摘要
1!"iN~ Y3M"a8 e' 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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_u QxrB"9 \1[v-hvK 设计任务
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!IAd.<, *T:gx:Sg/ Hr}pO"% 光栅特性与参数的严格分析
ELa:yIl0 ^Sj* 不同光栅周期的衍射效率
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K!A;C#b! C[2LP$6*/ 考虑光栅周期的选择
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hY}.2 偏振相关衍射特性
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F0 ^kUyF| v#E RXIrf 偏振相关衍射特性
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FtmI\, =qy{8MsjA 偏振相关衍射特性
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oaMh5FPy C#@>osC 基于参数优化的光栅设计
Y>a2w zr q%\rj?U_ 具有固定周期的二维参数优化
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!dZpV~g0 二维参数优化 - 设计#1
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{ 二维参数优化 - 设计#2
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ow@1.5WL+ [>xGynU0 制造
公差分析 - 设计#2
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avwhGys# 不同光栅周期的
三维参数优化
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UCDvN FEqR7 制造公差分析
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