摘要
f+4j ^y} A7zL\U4 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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'A'[N :i `'b2 z=j 建模任务
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XM:\N$tg 光栅特性与参数的严格分析
v=E(U4v9e 7~nuFJaTI 不同光栅周期下的衍射效率
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rWip[>^ NoT%z$1n 关于光栅周期选择的考虑
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M[7$F&&n *+j r? | 偏振相关的衍射特性
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C\}M_MD !qug^F 通过参数优化进行光栅设计
M^.>UZKyl .:B;%* 固定周期的2D参数优化
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&|fWtl;43 2D参数优化–设计1
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QQ./! MCl-er"]D 2D参数优化–设计2
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x,TnYqT^ `a9iq> 制造
公差分析–设计2
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UZJ#/x5F .a 9f)^ 变化光栅周期的3D参数优化
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EAK[2?CY kQO-V4z! 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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L#\5)mO.v =-/sB>-C VirtualLab Fusion中的工作流程
OuyO_DSI Hd_,`W@
DSK?7F$_oE _,3%)sn-) •构造光栅
结构 XzPUll;ZU −
通过使用界面来配置光栅结构 x@tI [用例]
piXL6V @c •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
f(T`(pX0V •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
JV?d/[u, •通过参数优化找到最终设计
o^b5E=?>C .pIO<ZAFT VirtualLab Fusion技术
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