摘要
Q
a8;MxK` EZg$mp1 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?9m@ S#@ /U =eB?> 设计任务
FW--|X]8 #a=~a=c(^
m #}%l3$ = s$UU15 x#,nR]C 光栅特性与参数的严格分析
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0L"5B@ 不同光栅周期的衍射效率
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KJ;NcUq 0z:BSdno 考虑光栅周期的选择
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{|ChwM\x 偏振相关衍射特性
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ohj(1jt RbGq$vYol/ 偏振相关衍射特性
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l/F'W} 9 9S-P}xd 基于参数优化的光栅设计
tWN hFQ' UOAL7 具有固定周期的二维参数优化
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8*t8F\U# 二维参数优化 - 设计#1
B>"O~ gZ{# 7G<v<&
p!]$!qHO( $X%'je 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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"UDV4<|^k I"1H]@"= 不同光栅周期的
三维参数优化
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!?u{2D mqFo`Ee 制造公差分析
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