摘要
J~nJpUyP* 1.ugXD 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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PLY-,Q&' &T|UAM. 设计任务
=~(L JPo6 L?/M2zc9Y
)PLc+J.I $6]x,Ct ivDG3>"JG 光栅特性与参数的严格分析
%WXVfkD yx`r;|ds} 不同光栅周期的衍射效率
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J!qD mF$jC:Tb 考虑光栅周期的选择
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6:7:NI l: 偏振相关衍射特性
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dBi3ZCAF "S:NU.c? 偏振相关衍射特性
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d}6AHS[ /*xmv
$ 偏振相关衍射特性
>GF(.:7 /F
pdXgr)Uv 5{x[EXE' 基于参数优化的光栅设计
$SD@D6`lL E&Zx]?~ 具有固定周期的二维参数优化
u/c~PxC |^&2zyUj/
pZ|nn 二维参数优化 - 设计#1
2l}FgD 3=eGS
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Z+pvdu 二维参数优化 - 设计#2
~d<`L[ -uY:2
QIxJFr;> ?@uK s4 制造
公差分析 - 设计#2
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'/]Aaf@U8 k-Hfip[ro 不同光栅周期的
三维参数优化
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i?s&\3--Y -<HvhW 制造公差分析
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