摘要
@URLFMFi Fi{~UOZg 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Hk-)fl#dr 3mn0 建模任务
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:>lica_ 光栅特性与参数的严格分析
f}bUuQrH-! }+`W[ h&u 不同光栅周期下的衍射效率
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*?oQ6g(Nz lh*m( 关于光栅周期选择的考虑
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3Z'{#<1>^; >p!d(J? 偏振相关的衍射特性
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6__@?XzJ #ITx[X89| 通过参数优化进行光栅设计
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)~D ac.O#6& 固定周期的2D参数优化
#I@]8U#,": l3}n.ODA
{mL/)\ 2D参数优化–设计1
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[RD ^@~x 6u7(}K 制造
公差分析–设计2
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@.*[CC;& *ILS/`mdav 变化光栅周期的3D参数优化
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kVU|k-?2 /_,~dt 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
A&9l|b-" e%bERds
[tMf KO LEhku4U. VirtualLab Fusion中的工作流程
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F:pXdU-xf zp4ru\ •构造光栅
结构 P+}qaup −
通过使用界面来配置光栅结构 2+=|!+f [用例]
#C+Gk4"w •分析光栅衍射效率
GJO/']k −
光栅级次分析器[用例]
6j"(/X|Ex5 •使用参数运行搜索初始解决方案
V"$t>pAG −
参数运行文档的使用[用例]
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5 •通过参数优化找到最终设计
sxThz7#i) .yTk/x? VirtualLab Fusion技术
Od&M^;BQ mApn(&
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