摘要
K/IWH[ i3@)W4{ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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x` PHZ0P7 设计任务
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l Jo`d 光栅特性与参数的严格分析
S4Y& )u[emv$ 不同光栅周期的衍射效率
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PQ5QA61 RtTJ5@V( 考虑光栅周期的选择
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+ jc!5i . \2N!:%k 基于参数优化的光栅设计
8 OY 3A *|%@6I( 具有固定周期的二维参数优化
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l{I6&^!KS 二维参数优化 - 设计#1
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iU$] {c2;A re/@D@% 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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@L<*9sLWh IHam 4$~- 不同光栅周期的
三维参数优化
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@e(o129 [~-9i&Z 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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