摘要
8$\j| mN Rq5'=L 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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i`r`Fj}-S- b^h_` 设计任务
o&E8<e e>Z&0lV:
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w_Slg&S 光栅特性与参数的严格分析
z0<E3t O?Bf (y 不同光栅周期的衍射效率
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/x ?@Mn> [8sYE h 考虑光栅周期的选择
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y%i9 b&gDd 偏振相关衍射特性
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qS/}aDk& ))|d~m 偏振相关衍射特性
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N<rq}^qo ]i.N'O<p 偏振相关衍射特性
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0>BxS9?w .t1:;H b 基于参数优化的光栅设计
`CS\"|z 9AVj/?kmU 具有固定周期的二维参数优化
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\s*UUODWK 二维参数优化 - 设计#1
HXKM<E{j SPb+H19;
mBErU6?X,A i#*[,
P~ 二维参数优化 - 设计#2
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x*vD^1"'P prj( 制造
公差分析 - 设计#2
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c1k[)O~ (2#Xa,pb 不同光栅周期的
三维参数优化
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MWv@]P_0p! $VHIU1JjZ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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