摘要
6Dwj^e0
hT]\*}, 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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B/7c`V %Sf%XNtu 设计任务
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>d%;+2 r$<[`L+6 G$( B26 光栅特性与参数的严格分析
`C9/= PQDWY 不同光栅周期的衍射效率
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$n.oY5=\ |]y]K% 考虑光栅周期的选择
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$9)| cO 偏振相关衍射特性
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E;!.=% 偏振相关衍射特性
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wa7) 偏振相关衍射特性
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gJz~~g' (r78AZ 基于参数优化的光栅设计
w_4/::K* ]#x!mZ! 具有固定周期的二维参数优化
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V 3?x_pp 二维参数优化 - 设计#1
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FyY<Vx'yQ 6_1v~# 二维参数优化 - 设计#2
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<Wqk5mR RHe'L36W 制造
公差分析 - 设计#2
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Ni bOtIZ 不同光栅周期的
三维参数优化
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Ut|G.%1Vd% *?dw`j_b > 制造公差分析
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