摘要
jpS#'h Hs!CJ(0"y 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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设计任务
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L{Zy7O]"d ?':'zT D1/$pA+B 光栅特性与参数的严格分析
&^>r<~] 0`=?ig_ 不同光栅周期的衍射效率
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c9={~ )&-+:u0 考虑光栅周期的选择
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pr?(5{BL 偏振相关衍射特性
Q)8t;Kx (\
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hQeZI+ Re>e|$.T 偏振相关衍射特性
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KfS^sT 6<6_W# 偏振相关衍射特性
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D.f=!rT7E7 BW[K/l~"$: 基于参数优化的光栅设计
~:Nyv+g,$ aT[7L9Cw 具有固定周期的二维参数优化
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W ,+91rup 二维参数优化 - 设计#1
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qa6up|xUnn :4d7%q 二维参数优化 - 设计#2
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e }% *g\%L 制造
公差分析 - 设计#2
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zKr(Gt8 l|{<!7a 不同光栅周期的
三维参数优化
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$+ 制造公差分析
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