摘要
W+V#z8K \^vf`-uG 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$/5<f<%u&) cZT;VmC 设计任务
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Ur> 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期的衍射效率
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$Z(fPKRN/ ]YYjXg}% 考虑光栅周期的选择
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9H:5XR 偏振相关衍射特性
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H S/1z =\.Oc+p4 基于参数优化的光栅设计
Cr|v3Y#h' x;"! 具有固定周期的二维参数优化
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TtEc~m 二维参数优化 - 设计#1
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dO.?S89L ^~}|X%q3 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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三维参数优化
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<(W0N|1v SvC|"-[mJ 制造公差分析
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