摘要
p& _Z}Wv +j 9+~ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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,7B7X)m{3 {'{}@CuA2 设计任务
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;5/Se"Nd ]Ozz"4Z %$&eC 光栅特性与参数的严格分析
K6->{!8]k C1;uAw?\ 不同光栅周期的衍射效率
~T@E")uR JP Dxzp
r ~{nlLO} D9g*+KM& 考虑光栅周期的选择
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gv eGBi 偏振相关衍射特性
"Erphn K>'4^W5d,
dcrvEc_/ 'gN[LERT 偏振相关衍射特性
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$(62j0mS> Ov(k:"N 偏振相关衍射特性
570ja7C: oT}$N_gFT
1jx?zvE, !*c%Dj 基于参数优化的光栅设计
5i6Ji( CRo@+p10 具有固定周期的二维参数优化
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+I 二维参数优化 - 设计#1
y0 vo-Q ;R+Gf!1
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` 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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d1yLDj? ]#N8e?b, 不同光栅周期的
三维参数优化
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[Qr_0O vmxS^_I 制造公差分析
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