摘要
rtbV*@Z Yv)c\hm(7j 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$0OOH4 Al@. KTK 设计任务
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BHU$QX !;vv-v,LQ #*w)rGkU2 光栅特性与参数的严格分析
?F!c"+C N(yd<Mw 不同光栅周期的衍射效率
Q}l~n)= L^Q;M,.c;
T%FW|jKw :x5O1Zn/t 考虑光栅周期的选择
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01&E.A 偏振相关衍射特性
<s\ZqL$f z%T|L[(6
$%M]2_W( hosY`"X 偏振相关衍射特性
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!\BM n53c}^ 偏振相关衍射特性
'+vmC*-I( <Uj9~yVN]
S-3hLw&? D *PEIsV 基于参数优化的光栅设计
h~CLJoK< q
&{<HcP 具有固定周期的二维参数优化
IoK/ 2Gp -r3
s{HO
i'>5vU0?3 二维参数优化 - 设计#1
4$ihnb`DQN e3p:lu
dkDPze9l < FO=PM 二维参数优化 - 设计#2
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Z_S{$D ,=[%#gS 制造
公差分析 - 设计#2
lQ!OD&6 aH@-"Wi
H|wP8uQC H=f|X<8 不同光栅周期的
三维参数优化
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Fzt?M <m1v+cnqo 制造公差分析
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