摘要
)5yj/0oT s AE9<(g&@ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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7BFN|S_l WE.Tuo5L 设计任务
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BGqa-d y\[r(4h b5 Q NEi 光栅特性与参数的严格分析
nj2gs,k K$-;;pUl 不同光栅周期的衍射效率
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Z?1OdoT- ?q Xs- 考虑光栅周期的选择
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f5 偏振相关衍射特性
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Y4To@TrN#\ +,_c/(P 偏振相关衍射特性
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M+ aEma v2J0u:#, 偏振相关衍射特性
RvW.@#EH0 4v qNule
-P#nT 2 (=JueF@J 基于参数优化的光栅设计
/DU*M, `P.CNYR<J 具有固定周期的二维参数优化
&r@H(}$1\ `C'}e
&;v!oe 二维参数优化 - 设计#1
7a<_BJXx kZ[mM'u#
k18$JyaG Y:pRcO.4g 二维参数优化 - 设计#2
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q^Inb)FeN |s|/]aD}o 制造
公差分析 - 设计#2
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UC|JAZL %F5 =n" 不同光栅周期的
三维参数优化
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/KLU vlQ0gsXK 制造公差分析
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B01^oYM} 8c).8RL f 走进
VirtualLab Fusion
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