摘要
i'fw>-0 ^0]0ss;##R 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4DL;Y 设计任务
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]zx%"SUM WI\a ^E}?YgNp 光栅特性与参数的严格分析
dD,}i$ %ap(=^|5 不同光栅周期的衍射效率
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?]><#[?'L IuY9Q8 考虑光栅周期的选择
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'TeH(?3G 偏振相关衍射特性
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88HqP!m%P: q>_<\|?%x 偏振相关衍射特性
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1(p:dqGS 1L,L/sOwB& 基于参数优化的光栅设计
4iA F<|6s bK:U:vpYm 具有固定周期的二维参数优化
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xn*$Ty+ 二维参数优化 - 设计#1
5G355 ,}E U:8[%a
JQ?`l)4 \3hA_{ w 二维参数优化 - 设计#2
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i~h@}0WR" <Yki8 制造
公差分析 - 设计#2
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C8K2F5c5 ^/BGOBK 不同光栅周期的
三维参数优化
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W6<oy JP4DV=}L 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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