[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 UyUz_6J  
}g9g]\.!a  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MmbS["A  
:;g7T-_q  

图片:1-1ZR2092134500.png

it#,5#Y:  
4%GwCEnS  
设计任务 jY+uOH  
FB>^1B]]  

图片:1-1ZR209220C47.png

%*A|hK+G:W  
QF74'  
O u-/dE%  
光栅特性与参数的严格分析 hHsN(v  
C]bre^q  
不同光栅周期的衍射效率 @CUYl*.PD  
h3`\L4b  

图片:1-1ZR209224S93.png

(Ev=kO  
J6C/`)+w  
考虑光栅周期的选择 _no;B_m~  
MV?#g-5  

图片:1-1ZR2092315557.png

<Crbc$!OeX  
偏振相关衍射特性 hRFm]q  
v.q`1D1=t  

图片:1-1ZR20923422Y.png

`:Bm@eN  
2gM/".|{  
偏振相关衍射特性 )s~szmJoVD  
$[xS>iuD  

图片:1-1ZR2092446256.png

^D5+S`V  
]F#}8$  
偏振相关衍射特性 Yf?hl  
f =MP1q[  

图片:1-1ZR2092540b7.png

buu /Nz$  
{u(( y D  
基于参数优化的光栅设计 A?+0Ce&qL  
\5pBK  
具有固定周期的二维参数优化 nSr_sD6"  
uf/4vz,  

图片:1-1ZR209260I63.png

crbph.0  
二维参数优化 - 设计＃1 /7fD;H^*  
(Zz8 ldO  

图片:1-1ZR209263E10.png

{~"fq.h!M  
wsEOcaie  
二维参数优化 - 设计＃2 @j`gxM_-O  
[lz#+~rOS  

图片:1-1ZR2092F2136.png

F.cKg~E|e  
s|[Cv
jL#0  
制造公差分析 - 设计＃2 ?_t_rF(?6  
.gclE~h.  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

EGysA{o"X  
NyR,@n1  
不同光栅周期的三维参数优化 9q]n&5  
BS|$-i5L  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

%}}?Y`/W)  
_zK ~9/5  
制造公差分析 PSHzB! H=n  
Pq(7lua7  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

QX+Xi<YE-  
7tP qez#  
走进VirtualLab Fusion   wA2^I70-  
zhgvqg-  

图片:1-1ZR2092924332.png

v];P| Fi  
GCj[ySCD  
VirtualLab Fusion 工作流程 \#!B*:u  
mfx-Ja_a  

图片:1-1ZR2092952P4.png

cb5T-'hY  
.x'?&7#(  
VirtualLab Fusion技术 p|>m 2(|  
nt_FqUJ  

图片:1-1ZR2093031446.png