摘要
Z4bNV?OH x.4m|f0; 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2B`JGFcdcB ,`sv1xwd >8[Z.fX 光栅特性与参数的严格分析
{K!)Ss b~cZS[S 不同光栅周期的衍射效率
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l}P=/#</T A":T1s 考虑光栅周期的选择
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wKY_Bo/d H%{+QwzZ[j 偏振相关衍射特性
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DIUjn;>k8 TJ*T:?>e 基于参数优化的光栅设计
q0\6F^;M @KUWxFak 具有固定周期的二维参数优化
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8JUwf 二维参数优化 - 设计#1
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D3K8F@d 3= ;<$+I6 二维参数优化 - 设计#2
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(uidNq NyuQMU 制造
公差分析 - 设计#2
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N4HqLh23H 7IM@i>p% 不同光栅周期的
三维参数优化
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