摘要
_C.BFE_p 17D"cP 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Kx,G np%\&CVhN 设计任务
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$=5=NuX tS|9fBdCs |"XPp!_uN 光栅特性与参数的严格分析
1?)Xp|O RbCPmiZcH 不同光栅周期的衍射效率
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_tSAI PN0VQ/.. 考虑光栅周期的选择
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1mfs4 偏振相关衍射特性
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9m|kgY# 4 \I["2C]3M 偏振相关衍射特性
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6}4'E Jo$G,Q 偏振相关衍射特性
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3l[McZ 4Y,R-+f 基于参数优化的光栅设计
3 N7[.I>A 0`)iIz 具有固定周期的二维参数优化
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.~Fp)O:! 二维参数优化 - 设计#1
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!Gu%U $d af#pR&4} 二维参数优化 - 设计#2
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Jg]'+>,J '\Jj8oJQj 制造
公差分析 - 设计#2
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ZiYm:$CJ bV edFm 不同光栅周期的
三维参数优化
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'm0 Vw#_68EybM 制造公差分析
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