摘要
_Vr}ipx-k 2d&HSW 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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JS&;7Z$KX G4uOY?0N 设计任务
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EDA6b] ip*UujmNyR !nF.whq 光栅特性与参数的严格分析
.B6mvb\ '5 9{VA6h 不同光栅周期的衍射效率
NRe=O*O 9['>$ON
>V&GL{ LO)QEUG 考虑光栅周期的选择
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hOm0ND?;1 74KR.ABd 偏振相关衍射特性
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rX|{nb HB}iT1.` 偏振相关衍射特性
[iN\R+: |eej}G(,m}
j<A; i bX+"G}CRP 基于参数优化的光栅设计
?a~#`< Mbtk:GuY 具有固定周期的二维参数优化
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}\EHZ 二维参数优化 - 设计#1
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Z7dV y8J s&-dLkis{u 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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^FK-e;J ^W[3RiG 不同光栅周期的
三维参数优化
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U5H5QW + W%K=N-kE_ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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