摘要
r.5F^ aT #|mk=\ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
XLT<,B}e I5]zOKlVR S y~ 1U KMZ`Wn= 设计任务
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.J9 1YxI q565 kTV D4Z= }=gGs 光栅特性与参数的严格分析
}: e9\r) 0P 42C{>'w 不同光栅周期的衍射效率
`u-Y 5mY c/RG1w |a+8-@-Tj MZ'HMYed 考虑光栅周期的选择
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[xZ RiklwR#~r/ 偏振相关衍射特性
szHUHW~;J syF/jWM5 {$^|^n5j %~~Q XH\ 偏振相关衍射特性
P;34Rd gK /K Z8 k>"I!&#g q2y:bqLWl 偏振相关衍射特性
{+;8dtZ)x Tb^9J7] jo;n~>3P UWHC]V? 基于参数优化的光栅设计
|@RO&F <OUApp H 具有固定周期的二维参数优化
4/b#$o<I? H\T
h4teE N@g+51ye 二维参数优化 - 设计#1
})B)-8 Hi Yx(hY :.<&Y=^ &N EzKf 二维参数优化 - 设计#2
S`::f(e )lbF'.i (&S v$L@ kQ + 制造
公差分析 - 设计#2
4[?Q*f! Vr'Z5F*@ rTH@PDk>) <:?&}'aA 不同光栅周期的
三维参数优化
tc[PJH&P ]@xc9tlG Hl#o& *Ui" $jHL8r\e7 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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