摘要
r?pZ72q c_#*mA"+ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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C`NmZwL qEQAn/& 设计任务
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Um z05* p>q&&;fe v5T`K=qC 光栅特性与参数的严格分析
C',6%6P 3rNc1\a; 不同光栅周期的衍射效率
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I^G^J M! F+ukAT
考虑光栅周期的选择
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a8Uk[^5 z]=8eV\ 偏振相关衍射特性
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]JdJe6`Mc 'Jydu 偏振相关衍射特性
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$:EG%jl ^=+e?F`:{ 基于参数优化的光栅设计
?#BV+#( l5k?De_(x 具有固定周期的二维参数优化
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f*m[|0qI<X 二维参数优化 - 设计#1
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jxS 二维参数优化 - 设计#2
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f%XJ;y\,9H "^Rv# 制造
公差分析 - 设计#2
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1~\M!SQ) ,j178EX 不同光栅周期的
三维参数优化
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sgAzL ;>>C)c4V " 制造公差分析
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