摘要
ypU-/}Cf, =~z sah6N 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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G0#<SJ,) Ov8^6O 设计任务
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i>z_6Gax*[ a+'k#m @k=UB&?I 光栅特性与参数的严格分析
SR%k|YT u7&q(Z&&O 不同光栅周期的衍射效率
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I~T 考虑光栅周期的选择
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"C0?s7Y 偏振相关衍射特性
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#/~q 偏振相关衍射特性
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Mj&G5R~_ uMx6: 基于参数优化的光栅设计
xXf,j#`" 0=0,ix7?# 具有固定周期的二维参数优化
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lArKfs/ 二维参数优化 - 设计#1
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3CzF@t;5 Xh}S_/9}5 二维参数优化 - 设计#2
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{xAd>fGG+y =t^jlb 制造
公差分析 - 设计#2
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?7>"ZGDe> 5cGQ `l 不同光栅周期的
三维参数优化
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e)= "Fq! cYp/? \ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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