摘要
bca4'`3\| uE] HU 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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D=1:-aLP7
ZZq]I 设计任务
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g?B4b7II Cq8.^=}_ PtsQV! 光栅特性与参数的严格分析
K Q^CiX USd7gOq( 不同光栅周期的衍射效率
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{$qE>ic Lmsc~~ 考虑光栅周期的选择
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59Lc-JJ 偏振相关衍射特性
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[) Ua hsX 偏振相关衍射特性
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KE[!{O^(a "hid3"G 偏振相关衍射特性
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:A7\eN5 hKnAWKb0 基于参数优化的光栅设计
=j~BAS*" t =V| ' 具有固定周期的二维参数优化
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y%Rq6P=4Q 二维参数优化 - 设计#1
'uC=xG.*} 7F2 WmMS
C19}Y4r: mqtX7rej 二维参数优化 - 设计#2
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LS|S] 制造
公差分析 - 设计#2
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不同光栅周期的
三维参数优化
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2##;[ GQ(*k)'a 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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