[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 BG/M3  
*JUP~/Nr  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b<NI6z8\  
yY[N\*P  

图片:1-20021G15353423.png

YqrieDFay!  
gm\P`~+o  
建模任务 DhYQ>Gv8U  
V!(Ty%7  

图片:1-20021G15419564.png

hxGZ}zq*S  
光栅特性与参数的严格分析 ):31!IC  
8:TN,p  
不同光栅周期下的衍射效率 V`m'r+ Y  
GBVw6+(c  

图片:1-20021G15602G5.png

QJjqtOf>  
tY~EB.%  
关于光栅周期选择的考虑 *xI0hFJIM  
s,)Z8H  

图片:1-20021G15641J8.png

&82Za%  
:'|%~&J  
偏振相关的衍射特性 -J[*fv@  
F
IDV5Y/f  

图片:1-20021G15G0159.png

4f:B2x{
 
N^jQ\|A<  

图片:1-20021G15I2201.png

|>Qj]  
Vf:/Kokq  

图片:1-20021G15P2594.png

[< Bk% B5  
   fucG
9B  
通过参数优化进行光栅设计 UOC>H%r~M?  
O4dJ> O  
固定周期的2D参数优化 hRHqG  
?A+-k4l  

图片:1-20021G15RaL.png

aEM2xrhy,  
2D参数优化–设计1 4}E|CD/p
Z  
.zZee,kM  

图片:1-20021G15Z4258.png

$aDAD4mmm  
)!z<q}i5  
2D参数优化–设计2 V{+'(<SV  
NitsUg@<  

图片:1-20021G20004394.png

4+"2K-]   
GH[ATL  
制造公差分析–设计2 eg!s[1[_  
lA>^k;+>  

图片:1-20021G2002JX.png

4+I@  
"H\1Z,P<m  
变化光栅周期的3D参数优化 ]-]K4*{   
H\H4AAP5F$  

图片:1-20021G20100c0.png

yq]=+X>(  
jMr[U
Z  
制造公差分析 1k"<T7K  
^,O%E;g^#  

图片:1-20021G20120954.png

}@6ws/5  
[@ >}  
走进VirtualLab Fusion 0P i+ (X  
)B'&XLK  

图片:1-20021G20141219.png

DXA<m2&64N  
F#Y9 @E  
VirtualLab Fusion中的工作流程 cip5 -Z@8  
x# MMrV&M  

图片:1-20021G20205237.png

^m pWQ`R  
;&7dX^oH  
•构造光栅结构 R `K1L!`3  
−通过使用界面来配置光栅结构 mk.1jx?l  
[用例] ,^wjtA3j8  
•分析光栅衍射效率 u|(;SY  
−光栅级次分析器[用例] i
F,%^95=  
•使用参数运行搜索初始解决方案 hNU$a?eVpR  
−参数运行文档的使用[用例] F^4mO|  
•通过参数优化找到最终设计 kA/4W^]Ws  
k4T`{s}e  
VirtualLab Fusion技术 wH]5VltUT1  
A; _Zw[  

图片:1-20021G2025W62.png

   @~7y\G