摘要
"IbXKS>t 0NlC|5ma) 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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z0[_5Cm/ k2{*WF 设计任务
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RGd@3OjN 'J(rIH3U TtA6N8G 光栅特性与参数的严格分析
:%ms6j/B&V ?;NC(Z, 不同光栅周期的衍射效率
le1 Ax &Z=
R7%'
vZk `)e5pK 考虑光栅周期的选择
Ce 3{KGBw *@6,Sr)_
f5p>oXo4b 偏振相关衍射特性
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K,f*}1$qM tKtKW5n~ 偏振相关衍射特性
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nT.i|(xd. LLp/ SWe 偏振相关衍射特性
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hKa<9>MI` @'UbTB! 基于参数优化的光栅设计
Q+L;k
R mO];+=3v8 具有固定周期的二维参数优化
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7wKN 二维参数优化 - 设计#1
)S41N^j. hp ?4w) ,
kw,eTB<;R
S0-f_,( 二维参数优化 - 设计#2
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@\{L%y%a0 Da.eVU; 制造
公差分析 - 设计#2
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-G\svwv@) n=t50/jV3= 不同光栅周期的
三维参数优化
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1!N|a< # Bi}uL)~rD 制造公差分析
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