[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 L]L~TA<D9i  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3Mh,NQB  
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建模任务 Gad2EEZ%0  
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光栅特性与参数的严格分析 r#6l?+W ;  
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不同光栅周期下的衍射效率 (82\&dfy  
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关于光栅周期选择的考虑 Xw}Y!;<IEu  
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偏振相关的衍射特性 Z$m2rZ#  
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通过参数优化进行光栅设计 F>_lp,G  
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固定周期的2D参数优化 OD
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2D参数优化–设计1 eiSO7cGy  
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2D参数优化–设计2 I:>d@e/;  
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制造公差分析–设计2 @_(@s*4W  
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变化光栅周期的3D参数优化 *CD=cmdD*  
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制造公差分析 *oJ>4S  
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走进VirtualLab Fusion xupdjT%4  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 >0okb3+  
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•构造光栅结构 "@|V.d@  
−通过使用界面来配置光栅结构 [eik<1=,~?  
[用例] sOH
AW*+  
•分析光栅衍射效率 g wiC ,
 
−光栅级次分析器[用例] tKViM@T  
•使用参数运行搜索初始解决方案 ^[N
mNi*  
−参数运行文档的使用[用例] cmLu T/oV  
•通过参数优化找到最终设计 TKydOw@P"  
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VirtualLab Fusion技术 DLQ`<aU
 
n>+W]I&E  

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