[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 2JYt.HN  
X+K$y:UZ  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {q:o}<-L+  
uOrv
mb  

图片:1-1ZR2092134500.png

7o+!Gts]  
%?EOD=e=  
设计任务 "ppT<8Qi'  
TPds)osZT  

图片:1-1ZR209220C47.png

f.=4p^  
c])b?dJ*  

G?]E6R  
光栅特性与参数的严格分析 <nj[=C4v  
Sn/~R|3XA7  
不同光栅周期的衍射效率 $E4W{ad2jW  
QWf)5S  

图片:1-1ZR209224S93.png

0\jOg  
Tf"DpA!_  
考虑光栅周期的选择 OR^Wd  
y=\jQ6Fc  

图片:1-1ZR2092315557.png

Sh]x`3 ).  
偏振相关衍射特性 kI3-G~2  
.so{ RI  

图片:1-1ZR20923422Y.png

&hba{!`y  
Y(SgfWeK@1  
偏振相关衍射特性 ~]/X,Cf  
N)h>Ie  

图片:1-1ZR2092446256.png

9kP!O_  
C<fNIc~.  
偏振相关衍射特性 }FMl4 _}u  
4T9hT~cT7  

图片:1-1ZR2092540b7.png

S_:(I^  
n a2"Sy=Yi  
基于参数优化的光栅设计 C)z[Blt  
),\>'{~5&  
具有固定周期的二维参数优化 :*&wnQMKR  
B:z-?u#B  

图片:1-1ZR209260I63.png

^;s`[f|w  
二维参数优化 - 设计＃1 H8K<.RY  
%TG$5')0  

图片:1-1ZR209263E10.png

^l^_K)tw*  
%1VMwqC]E  
二维参数优化 - 设计＃2 d!KX.K\NM,  
9$Mi/eLG2N  

图片:1-1ZR2092F2136.png

!Y]}&
pUP  
!qcu-d5b  
制造公差分析 - 设计＃2 @mJN  
oAyk  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

cT0utR
&  
g@Ni!U"_c  
不同光栅周期的三维参数优化 ;$&-c/]F#  
&OhKx  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

;6b#I$-J-  
faO8 &  
制造公差分析 HB`pK'gz  
Xe+&/J5b  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

+zs6$OI]V  
_;B!6cRLps  
走进VirtualLab Fusion   6@XutciK  
iY|YEi8  

图片:1-1ZR2092924332.png

ri JyH;)  
BE"nyTQ  
VirtualLab Fusion 工作流程 w ^<Y5K  
0"2 
[I  

图片:1-1ZR2092952P4.png

M?cKt
.t  
Y6L+3*Qt  
VirtualLab Fusion技术 uAj

GR  
BRD'5 1]|  

图片:1-1ZR2093031446.png