摘要
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g>)V 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Wk~WOzr}^ ^o^H3m 设计任务
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&+Z,hs9% z.7cy@N6 nygbt<;? 光栅特性与参数的严格分析
\|H!~) h$1 h].<t& 不同光栅周期的衍射效率
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Ov5" Huy5-[)15 考虑光栅周期的选择
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o|>'h$ 偏振相关衍射特性
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:}5j##N \]</w5 Pi, 偏振相关衍射特性
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"Ue.@> 2Z-ljD& 偏振相关衍射特性
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MLoYnR^ gbI^2=YT' 基于参数优化的光栅设计
y+X2Pl rm5bkJcg~ 具有固定周期的二维参数优化
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5 xppKt 二维参数优化 - 设计#1
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TOkp%@9/ %6t2ohO" 二维参数优化 - 设计#2
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^>l\, 制造
公差分析 - 设计#2
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C1jHz &7`^i.fh) 不同光栅周期的
三维参数优化
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