摘要
\1[I(u D/w4u;E@ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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IwIk;pB O {Tp0#fi 建模任务
QJ`#&QRp an 3"y6.8
7RmL#f` 光栅特性与参数的严格分析
N;A#3Ter {g2cm'hD 不同光栅周期下的衍射效率
}*~EA=YN; U-ILzK
FKd5]am C^S?W=1=w 关于光栅周期选择的考虑
u,
%mVd ~a[]4\m;
kyQ%qBv ^ x+vNA J 偏振相关的衍射特性
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bh&,*Y6= zi23k=
ujZki.x 2hV#3i
w|x=^ S<f&?\wK=v 通过参数优化进行光栅设计
AC=cz!3iB I?v)>||Q 固定周期的2D参数优化
oh`I$ O`O{n_o^u
~4[2{M.0>@ 2D参数优化–设计1
U`JzE"ps] <JHU*Z
R0;c'W) $EbxV"b+ 2D参数优化–设计2
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)#MKOsOct ,~FyC_%*
制造
公差分析–设计2
(|Am !arcQ:T@G
$Trkow%F] k0?4vA 变化光栅周期的3D参数优化
g# :|Mjgh Z~8Xp
[kzcsJ'/e 6)P~3C' 制造公差分析
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gh}FZs5P R! ?8F4G 走进
VirtualLab Fusion
]Ole#Lz}Q :7IL|bA<
C/e`O|G a=gTGG"9 VirtualLab Fusion中的工作流程
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3mZX@h@ TQ" [2cY •构造光栅
结构 Z?[;Japg −
通过使用界面来配置光栅结构 X#5dd.RR [用例]
bOux8OHt* •分析光栅衍射效率
$I-$X? −
光栅级次分析器[用例]
YWM$% •使用参数运行搜索初始解决方案
b,7:=-D −
参数运行文档的使用[用例]
GY<Y, •通过参数优化找到最终设计
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tlzCDn {g l-tRC3 VirtualLab Fusion技术
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JJ,Fh
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