摘要
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hd> 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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WjF#YW\ zxy/V^mu 设计任务
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|K'7BK_^J s%@HchZ 1 !UX7R\qu| 光栅特性与参数的严格分析
+5ue)` SAUG+{Uq 不同光栅周期的衍射效率
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[OwrIL T#=&oy7 考虑光栅周期的选择
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? W2Wy\ 偏振相关衍射特性
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; d :i fR,7l9<%Zp 偏振相关衍射特性
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ez^b{s` ziG]BZ 偏振相关衍射特性
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ZN-5W|' O y3NMt6 基于参数优化的光栅设计
X{;3gN zHt}`>y& 具有固定周期的二维参数优化
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E@S5|CM 二维参数优化 - 设计#1
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二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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O^I%Xk 不同光栅周期的
三维参数优化
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8CN0Q&| 7d'gG[Z^^ 制造公差分析
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