摘要
,Q,3^v- MmH(dp+ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
ZLlAK ?N d$B+xW
&Pe[kCO]
4|h>.^ 设计任务
AsO)BeUD k2:mIp\
D!rD-e \2[sUY<W S
N;1F 光栅特性与参数的严格分析
Nn{/_QG q854k+C 不同光栅周期的衍射效率
yC\!6pg L*zfZ&
UL0n>Wa5 y\XWg`X
y 考虑光栅周期的选择
2[I[I*"_d aC#{@t
6yK"g7 偏振相关衍射特性
i?n#ge ZN}U^9m=
paZcTC !laOiH 偏振相关衍射特性
?6 _U>d{ M9Qx F
,+!|~1 I>:.fHvUC 偏振相关衍射特性
4\y>pXML-U GB{Q)L
,:pKNWY)Q g-<[* nF 基于参数优化的光栅设计
sfR0wEqI +^3
*Y"6Z 具有固定周期的二维参数优化
+m4?a\U jBU!xCO
(d# W3 二维参数优化 - 设计#1
/vAA]n8 t'* 2)U
mhMRY9 ahB kY#sQz}8 二维参数优化 - 设计#2
$: qrh66 FB
n . 4
~`<_xIvrq w"AO~LF 制造
公差分析 - 设计#2
`q+Ug
hD,@>ky
# N'_~:H
5Eu`1f? 不同光栅周期的
三维参数优化
pXf5/u8& QA#Jx
tx]!|x" F ZqfoO!Ta 制造公差分析
$}.#0c8I w
C-x'
\&4)['4, _SqUPTb"u 走进
VirtualLab Fusion
I ka
V g L 02q*z>:^
X_#,5t=7 )P9&I.a8 VirtualLab Fusion 工作流程
J>^KQ ^i6`w_ /
`W{y GtkZ%<KF9 VirtualLab Fusion技术
V?4G~~F g42f*~l