摘要
)Bo]=ZTJ^ !:3^ hb 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!~)90Z! 7{4w2) 建模任务
SnW7 x 88+
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XG
19p8B& 光栅特性与参数的严格分析
Ls1B\Aw _ >VP5vkv= 不同光栅周期下的衍射效率
6x/s|RWL1 9p4y>3
?pqU3-knH 0'`S, 关于光栅周期选择的考虑
a$}NW. tF^g<)S;t
t!jYu<P ET. dI.R8 偏振相关的衍射特性
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Z|I-BPyn zW5C1:.3K
P6.!3%y 2e59Ez%k6
wx*1*KZ t+O e)Ns 通过参数优化进行光栅设计
5]d{6Nc3P -9d%+O~v6~ 固定周期的2D参数优化
s7l23*Czl <bP#H
R5(F)abi 2D参数优化–设计1
!zR)D|w& [1SMg$@<
[9AM\n>g \J3/keL 2D参数优化–设计2
A?A9`w APq7 f8t
:IZ"D40m" R%"K 制造
公差分析–设计2
D"^'.DL@wG |55dbL$w
oL-2qtv {$33B'wk 变化光栅周期的3D参数优化
Q|c|2byb to>
RV;!05^< "VTF}#Uo 制造公差分析
2+Yb
7 uI, |##GIIv;i
3{ "O,h vy9dAl 走进
VirtualLab Fusion
:o8MUXH$ I2[]A,f,
4TZ cc|B5 o\!qcoE2W VirtualLab Fusion中的工作流程
tJ'iX>9I pr rT:Y
UQPU"F7. Ej"u1F14J •构造光栅
结构 x-;`-Uo% −
通过使用界面来配置光栅结构 [>Fm[5x [用例]
Fe!9y2Mg •分析光栅衍射效率
qINTCm j −
光栅级次分析器[用例]
NBOCt)C;H •使用参数运行搜索初始解决方案
8@eOTzm −
参数运行文档的使用[用例]
:NE/Ddgc' •通过参数优化找到最终设计
}r3~rG<D71 yWb4Ify VirtualLab Fusion技术
J=H)JH3 H=~9CJ+tc
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