摘要
;J?fK69% c5CxR#O 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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}zo-%# Jx3a7CpX 设计任务
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R^E-9S\@ oW7;t VuBi_v6 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期的衍射效率
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y 考虑光栅周期的选择
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^J?2[( 偏振相关衍射特性
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*!EHs04 偏振相关衍射特性
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F,5}3$ 51%<N\>/4 偏振相关衍射特性
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WtSlD9 h `O=LQ m` 基于参数优化的光栅设计
`tsqnw avv/mEf-f 具有固定周期的二维参数优化
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6dCqS 二维参数优化 - 设计#1
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)ULxB'Dm )\0c2_w> 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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=HvLuVc _bq2h%G=8 不同光栅周期的
三维参数优化
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HaamLu Y|i!\Ae 制造公差分析
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