摘要
We)xB ,1hxw<sNR 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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;[(oaK@+n O],T,Z?z 设计任务
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G3C~x.(f GL&y@6 Z~GL5]S 光栅特性与参数的严格分析
<xup'n^7C -Mip,EO 不同光栅周期的衍射效率
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rDl*d`He! }#3V+X 考虑光栅周期的选择
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Id*Ce2B 偏振相关衍射特性
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88Ey12$ M\vwI" 偏振相关衍射特性
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ysJQb~2q ?yZ+D z\ 偏振相关衍射特性
"33Fv9C#bK C,wL0Yj[
hZdoc< EJj.1/]|r 基于参数优化的光栅设计
Uq[>_"} 3^IpE];+:u 具有固定周期的二维参数优化
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B`YTl~4 二维参数优化 - 设计#1
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Ki4r<>\l{H ()2I# 二维参数优化 - 设计#2
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6wPaJbRtaM :Hn6b$Vy8 制造
公差分析 - 设计#2
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VdPtPq1 kd>hhiz| 不同光栅周期的
三维参数优化
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1=r#d-\tR ?TM,Q 制造公差分析
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