摘要
Nm.G,6<J )d$FFTH 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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mv(VB4 J\%SAit@ 建模任务
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!-cK@>.pE 光栅特性与参数的严格分析
m*f"Y"B.1I T?+%3z}8 不同光栅周期下的衍射效率
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s,;7m fuQk}OW{ 关于光栅周期选择的考虑
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w =2; QJ< :6[G;F7s 偏振相关的衍射特性
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zc.r&(d lK%)a +2
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\`oP\|Z VYw<8AEFY 通过参数优化进行光栅设计
LFX[v GvTA/zA 固定周期的2D参数优化
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U)6Ew4uRxV 2D参数优化–设计1
*bl|[(pP me
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Hg04pZupN "UUoT 2D参数优化–设计2
,:6.Gi)| Sah!|9
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制造
公差分析–设计2
oEJxey]B7 ufB9\yl{~
UXPF"}S2 t3<HE_B| 变化光栅周期的3D参数优化
qNX+!Y}y f64}#E|w
d04fj/B
v`\ CzT 制造公差分析
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jP31K{G? T?KM}<$(O 走进
VirtualLab Fusion
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m( VirtualLab Fusion中的工作流程
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L.x`Jpq(3 +HF*X~},i •构造光栅
结构 $AF,4Ir-b+ −
通过使用界面来配置光栅结构 T~naAP [用例]
H)pB{W/ •分析光栅衍射效率
~)#xOE} −
光栅级次分析器[用例]
>a)6GZ@ •使用参数运行搜索初始解决方案
BYZllwxwTE −
参数运行文档的使用[用例]
q@d6P~[-gj •通过参数优化找到最终设计
SD .c9 M5`wfF,j VirtualLab Fusion技术
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