摘要
t\R; < x cF+ X,]=6 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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q<{NO/Mm O\beKBT; 设计任务
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P-Su5F E{Vo'!LY SUdm 0y 光栅特性与参数的严格分析
RKkGITDk ]/dVRkZeAE 不同光栅周期的衍射效率
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.BZVX=x qfL-r,XS`F 考虑光栅周期的选择
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ff cLuXa 偏振相关衍射特性
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sH!O0WL LAs7>hM 偏振相关衍射特性
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zV.pol M] EsS^/X 偏振相关衍射特性
4A.Q21s /Jlv"R1,
J !#Zi#8sF Fi;VDK(V9 基于参数优化的光栅设计
G$JFuz)| e>H:/24 具有固定周期的二维参数优化
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q&si% 二维参数优化 - 设计#1
X>l*v\F9 " 'tRfB
_N#&psQzw j4.&l3 二维参数优化 - 设计#2
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1(gfdx9|b 9`Q@'(m 制造
公差分析 - 设计#2
=!.mGW-Q} g1[&c+=U`P
'ZHdV,dd Fwfo2 不同光栅周期的
三维参数优化
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M<`|CVl -T_\f?V88 制造公差分析
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