摘要
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Y tT:yvU@a 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"!n` U4JN,`p{ 设计任务
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e@ l<?wB|1' 光栅特性与参数的严格分析
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cg>g/ cO9Aw ! 不同光栅周期的衍射效率
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1\uS~RR 5JXLfYTUI 考虑光栅周期的选择
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cALs;)z 偏振相关衍射特性
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rf@81Ds TF>F7v(,45 偏振相关衍射特性
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g:yK/1@Hk} z?xd\x 偏振相关衍射特性
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c/RG1w &0raa 基于参数优化的光栅设计
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具有固定周期的二维参数优化
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\N30SG?o 二维参数优化 - 设计#1
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_ 17"T0 .@'Vz;&mQ 二维参数优化 - 设计#2
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制造
公差分析 - 设计#2
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P1<;:!8' sp%7iNs 不同光栅周期的
三维参数优化
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ctGjqHo <IYt*vlm 制造公差分析
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