摘要
6yO5{._M QqRF?%7q"q 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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wy8Q=X:vP ;obOr~Jx'5 设计任务
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'=%`;?j /!^,+ wu><a!3`=o 光栅特性与参数的严格分析
%P M#gnt@ |TP, 不同光栅周期的衍射效率
=[&+R9s PTLlLa85<
/CMgWGI K*{RGE 考虑光栅周期的选择
+/l@ou' S89j:KRXH%
MG~Z)+g=y 偏振相关衍射特性
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5S2 j5M00
p5tb=Zg_ JqZt1um 偏振相关衍射特性
T/2k2r4PD |m6rF7Q
Dr:M~r'6 4L ]4WVc 偏振相关衍射特性
~CbiKez xr]bH.>
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JT)X8K" +Ugy=678Tr 基于参数优化的光栅设计
l@*$C&E \#LDX,= 具有固定周期的二维参数优化
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TfT^.p* 二维参数优化 - 设计#1
/RMtCa~ TukhGgmF
M2p|&Z% |>.MH 二维参数优化 - 设计#2
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< 制造
公差分析 - 设计#2
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~zK 不同光栅周期的
三维参数优化
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]&"ii n44 T4q 制造公差分析
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