摘要
<n3!{w3< Z7 E 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@A)R_p Tw + 设计任务
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O%r; 5kP Web|\CH McPNB`.H 光栅特性与参数的严格分析
RT%pDym\ 'M3">$N 不同光栅周期的衍射效率
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j <o3JV ~axjjv 考虑光栅周期的选择
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mFHH515 偏振相关衍射特性
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X%&~ 偏振相关衍射特性
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^%"7Ri 偏振相关衍射特性
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%Q!`NCe+[ Mg^e3D1_ 基于参数优化的光栅设计
Un6/e/6, =|=.>?t6Z0 具有固定周期的二维参数优化
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r7Ya\0gU 二维参数优化 - 设计#1
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c2K:FdB 'g9"Qv?0{` 二维参数优化 - 设计#2
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!Kv@\4 BATG FS& 制造
公差分析 - 设计#2
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@JRNb=?a not YeY7wR 不同光栅周期的
三维参数优化
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E_zIg+(+ san,|yrMn 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion 工作流程
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