摘要
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当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/M^V2= ,!6M*| 建模任务
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As@ihB+(\ 光栅特性与参数的严格分析
pbDw Lo] XogvtK* 不同光栅周期下的衍射效率
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CKv&Re T?X^0UdJj 关于光栅周期选择的考虑
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;Z ]<S_#- ?R;nL{ 偏振相关的衍射特性
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6Z~Ya\~.g. v9%nau4 通过参数优化进行光栅设计
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$1wr 2D参数优化–设计1
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tFx 7}Bj|]b)~ 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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]nUR;8 ##H;Yb 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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! .AhzU1%Y GuT6K}~|D VirtualLab Fusion中的工作流程
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:cy>c2 AH^e]<2- •构造光栅
结构 ~\$=w10 −
通过使用界面来配置光栅结构 GM](=|F [用例]
wUoiXi09 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
)\wuesAO •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
^ Hg/P8q •通过参数优化找到最终设计
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G7{1 VirtualLab Fusion技术
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