摘要
Z}Ft:7 v #j$; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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j\^CV?}sm' UrEs4R1# 建模任务
vnZC,J ` @QP z#-
7! INkH] 光栅特性与参数的严格分析
]|PiF+ l)l^[2 不同光栅周期下的衍射效率
ExL0?FemWV Cd}<a?m,
'kO!^6=4M &Ys<@M7E: 关于光栅周期选择的考虑
sN01rtB(UT *mvlb
(' &
x)O!["'" >jc [nk 偏振相关的衍射特性
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fSvM(3Y<Qh %S^8c
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@>Km_Ax 3K0A)W/YEs 通过参数优化进行光栅设计
|"CZ T# aNspMJ 固定周期的2D参数优化
DAr1C+Dy
4yA+h2
O`t&ldU 2D参数优化–设计1
9gK`E gu.}M:u
!9VY|&fHe #yF&X(% 2D参数优化–设计2
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!C)x m'=Crei
nV/G8SeI !@*7e:l 制造
公差分析–设计2
h_,i&d@( wc^tgE
'/p/8V.O. ~H<6gN<j(. 变化光栅周期的3D参数优化
oDA XiY$u 6wjw ^m0
3<f}nfB%r? 2*l/3VW 制造公差分析
6Vnsi%{ fW1CFRHH
3J|F?M"N7 Q6!zZ))~ 走进
VirtualLab Fusion
i^Y+?Sx RmeD$>7
o&)8o5 ,pQZ@I\z VirtualLab Fusion中的工作流程
)e=D(qd N gGp
Q%f^)HZGR '9Xu
p •构造光栅
结构 h-K_Lr] −
通过使用界面来配置光栅结构 vDhh>x( [用例]
rCbDu&k] •分析光栅衍射效率
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G&R −
光栅级次分析器[用例]
A,Vu\3HS •使用参数运行搜索初始解决方案
b)5uf'?- −
参数运行文档的使用[用例]
0#s"e}@v •通过参数优化找到最终设计
aU "8{ IT7wT+ VirtualLab Fusion技术
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