摘要
^Z~;4il_F 5:'hj$~|\1 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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D9j3Xu J,Ks0MA 建模任务
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2WU@*%sk" 光栅特性与参数的严格分析
/_`lz^ }Ho Qwy|& 不同光栅周期下的衍射效率
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m!<\WN6g e^.Fa59 关于光栅周期选择的考虑
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:=J,z,H_U "~D]E7Q3y 偏振相关的衍射特性
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_-EyT L'u\w 通过参数优化进行光栅设计
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d( 固定周期的2D参数优化
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>%wLAS",w 2D参数优化–设计1
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Yl3n2R /U Nqu>6^-z0 制造
公差分析–设计2
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,G2TVjz M8tRjNWS? 变化光栅周期的3D参数优化
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hRCed4qA zzyHoZJP 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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ypy68_xyW CO`_^7o9( VirtualLab Fusion中的工作流程
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T3^GC X|!@ e:5bzk!~ •构造光栅
结构 (JM5`XwM
−
通过使用界面来配置光栅结构 (Tbw3ENz [用例]
~x|F)~:0= •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
Wr( y)D<y} •使用参数运行搜索初始解决方案
8@tPm$ −
参数运行文档的使用[用例]
}yz (xH •通过参数优化找到最终设计
2Tagr1L 0}CGuws VirtualLab Fusion技术
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