摘要 U)grC8 C
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m'suAj0
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设计任务 ^ql+l~
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光栅特性与参数的严格分析 Mlr}v^"G
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不同光栅周期的衍射效率 Xm}~u?$3
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考虑光栅周期的选择 |,Xrt8O/[
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偏振相关衍射特性 53cW`F
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偏振相关衍射特性 *PjW,
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偏振相关衍射特性 -5 YvtL
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基于参数优化的光栅设计 j7)Xm,wI8
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具有固定周期的二维参数优化 v8xNtUxN
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二维参数优化 - 设计#1 d= -/'_'
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二维参数优化 - 设计#2 [fU2$(mT+
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制造公差分析 |"Js iT
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