摘要
g$NUu x%s1)\^A 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
7>z {2D R +@|#!
\ n2MP T;3qE1c 设计任务
+F q_w
{J)%6eL?
adu6`2*$ $VQ;y|K+[ Dl.UbH
}= 光栅特性与参数的严格分析
C-A?
mIC 8x-19# 不同光栅周期的衍射效率
P>rRD`Yy\ `Kg!aN
XY{N"S8 ZxSnqbyA* 考虑光栅周期的选择
9<0yz?b': }' tJc $!
V'#R1 x"3 偏振相关衍射特性
EVLL,x.~:z TrzAgNt
bD=H$) sN8pwRj b 偏振相关衍射特性
eCR^$z=c =v^#MU{k?
Rd7U5MBEF 'k]~Q{K$ 偏振相关衍射特性
b-/QZvg h STcL:b
lTu& 9) u=Ik&^v
Wq 基于参数优化的光栅设计
QY4;qA qE2VUEv5Y 具有固定周期的二维参数优化
\"$P :Uv ?;v\wx
IagM#}m@ 二维参数优化 - 设计#1
}wRm ~ ]QHp?Ii1
q
8sfG ;) [uGsF0#e 二维参数优化 - 设计#2
~}j+~ lCUYE"o
-a@e28Y {H(l"KuL 制造
公差分析 - 设计#2
fQC{LcS ^%zhj3#
"~r)_Ko 'WhJ}Uo\ 不同光栅周期的
三维参数优化
(_4DZMf 9s_^?q
wdP(MkaV wH!$TAZ:Yw 制造公差分析
L(C`<iE&3 $m#^0%
M 5w/TN E \DA3lq 走进
VirtualLab Fusion
l3p :}A =q]!"yU[d
O=+$XPa| SWx: -< VirtualLab Fusion 工作流程
d2Q*1Q@u q 0F6MAXj
L~t<
0\r sw}O g`U VirtualLab Fusion技术
QPB,B>Z |?VJf3A