摘要
xAn|OSe )J[Ady^5 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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FY+@fy IL*MB;0> 设计任务
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>Ij#+= * _,yK-et 2v*X^2+ 光栅特性与参数的严格分析
jM'Fb.>~ RD:LNl<0sh 不同光栅周期的衍射效率
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*Hh*!ePp aJ]t1 考虑光栅周期的选择
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xkaed 偏振相关衍射特性
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P[Vf$ q< U[@B63];0 偏振相关衍射特性
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z`8>$9 kN vNV(4 偏振相关衍射特性
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6y@o[=m BUsAEwM 基于参数优化的光栅设计
lWU? R X=JAyxY 具有固定周期的二维参数优化
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.ityudT< 二维参数优化 - 设计#1
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n]wZ7z "&kXAwe 二维参数优化 - 设计#2
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4wwRNu* nyd'79~>G 制造
公差分析 - 设计#2
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T:udw :UsNiR=l 不同光栅周期的
三维参数优化
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2 wZyUB; HG})VPBa 制造公差分析
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