摘要
[N7[%iQ% Bq:@ [pCQ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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eMh:T@SN yUH8 设计任务
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@H{$,\\ Nw|Lrn*h! EB> RY+\ 光栅特性与参数的严格分析
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[j`'.fj &"^A 不同光栅周期的衍射效率
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EkTen:{G T>?sPq 考虑光栅周期的选择
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9Pem~< 偏振相关衍射特性
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Uf\*u$78 sO(K po9jq 偏振相关衍射特性
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oY0*T9vv+ o[cKh7&+ 偏振相关衍射特性
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aa".d[*1 z5{I3 Y!1 基于参数优化的光栅设计
*#2`b%qh\M WVo%'DtF` 具有固定周期的二维参数优化
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a7d782~ 二维参数优化 - 设计#1
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o oS4F1ta v-Br)lLv 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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AN.` tv WrD20Q$9Q 不同光栅周期的
三维参数优化
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glv(`cQ Vy5Q+gw 制造公差分析
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