摘要
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Gv}Q/v 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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lNtxM"G& 5h0Hk<N 设计任务
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Z @ef2y; (n7{?`Yid |]k,0Y3v 光栅特性与参数的严格分析
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b!{ 不同光栅周期的衍射效率
" a,4E{7 1~3dX[&
O:pg+o& DT)][V^w 考虑光栅周期的选择
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i<4;=M& 偏振相关衍射特性
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.LR-Z 偏振相关衍射特性
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D6+3f#k6 yNn=r;FZQ 偏振相关衍射特性
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$`ptSR @TX@78fWz= 基于参数优化的光栅设计
3dLqlJ^7B /h.{g0Xc 具有固定周期的二维参数优化
A'b$X1h '5[(QM5Gi&
N:k>V4oE 二维参数优化 - 设计#1
5U4V_*V nvXjW@)`
6w{_+=T jw{B8<@s 二维参数优化 - 设计#2
}1~9i'o%Z (xVx|:R[<H
I"x|U[*B &GJVFr~z 制造
公差分析 - 设计#2
JMo r[* %N&W_.F6
i8-Y,&>V v1X[/\;U 不同光栅周期的
三维参数优化
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Ba|}$jo #OM)71kB8 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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