摘要
T^2o'_: XU`vs`/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
jZ<f-Ff0 u)Vn7zh
80LN(0?x E/C3t2@- 建模任务
6 _#C vQ e8)8QmB{o
Mw6
Mt
光栅特性与参数的严格分析
4CxU
eq /Em6+DN> 不同光栅周期下的衍射效率
6+SaO
!lR
3nx*M=
a.XMeB zy8D&7Ytf 关于光栅周期选择的考虑
r<$"T Ro#O{
m3`J9f,c/ X D\;| 偏振相关的衍射特性
7fW$jiw w#>CYP`0k6
+
$Lc'G+: n7bML?f'
|1m2h]];Q !Ic~_7"
}t1J`+x% o^x,JT 通过参数优化进行光栅设计
Nkk+*(Z &hIr@Gi@ch 固定周期的2D参数优化
H `_{n< VW**N}1#C
Ne}x(uRn 2D参数优化–设计1
8q|T`ac+N ?b?YiK&yz
%5<Xa Yo,n#<37 2D参数优化–设计2
35~1$uRA f}Uf*Bp
3moDu E7@m& R 制造
公差分析–设计2
Z:>ek>Op <p#+('N`
k}e~xbh-y ;<BMgO}N 变化光栅周期的3D参数优化
,UW!?}@ 6FEIQ#`{
>'&|{s[m 17!<8vIV$C 制造公差分析
gO_d!x* EskD)Sl
2E@y0[C? i0&W}Bb' 走进
VirtualLab Fusion
{A{sRT=% lT;uL~j
A_I\6&b4 :E2 ww` VirtualLab Fusion中的工作流程
Z<[:v2 X 3(*bj>P
{w<"jw&2 x+W,P •构造光栅
结构 |) CfO 4 −
通过使用界面来配置光栅结构 VB}^&{t)! [用例]
Lwkl* •分析光栅衍射效率
o|y1 m7X −
光栅级次分析器[用例]
<!derr-K •使用参数运行搜索初始解决方案
fmv,)UP −
参数运行文档的使用[用例]
d,0Klew •通过参数优化找到最终设计
!OMl-:KUzE x]~&4fp VirtualLab Fusion技术
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