摘要
YJ&lB&xH jc${.?m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
RPz!UMQSD Ufm(2` FQ
5HWwl.D ^#<:<X6 建模任务
7}2sIf[I 6ctHL<^
N*_/@qM> a 光栅特性与参数的严格分析
N1D6D$s 0 B"pFJ"XR 不同光栅周期下的衍射效率
4iYgs-, 'd|Q4RE+W
/}h71V! v_?s1+w 关于光栅周期选择的考虑
Fw(b1 d>E $[HcHnf
I$3"|7[n V6DBKq 偏振相关的衍射特性
GnSgO-$" 4jC4X*
z5|e\Z 3i@ "D
<3i4NXnL2 aB$y+`f)@
>!HfH(is\ PK:o}IWn~x 通过参数优化进行光栅设计
nG4Uk2> Sleu#]- 固定周期的2D参数优化
Dz"u8 f reqfgNg
jc%{a*n"vr 2D参数优化–设计1
d- Z+fz t%]^5<+X58
AF9[2AH=Y 4~MJ4: 2D参数优化–设计2
\-$bo=s. imJ[:E
QK``tWLIg7 SIaUrC 制造
公差分析–设计2
]Omb : ei+9G,
K$37}S5 7\\~xSXh 变化光栅周期的3D参数优化
A-Q{*{^# `uM0,Z
-H ac^4uF ?d>P+). 制造公差分析
n,Yr!W:h
D^N#E>,
Oet#wp/I !TV_dKa 走进
VirtualLab Fusion
!BvTJ-e)F $ +GFOO
|5<&r]xN _v~D{H&} VirtualLab Fusion中的工作流程
`\RX~ $^ iSZctsqE
/IrR,bvA U'Ja\Ek/f •构造光栅
结构 {LB
}v;?l −
通过使用界面来配置光栅结构 H/p-YtY [用例]
'Tru?y\ •分析光栅衍射效率
YjX!q]56 −
光栅级次分析器[用例]
f'zU^/$rf •使用参数运行搜索初始解决方案
#^4>U&? −
参数运行文档的使用[用例]
gvTOCF •通过参数优化找到最终设计
?sjZ13 SUa dm/\uE'l VirtualLab Fusion技术
|$SvD2^ :9!0Rm
V&4:nIS>z