摘要
X`-7: !+ R/!lDv!
光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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TcW-pY<N 0L->e(Vf7u 设计任务
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xIt' o(jQH O}#Ic$38 b/#SkxW#S 光栅特性与参数的严格分析
_*&I[%I5 p\;\hHai 不同光栅周期的衍射效率
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Q[hf[ F~bDA~ 考虑光栅周期的选择
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o7gYj\ 偏振相关衍射特性
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/Pbytu);ds BE0Ov{' 偏振相关衍射特性
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1iA0+Ex(j EF>vu+YK 偏振相关衍射特性
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ddTsR ?xa70Pb{; 基于参数优化的光栅设计
LiG!xs UWW^g@d4 具有固定周期的二维参数优化
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W)X" G3 二维参数优化 - 设计#1
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xNrPj8V<Y 2Kkm-#p7 二维参数优化 - 设计#2
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f]pHJVgFV cp:U@Nh( 制造
公差分析 - 设计#2
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_2-fH Z5j\ M 不同光栅周期的
三维参数优化
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> `1K0?_ =ea'G>;[H 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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