摘要
+ *YGsM`E9 a0"gt"qA 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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w"CcWng1 6~b~[gA 设计任务
5XNIX)H &FWPb#
CI+dIv> #]s> Z\=].[,w4 光栅特性与参数的严格分析
jafq(t wz*QB6QtU 不同光栅周期的衍射效率
H=vrF - # S7Xr~5>X
e75k- U!F~>< 考虑光栅周期的选择
WUid5e2 U*ZP>Vv
qO 偏振相关衍射特性
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=&*:) 29"eu#-Qj 偏振相关衍射特性
s,TKC67.%+ XA~Rn>7&H
:&=TE 2 d 7A08l{ 偏振相关衍射特性
4C(v BKl A>6b
6
\?[#>L4 d\`A
^ 基于参数优化的光栅设计
^4Ra$< PsDks3cG 具有固定周期的二维参数优化
ND\ N2_j[Pe
W[o~AbU 二维参数优化 - 设计#1
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T0W B 4Vj|k\vE4 二维参数优化 - 设计#2
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r)o Sw . m_y5J 制造
公差分析 - 设计#2
>Fm}s, kZ+nL)YQ#
/%Bc*k=ox ?7@Y=7BS4 不同光栅周期的
三维参数优化
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$` 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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