摘要
l&ueD&*4& }#FV{C] 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@KTuG ?. ayA;6Qt 设计任务
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Zo<)r2|O. O JcS%-~ LS[o7 !T( 光栅特性与参数的严格分析
Mp`$1Ksn ;qgo= 不同光栅周期的衍射效率
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r'OqG^6JFN mH$tG
$ 考虑光栅周期的选择
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2t\0vV2)/O 偏振相关衍射特性
nqo{]fn e_=K0fFz
|fgUW. =x8[%+ 偏振相关衍射特性
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>5-1?vi )q=F_:$ 偏振相关衍射特性
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bTum|GWf ]I\GnDJ^ 基于参数优化的光栅设计
Kv|
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-_7 uyWheR 具有固定周期的二维参数优化
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j}^w:W76 二维参数优化 - 设计#1
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X<%D@$ /pj[c;aO 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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w 不同光栅周期的
三维参数优化
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QF>T)1&J[7 |n26[=\B 制造公差分析
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