摘要
$nBzYRc"3 _K8ob8)m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$yHlkd`Y f4CwyL6ur 建模任务
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i 光栅特性与参数的严格分析
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0: 4Ts5*_ 不同光栅周期下的衍射效率
;HgV(d#X wYOSaGyZ0I
b_z;^y~ "#qyX[\ 关于光栅周期选择的考虑
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`$fwLC3j U8\[8~Xftn 偏振相关的衍射特性
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n [[rI0]g .u>IjK^ 通过参数优化进行光栅设计
A_muuOIcI EdhT;! 固定周期的2D参数优化
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{ Wt"fn&R}
SYOND>E 2D参数优化–设计1
fq~<^B pE[ul
7q<I7Wt HW;,XzP= 2D参数优化–设计2
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T@;z o8: (f,D$mX 制造
公差分析–设计2
TPZZln'3 p6$ QTx
K, ae-#wgb g7res 变化光栅周期的3D参数优化
u.YPb@ <03 @c s
y TfAS. 3@kiUbq7Eu 制造公差分析
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?dP3tLR (.-3q;)6 走进
VirtualLab Fusion
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<*E{zr& cVv+,l4V0 VirtualLab Fusion中的工作流程
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-K hXb SUsD)!u_H •构造光栅
结构 -} \g[| −
通过使用界面来配置光栅结构 ^UHt1[ [用例]
u POmiF •分析光栅衍射效率
?W-J2tgss{ −
光栅级次分析器[用例]
M/C7<?& •使用参数运行搜索初始解决方案
Sr Z\] −
参数运行文档的使用[用例]
H6X]D"Y, •通过参数优化找到最终设计
{Tb(4or?=b _\waA^ F VirtualLab Fusion技术
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