摘要
9I0}:J;7 iU^KmM I 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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#K1VPezN o"F=3b~:n 设计任务
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{"<D$*K~ P qFK*^)s 3D3/\E#'o 光栅特性与参数的严格分析
;0lHi4 c0 aiP.\`>} 不同光栅周期的衍射效率
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, VT& d+ P<nI/| 考虑光栅周期的选择
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%5|awWo_? 偏振相关衍射特性
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_U%a`%tU. 4L(/Z}( 偏振相关衍射特性
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fi*@m,- F91'5D,u0 偏振相关衍射特性
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L;d(|7BVv kWVaHZr 基于参数优化的光栅设计
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ZS;H 具有固定周期的二维参数优化
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SJ(<u2J] 二维参数优化 - 设计#1
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-N@' j9FG)0
y\M]\^[7 =+{SZh@ 二维参数优化 - 设计#2
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u >R2:i 1D3{\v 制造
公差分析 - 设计#2
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p%;n4*b2 b^WTX 不同光栅周期的
三维参数优化
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0E[&:6#Y 8|FHr, 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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