摘要 S+ x[1#r
[#V!XdQ,
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {GY$J<5=
)v.FAV:
BW1O1zIh\
#-8/|_*
设计任务 riQ?'!a7
![Y$[l
Yi,um-%
DenCD9 f
m{" zFD/
光栅特性与参数的严格分析 06r cW `
}'JPA&h|
不同光栅周期的衍射效率 ng\S%nA&J
:DP{YL|x
)o CF|
2qc
x-EAu3=V
考虑光栅周期的选择 \^D`Hvg
jKs8i$q
PI?[
偏振相关衍射特性 dzap]RpB
5^i ^?
epePx0N%x$
R2{X? 2|$
偏振相关衍射特性 37DvI&
'L7.a'
$1F9TfA
[\y>Gv%
偏振相关衍射特性 eAEVpC2
a7R7Ks|q
# jyAq$I0
x3
<Lx^;
基于参数优化的光栅设计 Yy5F'RY
T/nRc_I+^B
具有固定周期的二维参数优化 KA7nncg;,
mE1*F'0a
'>8N'*
二维参数优化 - 设计#1 `3Y+:!q
0!T $Ef
j
jQ=
(G
Y`O
二维参数优化 - 设计#2 v,! u{QP
)ALcmC?!#
H3b`)k
sFr
~V5jjx*
制造公差分析 - 设计#2 VEk|lX;2
">7 bnOJ
~EymD *
F~6[DqF\|
不同光栅周期的三维参数优化 3zkq'lZ
)Lq FZ~B
U8z,N1]r*`
;3_'{
制造公差分析 .#SWfAb2h
fQ@["b
DBRTZES
+Aq}BjD#
走进VirtualLab Fusion \4DH&gZ[
}j
QwP3eY
!q?}[E2
eL*Edl|#
VirtualLab Fusion 工作流程 V_:/#G]jeG
b@k3y9&
"xKJ?8
p("do1:
VirtualLab Fusion技术 {|50&]m
o{/D:B