摘要
]=/?Ooh PpNG`_O 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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osLEH?iKW CP$,fj 建模任务
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{!wd5C@ 光栅特性与参数的严格分析
=KD[#au6a U^DR'X= 不同光栅周期下的衍射效率
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AXnKhYlu %rEP.T\i 关于光栅周期选择的考虑
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Z *v`kl |Vu`-L'Jz 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
~4] J'E > R4zOiBi'B 固定周期的2D参数优化
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9OlJC[ 2D参数优化–设计1
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^.*zBrFx 制造
公差分析–设计2
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DV*e.Y> c s:E^ 变化光栅周期的3D参数优化
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6!=q+sw/X azRp4~2? 制造公差分析
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(ti E%nF+ M`)3(|4 走进
VirtualLab Fusion
Oz"_KMz v9#F\ F/
<" 0b8 Z tvUC d} VirtualLab Fusion中的工作流程
I-Am9\ e Dpt1
$wl_ gTdr •构造光栅
结构 3XncEdy_ −
通过使用界面来配置光栅结构 2cZgG^ [用例]
i7&ay\+@ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
8LY^>. •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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w[Tu •通过参数优化找到最终设计
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j) VirtualLab Fusion技术
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