摘要
jSp4eq \Fj$^I>C 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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设计任务
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74hGkf^S zz3Rld!b[ 8?!=/Sc 光栅特性与参数的严格分析
_]H$rf,Rc Ol3$!x9 不同光栅周期的衍射效率
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)3PQ|r' %4? 考虑光栅周期的选择
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[3h~y7 偏振相关衍射特性
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*&{M, 偏振相关衍射特性
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is?H1V~8`$ |uVhfD=NG 偏振相关衍射特性
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T0.c 基于参数优化的光栅设计
Es<id}` afOb-G$d= 具有固定周期的二维参数优化
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i~:FlW] 二维参数优化 - 设计#1
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n 二维参数优化 - 设计#2
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fXCx!3m zB`)\ 制造
公差分析 - 设计#2
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j;@7V4' Iu`eQG 不同光栅周期的
三维参数优化
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~_=ohb{ 7RNf)nz 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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u(V4KUk /]4[b!OTJ VirtualLab Fusion技术
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