摘要
Q%>,5(_V] 0bd.ess 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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3sw1y }gn0bCJy 设计任务
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zR( j"dbl?og 光栅特性与参数的严格分析
z DK+8 fAm2ls7c 不同光栅周期的衍射效率
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L@ay4,e.bz SVHtv0Nx 考虑光栅周期的选择
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lDA%M3(p 偏振相关衍射特性
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Yk5kC0B XU54skN 偏振相关衍射特性
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!`Wu LhB` f0uiNy(r$ 偏振相关衍射特性
(+@.L7>m+t &d2/F i+
BOG )JaDW g$tW9 Q 基于参数优化的光栅设计
E5dXu5+ye 6 qq7: 具有固定周期的二维参数优化
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/IC'R"V a 二维参数优化 - 设计#1
WAEKvM4*i0 o?3R HP47
q}!4b'z^ 3,[2-obmi 二维参数优化 - 设计#2
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U!5@$Fu 76m[o 制造
公差分析 - 设计#2
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fiGM 不同光栅周期的
三维参数优化
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piP8ObGjy ~JXHBX 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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