摘要
Z yE `/J' rEv$+pP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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">y%iE 建模任务
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\}p6v } 光栅特性与参数的严格分析
*=+td)S/1 f"qga/ 不同光栅周期下的衍射效率
aC%m- m y0'Rmk,
}j*KcB_ A-T]9f9 关于光栅周期选择的考虑
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,PWgH$+ lzYnw)Pv 偏振相关的衍射特性
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Eo YRh BRE 通过参数优化进行光栅设计
D"J!\_o rmE" rf 固定周期的2D参数优化
jF=gr$ 6y6<JR-V2k
}T%}wdj 2D参数优化–设计1
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Z(Bp 0a t5#rps\; 2D参数优化–设计2
\9/ b!A %=/)
K)\M5id] $D}{]MN. 制造
公差分析–设计2
IuNiEtKx UmQ?rS8d
/4vG3 *g[^.Sg 变化光栅周期的3D参数优化
+eX@U;J,g %oq[,h
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o9F/y=.r= [BT/~6ovrZ 制造公差分析
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z&{5;A}Q@ 8[J}CdS 走进
VirtualLab Fusion
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C\di 7 z: x}Aw)QCh+r VirtualLab Fusion中的工作流程
T`Mf]s)* av$/Om:
^9ePfF)5 &&VqD
w •构造光栅
结构 hb^7oq"a −
通过使用界面来配置光栅结构 9\]^|?zQ` [用例]
4qYUoCR& •分析光栅衍射效率
v0YG,)_ −
光栅级次分析器[用例]
e}.^Tiwd] •使用参数运行搜索初始解决方案
hWT[L.>k −
参数运行文档的使用[用例]
cdG|m[ •通过参数优化找到最终设计
m
q{]; V2i@.@$j VirtualLab Fusion技术
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