摘要
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P<^<m_ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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pE 设计任务
=;W"Pi;* h3Nwxj~E .{1G"(z :2pd2 S &=Gz[1
L 光栅特性与参数的严格分析
WS/^WxRY 2?u>A3^R 不同光栅周期的衍射效率
AjKP -[ HgvgO\`] DJ_,1F :!Wijdq 考虑光栅周期的选择
"w9LQ=mW K_{f6c< \_Nr7sc\ 偏振相关衍射特性
11glFe / *RDy!m x#-uf A[oLV"J6x5 偏振相关衍射特性
4.I6%Bq$ K{.s{;# }__g\?Yf 7!+kyA\}r^ 偏振相关衍射特性
g]EDL<b T]Gxf"mK XSyCT0f08 9uV/G7Geq 基于参数优化的光栅设计
%jdV8D#Q ^m;dEe&@F 具有固定周期的二维参数优化
J]UlCg QWH1xId >!s=f 二维参数优化 - 设计#1
WMnR+?q (Z"QHfO' /=w9bUj5v L+LxS|S+M 二维参数优化 - 设计#2
,Dfq%~:grT 7Bm 18 X&o!xV -+ {Z 3t0F 制造
公差分析 - 设计#2
)A:2y + W{O:j b#bdz1@s [_hHZMTH 不同光栅周期的
三维参数优化
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