摘要
DNho%Xk {W'8T}q 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/Su)|[/' ^n71'MW 设计任务
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pU DO7Q] z.59]\;U> fv5C!> t 光栅特性与参数的严格分析
,9UCb$mh Z3n~&! 不同光栅周期的衍射效率
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^teaJ y% G:hU{S7 考虑光栅周期的选择
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4[_L=zD 偏振相关衍射特性
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:R3P 58> CjmV+%b4 偏振相关衍射特性
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<4sj@C Ik-oI=>. 偏振相关衍射特性
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9^p32G W7W3DBKtSm 基于参数优化的光栅设计
uwId a.CF9m5]c 具有固定周期的二维参数优化
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iW;}%$lVX 二维参数优化 - 设计#1
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lJlZHO \P5>{2i 二维参数优化 - 设计#2
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,FY-d$3) yz8-&4YRNd 制造
公差分析 - 设计#2
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k=ts&9\ }E,jR=@ 不同光栅周期的
三维参数优化
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Hw y5G; xl3zy~;M 制造公差分析
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