摘要
j3Ng] @N J{GtH[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
64Ot`=A" 8q)wT0A~
z*Y4t?+ .g CC$ 建模任务
nI1DLVt CYr2~0<g
NDG3mCl 光栅特性与参数的严格分析
"3!!G=s P G2FP|mf, 不同光栅周期下的衍射效率
/ 38b:, dx=\Pq
Sm(QgZO[4 Rp~#zt9: 关于光栅周期选择的考虑
/?POIn+0o (BtavE
P);:t~ =F!DwaZ 偏振相关的衍射特性
G P"(+5 us&!%`
8\Y/?$on aBPaC=g{HO
=AFTB<7-^ ~Rzn =>a
Jjb(l W UWdPB2x[ 通过参数优化进行光栅设计
\bt+46y@] ,hj5.;M 固定周期的2D参数优化
)I80Nq
^!]Hm&.a
u-W6 hZ$ 2D参数优化–设计1
,`7;S,f Onr#p4UT
S~"1q 0 7m;2M]BRi 2D参数优化–设计2
xl%!7?G|$> UOn
L^Z}
%IS'R`;3 By=/DVm)= 制造
公差分析–设计2
20hF2V 4\HB rd#P
0y$aGAUm a8T<f/qW k 变化光栅周期的3D参数优化
'1)BZ!
&"dT/5}6
Rn O%8Hk NIeKS_ + 制造公差分析
^(ks^<} !GkwbHr+p
aq[ ;[$w J@ x%TA 走进
VirtualLab Fusion
B;'Dh<J1 0\tk/<w2
}i1p&EN^ IAt;?4 VirtualLab Fusion中的工作流程
sIuk Q]_3 #_'
$tyF(RybG ^/K\a
, •构造光栅
结构 .BsZ.!MPL( −
通过使用界面来配置光栅结构 IxT[1$e [用例]
kJ6=T6s •分析光栅衍射效率
!FweXFl −
光栅级次分析器[用例]
e";r_J3w •使用参数运行搜索初始解决方案
z`-?5-a]I −
参数运行文档的使用[用例]
bS{7 *S •通过参数优化找到最终设计
`d#l o <dx
xXzLT VirtualLab Fusion技术
!dfc1 UjB $AAv%v
tE0DST/