[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 [,qb) &_  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (d-j/v*4  
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设计任务 nb|"dK|  
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光栅特性与参数的严格分析 zyFbu=d|O:  
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不同光栅周期的衍射效率 ?T:$:IHw  
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图片:1-1ZR209224S93.png

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{%z}CTf#  
考虑光栅周期的选择 %i`YJ  
^ P=CoLFa  

图片:1-1ZR2092315557.png

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偏振相关衍射特性 ACxjY2  
R P6R1iN3  

图片:1-1ZR20923422Y.png

UjQi9ELoJ  
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偏振相关衍射特性 agW#"9]WM  
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偏振相关衍射特性 t2vo;,^euL  
lr@H4EJ{  

图片:1-1ZR2092540b7.png

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@y`7csbp  
基于参数优化的光栅设计 s&*s9F  
REwZ41  
具有固定周期的二维参数优化 SwPc<Z?P  
o*WI*Fb'  

图片:1-1ZR209260I63.png

gL;tyf1P  
二维参数优化 - 设计＃1 ni x1_Wo;  
\muC_9ke  

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二维参数优化 - 设计＃2 !ZlNPPrq}  
FqK2[]8  

图片:1-1ZR2092F2136.png

G#A& Y$  
ocT.2/~d  
制造公差分析 - 设计＃2 y|@=j~}Zq  
- '5OX/Szq  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

SpUcrK;1  
675x/0}GO  
不同光栅周期的三维参数优化 bbU{ />yW  
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图片:1-1ZR2092Rc92.png

~V4&l3o  
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制造公差分析 jVp
k) ;vC  
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走进VirtualLab Fusion   7)Rx-  
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VirtualLab Fusion 工作流程 >2l;KVm%  
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VirtualLab Fusion技术 <j.bG 7  
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