摘要
cJM.Q_I}Y 'tjqfR 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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IABF_GwF ,pVe@ d' 设计任务
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6O 2lqy <o 光栅特性与参数的严格分析
o*oFCR]j k<NxI\s8] 不同光栅周期的衍射效率
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tX,x% ( E@AV?@<sc 考虑光栅周期的选择
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VSh&Y_% 偏振相关衍射特性
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QUh`kt(E x+DecO2 偏振相关衍射特性
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|t~>Xs Wr'1Y7z 偏振相关衍射特性
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b #Llu$ JU)k+:\a 基于参数优化的光栅设计
nyBT4e 2^f7GP 具有固定周期的二维参数优化
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.1_kRy2*. 二维参数优化 - 设计#1
0sB[]E|7[s 'E\4/0 !
~=|QPO(d t J&tNSjTi 二维参数优化 - 设计#2
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IaU%L6Q] 2IUd?i3~l 制造
公差分析 - 设计#2
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b[:{\!I b`F]oQ_* 不同光栅周期的
三维参数优化
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HV*;Yt ]b:>7_la 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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