摘要
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BiT EA:_PBZ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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GO#eI]>/r &6Wim<* 设计任务
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N'[R: &M\qVL%w |Pse=_i 光栅特性与参数的严格分析
Mm^6*L] xNVSWi, 不同光栅周期的衍射效率
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VDy_s8Z# /3`fO^39Ta 考虑光栅周期的选择
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=?B[oq 偏振相关衍射特性
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,S3uY6, IC. R4- 偏振相关衍射特性
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>3ASrM+>w Ef6LBNWY. 偏振相关衍射特性
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Mw $.B# nqujT8 基于参数优化的光栅设计
O%s?64^U }Mh`j$ 具有固定周期的二维参数优化
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C'0=eel[ 二维参数优化 - 设计#1
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ez *O'U af2yng 二维参数优化 - 设计#2
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WG*S:_? Os|F 制造
公差分析 - 设计#2
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h`p9H2}0 X1~ B 不同光栅周期的
三维参数优化
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q1o)l umj5M5oe3 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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