摘要
R2l[Q){! /|?F)%v\ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
(^LS']ybc &&WDo(r3 tw=K&/@^O y_*n9
)Ct 建模任务
[B,'=,Hbs tRteyNA ibXe"X/_ 光栅特性与参数的严格分析
:j@8L.<U ~AQ>g#|% 不同光栅周期下的衍射效率
QQFf5^ b$Ln}< r'p =`2= "}@i+oS 关于光栅周期选择的考虑
n+HsQ]z. Y9u;H^^G [SkKz>rC "mOI!xf@a 偏振相关的衍射特性
7S<UFj D<t~e$ H $o.Kn9\ Cp^g'& ]9*;;4Mg 'a#mViPTQ) @uM EXP Bd5+/G=m 通过参数优化进行光栅设计
i.y=8GxY G`F8!O( 固定周期的2D参数优化
UQI
f}iR i)8N(HN WhFS2Jl0 2D参数优化–设计1
]GX \|1L H-I{-Fm OR4!YVVQ 'eyJS`
2D参数优化–设计2
YTQps&mD. M4KWN' (PRBS\*G `ZMK9f: 制造
公差分析–设计2
{U"^UuU] __I/F6{ 9V MR$>!Nlp cSK&[>i)4 变化光栅周期的3D参数优化
5f^>b\8+ | !^y y0`k6 Hx2En:^Gf DG[%Nhle 制造公差分析
[h&BAR/ 2 |cDszoT
/ }gGkV] R-rCh. 走进
VirtualLab Fusion
uLk]LT aDL*W@1S J!TBREK C4\,z\Q VirtualLab Fusion中的工作流程
bk<FL6z
z WKl+{e --fFpM3EvS !kL> ,O>/ •构造光栅
结构 + G;LX'B −
通过使用界面来配置光栅结构 Xsuwa-G!5~ [用例]
`t(D! •分析光栅衍射效率
` ;)ZGY\ −
光栅级次分析器[用例]
'91".c,3? •使用参数运行搜索初始解决方案
wRtZ`o −
参数运行文档的使用[用例]
P"3*lk+w •通过参数优化找到最终设计
<rIz Z'D z@Hp,|Vy[ VirtualLab Fusion技术
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