摘要
E~a3r]V/ !Lh^oPT"I 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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KW7UUXL oy;K_9\ 设计任务
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p3}?fej&| V._(q^ C*G=cs\i 光栅特性与参数的严格分析
A3ZY~s#Iv HyR!O> 不同光栅周期的衍射效率
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$\?yAE o'$jNciOW 考虑光栅周期的选择
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h48SItY 偏振相关衍射特性
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h)me\U7UC sQ8s7l0D 偏振相关衍射特性
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Y1arX^Zb EutP\K_Y 偏振相关衍射特性
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:(_+7N[KA x[Wwq=~ 基于参数优化的光栅设计
1c@}C+F+ ehA;i.n 具有固定周期的二维参数优化
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)aX2jSp 二维参数优化 - 设计#1
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Ym rP(eva 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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:h1pBEiH Eaqca{%/^ 不同光栅周期的
三维参数优化
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'r\ V.4 178Mb\8 制造公差分析
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y| VirtualLab Fusion技术
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