摘要
X"9N<)C X(BX+)YR 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2%pU'D: KoA +Vv9 设计任务
Mp=T;Nz @n=&muC}
X,Rl&K\b" C/QrkTi= 2.N)N%@ 光栅特性与参数的严格分析
zg'.f UZ !D ?(}nag 不同光栅周期的衍射效率
"?kDR1=7A KYwUkuw)
mnBTZ/ZjS +SE \c 考虑光栅周期的选择
^Epup$ sSc~q+xz
FS=LpvOG) 偏振相关衍射特性
n).*=YLN IuA4eDr^Y%
jE=m4_Ntn NpCQ4K 偏振相关衍射特性
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Ptcq/f @2mWNYHR*> 偏振相关衍射特性
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7
8'_MCx( Ekik_!aB 基于参数优化的光栅设计
U&{w:P N8k=c3| 具有固定周期的二维参数优化
XR3 dG: Q2)(tB= )
|@d}O8 二维参数优化 - 设计#1
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~ ^D2]j 6k![v@2R 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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CE!cZZ r> Xk1~<! 不同光栅周期的
三维参数优化
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