摘要
o'ZW fAD
{sg 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
=64Ju Wvo Wbi12{C
xS_tB)C <4*)J9V^s= 设计任务
tA-p!#V<k1 E\VKlu4
||#+ ^p7G M"8?XD%
<^adt
*m 光栅特性与参数的严格分析
d4LH`@SUZ- yXro6u?rC 不同光栅周期的衍射效率
,772$7x A~8-{F 31
#G("Oh j`-9. 考虑光栅周期的选择
sDXQ{*6a *m&(h@l
=]-D_$S~ 偏振相关衍射特性
}nWW`:t kx ?DC;Hk<
$WbfRyXi7' a7e.Z9k! 偏振相关衍射特性
Ki%RSW(_` dhi9=Co;
hJ(S]1B~G N)X51;+ 偏振相关衍射特性
A )xfO- vVH*\&H\T
XI5q>cd\Sz yu=(m~KX
基于参数优化的光栅设计
I(+%`{Wv Ml+O -
3T 具有固定周期的二维参数优化
<is%lx(GDX Pol
c.
}z_7?dn/ 二维参数优化 - 设计#1
@;{iCVW 3@mW/l>X
qZX\riR v;IuB 二维参数优化 - 设计#2
%~qY\> mA6Nmq%{ F
c4L++
u# MW)=l
| G 制造
公差分析 - 设计#2
"ax"k0 E=l^&[dIl
D<xDj#Z~1 e `Tssa+ 不同光栅周期的
三维参数优化
.q9i10C 8#15*'Y
jR{Rd}QtQ q%MLj./?[ 制造公差分析
W.
p'T}2 o`\@Yq$.
i,y7R?-K KJ8Qi+cZ 走进
VirtualLab Fusion
Eo_;Nc mjbV^^>
k_7agW &(rR)cG VirtualLab Fusion 工作流程
sQ%gf M}`G}*
t`vIcCXqyl ,98`tB0 VirtualLab Fusion技术
4GqE%n+ta~ LArfX,x3i