[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ;\q<zO@x  
- Ra\^uz  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BMe72  
%!D_q~"H  

图片:1-1ZR2092134500.png

yh4jRe?f  
$<14JEU  
设计任务 (c 1u{  
(kdC1,E  

图片:1-1ZR209220C47.png

^Y#@$c  
W3aXW,P.V  
3l.Nz@a*  
光栅特性与参数的严格分析 !HbqbS22  
1.uUMW  
不同光栅周期的衍射效率 c-v*4b/d  
EOofa6f&l  

图片:1-1ZR209224S93.png

pEJ#ad  
:R{x]sv  
考虑光栅周期的选择 es{cn=\s  
55(J&q  

图片:1-1ZR2092315557.png

]kzv8#  
偏振相关衍射特性 54;l*}8Hl  
<[esA9.]t  

图片:1-1ZR20923422Y.png

*c!;^Qyp&  
sf<Q#ieTxY  
偏振相关衍射特性 MP_A<F  
|qQ{8T%)  

图片:1-1ZR2092446256.png

?hP<@L6K  
nmTm(?yE  
偏振相关衍射特性 G%y>:$rw[O  
.Gjr`6R  

图片:1-1ZR2092540b7.png

>2FAi.,  
4o)(d=q  
基于参数优化的光栅设计 .ou!g&xu  
Qo]vpp^[#  
具有固定周期的二维参数优化 6@*5!,  
?r^ hmu"a  

图片:1-1ZR209260I63.png

|Gf1^8:C9  
二维参数优化 - 设计＃1 &?}kL= h  
3(cU)  

图片:1-1ZR209263E10.png

bEoB;]  
{d&X/tT  
二维参数优化 - 设计＃2 ocb%&m;i  
$,xtif0  

图片:1-1ZR2092F2136.png

]J8KCjq@  
)Ix-5084  
制造公差分析 - 设计＃2 Tb5$  
8<E!rn-  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

H5 p}Le  
rTWh(8T  
不同光栅周期的三维参数优化 @&!=m]D*  
e|2vb
GQ  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

2GHXn:V  
o|z
rD~&$  
制造公差分析 7.w*+Z>z  
lGD%R'}  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

7,) 67G;  
fxLE]VJQ  
走进VirtualLab Fusion   EqNz L*E  
~`nm<
  

图片:1-1ZR2092924332.png

F[o+p|nF  
v#F
J+  
VirtualLab Fusion 工作流程 I?^Q084  
9 AQ96  

图片:1-1ZR2092952P4.png

~#HH;q_7m  
kxr6sO~  
VirtualLab Fusion技术 XwHu:v'=  
Z`SWZ<  

图片:1-1ZR2093031446.png