摘要
W$\X ~Q'0 O25mkX 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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'm1. X-$V |PM m?2^ R 建模任务
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4'At.<]jL 光栅特性与参数的严格分析
A'eAu <]#o*_aFP 不同光栅周期下的衍射效率
dl/X."iv! 3;BvnD7
0U&dq# I5pp "*u 关于光栅周期选择的考虑
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<NQyP{p }V^e7d 偏振相关的衍射特性
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Dsb(CoWw 通过参数优化进行光栅设计
W]LQ &f uZ[/%GTX{) 固定周期的2D参数优化
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HU[oR4E 2D参数优化–设计1
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rUFFF'm\*a (n=Aa; 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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,|x\MHd?t_ #J~Xv:LgD 变化光栅周期的3D参数优化
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>kmIw' UG=I~{L 制造公差分析
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'8Qw:f h %L cH>sV 走进
VirtualLab Fusion
K!7q!%Ju )[ w&C_>]
r:#Q9EA 3*2I$e!Jt VirtualLab Fusion中的工作流程
x.G"D( 4[_L=zD
NE[y|/ \AJS,QD •构造光栅
结构 :R3P 58> −
通过使用界面来配置光栅结构 CjmV+%b4 [用例]
OgTSx •分析光栅衍射效率
`+fk`5Y −
光栅级次分析器[用例]
)DRkS,I •使用参数运行搜索初始解决方案
Z{#"-UG −
参数运行文档的使用[用例]
59K} •通过参数优化找到最终设计
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#xo VirtualLab Fusion技术
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