摘要
[h8macx C5e;U 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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IlB*JJnl X!@ Y, 设计任务
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2p4!@W 光栅特性与参数的严格分析
8`90a\t'Z I<+:Ho=6 不同光栅周期的衍射效率
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k^zU; s%RG_"l 考虑光栅周期的选择
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偏振相关衍射特性
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K6|R ;r5e{ Qd>\{$N 偏振相关衍射特性
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H5o=nWQ6e io@f5E+? 偏振相关衍射特性
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\Pe+]4R-Xo :H+8E5 基于参数优化的光栅设计
t J&tNSjTi Lu5X~6j"$ 具有固定周期的二维参数优化
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2IUd?i3~l 二维参数优化 - 设计#1
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b[:{\!I b`F]oQ_* 二维参数优化 - 设计#2
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?/myG{E 15r=d 制造
公差分析 - 设计#2
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FW|_8q?}< 4yjIR? 不同光栅周期的
三维参数优化
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l[rK)PM -Zp BYX5e_ 制造公差分析
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