摘要
SfLZVB Zn0e#n 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
XEl-5-M" LVP2jTz
fP# !ywgr% LX2rg\a+% 设计任务
F!(Vg ^YiGvZJ
P|*c7+q W;!OxOWZJ N@6+DHt 光栅特性与参数的严格分析
wyJ+~ jwhc;y 不同光栅周期的衍射效率
d5jZ? /enlkZx=8
i[_B~/_ A{X:p3$eN 考虑光栅周期的选择
wX<w)@ imw,Nb
pZHx 偏振相关衍射特性
n .is+2t PgHe;^?j
GWd71ZtFO 1seWR" 偏振相关衍射特性
|z1er"zR) /5M0[C E
I[nSf]Vm> >V1vw7Pa 偏振相关衍射特性
Sq22] ^IW5c>;|
Pa)'xfQ$Y6 # `L?24% 基于参数优化的光栅设计
PzF>yG[ 'aV])(Wm> 具有固定周期的二维参数优化
gI~B _0x ^Mvgm3hg
{0L.,T~g+[ 二维参数优化 - 设计#1
lC.Q61 J@ ,L_u
X
NW]zMU{c UA4="/ 二维参数优化 - 设计#2
'`+8'3K~E ~cr##Ff5
^k J>4 2`d KnaF| 制造
公差分析 - 设计#2
fM/~k>wl /aV;EkyO,
~cv322N )x5t']w`K 不同光栅周期的
三维参数优化
8yCt(ms _w}l,
N=T 0Td qt{lZ_$ 制造公差分析
,tTq25~H\ "%(SLQOyy
%fuV] LA]UIM@ 走进
VirtualLab Fusion
-kk0zg
&|i jhR`%aH4
'[Zgwz;z G!)Q"+ VirtualLab Fusion 工作流程
0?o<cC1Z 9 1.gE*D
FW"n+7T T{So2@_& VirtualLab Fusion技术
*$]50 \W N&yr?b'!-*