摘要
|e.3FjTH dvrvpDoE. 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
BIHHRCe:@n CrQA :_Z(7 ]ouUv7\ xC=3|,U 建模任务
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W %Hl:nT2M *1 J#Mdd 光栅特性与参数的严格分析
KNUMz4 ,_TH@0{ 不同光栅周期下的衍射效率
NL>[8# ~8n~4 56j/w[&8 E-7a`S 关于光栅周期选择的考虑
hBY h90] O. .@<. I,`D& 1_dMe%53 偏振相关的衍射特性
:n%sU*'T V]CK' Sv^'CpQ K:lT-*+S "8j;k5< ovBd%wJ 0 XQg%*Rw+t >-./kI " 通过参数优化进行光栅设计
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0z<]\a4 固定周期的2D参数优化
r+W8m?oi %>*0.)wG ;?L[]Ezzt 2D参数优化–设计1
1wNY}3 uZ39Vx BNKo6:wy i!+3uHWu`) 2D参数优化–设计2
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~ u g$\&rM> *t-A6)2 制造
公差分析–设计2
OD!CnK FSZoT! :@807OYzy $(mdz)Cfy 变化光栅周期的3D参数优化
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9QQ@Y} rZCAj 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
V+<AG*[ (<~R[sT| NX #d}M^V adPU)k_j: VirtualLab Fusion中的工作流程
!!X9mI|2| Y52xrIvl\ U;dt-3?=.h Nc Mq>n •构造光栅
结构 ){|Lh( −
通过使用界面来配置光栅结构 0g uc00IN [用例]
f<:SdtG5 •分析光栅衍射效率
h_"/@6 −
光栅级次分析器[用例]
W$&Ets8zo •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
]=VI"v<X •通过参数优化找到最终设计
;4#8#; &{{f|o=u. VirtualLab Fusion技术
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