摘要
M"[s5=:Lo B;tU+36nM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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x bF*4;^SI yA_;\\ 建模任务
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^c{}G<U^ 光栅特性与参数的严格分析
2%\Nq:;T ZxkX\gl91 不同光栅周期下的衍射效率
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_.0c~\VA d{+H|$L` 关于光栅周期选择的考虑
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mLX1w)=r pv039~Sud 偏振相关的衍射特性
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0(#HMBE8 J411bIxD+q
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RfU1R a%f{mP$m 通过参数优化进行光栅设计
>R3~P~@30 Qfo'w%px 固定周期的2D参数优化
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d$)'?Sf]h 2D参数优化–设计1
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OqUEj 0X ~jAOGo/&6 2D参数优化–设计2
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At%g^ 'dM &~LSQ 制造
公差分析–设计2
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W8ahG} gVCkj!{ 变化光栅周期的3D参数优化
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*{tn/ro6a M]!\X6<_ 制造公差分析
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6}R^L(^M >4 GhI65 走进
VirtualLab Fusion
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`m<l8'g |Z6rP- VirtualLab Fusion中的工作流程
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{Tli •构造光栅
结构 z_!P0` −
通过使用界面来配置光栅结构 KXcG;b[7n [用例]
]tH/87qJ •分析光栅衍射效率
TJ7on.; −
光栅级次分析器[用例]
?PiJ7| •使用参数运行搜索初始解决方案
`Q1T-H_ −
参数运行文档的使用[用例]
gj\r>~S •通过参数优化找到最终设计
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) '1ff| c!x9 VirtualLab Fusion技术
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