[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 9y7hJib  
;>7~@ K  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5J`w8[;  
7X(2SI3m  
tpSgbGzp  
Qb^{
`  
设计任务 Sd6O?&(  
0gqV>:  
- egTZW-  
boiP_*|MY  
:?f+*  
光栅特性与参数的严格分析 X8tPn_`x  
_EMXx4J  
不同光栅周期的衍射效率 R_j.k3r4d  
wbWC &X.  
J;>;K6pW  
rTR$\ [C  
考虑光栅周期的选择  !y@\w  
?J$k 5;  
/cClV"S*G  
偏振相关衍射特性 ~Y43`@3H:  
-|'@:cIZ  
Gw)y<h  
T ?Om]:j  
偏振相关衍射特性 i3XtrP""  
Dh^l:q+c  
6c+29@  
FTUfJIVN(  
偏振相关衍射特性 r~=+>, _  
"L5w]6C4  
K cex%.  
G739
Ne[gL  
基于参数优化的光栅设计 &DGqY5=  
<]?71{7X  
具有固定周期的二维参数优化 @|\;#$?XW3  
ty!DMg#  
]+G\1SN~  
二维参数优化 - 设计＃1 >c@! EPS  
2L^/\!V#  
BUZ74  
$Ud9v4  
二维参数优化 - 设计＃2 53/$8=  
7VfXE/  
=_&,^h@'3e  
eAO@B
  
制造公差分析 - 设计＃2 R[F`b  
k4&adX@Y  
5[\g87\  
#l>r9Z71  
不同光栅周期的三维参数优化 <.g)?nj1  
^Zs^  
=?L16mu1&  
L7- JK3/E  
制造公差分析 B_#M)d O  
y<gRl/e  
1grcCL q  
a%y*e+oM  
走进VirtualLab Fusion   B$c'^ )  
4Tuh]5  
)cgNf]oy  
j}lne^ h  
VirtualLab Fusion 工作流程  k=t{o  
QBmARQ  
c&#Q`m  
IF&edP[V  
VirtualLab Fusion技术 V#599-  
Oc~<
`C~