摘要
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\`; 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4AHL3@x A1-qtAO] 设计任务
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cZi[(K }OrYpZob N9]xJgTze 光栅特性与参数的严格分析
&{W^W8,% rk,p!}FqL 不同光栅周期的衍射效率
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h|p[OecG FkB{ SCJ 考虑光栅周期的选择
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"HC)/)Mv@ 偏振相关衍射特性
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}q'WC4. f&yQhe6 q 偏振相关衍射特性
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D1Yh,P<CF\ [6RfS 偏振相关衍射特性
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%&<W(|U1< >Z\BfH 基于参数优化的光栅设计
5@P-g te'*<HM 具有固定周期的二维参数优化
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n93zD*;5 二维参数优化 - 设计#1
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1V%'.l9 A1A3~9HuK 二维参数优化 - 设计#2
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E*|tOj9`1n VJ{pN ~_1 制造
公差分析 - 设计#2
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FC}oL"kk 不同光栅周期的
三维参数优化
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dWR1cvB(wY f=I:DkR 制造公差分析
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