摘要 8+Oyhd*|
{
+MqXeq
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =l?5!f9
xLX:>64'o>
~O&3OL:L
x~Y]c"'D
设计任务 2wpLP^9Vr<
h{qB\aK
n:x6bPal]
mi6<;N2w|
;y
Wfb|!
光栅特性与参数的严格分析 |?i-y3N
G"3D"7fa
不同光栅周期的衍射效率 0Evq</
c5nl!0XX
tFO86 !ln
hZU@35~BN
考虑光栅周期的选择 gfR B
ZQZ>{K
":tQYo]d
偏振相关衍射特性 "~> # ;x{
'OK)[\
v=RQ"iv8
#0zMPh /U}
偏振相关衍射特性 #EgFB}>1
z%<Z#5_N
LSs!U
3"
S{XV{o
偏振相关衍射特性 .r[kNh@
b%
~kj1L@gy
Z4b<$t[u
Dh*Uv,
基于参数优化的光栅设计 UMuRB>ey
>T'^&l(:
具有固定周期的二维参数优化 `
zeZ7:
:}i
#ODJ
[y F>W$Bn%
二维参数优化 - 设计#1 j|N;&s`
*VmJydd
0B7cpw>_J
}`FC'!(
二维参数优化 - 设计#2 1Y'9|+y+
""|vhgP
.v?Ir)
8!(4;fN$j.
制造公差分析 - 设计#2 c*sK| U7)
z<YOA
S:"R/EE(
XT~!dq5
不同光栅周期的三维参数优化 F@~zVu3'
38ChS.(
yj13>"n h
2ys'q!
制造公差分析 z%Pbs[*C
BG\g`NK}Z
z~i=\/~tZ
-!zyit5B
走进VirtualLab Fusion 65X$k]x
$iu{u|VSu
]A+q:kP
]k
&Y )
VirtualLab Fusion 工作流程 8FYcUvxfT
\3a(8Em
?0QoYA@.$
J\VG/)E
VirtualLab Fusion技术 Vj(}'h-c\
mF7T=pl