摘要
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(r\i ?ik6kWI 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
yO09NQ 5u f5QJj<@ qbdv ]6EXaf# 设计任务
ek4?|!kQD K\>CXa c95{Xy :n<<hR0d S#,
E)h/ 光栅特性与参数的严格分析
Mkadl< {piZm12q? 不同光栅周期的衍射效率
xkebel`% dCH(N_ j!<RY>u })}-K7v1+ 考虑光栅周期的选择
G!IJ#|D:~ O}_Z"y (s.S
n(E 偏振相关衍射特性
,b8q$R~\ 2*1s(Jro ZX!u\O|w H@xIAL 偏振相关衍射特性
YG6Kvc6T o\YF_235 /.aDQ> JMq00_ 偏振相关衍射特性
O~AOZ^a:2 p#dpDjh :S5B3S@| y(RK|r 基于参数优化的光栅设计
slKL(-D{ !]k $a 具有固定周期的二维参数优化
`&yUU2W K)"cwk- Tfl4MDZb 二维参数优化 - 设计#1
Y-WYQ{ %%w]-`^h, [UHDN:y nP >*0Fq 二维参数优化 - 设计#2
cEd!t6Z W@x
UR-}51 zk@KuBLL {^#62Y 制造
公差分析 - 设计#2
<j.bG 7 3J{`]v5` )5j%." WeTs va+ 不同光栅周期的
三维参数优化
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bC_< 0VB~4NNR mu/O\'5 [EJ[Gg0m 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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