摘要
aTuD|s Zy|B~.@<j 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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KV9'ew+M #( F/P!qk 设计任务
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0_q8t!<xJw uf]SPG#/D H?*EQK`7?0 光栅特性与参数的严格分析
&a5UQ> W@`2+} 不同光栅周期的衍射效率
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lVi@ 5.5<.") 考虑光栅周期的选择
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h/ 5|3 偏振相关衍射特性
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[~*5uSG 0gO_dyB 偏振相关衍射特性
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J9eOBom8e< JJ_b{ao< 偏振相关衍射特性
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\ne1Xu:hM vF@hg)A 基于参数优化的光栅设计
7f|8SB mSLA4[4{ 具有固定周期的二维参数优化
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h ` qlI1] 二维参数优化 - 设计#1
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<}7 5Xo E|{(O 二维参数优化 - 设计#2
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$inlI_ g)$/'RB 制造
公差分析 - 设计#2
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B@cC'F#G q9Zp8&<EqH 不同光栅周期的
三维参数优化
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P.bxq50 "5<:Dj/W 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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