摘要
+)dQd T0Fq 5$`ihO? 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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XSkx<"U* UW88JA0 设计任务
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E}00y%@*J \J.PrE'(} DfXXN 光栅特性与参数的严格分析
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!:'%'@uc 不同光栅周期的衍射效率
!/[/w39D0o Dh*Uv,
/n"Ib)M mhv{6v 考虑光栅周期的选择
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0sD"Hu 偏振相关衍射特性
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{R5Q{]dK3 TyI"fP 偏振相关衍射特性
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偏振相关衍射特性
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f5.rzrU ^rO3B?_ 基于参数优化的光栅设计
IxNY%&* ` YII1Z'q 具有固定周期的二维参数优化
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xx{}g]% 二维参数优化 - 设计#1
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_BHR ?I[w Ou/JN+2A 二维参数优化 - 设计#2
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M@ t,P? o&g-0!" 制造
公差分析 - 设计#2
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,Wtod|vx\U ^LO=&Cq 不同光栅周期的
三维参数优化
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Q}.zE+ 制造公差分析
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