摘要
A>315!d" m(dW["8D 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
\VI0/G)L <0m^b#hdG PR AP~P&^ 7q 5 \]J[ 设计任务
uZ@qlq8 q4'`qe t$p%UyVE E7.{SGH} ,`'A"]" 光栅特性与参数的严格分析
0,):;OI +z#+}'mT% 不同光栅周期的衍射效率
V\Y,4&bI &B1!,joH~ :/Z1$xS MSp)Jc 考虑光栅周期的选择
7|bBC+;( u[4h|*'"| |oX9SU l 偏振相关衍射特性
uINEq{yo iAPGP-<6 %U.x9UL vXSA_"0t 偏振相关衍射特性
rTOex]@N {K|ds($ 5 Sht3\cJ8 HCYy9 偏振相关衍射特性
/}%C' e5lJ)_o pe). t-iQaobF 基于参数优化的光栅设计
:RYYjmG5;
/Tw $}8 具有固定周期的二维参数优化
=i2]qj\ \q^dhY>) Dr(;A>?qG 二维参数优化 - 设计#1
[iyhrc:@ =%u=ma; LW/> % B4c;/W- 二维参数优化 - 设计#2
yM(ezb jH;L7 V=PK)FJ An,TunX 制造
公差分析 - 设计#2
us<dw@P7{ M?n}{0E4 3.=o }! >Il{{{\> 不同光栅周期的
三维参数优化
s(=@J?7As dWo$5Bls<A w2`JFxQ^x xyXVWd[ 制造公差分析
| OZ>5 >{rD3X"d Tv%
Z|%* JiXN"s^mcb 走进
VirtualLab Fusion
[Z1,~(3 9/R=_y- M{Vi4ehOq >{0,dGm VirtualLab Fusion 工作流程
O"RIY3m $UdFm8& PA,\o8]x I Vw'YtZ VirtualLab Fusion技术
-.Z;n1'^ 2e({%P@2?