摘要
M:t!g%
>?Y)evW 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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DlC\sm D$X9xtT 建模任务
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jbQ N<`! 光栅特性与参数的严格分析
g%C!)UbT 0*e)_l! 不同光栅周期下的衍射效率
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N5W;Zx] _(J;!, 关于光栅周期选择的考虑
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3C:!\R .&z/p3 1 偏振相关的衍射特性
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14'T 通过参数优化进行光栅设计
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TiF?@ 固定周期的2D参数优化
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xg:r5Z/|) 2D参数优化–设计1
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JPpF` 2D参数优化–设计2
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tQ:g#EqL9B 3Jt7IM!9[ 制造
公差分析–设计2
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gKp5* WO}l&Q 变化光栅周期的3D参数优化
B #[URZ9S YN=dLr([<
Nu/D$m'PY ,H_b@$]n8 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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mYU7b8x_ [RAzKzC\M VirtualLab Fusion中的工作流程
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.Lwp`{F/ Qkk3>{I •构造光栅
结构 @&I7z, −
通过使用界面来配置光栅结构 a{4Wg: [用例]
Fwu:x.( •分析光栅衍射效率
u~uR:E%'C −
光栅级次分析器[用例]
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< •使用参数运行搜索初始解决方案
uG5RE −
参数运行文档的使用[用例]
1 #zIAN> •通过参数优化找到最终设计
O#}d!}SIp Ok0zgi VirtualLab Fusion技术
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