摘要
rC.eyq,105 a 4=N9X 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
7]x3!AlV `((Yc]:7
d~/q"r 1" sp7*_&'J 建模任务
f'<Q.Vh< v1|Bf8
,h{A^[yl 光栅特性与参数的严格分析
N0K){ _bzqd"
31I 不同光栅周期下的衍射效率
V7Z4T6j4 ]J* ,g,
L4b:F0 kaxvPv1
关于光栅周期选择的考虑
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1VF
5aBAr 偏振相关的衍射特性
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9U {y1} +vNZW@_$D
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'qArf iweD
@b 通过参数优化进行光栅设计
X*g(q0N<S Q|,B*b 固定周期的2D参数优化
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&f>eQS=( 2D参数优化–设计1
p1D[YeF4 (=16PYs
dLvJh#`o TgTnqR@/ 2D参数优化–设计2
f`8OM}un& F(
Ak
?f*Q>3S) ewuXpv%vwW 制造
公差分析–设计2
K7e4_ZGI )i>[M"7
Q \]Xm> ?
b[n|^wS 变化光栅周期的3D参数优化
2oZ9laJO e8h,,:l3j
YB)3X[R+0 E RdL^T> 制造公差分析
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yMc:n"-[ joXfmHB} 走进
VirtualLab Fusion
"BKeot[""p >r)X:K+I
<w>/^|]# 8L5!T6+D& VirtualLab Fusion中的工作流程
B/J&l :%JC^dV(
6al=Cwf QM5 .f+/ •构造光栅
结构 aV`&L,Q)7E −
通过使用界面来配置光栅结构 pO~c<d}b [用例]
BHj\G7,S •分析光栅衍射效率
fd8!KO −
光栅级次分析器[用例]
Nt:8ogk/ •使用参数运行搜索初始解决方案
/%n`V −
参数运行文档的使用[用例]
"PH6e bm •通过参数优化找到最终设计
~%ozgzr^ ~vgA7E/XV VirtualLab Fusion技术
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