[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 R(<_p"9(  
F]`_akE  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a3[lZPQe  
@y{ f>nm  

图片:1-1ZR2092134500.png

\-R\xL  
WO"<s{v  
设计任务 $5Tjo T  
%2EHYBQjN  

图片:1-1ZR209220C47.png

`NARJ9M   
zc%HBZ3p  
SoL"M[O  
光栅特性与参数的严格分析 m15> ^i^W  
p#tbN5i[{7  
不同光栅周期的衍射效率 DjQgF=;  
7xjihl3  

图片:1-1ZR209224S93.png

Bz*6M  
O*+,KKPt  
考虑光栅周期的选择 }-15^2
  
5{O9<~,  

图片:1-1ZR2092315557.png

5WU?Km  
偏振相关衍射特性 H4JwgQ  
^?o>(K  

图片:1-1ZR20923422Y.png

QeipfK+me  
Lo^gg#o  
偏振相关衍射特性 _cD-E.E%  
()%;s2>F  

图片:1-1ZR2092446256.png

u^]Z{K_B  
m005*>IY  
偏振相关衍射特性 `Fs-z  
0%>_fMaA  

图片:1-1ZR2092540b7.png

>J_%'%%f  
wBIhpiJX0  
基于参数优化的光栅设计 73>Hzpv0  
<;':'sW  
具有固定周期的二维参数优化 Lt\=E8&rh  
SH#!Y  

图片:1-1ZR209260I63.png

W#lt_2!j  
二维参数优化 - 设计＃1 B*T;DE   
`Uy'YfYF  

图片:1-1ZR209263E10.png

PHQ99&F1  
i@hW" [A  
二维参数优化 - 设计＃2 '"fZGz?  
2kVQ#JyuRI  

图片:1-1ZR2092F2136.png

bx=9XZ9g  
v.Zr,Z=eV  
制造公差分析 - 设计＃2 TC^fyxq  
f,QBj{M,  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

cHk ?$  
[pYjH+<  
不同光栅周期的三维参数优化 Swnom?t  
7)37AKw  

图片:1-1ZR2092Rc92.png


V{yk  
=X}s^KbI{  
制造公差分析 0rj50$~$]  
i+eDBg6  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

/dq(Z"O_  
qASV\ <n  
走进VirtualLab Fusion   GP;UuQ
z  
Xwt}WSdF`k  

图片:1-1ZR2092924332.png

 T6N~L~J  
d0 qc%.s  
VirtualLab Fusion 工作流程 1]]#HTwX  
)w'GnUqWz  

图片:1-1ZR2092952P4.png

Ul%D}(,  
P1A5Qq  
VirtualLab Fusion技术 nh?~S`  
8$C?j\J|*  

图片:1-1ZR2093031446.png