摘要
@<a| FllX za) 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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+c`d A$:|Qd7F1 {m'AY) 设计任务
:]-$dEu& 8O9Gs fdLBhe#9M 5VZjDg? C5MqwNX 光栅特性与参数的严格分析
TaWaHf 7f*
RM 不同光栅周期的衍射效率
-"tY{}z fbV@= (y? 7D9]R#-K >jKjh!`)!e 考虑光栅周期的选择
1]Lh'.1^ =Epq%,4nG s[T{c.F 偏振相关衍射特性
Zw24f1iY yV2e5/i |6*Va%LYO- }*Zo6{B- 偏振相关衍射特性
ZB0+GG\ EBwK 7c WUY,. 8 D )gD< 偏振相关衍射特性
7_%2xewV| u>}zm_ 3.FR C (!-;T 基于参数优化的光栅设计
OfJd/D
#Qsk}Gv 具有固定周期的二维参数优化
I*(1.%:m 8t=3 XmlIj8%9[& 二维参数优化 - 设计#1
qy&\Xgn;GA tvT4S gs fhH0 \OA
L Or 二维参数优化 - 设计#2
x G ^f PT05DH Uuz?8/w}# YuA7r"c 制造
公差分析 - 设计#2
{(!)P LyV#j>gD lz}llLb1 (V)9s\Le_ 不同光栅周期的
三维参数优化
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9NE8F 7JS#a=D# 制造公差分析
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