摘要
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,#A `="v>qN2\ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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U:lv^QPG &
_K*kI: 设计任务
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z $6JpG Z+idLbIs ,{{SI 光栅特性与参数的严格分析
6/2v c> G@+ 不同光栅周期的衍射效率
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fp&Got!pB `ROEV~ 考虑光栅周期的选择
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U9ZbVjqv@ 偏振相关衍射特性
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nGa1a t26ij`V 偏振相关衍射特性
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P s#>y& FH\CK 偏振相关衍射特性
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Ew4g'A:H W_<4WG 基于参数优化的光栅设计
Lq04T0 Q}P-$X+/ n 具有固定周期的二维参数优化
E`AYee%l v0 ];W|
}lfn0 %(@ 二维参数优化 - 设计#1
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XxOn3i r95zP]T 二维参数优化 - 设计#2
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POGw`:)A #nEL~& 制造
公差分析 - 设计#2
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yGEb7I$h }O*WV 1 不同光栅周期的
三维参数优化
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{tt$w>X 制造公差分析
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