摘要
d@JavcR k8}'@w 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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e>!]_B1ad |yOIC,5[JW 建模任务
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&2@Rc?!6_P Oa@SyroF= 1阶的
参数优化
Q(1R=4?.Z F!C<^q~!
BgCEv"G5 1T~`$zS7 结果-容差分析
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V~o'L#a Z$Qwn 结果-容差分析
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+W[{UC4b 4_CXs.v1 在
VirtualLab Fusion中查看
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AGE"M3X
0H}O6kU ;uZq_^?:9& VirtualLab Fusion的工作流程
6_9@s*=d> 2ss*&BR. •构造光栅结构
gK *=T - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
XL1x8IB - 倾斜光栅的高级配置[用例]
nM8'="$ •分析光栅衍射效率
Ve"M8-{oKk - 光栅级次分析器[用例]
R>[G6LOG •使用参数优化优化光栅参数
3ox|Mz<aZX •使用参数运行进行容差分析
[Q8vS ;. - 参数运行文档的用法[用例]
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6k37RpgH eVbT<9k VirtualLab Fusion技术
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