摘要
&M}X$k I /RJ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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PiKP. 8l5>t 建模任务
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]##aAh-P4& 光栅特性与参数的严格分析
F)hj\aHm k q k^FyZ< 不同光栅周期下的衍射效率
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.@,t}:lD =4eJ@EVM 关于光栅周期选择的考虑
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*I(6hB "5V;~}=S 偏振相关的衍射特性
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G(a5@9F +<1 |apS1 通过参数优化进行光栅设计
>4X2uNbZS k\ #; 固定周期的2D参数优化
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(lM,' 2D参数优化–设计1
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$K^l=X }pMVl 2D参数优化–设计2
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V6][*.i!9 h~ k<" 制造
公差分析–设计2
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$yASWz c#N4XsG, 变化光栅周期的3D参数优化
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`MI;.t $t;:"i> 制造公差分析
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4,sE{%vb $ZI] 走进
VirtualLab Fusion
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.2E/(VM n|{K_! f VirtualLab Fusion中的工作流程
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dC({B3#e{ :|W=2(> •构造光栅
结构 ;|Mfq`s −
通过使用界面来配置光栅结构 `"=>lu2H [用例]
inGUN?? •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
01?+j%k=m/ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
a}%f+`z •通过参数优化找到最终设计
X9Ch(nWX ,->K)Rs ; VirtualLab Fusion技术
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