摘要
/ynvQ1#uA :2qUel\PEC 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
HH\6gs]u B_^ ~5_0:
7(q EHZEr w4S0aR:yL 建模任务
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+, SUJ| 光栅特性与参数的严格分析
:|GC~JElo5 @dy<=bh~ 不同光栅周期下的衍射效率
zjzW;bo( d `qNhB\
x"n!nT%Z k3-'!dW< 关于光栅周期选择的考虑
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9rB,7%@EL +x7b9sHJ 偏振相关的衍射特性
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R3HfE*;Z 2WP73:'t 通过参数优化进行光栅设计
AI$r^t1 4QK~qAi 固定周期的2D参数优化
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}mz6z<pJ_ 2D参数优化–设计1
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iD}P*V
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h:[8$] 2D参数优化–设计2
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\{}9 (&25 8i, 制造
公差分析–设计2
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#~&SkIhBE -,M*j| 变化光栅周期的3D参数优化
tWs ]Zd /M:R|91:_
@~4Q\^;NX 0Zt=1Tv 制造公差分析
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XHX\+&6 U]Iypl`l 走进
VirtualLab Fusion
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I:6N?lD4}0 iIOA5 4!o VirtualLab Fusion中的工作流程
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P1<Y7+n a(+.rf; •构造光栅
结构 P/BWFN1 −
通过使用界面来配置光栅结构 PT9,R^2T! [用例]
uR|?5DK •分析光栅衍射效率
r<Il;?S6 −
光栅级次分析器[用例]
!xU1[,9 •使用参数运行搜索初始解决方案
hAPWEh^ −
参数运行文档的使用[用例]
Kq`C5 •通过参数优化找到最终设计
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X VirtualLab Fusion技术
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