摘要
Od;k}u6;< OfBWf6b 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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KYB3n85 1 J+ :3==, 设计任务
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E{JTy{z- {)r[?%FMgV &f 'Lll 光栅特性与参数的严格分析
._x"b5C [*)2Ou 不同光栅周期的衍射效率
"N%W5[C{ 502(CO>
gPKO-Fsd" L67yL( d6a 考虑光栅周期的选择
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olo9YrHn 偏振相关衍射特性
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!_o1;GzK p0Ij4 偏振相关衍射特性
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9J49s1 "el3mloR8 偏振相关衍射特性
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@L`[Wu 基于参数优化的光栅设计
#{bT=:3a ,tFLx#e# 具有固定周期的二维参数优化
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uhmSp+% 二维参数优化 - 设计#1
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NydoX9 pvqbk2BO 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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:"oUnBY% ?)c9!hR 不同光栅周期的
三维参数优化
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^5gB?V, mt3j$r{_ 制造公差分析
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