摘要
zF@/8# @ruWnwb 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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k9!euj& h'"~t#r 设计任务
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=3EE-%eF! "Ky&x$dje &l~9FE* 光栅特性与参数的严格分析
rAZ~R PrW M-/2{F[ 不同光栅周期的衍射效率
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?>DwNz^.! u+m9DNPF 考虑光栅周期的选择
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9cQ;h37J> 偏振相关衍射特性
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Wrf+5 ;,, qZ%0p*P#_ 偏振相关衍射特性
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~Z}DN*S R,`3 SW() 偏振相关衍射特性
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>">grDX eQJyO9$G 基于参数优化的光栅设计
:KI0j%>2y &F.L*M 具有固定周期的二维参数优化
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&sooXKlv| 二维参数优化 - 设计#1
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lmYyaui ,VZ<r5NT 二维参数优化 - 设计#2
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k1fX-2H /0r6/ _5-. 制造
公差分析 - 设计#2
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F=z W)Mc$`nX 不同光栅周期的
三维参数优化
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.RPh#FI6J c@lH 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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