摘要
-rXo}I,VI WNo",Vc 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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+.Cx.Nf( 设计任务
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6\ NBaXfWh 光栅特性与参数的严格分析
`=FDNOwp VQe@H8>3 不同光栅周期的衍射效率
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^.:dT?@R 'qt+.vd 考虑光栅周期的选择
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?K>=>bS^h 偏振相关衍射特性
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AhauNS^"{R FKpyD 偏振相关衍射特性
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HgfeSH UL<*z!y 偏振相关衍射特性
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DXc" 基于参数优化的光栅设计
R.rxpJ+kU @b2JR^ 具有固定周期的二维参数优化
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;c;5O@R}3 二维参数优化 - 设计#1
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i<>zN^zn 1,pg7L8H 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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?Gr2@,jlD JS{trqc1d 不同光栅周期的
三维参数优化
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