摘要
5?([jAOf *'\ HG 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Ih4$MG6QC ~tZB1+%) 设计任务
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%~8f0B|im ]yL+lv l-S0Gn/'X 光栅特性与参数的严格分析
[-\U)>MY(p ,np|KoG|M 不同光栅周期的衍射效率
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Q1rEUbvCE J9DI(` 考虑光栅周期的选择
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B([-GpZt[ F`2h,i-9 偏振相关衍射特性
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2oRwDg&7| 基于参数优化的光栅设计
%<[{zd1C- `~"'\Hw 具有固定周期的二维参数优化
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(E&M[hH+ 二维参数优化 - 设计#1
S]~5iO_bst q9{)nU
DHx&%]r;D P8|ANe1
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_nEVmz!zg }Nwp{["}]L 制造
公差分析 - 设计#2
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3dLqlJ^7B /h.{g0Xc 不同光栅周期的
三维参数优化
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