摘要
Q3wD6!'&m bN<c5 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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' OdZ[AN Y?ZTl762 设计任务
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G/2@Mn- P}DrUND Uu>YE0/) 光栅特性与参数的严格分析
!ny;YV $-M1<?5 不同光栅周期的衍射效率
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92+({ fgW u2JkPh&!rq 考虑光栅周期的选择
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&=X1kQG 偏振相关衍射特性
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UyD=x(li uC 5mxZ 偏振相关衍射特性
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"EWU:9\0 偏振相关衍射特性
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2=(=Wjk. ehOF@IA_ 基于参数优化的光栅设计
H8Pil H HP*x?|4 具有固定周期的二维参数优化
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vyN=X]p 二维参数优化 - 设计#1
u;h9Ra1 ,#gA(B#
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7a;g7. y 9/27yWB 二维参数优化 - 设计#2
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kx]f`b oopTo51,a 制造
公差分析 - 设计#2
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\1aj!) O0WzDD 不同光栅周期的
三维参数优化
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`r+e!o [<`xAh_, 制造公差分析
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