[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ClNuO  
I__a}|T%  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pnXwE-c_  
m>*~tP  

图片:1-1ZR2092134500.png

OP\L  
wVX2.D'n<  
设计任务 hS&.-5v  
e\!Aoky  

图片:1-1ZR209220C47.png

]zn3nhBI  
yq[@Cw  
Lyit`j~yH  
光栅特性与参数的严格分析 ~ ea K]|  
8\jsGN.$JZ  
不同光栅周期的衍射效率 #7KR`H  
 R*r"};
 

图片:1-1ZR209224S93.png

3$.#\*s_4  
bD-OEB  
考虑光栅周期的选择 1-E utq  
M`E}1WNQ?]  

图片:1-1ZR2092315557.png

'%YE#1*gH  
偏振相关衍射特性 )JJF}m=  
4um^7Ns)7  

图片:1-1ZR20923422Y.png

<~S]jtL.j:  
/U`p|M;  
偏振相关衍射特性 hD4>mpk  
n~0MhE0H  

图片:1-1ZR2092446256.png

E'NS$,h  
\[]?9Z=n  
偏振相关衍射特性 /rky  
U+C^"[B  

图片:1-1ZR2092540b7.png

#T@k(Bz{L  
Ul}<@d9: B  
基于参数优化的光栅设计 lS#^v#uS  
Ey=}bBx  
具有固定周期的二维参数优化 5>ktr)]  
1U?5/Ja  

图片:1-1ZR209260I63.png

KP7 {  
二维参数优化 - 设计＃1 UcH#J &r  
\ FJ ae  

图片:1-1ZR209263E10.png

(/s~L*gF{  
TKgN31`  
二维参数优化 - 设计＃2 \L`x![$~q  
*LuRo  

图片:1-1ZR2092F2136.png

A;dD'Kgl  
@;N(3| n7  
制造公差分析 - 设计＃2 ;cZp$ xb3  
w'E?L`c  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

#=;
vg  
/)kx`G_  
不同光栅周期的三维参数优化 @^o7UzS4z  
RD=V`l{Z  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

CGkx_E]  
/Z,hQ>/  
制造公差分析 S_ UAz  
\Hf/8!q  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

7B\Q5fLQ  
Ob}XeN(L3  
走进VirtualLab Fusion   pjs4FZ`Pd;  
L./c#b!{  

图片:1-1ZR2092924332.png

`xx3JQv[  
`S.I,<&  
VirtualLab Fusion 工作流程 YD0hDp  
>5?:iaq z  

图片:1-1ZR2092952P4.png

F^aD#  
7(a1@VH  
VirtualLab Fusion技术 "z;R"sv\  
9NNXj^7
  

图片:1-1ZR2093031446.png