摘要
Z~muQ c? wjKW 3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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NK)mE kw}J~f2 b3y@!_'c 建模任务
6i{W=$RQ yBs ^J@Y?CQl\ 光栅特性与参数的严格分析
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Qwda 不同光栅周期下的衍射效率
xxiEL2"`> #sAEIk/ zx0{cNPK5 w9i1ag 关于光栅周期选择的考虑
]>*Z 1g; :mY(d6#A> 0dXZd2oK@ Jw"'ZW#W 偏振相关的衍射特性
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`6Y'H2WJ? m:X;dcq'3 6M259*ME 2l8jw:=H E]_sl/`{od Y~fds#y0 通过参数优化进行光栅设计
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Au 固定周期的2D参数优化
e@=Bl- q$>At}4 )[G5qTO 2D参数优化–设计1
I9k o*f GP`_R 0u-'{6 :);GeZ 2D参数优化–设计2
*.W![%Be ;]vE"M x$ hZc$`V=R 8(5}Jo+ 制造
公差分析–设计2
lE$X9yIt %'k^aqFL <Cn-MOoM ewY+a ,t 变化光栅周期的3D参数优化
hPD2/M
RzFv``g co@Q 'd0]`2tVg4 制造公差分析
I:bi8D6 ~Ci|G3BW iHWl%]7sN D{ @x 走进
VirtualLab Fusion
w+*Jl}&\ DHgEhf] q\[f$==p }\P9$D+ VirtualLab Fusion中的工作流程
6'+3""\ 9q;+ Al^Z +hV7o!WxC MU%C_d%. •构造光栅
结构 0rjxWPc −
通过使用界面来配置光栅结构 "*XR'9~7 [用例]
e ST8>r •分析光栅衍射效率
vX/~34o]\ −
光栅级次分析器[用例]
>&Y8VLcK •使用参数运行搜索初始解决方案
:74)nbS −
参数运行文档的使用[用例]
I[@}+p0 •通过参数优化找到最终设计
Abd&p N K"#np!Y) VirtualLab Fusion技术
G8Ns? F{ B__Kf ixE72bX