摘要
o[{&!t p2a?9R 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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E 8^sy*f mS7E_A8 设计任务
Bfn]-]>sD C zpsqTQ
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$ Ei~]iZ} 0$?qoS 光栅特性与参数的严格分析
`E%(pjG m`a>,%}P" 不同光栅周期的衍射效率
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jqqaw yHtGp%j 考虑光栅周期的选择
W9+h0A- 5
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W&LBh%"g 偏振相关衍射特性
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TB] gm}C\q9
2}|vWKej{ B*BHF95! 偏振相关衍射特性
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b/G8Mr d)9PEtI 偏振相关衍射特性
?^ eJ: MsSoX9A{D
.0KOnLdK h#;?9DP 基于参数优化的光栅设计
>Ziy1Dp ?Ip$;s 具有固定周期的二维参数优化
Z!k5"\{0pE e ^-3etx
l`oT: 二维参数优化 - 设计#1
0yKwH\S J1& A,Gb
$kM' XZ!cW=bqS 二维参数优化 - 设计#2
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+6wx58.B& o<~-k,{5P 制造
公差分析 - 设计#2
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WNl&v] aKaR 不同光栅周期的
三维参数优化
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5!ndu m`[oT\ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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