摘要
6 6%_p]U ceUhCb 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>* )fmfY _-R&A@ 建模任务
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QB"Tlw( 光栅特性与参数的严格分析
G &QG Q wR%F>[6.{ 不同光栅周期下的衍射效率
us7t>EMmB GpZ}xY'|w,
v(`9+* Aw)I:d7F 关于光栅周期选择的考虑
51Q m2,P1^ O,[9E
.ED8b5t| _wp_y-" 偏振相关的衍射特性
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X? l5} Rh,a4n?W 通过参数优化进行光栅设计
*Tum(wWZ AeR*79x 固定周期的2D参数优化
o FS2*u 2/>u8j
/_[?i"GW 2D参数优化–设计1
eq6>C7.$ E'cI} q
hCPyCq] h3rVa6cxM 2D参数优化–设计2
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4Gt^:J" _O3X;U7rc 制造
公差分析–设计2
EpCF/i?9: %:!ILN
`Fx+HIng, QX+Xi<YE- 变化光栅周期的3D参数优化
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qez# jY k5]2#A
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JU v];P| Fi 制造公差分析
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MS`XhFPS. cb5T-'hY
走进
VirtualLab Fusion
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2(2UAB"u _ -|+k VirtualLab Fusion中的工作流程
x8o/m$[,=u /d*[za'0
G Ml JM #+ Y%Bxf •构造光栅
结构 k![oJ.vHD −
通过使用界面来配置光栅结构 &)izh) FA [用例]
8/<+p? 3p> •分析光栅衍射效率
OK(xG3T −
光栅级次分析器[用例]
vcC" •使用参数运行搜索初始解决方案
DEW;0ic −
参数运行文档的使用[用例]
zyB>peAp6j •通过参数优化找到最终设计
5c0$oyl)M g=$nNQ
\6= VirtualLab Fusion技术
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