摘要
k!"6mo@rd mfx-Ja_a 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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& 'mTQ=1 设计任务
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JLak>MS Ke^9R-jP Vtv~jJ{m 光栅特性与参数的严格分析
Ei4Iv#Oi` %z6_ ,|% 不同光栅周期的衍射效率
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#Q"04'g tTbfyI 考虑光栅周期的选择
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wlFK#iK 偏振相关衍射特性
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"^oU&]KQJ X#o<)) 偏振相关衍射特性
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偏振相关衍射特性
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48_( 'z*> Md&K#)9,( 基于参数优化的光栅设计
|$Cfm} u{cb[M 具有固定周期的二维参数优化
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@<yY Mo7 二维参数优化 - 设计#1
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7NkMr8[}F a4mRu|x 二维参数优化 - 设计#2
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R[l~E![!j x *a_43` 制造
公差分析 - 设计#2
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6,!$S2(zT U,8mYv2| 不同光栅周期的
三维参数优化
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@ 制造公差分析
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