摘要
N!tpzHXw qFV;n6&V 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c+? 设计任务
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vF5wA-3&t `4q5CJ2 _<Hb(z 光栅特性与参数的严格分析
>t1_5 v p"%IW 不同光栅周期的衍射效率
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AZh@t?) CQ@#::'F1 考虑光栅周期的选择
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VW <C7M";54-
F Q8RK~?` 偏振相关衍射特性
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8@Egy%_ 4 e=/f,o1 偏振相关衍射特性
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.b=M5JsyV r1[E{Tpz 偏振相关衍射特性
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Sqp;/&Ji 基于参数优化的光栅设计
Ze[g0" mQwk!* U 具有固定周期的二维参数优化
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\_*?R,$3Y, 二维参数优化 - 设计#1
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Bo\a D..{|29,: 二维参数优化 - 设计#2
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t*Z .e.q+ .4S^nP 制造
公差分析 - 设计#2
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i Q]T+}nn_ hj^G}4 不同光栅周期的
三维参数优化
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7 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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