摘要
'&LH9r Z [Q jl* 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
:|&S7&l] &P pb2
'.gLqm}% (F+]h]KSi 设计任务
M&SY2\\TB [wkSY>Gu
j=kz^o~mH !Bu=?gf k*u4N 光栅特性与参数的严格分析
f^]^IXzXw. w+][L||4c 不同光栅周期的衍射效率
werTwe2Q WF_24Mw
0Qr|!B:+9) /Z1>3=G by 考虑光栅周期的选择
O*lMIWx bMGU9~CeJ
iezY+`x4 偏振相关衍射特性
H tx)MEZ c~)H" n
#,S0uA BK 9+fO 偏振相关衍射特性
k = DR<=C`<4(
=`+c}i? ^!7|B3` 偏振相关衍射特性
OI)U c . :F.eyA|#@G
5?HoCz]l V8947h|& 基于参数优化的光栅设计
2#_i_j Ih_=yk 具有固定周期的二维参数优化
2>F`H7W l<UJ@XID$
1Gp|_8 二维参数优化 - 设计#1
{1}p+dEK `ZPV.u/
f-5}`)`.+ AiUK#I 二维参数优化 - 设计#2
JPM W|JT js[H $
evE$$# 6R !glGW[r/7 制造
公差分析 - 设计#2
&\5%C\0Z< Eemk2>iP?
i{MzQE+_^ D8=a +!l- 不同光栅周期的
三维参数优化
dk.VH!uVb K{__rO
4*?JU
v VI;)VJbq 制造公差分析
;T|hNsSt WV,j
<x9w
7NP
Ny 8?[#\KgH1 走进
VirtualLab Fusion
=`f"8,5 lQt* LWd[
FQO>%=&4 ^cI 0d,3= VirtualLab Fusion 工作流程
9D H}6fO Ji;R{tZ.R
2@?\"kR"! o]WG8Mo- VirtualLab Fusion技术
/F_(&H!m !A#(bC