摘要
[a*>@IR r9'H7J 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$,#IPoi~X WY~[tBi\ 建模任务
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'eY[?LJ]U 光栅特性与参数的严格分析
zVLi DJjDKVO5t 不同光栅周期下的衍射效率
ouZ9oy(}a qc"/T16M]
neH"ks5 SFNd,(kB*z 关于光栅周期选择的考虑
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!@1!ld \)kAhKtG 偏振相关的衍射特性
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r:Cid*~m %d\+(:uu/ 通过参数优化进行光栅设计
*heQ@ww tV4aUve 固定周期的2D参数优化
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Jl,x~d 2D参数优化–设计1
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~Nh7C b_ YL0RQa 2D参数优化–设计2
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3_/d=ZI\ YHAg4eb8 制造
公差分析–设计2
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N4]e/.V 变化光栅周期的3D参数优化
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`"4EE}eQc V@f#/"u' 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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m/C VirtualLab Fusion中的工作流程
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[S^&pF &ayoTE^0, •构造光栅
结构 z"`?<A&u −
通过使用界面来配置光栅结构 +[+Jd)Z [用例]
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^ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
a}\JA`5;)Z •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
>O=V1 •通过参数优化找到最终设计
K2Zy6lGOZ |{Q,,<C VirtualLab Fusion技术
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