摘要
ISK 8t C#yRop_d]o 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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S]!W\a 建模任务
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<DR!AR) 光栅特性与参数的严格分析
!5?_) /VufL+q1 不同光栅周期下的衍射效率
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S1Od&v[R ITqAy1m@C 关于光栅周期选择的考虑
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&p_iAMn:9 8OV=;aM?{ 偏振相关的衍射特性
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(?^ F }] !9KDdU 通过参数优化进行光栅设计
z\ONwMl \aM-m:J 固定周期的2D参数优化
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lZ[J1:% 2D参数优化–设计1
7.ein:M|CB j$/#2%OVN
w@Q~ax/ cNmAr8^} 2D参数优化–设计2
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pt3)yj&XE G7+ {O7 制造
公差分析–设计2
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I1w 变化光栅周期的3D参数优化
uM\\(g} Kg>B$fBx)
Z]TQ+9t |;)_-=L0P 制造公差分析
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u?MhK#Mr GBRiU&D 走进
VirtualLab Fusion
o&@ y^<UQ VWK/(>TP
rKslgZhQ -X7x~x- VirtualLab Fusion中的工作流程
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G9QvIXRi O NcLhwH •构造光栅
结构 G:lhrT{ −
通过使用界面来配置光栅结构 "a'I^B/ [用例]
k{F6WQ7 •分析光栅衍射效率
Viw,YkC −
光栅级次分析器[用例]
>!" Sr3,L •使用参数运行搜索初始解决方案
rDoMz3[w −
参数运行文档的使用[用例]
iiJT%Zq`# •通过参数优化找到最终设计
<zvtQ^{] Oe@w$? VirtualLab Fusion技术
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