摘要
KhWt9=9 :wcv,YoSG 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
V\=QAN^ V=+wsc
Y!0ZwwW c_RAtM<n 建模任务
aR@s.
ll ]?/7iM
PDQ\ND XW2{I.:in> 1阶的
参数优化
;bh[TmQTJ xUw)mUn@N
m0$~O5|4 g"P!KPrf1p 结果-容差分析
V9SkB3-' aEJds}eE6)
4^>FN"Ve`B T=-$ok`G 结果-容差分析
2(%C %~`y82r6
k$u/6lw]IB O$2'$44HX 在
VirtualLab Fusion中查看
PZDj)x_%B& ,hV}wK!
)225ee> (q@DBb4 VirtualLab Fusion的工作流程
'rX!E,59 LWpM-eW1q •构造光栅结构
'4L0=G:A<q - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
v`Iw:?)% - 倾斜光栅的高级配置[用例]
{} #W~1` •分析光栅衍射效率
JS&=V67[ - 光栅级次分析器[用例]
<yxEGjm •使用参数优化优化光栅参数
*A>I)a<: •使用参数运行进行容差分析
=Z($n:m=* - 参数运行文档的用法[用例]
C|@6rr9TA ^x:%_yGY
U1Z.#ETnM \G!TC{6 VirtualLab Fusion技术
t81}jD 78iu<L+If