摘要
Zp% "" ;&7qw69k 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@n~ND). 93zlfLS0 设计任务
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h:US]ZC^Z qZyt>SAx B<|q{D$N/ 光栅特性与参数的严格分析
N8/Au=De_ `"bRjC"f] 不同光栅周期的衍射效率
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\sXmMc +(=[M]5#n 考虑光栅周期的选择
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:;gwdZ 7zOvoQ} 基于参数优化的光栅设计
fjeE. ROI$;B( 具有固定周期的二维参数优化
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T=)L5 Vuq< 二维参数优化 - 设计#1
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h11bK'TIv =K&q;;h 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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I[YfF F^[Rwzv>c 不同光栅周期的
三维参数优化
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