摘要
4Ysb5m)u w?y6nTg< 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c EnkU] [xZU!= 建模任务
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GK*v{` 光栅特性与参数的严格分析
,
YW|n:X ,!#ccv+Vm% 不同光栅周期下的衍射效率
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&^".2)zU K>/%X!RW 关于光栅周期选择的考虑
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Iah[j,]r ]lO h&Cz[ 偏振相关的衍射特性
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0&+k.Vg V$`Gwr]|n 通过参数优化进行光栅设计
dl-l"9~; Guw}=l--YR 固定周期的2D参数优化
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/ ~%KVe 2D参数优化–设计1
Kv&g5&N, }T2xXbU
o{qr!*_3 }yn0IWVa 2D参数优化–设计2
2}6%qgnT- C4$:mJ>y
YY((#"o;l [lzN !!B! 制造
公差分析–设计2
d*8 $>GA OR1DYHHT/1
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s. ^2D1`,|N 变化光栅周期的3D参数优化
* |.0Myjo >SF Uy\3
uA tV". p9!"O 制造公差分析
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f5*k7fg r|Z3$J{^" 走进
VirtualLab Fusion
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&F:IIo7 O|IG_RL] VirtualLab Fusion中的工作流程
GYxM0~:$k v4,h&JLt
MB^~%uZ2K H(c72]@Vg •构造光栅
结构 GE;e]Jkjn −
通过使用界面来配置光栅结构 }"vW4 [用例]
{R<Ea
@LV+ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
RoA?p;]< •通过参数优化找到最终设计
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