摘要
:H>0/^Mg0 Y{9xF8# 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
, FR/X/8 }ZJJqJ`*e
6UM1>xq9A Pxf /*z 设计任务
>tE6^7B* IqqBUH
75;g|+ 6 tl#AJ- dP=,<H#]m 光栅特性与参数的严格分析
e*M-y C sBLOrbo 不同光栅周期的衍射效率
u,./,:O%= OJD!Ar8Q
!
=*k+gpF A~H@0>1 考虑光栅周期的选择
8=OpX,t( /xCX. C
:Z+Jt=;
偏振相关衍射特性
BbhC0q"J ]A:8x`z#F
J@+b_e* S=G2%u!; 偏振相关衍射特性
?{\h`+A h!?rk|
pd-I^Q3- Mk}*ze0% 偏振相关衍射特性
otlv;3263 =k5O*ql"
RLfB]\w t&~*!w!+jH 基于参数优化的光栅设计
ANTWWs} 77-G*PI*I 具有固定周期的二维参数优化
p3V?n[/} d;i@9+
YT6dI"48 二维参数优化 - 设计#1
B`:l;<&jX _gw paAJ
I8Y
#l'z "b) hj? 二维参数优化 - 设计#2
._q<~_~R ?hYWxWW
ZFs
xsg^r b4Pa5w 制造
公差分析 - 设计#2
6G{ Q@ A2SDEVU
+G)a+r'0Q /!fJ`pu! 不同光栅周期的
三维参数优化
Cv[1HO< A=wG};%_
g} pD% AWi+xo| 制造公差分析
<6+T&Ov6 }
L_Zmi$
[_:
GQ g.\%jDM 走进
VirtualLab Fusion
'mZQ}U=< y9.?5#aL
#Hy\lJ w~yC^` VirtualLab Fusion 工作流程
'4CD
} d4p6.3
=}YX I Jhfw$ DF VirtualLab Fusion技术
J|vg<[ VOIni<9y