摘要
=n@"lY u[ Ygeg[S!7 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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sF. oZ> 69q#Zw[,, 设计任务
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y~ 2C2'7 F#b^l} c/Dk*.xy< 光栅特性与参数的严格分析
T'^ Do/ x."R_> 不同光栅周期的衍射效率
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|.#G G7F^S 4 H<. 考虑光栅周期的选择
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mV>l`&K= 偏振相关衍射特性
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s78MXS?py [,bra8f[C 偏振相关衍射特性
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hr@kU x 02$d 偏振相关衍射特性
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<(Rbu2_ 基于参数优化的光栅设计
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U 具有固定周期的二维参数优化
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""f'L,`{. 二维参数优化 - 设计#1
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+dG3/vV T?g%I 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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V/&JArW 5La' I7q 不同光栅周期的
三维参数优化
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J))U YJO -Hh.8(!XoO 制造公差分析
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