摘要
nU 0## U ,!S1EiBs 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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m)]|mYjju :&LV^A 设计任务
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s>[Oe|` HGi%b5:<=M LR'~:46#u 光栅特性与参数的严格分析
Fq`@sM$ y<#Hq1 不同光栅周期的衍射效率
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6WoFf !1@oZ( 考虑光栅周期的选择
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Mc,p]{<<AV 偏振相关衍射特性
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lTFo#p_( =vDpm, 偏振相关衍射特性
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G^SDB!/@J 1v<uA9A%[ 偏振相关衍射特性
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NxB/U_j Hq>rK` 基于参数优化的光栅设计
&4)PW\ioY v+dT7*^@ 具有固定周期的二维参数优化
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NH1ak(zHW 二维参数优化 - 设计#1
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A5O; C `8TL*.9 二维参数优化 - 设计#2
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Jq+@%#G Xob(4 制造
公差分析 - 设计#2
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ZB5NTNf> h*sL' fJ] 不同光栅周期的
三维参数优化
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XHY,;4 HDz"i 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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