[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ^b %8_?2m  
+:%FJCOT  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 RAI&;"  
tlgvBRH>  

图片:1-1ZR2092134500.png

5z ^UQq  
Fd&!-`T?  
设计任务 =+S3S{\CK  
9lJj/  

图片:1-1ZR209220C47.png

k#*yhG,]'  
/*^|5>-`i1  
!cwVJe  
光栅特性与参数的严格分析 iBC>w+t14  
X$iJ|=vW  
不同光栅周期的衍射效率 _ng=5  
S)@vl^3ec  

图片:1-1ZR209224S93.png

B!ibE<7,  
>wO$Vu `t  
考虑光栅周期的选择 GTe:k  
gCr|e}w-  

图片:1-1ZR2092315557.png

E2H
<{Q   
偏振相关衍射特性 vcO`j<`  
@[lc0_b  

图片:1-1ZR20923422Y.png

]=VS~azZ5  
/&as)  
偏振相关衍射特性 n o+tVm|  
0DVZRB  

图片:1-1ZR2092446256.png

jZT :-w  
lN>C#e<]  
偏振相关衍射特性 e)dWa'2<  
poYAiq_3T  

图片:1-1ZR2092540b7.png

>04>rn#},,  
L2.`1Aag  
基于参数优化的光栅设计 \y H3Y  
t)gi.Ed1"L  
具有固定周期的二维参数优化 3R%UPT0>  
UcLNMn|  

图片:1-1ZR209260I63.png

Jhsv2,8 {  
二维参数优化 - 设计＃1 j H.Ju|nO  
V l~Y  

图片:1-1ZR209263E10.png

Xvj=*wg\Y  
tdnXPxn[  
二维参数优化 - 设计＃2 5u|=;Hz*)  
$rpTs?j*K$  

图片:1-1ZR2092F2136.png

e4=FU&RpNH  
SQt|(r)  
制造公差分析 - 设计＃2 3_\{[_W  
De nt?  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

?)mhJ/IT  
jxnQG A  
不同光栅周期的三维参数优化 qH h'l;.  
..]*Ao2  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

VqClM  
=qp}p'BYe  
制造公差分析 5&<d2EG6l'  
Dpdn%8+Z  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

UROj9COv  
wAu[pWD'6;  
走进VirtualLab Fusion   6i]
Nr@1C  
pdi=6<?bd  

图片:1-1ZR2092924332.png

p`ADro*  
2fzKdkJhe  
VirtualLab Fusion 工作流程 Foe>}6~{?  
xA&  

图片:1-1ZR2092952P4.png

ke}Y
2sB  
e|b~[|;*=  
VirtualLab Fusion技术 {}g %"mi#  
i!Dh&XT  

图片:1-1ZR2093031446.png