摘要
{: H&2iF -V_iv/fmM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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b rpsZU x&4gy%b 建模任务
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>69- [#P! 光栅特性与参数的严格分析
V0O6\)/. %%c1@2G< 不同光栅周期下的衍射效率
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*'($j v&]k8Hc- 关于光栅周期选择的考虑
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mFa%d8Y N0POyd/rL 偏振相关的衍射特性
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t"Tv(W?_ %={[e`,
.gP}/dj 02RZ>m+ 通过参数优化进行光栅设计
nPRv.h v\}s(X(J 固定周期的2D参数优化
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w40 -K5wt> 2D参数优化–设计1
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O}Mu_edM ,CED% 2D参数优化–设计2
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ON-zhT?v "IuHSjP 制造
公差分析–设计2
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d#vo)> ur@"wcl"V 变化光栅周期的3D参数优化
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tE(_Cg 3vC"Q!J& 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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{Q~HMe`, jM5w<T-2/ VirtualLab Fusion中的工作流程
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|)[I$]L #]5A|-O^ •构造光栅
结构 ;k fl5 −
通过使用界面来配置光栅结构 ;%a [用例]
)[np{eF.k •分析光栅衍射效率
N?j#=b+D −
光栅级次分析器[用例]
Y2d(HD@ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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* wz< •通过参数优化找到最终设计
AO~f=GW kesuM3 VirtualLab Fusion技术
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