.mQ7XDA9 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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gPC@Yy ~%y @Xsot> VirtualLab Fusion中的工作流程
]dPZ .r *JCQu0
ug&[ IL~lc Vd9@Dy •构造光栅
结构 W 0[N0c −
通过使用界面来配置光栅结构 N+W&NlZ
[用例]
in%;Eqk •分析光栅衍射效率
X=X\F@V:u −
光栅级次分析器[用例]
adEJk •使用参数运行搜索初始解决方案
2(YPz|~W −
参数运行文档的使用[用例]
vR7HF*8 •通过参数优化找到最终设计
HRa@ ]rBM5~ VirtualLab Fusion技术
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