[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 cJM.Q_I}Y  
'tjqfR  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1xO-tIp/  
7?);wh7`  

图片:1-1ZR2092134500.png

IABF_GwF  
,pVe@d'  
设计任务 ft4hzmuzM  
~]'yUd1gSZ  

图片:1-1ZR209220C47.png

9kbczL^Y  
FchO 6O  
2lqy<o  
光栅特性与参数的严格分析 o*oFCR]j  
k<NxI\s8]  
不同光栅周期的衍射效率 K}'?#a(aX=  
A\13*4:;l  

图片:1-1ZR209224S93.png

tX,x%(  
E@AV?@<sc  
考虑光栅周期的选择 aY6F4,7/B  
'T;;-M3*  

图片:1-1ZR2092315557.png


VSh&Y_%  
偏振相关衍射特性 u*rHKZ9i  
N:
Ir63X*#  

图片:1-1ZR20923422Y.png

QUh`kt(E  
x+DecO2  
偏振相关衍射特性 Z'|k M!  
+*aC \4w  

图片:1-1ZR2092446256.png

|t~>Xs  
Wr'1Y7z  
偏振相关衍射特性 vcaPd}nf  
GR_caP  

图片:1-1ZR2092540b7.png

b #Llu$  
JU)k+:\a  
基于参数优化的光栅设计 nyBT4e  
2^f7GP  
具有固定周期的二维参数优化 =1<v1s|)q  
D'BGoVP  

图片:1-1ZR209260I63.png

.1_kRy2*.  
二维参数优化 - 设计＃1 0sB[]E|7[s  
'E\4/0 !  

图片:1-1ZR209263E10.png

~=|QPO(d  
tJ&tNSjTi  
二维参数优化 - 设计＃2 Lu5X~6j"$  
M5L/3qLh1  

图片:1-1ZR2092F2136.png

IaU%L6Q]  
2IUd?i3~l  
制造公差分析 - 设计＃2 tf[)| /M  
,J:Ro N_:  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

b[:{\!I  
b`F]oQ_*  
不同光栅周期的三维参数优化 yhs:.h  
7:<A_OLi  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

HV*;Yt  
]b:>7_la  
制造公差分析 8DM! ]L  
c]/S<w<  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

 L|6I  
`PSjkF(  
走进VirtualLab Fusion   J;4aghzY  
N,3iSH=cN[  

图片:1-1ZR2092924332.png

[+!&iN  
+[_3h9BK  
VirtualLab Fusion 工作流程 dP`B9>r  
yrd1J$  

图片:1-1ZR2092952P4.png

6Rmdf>a  
|=MhI5gsx  
VirtualLab Fusion技术 4IvT}Us#+  
\f)GW$`  

图片:1-1ZR2093031446.png