摘要
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5m{}@g 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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cuBOE2vB. /P5w}n 建模任务
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5Qo\0YH 光栅特性与参数的严格分析
m7^aa@^m z6B/H2 不同光栅周期下的衍射效率
s,"<+80% 6/wAvPB$
*pk*ijdB v6HBO#F'V{ 关于光栅周期选择的考虑
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n(/(F` ?a7PxD. 偏振相关的衍射特性
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2Auhv!xV k8F<j)" 通过参数优化进行光栅设计
Tw)nFr8oF] pB&3JmgR$) 固定周期的2D参数优化
>:Na^ +c &xgMqv2/
VljAAt 2D参数优化–设计1
`g<@F^x5 tU>wRw=d
%UI.E=`n ZvpcjP 2D参数优化–设计2
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xKWqDt $/Gvz)M 制造
公差分析–设计2
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zu5'Ex`gQa A`TVV 变化光栅周期的3D参数优化
UZi^ & am{f<v,EI
&W-L`aFd0 0Jm6 r4s? 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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x9Fga _ ^ llZf$` VirtualLab Fusion中的工作流程
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uMh[Ht^. =@AWw:!:, •构造光栅
结构 svCD&~|K# −
通过使用界面来配置光栅结构 "CLoM\M) [用例]
OXe+=Lp< •分析光栅衍射效率
1uZ[Ewl] −
光栅级次分析器[用例]
?:vp3f# •使用参数运行搜索初始解决方案
K#rfQ0QK/! −
参数运行文档的使用[用例]
;,[6 n|M •通过参数优化找到最终设计
B8UtD Ehi)n)HhG" VirtualLab Fusion技术
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