摘要
aT"0tn^LO ^ ^T e 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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JsD|igqF- xfK@tLEZ-1 设计任务
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f'?FYBL %v)O!HC} PEDV9u[A 光栅特性与参数的严格分析
L| K8 Zb}U 4 不同光栅周期的衍射效率
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&.1qixXIr Jy?; < 考虑光栅周期的选择
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n5>OZ3 E@ 偏振相关衍射特性
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WiiAIv& JBk >|q" 偏振相关衍射特性
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p!>DA?vF [PX%p;"D 偏振相关衍射特性
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Nbb2wr9A h,|. qfUk 基于参数优化的光栅设计
*b8AN3! ,{2= nb[ 具有固定周期的二维参数优化
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wQX18aF/#d 二维参数优化 - 设计#1
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*`z {H3B1*Dk 二维参数优化 - 设计#2
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j:E3c\a L@"&s#~=3 制造
公差分析 - 设计#2
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|eI!wgQx sB8v: 不同光栅周期的
三维参数优化
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w@WPp0mny X`28? 制造公差分析
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