摘要
R~$hWu}} J ZA*{n2 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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df^0{gNHx <8*A\& 设计任务
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9QC< E| >T`zh^+5W B#QL M^ 光栅特性与参数的严格分析
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@51z-T dr.**fGYde 基于参数优化的光栅设计
Rq"VB.ef&{ 93 [rL+l.Y 具有固定周期的二维参数优化
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EK^JLvyT 二维参数优化 - 设计#1
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J0&zb'1 3(MoXA* 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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)gr}<}X)B km9Gwg/zT 不同光栅周期的
三维参数优化
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t-'I`I ]^Sd9ba 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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