摘要
dj**,*s l(4./M 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9SB 设计任务
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E zUjt)wF $>m<+nai' X/7 49"23 光栅特性与参数的严格分析
Rx2|VD {Vu:yh\< 不同光栅周期的衍射效率
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1D]wW%us e|y~q0Q$ 考虑光栅周期的选择
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`rQl{$9IC /% 1lJD 偏振相关衍射特性
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mj~CCokF{? c?S402M} 偏振相关衍射特性
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j]^]p;An `#U6`[[ 基于参数优化的光栅设计
Pp!W$C: 0T;WN$W| 具有固定周期的二维参数优化
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THVF@@q 二维参数优化 - 设计#1
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Mk;j"ZDF =c'LG 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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P2kZi=0 Ygb#U'| 不同光栅周期的
三维参数优化
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