[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 f+4j ^y}  
A7zL\
U4
 
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 o=C'u  
2E@y0[C?  

图片:1-20021G15353423.png

'A'[N :i  
`'b2 z=j  
建模任务 _{?-=<V'_  
uX+ YH  

图片:1-20021G15419564.png

XM:\N$
tg  
光栅特性与参数的严格分析 v=E(U4v9e  
7~nuFJaTI  
不同光栅周期下的衍射效率 otdm rw|  
C]ef `5NR]  

图片:1-20021G15602G5.png

rWip[>^  
NoT%z$1n  
关于光栅周期选择的考虑 v}Kj+9h  
{,e-;2q  

图片:1-20021G15641J8.png

M[7$F&&n  
*+j r? |  
偏振相关的衍射特性 (vwKC D&  
B;J8^esypD  

图片:1-20021G15G0159.png

4ms"mIt  
e}TDo`q  

图片:1-20021G15I2201.png

sQLjb8!7  
sQMfU{S /  

图片:1-20021G15P2594.png

C\}M_MD  
   !
qug^F  
通过参数优化进行光栅设计 M^.>UZKyl  
.:B;%*  
固定周期的2D参数优化 a[NR%Xq
  
#:tC^7qk  

图片:1-20021G15RaL.png

&|fWtl;43  
2D参数优化–设计1 P$6Pe>3  
WUGFo$xA  

图片:1-20021G15Z4258.png

QQ./!  
MCl-er"]D  
2D参数优化–设计2 pLtK
:Z  

SL?YU(a  

图片:1-20021G20004394.png

x,TnYqT^  
`a9iq>   
制造公差分析–设计2 Ceew~n{  
Gk:k px  

图片:1-20021G2002JX.png

UZJ#/x5F  
.a9f)^  
变化光栅周期的3D参数优化 Jo:S*D  
__`6 W1  

图片:1-20021G20100c0.png

EAK[2?CY  
kQO-V4z!  
制造公差分析 2Wr^#PY60  
5'n$aFqI  

图片:1-20021G20120954.png


,n&Lp  
+IG=|X  
走进VirtualLab Fusion =LKf.@]#  
W>&!~9H  

图片:1-20021G20141219.png

L#\5)mO.v  
=-/sB>-C  
VirtualLab Fusion中的工作流程 OuyO_DSI  
Hd_,`W@
 

图片:1-20021G20205237.png

DSK?7F$_oE  
_,3%)sn-)  
•构造光栅结构 XzPUll;ZU  
−通过使用界面来配置光栅结构 x@tI  
[用例] piXL6V@c  
•分析光栅衍射效率 +QeA*L$~  
−光栅级次分析器[用例] f(T`(pX0V  
•使用参数运行搜索初始解决方案 4mnVXKt%.  
−参数运行文档的使用[用例] JV?
d/[u,  
•通过参数优化找到最终设计 o^b5E=?>C  
.pIO<ZAFT  
VirtualLab Fusion技术  huvn_  
okTqq=xd`  

图片:1-20021G2025W62.png

   q2*1Gn9!j