摘要
U<>@)0~7g! :SWrx MT 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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~4O3~Y_+GN 设计任务
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MPn/"Fij$ EyA(W;r. ;' |CSjco 光栅特性与参数的严格分析
MgN;[4|[h %M/L/_d 不同光栅周期的衍射效率
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Cbl>eKw a=x&sz\x 考虑光栅周期的选择
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VS_\bIC 偏振相关衍射特性
6@3v+Vf' b$_qG6)IJO
"gzn%k[D9m |1/8m/2Af. 偏振相关衍射特性
b'`XFB#V y 4aT-^C'
E>gLUMG$ /~7M @`1 偏振相关衍射特性
JUXBMYFus Evqy e;
`ZO5-E r'_#rl 基于参数优化的光栅设计
Io>U-Zd\> ^k{/Yl 具有固定周期的二维参数优化
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VS>hi~j 二维参数优化 - 设计#1
{f*{dSm9b HZS.%+2
H 8 66,] 3RxR'M1 二维参数优化 - 设计#2
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zf5%|7o O U9{Y9e 制造
公差分析 - 设计#2
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1=E}X5 DYC2bs> 不同光栅周期的
三维参数优化
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s|Vs#o.P) 3[l\l5'm8 制造公差分析
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