[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ?vp' /l"  
-J[*fv@  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ZkSlztL)Tr  
IZoS2^:yw  

图片:1-1ZR2092134500.png

,C1}gPQ6<  
j|c  
设计任务 8m\*~IX=  
8GgZAu'X  

图片:1-1ZR209220C47.png

a6cq0g[#z  
T%B&HsH  
Ru9QQaHE
 
光栅特性与参数的严格分析 Bf1,(^3XH  
Btp 9v<"  
不同光栅周期的衍射效率 Nr8#/H2f  
SfLZVB  

图片:1-1ZR209224S93.png

U@T"teGBA  
Ii FeO  
考虑光栅周期的选择 dZK/v  
7&;M"?m&  

图片:1-1ZR2092315557.png

+twl`Z3n  
偏振相关衍射特性 la+RK  
#q#C_"  

图片:1-1ZR20923422Y.png

yyB;'4Af  
P
|*c7+q  
偏振相关衍射特性 W;!
OxOWZJ  
N@6+DH
t  

图片:1-1ZR2092446256.png

k+b!Lw!L  
"NWILZwEV  
偏振相关衍射特性 KcKdhqdN-  
nI]8w6eCV  

图片:1-1ZR2092540b7.png

?gD^K,A Hd  
X?whyD)vE@  
基于参数优化的光栅设计 7vZtEwC)n  
xU<WUfS1  
具有固定周期的二维参数优化 pZ
Hx  
wr>[Eo@%\  

图片:1-1ZR209260I63.png

In13crr4!  
二维参数优化 - 设计＃1 y``[CBj  
U1nObA  

图片:1-1ZR209263E10.png

;\a?xtIy  
cH>@ZFTF  
二维参数优化 - 设计＃2 @%iZT4`Ejf  
lidVe]>  

图片:1-1ZR2092F2136.png

r)<c ~\0 7  
o0ky]9 P  
制造公差分析 - 设计＃2 `st3iTLZY  
JX!z,X?r4  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

k4T`{s}e  
wH]5VltUT1  
不同光栅周期的三维参数优化 A; _Zw[  
qh9d.Q+n  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

y[`>,?ns5  
T8^`<gr.  
制造公差分析 uvG'Kx  
'k'"+  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

^5E:hW[*  
~dXiyU,y2  
走进VirtualLab Fusion   KpX1GrIn3  
O,.c gX   

图片:1-1ZR2092924332.png

A_8Xhem${  
P*6h$T  
VirtualLab Fusion 工作流程 l6_dVK;s  
x&p.-Fi  

图片:1-1ZR2092952P4.png

^iA_<@[`X[  
'8w}m8{y  
VirtualLab Fusion技术 Uv)B  
gUr#3#  

图片:1-1ZR2093031446.png