摘要
K7)kS `ldz`yu6++ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
V!/:53 &, a3@i
7(a2L&k^ Dl\` 建模任务
bn9;7`>. t+ Bf#:
/bRg?Q 光栅特性与参数的严格分析
L:&k(YOBA ?h8{xa5b 不同光栅周期下的衍射效率
@C8DZ5) iJh!KEy~A5
pox,Im 6;b9swmh 关于光栅周期选择的考虑
3`.P'Fh(k ^"8wUsP
Ri*3ySyb e]8,:Gd( 偏振相关的衍射特性
X@A1#z+s0] JK_OZ
umEVy*hc qdD)e$XW,
ki]ti={12 >]D4Q<TY
qOhO qV ?}QH=&=^ 通过参数优化进行光栅设计
8(U{2B8>\% 15\Ph[6g 固定周期的2D参数优化
SI:ifR&T |UnUG
5z$,6T 2D参数优化–设计1
V4w=/e_ 2\D8.nQr
^ZRYRA X@2-*so< 2D参数优化–设计2
V&{MQWy E>jh"|f:{
,L>
ar)B = "ts`> 制造
公差分析–设计2
!RvRGRSyF j{++6<tr
JH,/jR z`@^5_ 变化光栅周期的3D参数优化
<U Zd;e@ 1`0#HSO
*~XA'Vw! uzOYVN$t 制造公差分析
LaFZ?7@|} g2cVZ!GIj
I<oL}f 6=_~0PcY 走进
VirtualLab Fusion
[IZM.r`Z ~"x5U{K48S
f>j wN@( Wzq>JNny VirtualLab Fusion中的工作流程
}
l667N kh$_!BT
>pyj]y^3 l~s7Ae •构造光栅
结构 `(y(w-:W1 −
通过使用界面来配置光栅结构 l~:v
(R5 [用例]
R6;Phdh<> •分析光栅衍射效率
E\7m<'R −
光栅级次分析器[用例]
UKd'+R] •使用参数运行搜索初始解决方案
yc;3Id5?> −
参数运行文档的使用[用例]
)EM7,xMz •通过参数优化找到最终设计
!v|ISyK 5v.DX`" VirtualLab Fusion技术
cV
K7 W[bmzvJ_X
66&EBX}