摘要
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PC]%:L" 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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a1+oj7 AI2~Jp 设计任务
IM*y|UHt D=TvYe
y-Fo=y V( }:=eK PhLn8jNti 光栅特性与参数的严格分析
&*o=I|pQ )Dms 不同光栅周期的衍射效率
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考虑光栅周期的选择
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O8{k 偏振相关衍射特性
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WH%g(6w1j Fk7?xc 偏振相关衍射特性
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XE RUo #I.+aV+2oQ 偏振相关衍射特性
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RIR\']WN J[&@PUy 基于参数优化的光栅设计
Xc++b|k {'flJ5] 具有固定周期的二维参数优化
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!"AvY y9 二维参数优化 - 设计#1
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8bGd} ( 1}+3dB_s 二维参数优化 - 设计#2
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l0Jw 制造
公差分析 - 设计#2
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\p5 不同光栅周期的
三维参数优化
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VirtualLab Fusion
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