[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 DC&3=Nd  
*=sMJY9#jE  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -?jI{].:8  
(d> M/x?W  

图片:1-20021G15353423.png

HDmjt+3&n  
3YKJN4  
建模任务 pUGFQ."\  
LB(I^  

图片:1-20021G15419564.png

6MewQ{hi  
光栅特性与参数的严格分析 xz$-_NWW  
UN FQ`L  
不同光栅周期下的衍射效率 l**gM  
.Y
w  

图片:1-20021G15602G5.png

$nkvp`A  
u-8b,$@Z>'  
关于光栅周期选择的考虑 q=EHB5!q  
{V8yJ{.G  

图片:1-20021G15641J8.png

aUy!(Y  
:4Gc'bR  
偏振相关的衍射特性 \?$`dA[  
6KvoHo  

图片:1-20021G15G0159.png

Az+k8=?  
li @:  

图片:1-20021G15I2201.png

ax.;IU  
S7B7'[ru  

图片:1-20021G15P2594.png

^"\3dfzKM  
   v>X
AzA  
通过参数优化进行光栅设计 H%nA"-  
As}eI!  
固定周期的2D参数优化 *
?JNh;  
8Q{"W"]O7  

图片:1-20021G15RaL.png

{
h}0"5  
2D参数优化–设计1 P&>!B,f  
bpr  

图片:1-20021G15Z4258.png

s~z~9#G(6  
gNWTzz<[f>  
2D参数优化–设计2 rexNsKRK_  
r_x|2 AoO  

图片:1-20021G20004394.png

l.@v@T(/  
H|.cD)&eYy  
制造公差分析–设计2 ir{li?kV  
rWP -Rm  

图片:1-20021G2002JX.png

kS7`g A  


&Hi;>  
变化光栅周期的3D参数优化 f}!Eu  
f@j)t%mh  

图片:1-20021G20100c0.png

>1$vG  
8|"26UwD/  
制造公差分析 8v ZY+Q >  
baO'FyCs9&  

图片:1-20021G20120954.png

oSl@E
I  
V JJ6q  
走进VirtualLab Fusion hr/H vB  
tP.jJC~  

图片:1-20021G20141219.png

/$U<S"  
Gp9:#L!  
VirtualLab Fusion中的工作流程 MQY}}a-oug  
<k'%rz  

图片:1-20021G20205237.png

F1q6 3  
\-W|)H  
•构造光栅结构 E*Z# fa  
−通过使用界面来配置光栅结构 _C%:AFPP>  
[用例] 3FgTM(  
•分析光栅衍射效率 T&q0TBT  
−光栅级次分析器[用例] IA;'5IF  
•使用参数运行搜索初始解决方案 k9_c<TSzu  
−参数运行文档的使用[用例] Pm/Rc  
•通过参数优化找到最终设计 YApm)O={  
T
F%MO\!  
VirtualLab Fusion技术 b6?&h:{k  
v,d bto0  

图片:1-20021G2025W62.png

   :Ldx^UO