摘要
dn&s* CT&|QH{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?al'F q ko!)s 建模任务
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v_yw@ 光栅特性与参数的严格分析
%U/(|wodd 49eD1h3'X[ 不同光栅周期下的衍射效率
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+V2F#fI/ A@`}c,G 关于光栅周期选择的考虑
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::`HQ@^ !n`fTK<$ 偏振相关的衍射特性
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;[ZEDF5H MxKS4k 通过参数优化进行光栅设计
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F$ `>o{P/HN 固定周期的2D参数优化
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U4'#T%* 2D参数优化–设计1
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l]5KN 2D参数优化–设计2
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gb1V~ }CSDV9).S 制造
公差分析–设计2
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p 变化光栅周期的3D参数优化
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qZdQD #~]zhHI 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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6q\bB (TtkFo'!U VirtualLab Fusion中的工作流程
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c^xIm'eob LVM%"sd? •构造光栅
结构 Y(ykng −
通过使用界面来配置光栅结构 >b}o~F^J [用例]
C^Yb\N}S •分析光栅衍射效率
C}j"Qi` −
光栅级次分析器[用例]
g/d<Zfq<{ •使用参数运行搜索初始解决方案
'ZF{R3Xu −
参数运行文档的使用[用例]
@D[_}JE •通过参数优化找到最终设计
2QcOR4_V b~P`qj[ VirtualLab Fusion技术
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