摘要
X=QX9Ux?^ *AH`ob} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9z(SOzZn a\P :jgF 建模任务
" MnWd BS Rw+r1vW:A
9qap#A 光栅特性与参数的严格分析
[2@:jLth= "6U0
!.ro@ 不同光栅周期下的衍射效率
um9&f~M Ej(BE@6>s
Gu$/rb? -d,D! 关于光栅周期选择的考虑
72l:[5ccR fI1CT)0<e
o/-RGLzAo O=%Ht-kOc 偏振相关的衍射特性
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J!Z6$VERy ]xRR/S4 通过参数优化进行光栅设计
!oH{=.w |k}<Zz1UM 固定周期的2D参数优化
{V7mpVTX. qJG;`Ugl:
"}()/ 2D参数优化–设计1
d9[j4q_ :Wbp|:N0
^\PRzY EV6R[2kl 2D参数优化–设计2
3eY>LWx x-i,v"8
L}
R"1O 4b<|jVl\ 制造
公差分析–设计2
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m") _|e&zr
0(i3RPIj\ >vD}gGBe 变化光栅周期的3D参数优化
`R0~mx&6G 0er|QC
G$,s.MSf RQ=rB9~:ZN 制造公差分析
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(?Ko:0+* g=mKTk 走进
VirtualLab Fusion
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a{n1hk R+.4|1p VirtualLab Fusion中的工作流程
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B-g-T>8 @95p [ •构造光栅
结构 @7}XBg[pI −
通过使用界面来配置光栅结构 ou0TKE9
_ [用例]
NrS+N;i •分析光栅衍射效率
0V6, &rTF −
光栅级次分析器[用例]
_wXT9`|3 •使用参数运行搜索初始解决方案
}h`z2%5o −
参数运行文档的使用[用例]
$-/-%= •通过参数优化找到最终设计
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IZrcn VirtualLab Fusion技术
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