摘要
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vE\lp8j+ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ai ftlY /A(NuB<Pq 设计任务
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YB!!/ SX4 Wc'Ehyi; %`\]Y']R 光栅特性与参数的严格分析
}5gr5g\OtP Aka^e\Y@6* 不同光栅周期的衍射效率
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>Q2). E xb^Mo.\[ 考虑光栅周期的选择
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qi=3L 偏振相关衍射特性
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偏振相关衍射特性
pMN<p[MB Npa-$N&P{S
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}#f() hx!`F 偏振相关衍射特性
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!<Z{@7oH Zoow*`b|$U 基于参数优化的光栅设计
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T"3^@ 具有固定周期的二维参数优化
G[6=u|(M XiG88Kwv
N$Hqa^!'T 二维参数优化 - 设计#1
`^%GN8d}nm 1g i}H)
D44I"TgqD ^Kw(&v 二维参数优化 - 设计#2
D8/sz`N7Q 3wNN<R
s^PmnFR @3 "DBJ 制造
公差分析 - 设计#2
(46U|P(v s1=u{ET
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y3 }#YQg0( 不同光栅周期的
三维参数优化
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g|G}i. w4}(Ab<Y 制造公差分析
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