摘要
^q&|7Ou- d8+@K&z| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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-vY5h%7kf &=n/h5e0t& 建模任务
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!7)#aXt& 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
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v'Ehr**]+ 2QAP$f0Ln 关于光栅周期选择的考虑
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$U9]v5 t6mv 偏振相关的衍射特性
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5p:BHw;%; 2fu<s^9dh 通过参数优化进行光栅设计
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. 固定周期的2D参数优化
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9\WtcLx 2D参数优化–设计1
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9? ~?r 2D参数优化–设计2
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Cojs;`3iF: .s,04xW\ 制造
公差分析–设计2
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MusUgBQy A/UO cl+N 变化光栅周期的3D参数优化
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"9QZX[J|* =SeQ- H# 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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,]: <l \#) YS VirtualLab Fusion中的工作流程
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T$R#d&t 'kC#GTZi •构造光栅
结构 fKr_u<| −
通过使用界面来配置光栅结构 fjy\Q [用例]
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•分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
eWex/ m •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
R13k2jLSQ •通过参数优化找到最终设计
{^N,$,Ab. UYJ>L VirtualLab Fusion技术
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