摘要
c-{]H8$v :-n4!z"k 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5@\<:Zmi Zs)9OJu 设计任务
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Rlu;l u)ItML N0NMRU]zT 光栅特性与参数的严格分析
n$9!G :mL.Y em*' 不同光栅周期的衍射效率
x8t1g,QA p+Xz9A"
54-x 14") I;LqyzM 考虑光栅周期的选择
na>B{6 7UfyOOFa
,KWeW^z'7 偏振相关衍射特性
O1PdM52 7O j9~3o4
6AY%onY ?*HlAVDcFT 偏振相关衍射特性
TM9>r :j' ?Z"}RMM)8
6gn|WO=Wf 2q>4nN 偏振相关衍射特性
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N|; cG[W D UeT 基于参数优化的光栅设计
$J+$8pA 1=>$c 具有固定周期的二维参数优化
;Ti?(n#M> 9;jfg|x1[
- >2ej4C 二维参数优化 - 设计#1
.%o:kq@B H!N,PI?rn
gDH x+"? /W;;7k 二维参数优化 - 设计#2
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yq2Bz7P g`6S*&8I 制造
公差分析 - 设计#2
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H74hv`G9 MFVFr " 不同光栅周期的
三维参数优化
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YfyM 5<61NnZ 制造公差分析
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