摘要
8sOM%y9M cxFfAk\,en 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9s5gi+l_O
"<SK=W 建模任务
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V/j+Z1ZW 光栅特性与参数的严格分析
#(FG+Bk n a])bBn 不同光栅周期下的衍射效率
yHT8I &]iX>m.
`PnB<rf:*1 y&")7y/uE 关于光栅周期选择的考虑
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偏振相关的衍射特性
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ZP61T*n NdZv* 通过参数优化进行光栅设计
*D!$gfa tbrjTeC 固定周期的2D参数优化
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lPFT)>(+@ 2D参数优化–设计1
SE&J)Sj] SxcNr5F
2JwR?<n{ %?1k}(qUeY 2D参数优化–设计2
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y((I2g1rv w?|gJ*B" 制造
公差分析–设计2
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w0(A7L:L *6=2UJcJ 变化光栅周期的3D参数优化
#Y`GWT1== fx2r\ usX[
PB*mD7" `?{i dg 制造公差分析
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J=|PZ2" Z;`ts/?SY] 走进
VirtualLab Fusion
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.I_Mmaq;i ^3C8GzOsO VirtualLab Fusion中的工作流程
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?G%C}8a wGD*25M7$ •构造光栅
结构 ]E$h7I −
通过使用界面来配置光栅结构 RGvfy/T [用例]
HfEU[p7) •分析光栅衍射效率
w'E&w)Z] −
光栅级次分析器[用例]
<XG&f •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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A^oU •通过参数优化找到最终设计
#m[R1G# =0!PnBGYn VirtualLab Fusion技术
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