摘要
# kmI#W"^ i}5+\t[Q 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
mx^rw*'JGC yv5c0G.D
"9H#pj - dSzq}w4xY 设计任务
YdAC<,e&A Bq85g5Dc
r*ry8QA
.lppT)P mw=keY9] 光栅特性与参数的严格分析
jATN):8W sJLJVSv8c 不同光栅周期的衍射效率
e(-Vp7vXG {Hxziyv~Y(
3],[6%w lN::veD 考虑光栅周期的选择
SjU0Xb)[ of.=n
D)JI11a< 偏振相关衍射特性
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n11eJEtm uacVF[9|W 偏振相关衍射特性
x$V[xX EF'U`\gX
?u M2|Nk cz*Z/5XH 偏振相关衍射特性
>K;C?gHo 2ISnWzq;
as@I0e(( j&=!F3[ 基于参数优化的光栅设计
k%ckV`y '\Hh 具有固定周期的二维参数优化
|Ns[{/ s$OnQc2/
J$i5A9IUr 二维参数优化 - 设计#1
p%y|w ;(9q, )
vC!}%sxVw_ ~G`(=\_0 二维参数优化 - 设计#2
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0N*~"j;r#M 62%=%XD 制造
公差分析 - 设计#2
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H!dg(d^ skn];%[v\ 不同光栅周期的
三维参数优化
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N;]"_" f\gN+4) 制造公差分析
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