[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 !Ahxi);a  
"hk {"0E  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ab6R?mUM  
jyB Ys& v  

图片:1-20021G15353423.png

s
YbmL`{  
Mc&Fj1h5  
建模任务 H?rCIS0  
@H8DGeM
 

图片:1-20021G15419564.png

[HI$[:[  
光栅特性与参数的严格分析 ^J;rW3#N8  
m}
7Nu  
不同光栅周期下的衍射效率 ]h,iyWSs  
\CX6~  

图片:1-20021G15602G5.png

Y?$  
&M:o(
T  
关于光栅周期选择的考虑 zdm2`D;~p  
bct8~dY  

图片:1-20021G15641J8.png

JvK]EwR ;  
q~^!Ck+#*  
偏振相关的衍射特性 THARr#1b};  
[+_>g4M~%  

图片:1-20021G15G0159.png

v-BQ>-&
s  
*E]:VZl  

图片:1-20021G15I2201.png

!ewT#afyu(  
J;=T"C&  

图片:1-20021G15P2594.png

txvo7?Y*4  
   hI9q);g  
通过参数优化进行光栅设计 5YneoM]Q  
q}!h(-y}5n  
固定周期的2D参数优化 {PR "}x  
F0~<p[9Nx  

图片:1-20021G15RaL.png

'/)qI.  
2D参数优化–设计1 d&\3}uH  
2$ &B@\WY  

图片:1-20021G15Z4258.png

":f]egq -  
\Hdsy="Dnh  
2D参数优化–设计2 k?$I4&|5Nt  
k<5g  

图片:1-20021G20004394.png

uaz!ze+  
|-;V
nC&UY  
制造公差分析–设计2 ]x{.qTtw  
U E$Ix  

图片:1-20021G2002JX.png

xW]65iav  
UOk\fyD2[  
变化光栅周期的3D参数优化 Rw|'LaW  
l*6Zh"o:  

图片:1-20021G20100c0.png

#f<v%  
Inn{mmz 1  
制造公差分析 %~y>9K  
]Axz}:  

图片:1-20021G20120954.png

\H~zN]3^  
Nke!!A}\|  
走进VirtualLab Fusion 2:_6nWl  
kY @(-  

图片:1-20021G20141219.png

.r2*tB).  
*yaS^k\  
VirtualLab Fusion中的工作流程 1`YU9?  
JXM]tV  

图片:1-20021G20205237.png

yIrJaS-  
#fYB4.i~  
•构造光栅结构 t&:L?K)j  
−通过使用界面来配置光栅结构 "VZXi_P  
[用例] \+l*ZNYM3  
•分析光栅衍射效率 ?3p7MjvZ  
−光栅级次分析器[用例] 993f6  
•使用参数运行搜索初始解决方案 tq}45{FH3  
−参数运行文档的使用[用例] ICvV}%d  
•通过参数优化找到最终设计 8AX_y3$  
]"lB!O~  
VirtualLab Fusion技术 ,wwO0,
"y7  
%IX)+ Lp`  

图片:1-20021G2025W62.png

   ](A2,F 9(U