摘要
uwId D8EeZUqU 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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m1i4 , ])S$x{.g 设计任务
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$wgc vySx |a>}9:g,=* 8T<@ @6`T 光栅特性与参数的严格分析
d<_NB]V&F PM8Ks?P#u 不同光栅周期的衍射效率
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FQ0KUb}0 PaxK^* 考虑光栅周期的选择
0 K/G&c?;= b h*^{
0s)cVYppe 偏振相关衍射特性
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>6IXuq y&y/cML? 偏振相关衍射特性
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qP&byEs" .uBO 偏振相关衍射特性
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TR~|c|B z;[gEA+I 基于参数优化的光栅设计
[7'#~[a~ pXve02b1B 具有固定周期的二维参数优化
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Sf=F cb 二维参数优化 - 设计#1
tp%|AD" {K<uM'ww>
H_Iim[v# T<f2\q8Uo= 二维参数优化 - 设计#2
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Wx}M1&d/J /8=:qIJYA 制造
公差分析 - 设计#2
MF&3e#mdB |3 ;u"&(P
@+iC/ ud yAP> 不同光栅周期的
三维参数优化
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XO 0>t{G 6`_! ?u7 制造公差分析
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