摘要
)]~;Ac^x 5? rR'0 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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7w]NG`7 Oe^oigcM 设计任务
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IFg(Ze~ e//q`?ys MH8 Selnv 光栅特性与参数的严格分析
5QoU&Hv _g#v*7o2@ 不同光栅周期的衍射效率
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l@o\ 考虑光栅周期的选择
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B1C"F-2d 偏振相关衍射特性
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%G%D[ i] e%O]U:Z 偏振相关衍射特性
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STxreW1 iKu~o.yy 偏振相关衍射特性
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oy)'wb~ GG@&jcp7 基于参数优化的光栅设计
5yhfCe m| Q41eYzAi 具有固定周期的二维参数优化
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H)${" 二维参数优化 - 设计#1
ys3&$G JTxHM?/G
cG`R\$ ]5=C3Y 二维参数优化 - 设计#2
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e{dYLQd d&'}~C`~k 制造
公差分析 - 设计#2
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}8W5m(Zq9n }gr6naz 不同光栅周期的
三维参数优化
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{'QA0K laQM*FLg 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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