摘要
OB$A"XGAEV )0d3sJ8 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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VJ1`& hR{Fn L 设计任务
LQ{4r1,u] }l[t0C
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mfx'Yw*{ $W0lz#s: +p43d:[ 光栅特性与参数的严格分析
,g\.C+.S Pel3e ~?t 不同光栅周期的衍射效率
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f^fj- ~sA}.7
Bq$bxuhV +F0M?, 考虑光栅周期的选择
&2) mpY8xQ +w}5-8mH&>
}QC:!e,yG 偏振相关衍射特性
E26ZVFg ^|gN?:fA}
8Ipyr%l s'K0C8'U 偏振相关衍射特性
;#j/F]xG ("9)=x *5
K):)bL(B khEHMvVH 偏振相关衍射特性
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_|s{G 3[ Z? `X 基于参数优化的光栅设计
I=lA7} OY@/18D<> 具有固定周期的二维参数优化
f:BW{Cij;y 5B@&]-'~
Y#rao:I 二维参数优化 - 设计#1
;>YJ}:r"\ 61wGIN2,
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@$nL1 46$5f?Z 二维参数优化 - 设计#2
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Pu}2%P)p aFl(K\ 制造
公差分析 - 设计#2
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Pw+cpM8< WMYvE\" 不同光栅周期的
三维参数优化
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X}S<MA` =NlAGzv!w 制造公差分析
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