摘要
H!IshZfktn #G]! % 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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l]!9$ EpPf_ \o 建模任务
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GyI-)BlDC 光栅特性与参数的严格分析
%GEJnJ t/o N>mQG 不同光栅周期下的衍射效率
!<@J6??a}s k,Qskd-N]
x<i}_@Sn_+ +#J,BKul 关于光栅周期选择的考虑
Vn=qV3OE] neF]=uCWnT
+V862R4,o ?dZt[vAMn 偏振相关的衍射特性
T5Eseesp d5I f"8`@
NVV}6TUV kdx
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qa >Ay|92e =ziwxIo6
+?D6T!) th5g\h%j* 通过参数优化进行光栅设计
m#H3:-h, +A_J1iJ< 固定周期的2D参数优化
o`,Qku k ^cvl:HOog
,"}Rg1\4t 2D参数优化–设计1
Rs& @4_D F9q8SA#"
_>o-UBb4]T o/cjXun* 2D参数优化–设计2
h( QYxI,| uZKP"Oy
Eu<1Bse; 7YWNd^FI
V 制造
公差分析–设计2
XkKC! 0pe3L
5-u=o)> L}{`h 变化光栅周期的3D参数优化
D]! aT+ 1{"llD
IputF<p iP~,n8W 制造公差分析
5wt TP ;P Q'B6^%:<~
l?E a# q!'rz 走进
VirtualLab Fusion
c/W=$3 |Yi)"-
XdEPbD- 3M*Bwt;F_ VirtualLab Fusion中的工作流程
Si}HX!s Mc sTe|X
!v#xb3"/ [(LV •构造光栅
结构 /Poet%XvRx −
通过使用界面来配置光栅结构 j|.} I [用例]
u9-nt}hGYM •分析光栅衍射效率
z;u>
Yz+3 −
光栅级次分析器[用例]
DLE8+NV8
•使用参数运行搜索初始解决方案
-l+P8:fL~ −
参数运行文档的使用[用例]
%n0;[sD0A •通过参数优化找到最终设计
J a,d3K
5R MS( VirtualLab Fusion技术
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3-s}6<0v1