摘要
BG/M3 *JUP~/Nr 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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YqrieDFay! gm\P`~+o 建模任务
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hxGZ}zq*S 光栅特性与参数的严格分析
):31!IC 8:TN,p 不同光栅周期下的衍射效率
V`m'r+ Y GBVw6+(c
QJjqtOf> tY~EB.% 关于光栅周期选择的考虑
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&82Za% :'|%~&J 偏振相关的衍射特性
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[< Bk% B5 fucG 9B 通过参数优化进行光栅设计
UOC>H%r~M? O4dJ> O 固定周期的2D参数优化
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aEM2xrhy, 2D参数优化–设计1
4}E|CD/pZ .zZee,kM
$aDAD4mmm )!z<q}i5 2D参数优化–设计2
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4+"2K-] GH[ATL 制造
公差分析–设计2
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4+I @ "H\1Z,P<m 变化光栅周期的3D参数优化
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yq]= +X>( jMr [UZ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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DXA<m2&64N F#Y9 @E VirtualLab Fusion中的工作流程
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pWQ`R ;&7dX^oH •构造光栅
结构 R `K1L!`3 −
通过使用界面来配置光栅结构 mk.1j x?l [用例]
,^wjtA3j8 •分析光栅衍射效率
u|(;SY −
光栅级次分析器[用例]
iF,%^95= •使用参数运行搜索初始解决方案
hNU$a?eVpR −
参数运行文档的使用[用例]
F^4mO| •通过参数优化找到最终设计
kA/4W^]Ws k4T`{s}e VirtualLab Fusion技术
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