摘要
YKP=0 j3, v#<\:|XAg 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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w::r?.9 =<[7J]% 设计任务
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Z $!C= M4TrnZ1D} PM~bM3Ei 光栅特性与参数的严格分析
#04{(G|~+E "?i>p z 不同光栅周期的衍射效率
0=OD?48< o-SRSu
lir&e
9I+ 'rS'B.D 考虑光栅周期的选择
)UR1E?' PqT"jOF]n
C0\%QXu 偏振相关衍射特性
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\HCOR, `T `6rrXU6| 偏振相关衍射特性
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LkaG8#m1R M'^(3#ZU 偏振相关衍射特性
M} O[`Fx{W 'To<T
|xq}'.C Jf_]Z 基于参数优化的光栅设计
q z=yMIy= XK1fHfCEa 具有固定周期的二维参数优化
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4w@v#H@ 二维参数优化 - 设计#1
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LlU'_}> 二维参数优化 - 设计#2
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e d_m +NM /a%*u6z@ 制造
公差分析 - 设计#2
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Fl<(m <R>Q4&we( 不同光栅周期的
三维参数优化
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^,Xa IP+[ ?F1wh2oq 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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