摘要
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m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c#}K,joeU jW`JThoq 建模任务
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?$109wZ:9 光栅特性与参数的严格分析
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b+$J u3+B/ 5x 不同光栅周期下的衍射效率
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>[|N%9\ '^_u5Y] 关于光栅周期选择的考虑
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;z4F-SYQ h7"U1'b 偏振相关的衍射特性
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|T=T0^ ):! =XhQ 通过参数优化进行光栅设计
v&YeQC> ]WDmx$"&e 固定周期的2D参数优化
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w_56y8Pd4 2D参数优化–设计1
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公差分析–设计2
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|qUGB.Q nTqU~'d' 变化光栅周期的3D参数优化
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MuY:(zC% 'K,\ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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;?2)[a 6ZQ |L=Ytp VirtualLab Fusion中的工作流程
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7=6:ZSI Y.viOHL •构造光栅
结构 g<:Lcg"u −
通过使用界面来配置光栅结构 Uk?G1]$mL [用例]
uks75W!}U •分析光栅衍射效率
D|LO!,=b −
光栅级次分析器[用例]
b' o]Y •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
2Xt4Rqk $ •通过参数优化找到最终设计
)O1]|r7v A5XMA|2_ VirtualLab Fusion技术
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