摘要
x+~IXi>Ig >z0~!!YZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
>FtW~J"X +R7";.
L||_Jsu u3{gX{so 建模任务
1_JxDT,=> + -e8MvP
X]'Hz@$N 光栅特性与参数的严格分析
ESOuDD2< _=0;5OrK1X 不同光栅周期下的衍射效率
qX'w}nJ}H} bDdJh}Vz
`Pj7O/!)#! DJl06-s V 关于光栅周期选择的考虑
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75Xi%mlE7 "cerg?ix 偏振相关的衍射特性
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T-7'#uB.m U\S%Jq*
hjiU{@q sPNX)
yHW=,V. o l67x 通过参数优化进行光栅设计
7I;Give{ t+0&B" 固定周期的2D参数优化
7^k`:Z myH:bc>6
K?')#%Z/{# 2D参数优化–设计1
oRM EC7!A0 I`h9P2~
N"|^AF ]ABpOrg 2D参数优化–设计2
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7BCCQsz< qE6:`f 制造
公差分析–设计2
8VvoPlo y(|6`
*[*#cMZ g~d}?B\<@ 变化光栅周期的3D参数优化
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G8`q-B}q =Mq=\T 制造公差分析
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'<f4POy! CAY^ `K! 走进
VirtualLab Fusion
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Vn1k C k%QhF] VirtualLab Fusion中的工作流程
1?HUXN#, (c(c MC'
D8_m_M|P ~fsAPIQ •构造光栅
结构 >q
<,FY!A −
通过使用界面来配置光栅结构 _jef{j [用例]
I"3Qdi •分析光栅衍射效率
7"= −
光栅级次分析器[用例]
AW6]S*rh •使用参数运行搜索初始解决方案
^BjwPh4Z# −
参数运行文档的使用[用例]
fl~k')s •通过参数优化找到最终设计
IDzP<u8v BW:&AP@B VirtualLab Fusion技术
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