摘要
qS.TVNZ o:x,zfW 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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+^0Q~>=VD TcjTF|q> 建模任务
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3LK]VuZE 光栅特性与参数的严格分析
P_{jZ}y( +q NX/F 不同光栅周期下的衍射效率
VGDds wEu"X
w,/&oe5M+ md. #n 关于光栅周期选择的考虑
EqB3f_ gqCDF H
g82_KUkB 1B#Z<p 偏振相关的衍射特性
o fw0_)!Q S="teH[
f5p:o}U* `~ ,
ZM$}Xy\9 _pM~v>~*+
vsDR@Y}k Aqp$JM
> 通过参数优化进行光栅设计
Z6Kw'3 ImnN&[Cu 固定周期的2D参数优化
+2WvGRC KTzkJx
t^Hte^#S 2D参数优化–设计1
VUD ?iv7 (ZI11[e{
O,>`#? /`)>W : 2D参数优化–设计2
aLKvl~s;m H7=[sL^
qwz_.=5E6 vI)-Zz[3 制造
公差分析–设计2
\KpSYX1 EoOB0zo}Y+
={GYJ.*Ah rElbzL"&< 变化光栅周期的3D参数优化
>AsrPU[ vXA+4 ?ZG
B"9 /+Yj .JG> /+ 制造公差分析
8T2iqqG/1 4Em$L]7
TAl#V7PF} $cUTe 走进
VirtualLab Fusion
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ZV?~~_9 uBPxMwohR VirtualLab Fusion中的工作流程
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U<|h4'(@L ;g
M$%!& •构造光栅
结构 P%- @AmO^_ −
通过使用界面来配置光栅结构 qit D{; [用例]
!x, ;& •分析光栅衍射效率
fCq −
光栅级次分析器[用例]
K:i{us` •使用参数运行搜索初始解决方案
Gxj3/&]^Y −
参数运行文档的使用[用例]
gp/_# QVWC •通过参数优化找到最终设计
Wg3\hv29 Xw|t.0 VirtualLab Fusion技术
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