摘要
71>,tq v%c/eAF 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
*>"NUHq U?d
I
QVJpX;u NMfHrYHbh 设计任务
6K )K%a,9 #t;]s<
H3*]}= zc=G4F01 !H@HgJ
- 光栅特性与参数的严格分析
w;{Q)_A _3D9>8tzE7 不同光栅周期的衍射效率
x/CM)!U) W!R0:-
5jso)`IL MUsF 考虑光栅周期的选择
c-5AI{%bl6 %gs?~Xl)]
[|YvVA 偏振相关衍射特性
M]p-<R\ PVH Or^
i}zz!dJTE c_S~{a44Ud 偏振相关衍射特性
)XavhS~Ff 99`w'Nlk
U]gUGD!5x OJ"./*H 偏振相关衍射特性
+v
3:\# wggB^ }~
>qOG^{&x Axns 基于参数优化的光栅设计
eUZk|be qPD(D{,f$ 具有固定周期的二维参数优化
uV_%&P ;5L^)Nyd
,b&hLht 二维参数优化 - 设计#1
w&p(/y KUYwc@si\
>V?0#f45@ lya},_WCq 二维参数优化 - 设计#2
h2T\%V_j aVHIU3
6 5dMv*{ s5{=lP 制造
公差分析 - 设计#2
+|d]\WlJ Lo_+W1+
xl`AiO `K {icTfPR4E 不同光栅周期的
三维参数优化
c'tQA eK
l;T
X*@ tp,t oRSA&hSs 制造公差分析
3.?be.cq &l7E|.JE
z9[TjTH^}T _3@5@1[s 走进
VirtualLab Fusion
ap )B%9 "lw|EpQk`
5Y^"&h[/ F/BR#J1 VirtualLab Fusion 工作流程
O#ZZ PJ" j;y~vX b
"}qs+ 1J"9Y81 VirtualLab Fusion技术
M)+p H uOLShNo