[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 
IkXx# )  
Ib0ZjX6  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G/mXq-  
^KE%C;u  

图片:1-1ZR2092134500.png

hiw|2Y&`  
{vO9ptR;  
设计任务 6Kb1~jY  
O,A{3DAe0  

图片:1-1ZR209220C47.png

}-3mPy(*%  
/^
|Dbx!u  
c7E11 \%&Z  
光栅特性与参数的严格分析 .-X8J t  
TvQo?  
不同光栅周期的衍射效率 -FCe:iY! A  
d5z`BH.  

图片:1-1ZR209224S93.png

K!]/(V(}  
jMDY(mwt  
考虑光栅周期的选择 0nD/;\OU  
-FlzEZ  

图片:1-1ZR2092315557.png

CWP2{  
偏振相关衍射特性 :<#nTh_@\'  
Y7[jqb1D  

图片:1-1ZR20923422Y.png

]}(H0?OQR  
E\2%
E@0#  
偏振相关衍射特性 t>B;w14  
|qZ1|  

图片:1-1ZR2092446256.png

7 ^mL_SMj  

[\b0Lem  
偏振相关衍射特性 `I5wV/%ib  
[=^3n#WW  

图片:1-1ZR2092540b7.png

)Iq<+IJ  
Q&|\r  
基于参数优化的光栅设计 :TC@tM~Oy  
x7x\Y(@  
具有固定周期的二维参数优化 mcX/GO}  
e01epVR;  

图片:1-1ZR209260I63.png

5RpjN: 3  
二维参数优化 - 设计＃1 =6|&Jt  
VgC2+APg  

图片:1-1ZR209263E10.png

a"g!
e^  
bB;5s`-  
二维参数优化 - 设计＃2 )M//l1  
qH6>!=00  

图片:1-1ZR2092F2136.png

 H =^`!  
"4,?uPi  
制造公差分析 - 设计＃2 f[^Aw(o  
B|AV$N*  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

ye? 'Ze  
Y~E`
9  
不同光栅周期的三维参数优化 fGw9!  
A1?2*W  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

;K&o-y  
v(D;PS3r 7  
制造公差分析 zeC RK+-  
@Sbe^x  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

pK'V9fD5J  
oW Nh@C  
走进VirtualLab Fusion   ;<2G  
g5QZ0Qk
j  

图片:1-1ZR2092924332.png

t; {F%9j{  
Ev(>z-{F  
VirtualLab Fusion 工作流程 &wE%<"aRAl  
E6gI,f/p0X  

图片:1-1ZR2092952P4.png

YgV817OV  
GMl;7?RA  
VirtualLab Fusion技术 .oUTqki  
z}ddqZ27G$  

图片:1-1ZR2093031446.png