摘要
3m9ab" e+=P)Zp/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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y]!4Hy
#b?)fqRJL dNMz(~A[Y 建模任务
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3\jcq@N 光栅特性与参数的严格分析
M;Dk$B{;R iCrLZ"$M 不同光栅周期下的衍射效率
%+,7=Wt- Y +9OP
\P` mV9P +Y 关于光栅周期选择的考虑
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NlnmeTLO5 IT\lkF2 偏振相关的衍射特性
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Y "@N iHB1/ 通过参数优化进行光栅设计
-Ob89Z?2A IfdgMELk 固定周期的2D参数优化
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g^dPAjPQ 2D参数优化–设计1
A=5A8B1 psHW(Z8G
ED+tVXyw v)a$;P% 2D参数优化–设计2
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j5yxdjx9 9.
7XRxR^ 制造
公差分析–设计2
rprtp5C g `T]1u4^E
rg^ 0DFxVH_xN 变化光栅周期的3D参数优化
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UF)4K3X BrQXSN$i 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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Ea~ VirtualLab Fusion中的工作流程
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3',|HA /x jJN.( •构造光栅
结构 ) DzbJ} −
通过使用界面来配置光栅结构 ?>_[hZ [用例]
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M •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
].j;d2xT\ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
4EO,9#0 •通过参数优化找到最终设计
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