摘要
`<x|<ey ja|XFs~ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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B$kp\yL 'RjMwJy{ 建模任务
5q>u]n9] WKB@9Vfju
9'S~zG%{ 光栅特性与参数的严格分析
eOI#T'5 Q`4]\)Dp 不同光栅周期下的衍射效率
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[AHZOA g0~3;y 关于光栅周期选择的考虑
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X/!37 .1 =8c\% 偏振相关的衍射特性
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te b~KM 6qgII~F' 通过参数优化进行光栅设计
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o 固定周期的2D参数优化
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Nu%JI6&R 2D参数优化–设计1
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G?OwhX s`$px2Gw 2D参数优化–设计2
&_!g|- yfD)|lK
Cq0S8Or0 tR]1c 制造
公差分析–设计2
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9g*MBe: &Z^,-Y 变化光栅周期的3D参数优化
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8;YN`S!o w C0fPPeA 制造公差分析
F; IG@ & zJfoU*G/B
]bq<vI% F<UEipe/N 走进
VirtualLab Fusion
fi[c^e+IX k_=~ObA$g
h69: Tj! fQ&:1ec VirtualLab Fusion中的工作流程
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##3 .bm#|X)RO •构造光栅
结构 p,=:Ff}~ −
通过使用界面来配置光栅结构 !8|] R [用例]
2wWL]`(E •分析光栅衍射效率
G~{xTpL −
光栅级次分析器[用例]
I
[J0r •使用参数运行搜索初始解决方案
`O5kI#m)L* −
参数运行文档的使用[用例]
}[u 9vZL •通过参数优化找到最终设计
|f^/((:D Hy<4q^3$G VirtualLab Fusion技术
<:u)C; W"rX$D[Le
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