[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 zIjUfgO/M  
#`9D,+2iB%  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -8r9DS-/W  
q
[w.[]  

图片:1-1ZR2092134500.png

sTALOL<  
MVpk/S%W  
设计任务 ZT;:Hxv0N  
O-ZB4hN8  

图片:1-1ZR209220C47.png

(ON_(MN   
=Nj58l  
!@<>S>uGG  
光栅特性与参数的严格分析  EL[N%M3  
VD*xhuy$k  
不同光栅周期的衍射效率  ^?3e?Q?  

#FfUkV  

图片:1-1ZR209224S93.png

ORo +=2  
xe
3t_y  
考虑光栅周期的选择 0$9I.%4jAJ  
/:j9#kj  

图片:1-1ZR2092315557.png

1li1&  
偏振相关衍射特性 D>c-h)2|
 
%)K)h&m  

图片:1-1ZR20923422Y.png

xgeKz^,  
mfNYN4Um6  
偏振相关衍射特性 (y xrK  
j`9+pI  

图片:1-1ZR2092446256.png

6jIW)C  
Ih!D6  
偏振相关衍射特性 aDik1Q  
lTh}0t  

图片:1-1ZR2092540b7.png

|# z
znT"  
.7HnWKUV
 
基于参数优化的光栅设计 Hlw0ia  
E Fx@O  
具有固定周期的二维参数优化 u/% 4WgA  
GoGo@5n(Z  

图片:1-1ZR209260I63.png

>qSaF  
二维参数优化 - 设计＃1 ?V}AwLX}  
btC.EmX  

图片:1-1ZR209263E10.png

2_x~y|<9  
hkO)q|1  
二维参数优化 - 设计＃2 U-$ B"w&  
@42!\1YT  

图片:1-1ZR2092F2136.png

c !ybz{L  
7x%0^~/n  
制造公差分析 - 设计＃2 ]byj[Gd  
"KY9MBzPD  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

3huTT"G  
jF'azlT  
不同光栅周期的三维参数优化 J jCzCA:K_  
U~SOHfZ%(  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

su`]l"[,]  
$?OuY*ZeY9  
制造公差分析 HHbkR2H1  
R,hX *yVq  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

T~k5` ~\(  
7^bO`  
走进VirtualLab Fusion   9oteQN{9  
]3iu-~  

图片:1-1ZR2092924332.png

1R/=as,R  
:v k+[PzJ  
VirtualLab Fusion 工作流程 `'u|4pRFs  
"jVMk  

图片:1-1ZR2092952P4.png

;a+>><x]  
*R*Tmo"  
VirtualLab Fusion技术 Te"<.0~1  
T|p$Ddt`+  

图片:1-1ZR2093031446.png