摘要
Q[M (Wqg uie~' K\y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>;)2NrJV <eY%sFq, 建模任务
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wW-A b 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
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(gZgMT ! .AhzU1%Y 关于光栅周期选择的考虑
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z!$gVWG Q!yb16J 偏振相关的衍射特性
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)\wuesAO ;hwzYXWF 通过参数优化进行光栅设计
bni)Qw <FUon 固定周期的2D参数优化
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&|b4\uj9 2D参数优化–设计1
I5qM.@%zB bhD ~4Rz
ca(U!T68 (ss3A9tG 2D参数优化–设计2
} B0sC%cm GP+2/D
aG(hs J) yl$F~e1W 制造
公差分析–设计2
GRT]aw ,}0$Tv\1
BFWi(58q wiJRCH 变化光栅周期的3D参数优化
Vr/Bu4V" _({@B`N}
(WRMaI72( qZ*f%L( 制造公差分析
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yh<pX/$ :"QfF@Z{ 走进
VirtualLab Fusion
E9+ HS byGn,m
i%;"[M JJ?I>S N! VirtualLab Fusion中的工作流程
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+-BwQ{92[: R,t$"bOd •构造光栅
结构 V}"
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通过使用界面来配置光栅结构 83 I-X95 [用例]
c~imE% •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
+
P7o4]:/ •使用参数运行搜索初始解决方案
j*400 −
参数运行文档的使用[用例]
Qz,|mo+ •通过参数优化找到最终设计
m%QSapV E{y1S\7K VirtualLab Fusion技术
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