摘要
7rH'1U xC<R:"Mn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4S'[\ZJO =.DTR5(_h 建模任务
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k}X[u8A 光栅特性与参数的严格分析
F|,6N/;!W >H$;Z$o*( 不同光栅周期下的衍射效率
?2/uSG| h5x*NM1Ih
{nTG~d Sc$gnUYD{ 关于光栅周期选择的考虑
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7LG+$LEz b9`i Z 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
U{"f.Z:Ydo FW_G\W. 固定周期的2D参数优化
$.wA?`1aSk :VJV 5f{
/oFc03d 2D参数优化–设计1
R0vww_fz B=r0?%DX"1
ln fm0 s1{[{L3 2D参数优化–设计2
+GYS26 YwGHG{?e
mGO>""<: \2j|=S6 制造
公差分析–设计2
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@7fm1b Rnr#$C% 变化光栅周期的3D参数优化
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F;pQ \Y Hng!' 制造公差分析
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7lR<@$q JD ]OIh 走进
VirtualLab Fusion
2
Kla8 \"'\MA
+RS$5NLH 9KyZEH;pY VirtualLab Fusion中的工作流程
(8G$(MK L%XXf3;c
ljVIE/iq ~r&D6Y •构造光栅
结构 @; ;G88= −
通过使用界面来配置光栅结构 lVoik*,B [用例]
uH\w. •分析光栅衍射效率
(N0sE"_~I5 −
光栅级次分析器[用例]
@o&Ytd;i •使用参数运行搜索初始解决方案
;%Q&hwj −
参数运行文档的使用[用例]
f?^S bp •通过参数优化找到最终设计
w.uK?A>W, &\^rQi/tf VirtualLab Fusion技术
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