摘要
oKt<s+r L F%1)x 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1:7>Em<s |]A{8BBC 建模任务
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$},:z]%D K@n .$g 1阶的
参数优化
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}(E6:h;}~ NJUYeim; 结果-容差分析
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Wd 结果-容差分析
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`4}!+fXQ 在
VirtualLab Fusion中查看
*`}_e)( k g#[9O'H 
{]<D"x ; qoZ* sV VirtualLab Fusion的工作流程
?qO,=ms>- 7v ,>sX •构造光栅结构
+"3eh1q[ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
-&)^|Atm - 倾斜光栅的高级配置[用例]
MruWt* •分析光栅衍射效率
Q lb@A z - 光栅级次分析器[用例]
{+xUAmd •使用参数优化优化光栅参数
b V9Z[[\ •使用参数运行进行容差分析
jLQjv - 参数运行文档的用法[用例]
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sx]?^KR: VirtualLab Fusion技术
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