摘要
'OA*aQ=K qLCNANWnd 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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o`iA& Lk !)G'42 建模任务
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DquLr+s~ 光栅特性与参数的严格分析
~,}|~ E2dM0r<] 不同光栅周期下的衍射效率
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T[SK>z 关于光栅周期选择的考虑
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WutPy_L< |6Q5bV 偏振相关的衍射特性
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o-rX 4=T F@?-^ E@ 通过参数优化进行光栅设计
qnp}#BZ &3t973= 固定周期的2D参数优化
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(I~ 2D参数优化–设计1
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]Kt@F0U<o o-=|}u]mz 2D参数优化–设计2
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"SMJ:g", >=0]7k; 制造
公差分析–设计2
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]"fwkL 变化光栅周期的3D参数优化
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V*@aE RB %+|@c 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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I,hw0e dcY(1p) VirtualLab Fusion中的工作流程
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r0}x:{$M O]tR~a •构造光栅
结构 Ca0sm −
通过使用界面来配置光栅结构 &\9%;k [用例]
?+Gt?-! 5q •分析光栅衍射效率
xS 1|t}; −
光栅级次分析器[用例]
r,JQR)l0@V •使用参数运行搜索初始解决方案
Z9DfwWI2nu −
参数运行文档的使用[用例]
` Tap0V •通过参数优化找到最终设计
@/:4beh 84WDR? VirtualLab Fusion技术
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