摘要
?1JY6v]h4 ZxwrlaA 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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v4"Ukv m]>zdP+ 设计任务
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+yWD>PY( |di(hY| rtJER?A 光栅特性与参数的严格分析
dnoF)(d&Cm 018SFle 不同光栅周期的衍射效率
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xyk%\&"7 W4^zKnH 考虑光栅周期的选择
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rAu%bF 偏振相关衍射特性
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`z(o01y W<X3!zuKSg 偏振相关衍射特性
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SZ9Oz-? .h=n [`RB 偏振相关衍射特性
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K'Ywv@ 基于参数优化的光栅设计
mufGv%U2 qhxMO[f 具有固定周期的二维参数优化
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f%o[eW# 二维参数优化 - 设计#1
D#&9zR86F U 3a2wK
SPb+H19; dXh[Ea^ 二维参数优化 - 设计#2
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@@oJ@; {O2=K#J 制造
公差分析 - 设计#2
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R BHDfm'~7 @FN|=?8% 不同光栅周期的
三维参数优化
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5VTVx1P[8 LsWD^JE. 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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