摘要
It#h p,@e `4q5CJ2 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
s-QM6* {Q{lb(6Ba
)2iM<-uB jA20c(O 设计任务
-9=M9}eDF CBiU#h
q
BNAguAxWo {DKXn`V @5{.K/s 光栅特性与参数的严格分析
4yA9Ni >2l13^Y 不同光栅周期的衍射效率
v7s] @rnp- +kq
Q'n(^tbL [VY8?y 考虑光栅周期的选择
u=p ;A1oy /e-ka{WS
dzjB UD 偏振相关衍射特性
\zk?$'d kx"hWG4
3v8V*48B$ MgJ%26TZ 偏振相关衍射特性
y3
({(URU &{-oA_@
LK'S)Jk 7\7 Brw4 偏振相关衍射特性
m#5|J@] %8}WX@SB
tnQR< X_lUD?y 基于参数优化的光栅设计
/0B07B uE,i-g0$Id 具有固定周期的二维参数优化
WUE)SVf N<#S3B?.
Nz(c"3T; 二维参数优化 - 设计#1
e3yorQ][ Jcwh|w9D8
O:oU`vE Ze$^UR 二维参数优化 - 设计#2
u4b3bH9U Yv#J`b@y
]y1$F
Ir+ ..P=D <'f 制造
公差分析 - 设计#2
8Pr&F ?6gDbE%
2]of SdM 8{}Pj 不同光栅周期的
三维参数优化
fWtb mUq ?/`C~e<J
p`E|SNt/W J[j/aDdP 制造公差分析
~6@c]: p^pQZ6-
EuKrYY] g #hy5c,}> 走进
VirtualLab Fusion
.G5NGB rQd1Ch
tMD^$E"C 2- Npw%; VirtualLab Fusion 工作流程
p?Z+z ;w>3,ub(0
vxbH^b |:7EJkKZ VirtualLab Fusion技术
])Q9=?Sd} O Ey:#9<'