摘要
.Sa=VC?EZ D[6sy`5l 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
if\`M'3Xx Em{;l:;(W
t&5 Ne ? >zfx2wh\a 设计任务
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f qWme:x k_?OEkgUh e!w2_6?3 光栅特性与参数的严格分析
I|;zGmg#k 4JO16 不同光栅周期的衍射效率
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:h3U^ !>Q\Y`a,* 考虑光栅周期的选择
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e8(Qx3T?b 偏振相关衍射特性
D88IU9V&n i=P}i8,^=
;Kg7}4`I 3tkCmB 偏振相关衍射特性
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9}fez)m:g0 )_o^d>$da 偏振相关衍射特性
e?O$`lf Q:y'G9b
]EQ*! >/%XP_q%`e 基于参数优化的光栅设计
v|]"uPxH? ty%,T.@e 具有固定周期的二维参数优化
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(q}LirR 二维参数优化 - 设计#1
WW^+X~Y 7xG~4N<)]
9GTp};Kg hK{<&T 二维参数优化 - 设计#2
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yO7#n0q 4)'U!jSb 制造
公差分析 - 设计#2
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Xi\c>eALO JZ:yPvJ 不同光栅周期的
三维参数优化
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IAe/) G!%8DX5 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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