[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 6[Wv g  
Qrw:
Bva)  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a+<{!+3v  
<&l@ ):a  

图片:1-1ZR3110153312.png

&M7AM"9
 
+LF`ZXe8l  
建模任务 SW7AG;c=  
x:+]^?}r  

图片:1-1ZR31102241U.png

4o<' fY  
bMGXx>
x  
1阶的参数优化 :{%~L4$HI  
cH6J:0>W  

图片:1-1ZR3110300146.png

k,61Va  
:@~mN7O*  
结果-容差分析 [I,s:mn  
0~BZh%s< (  

图片:1-1ZR311033c64.png

bzh:  
}(!3)k7*  
结果-容差分析 %[on.Q'1]2  
''}2JJU{  

图片:1-1ZR3110400923.png

_|7bpt
9  
@4Lol2  
在VirtualLab Fusion中查看 g/gaPc
*86  
nnCz!:9p  

图片:1-1ZR31104205S.png

x!fgZr{  
}$#PIyz  
VirtualLab Fusion的工作流程 %IIo  
vw :&c.zd  
•构造光栅结构 4jW <*jM  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] aVp-Ps|r  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] mpD[k9`x#  
•分析光栅衍射效率 DK1{Z;Z  
- 光栅级次分析器[用例] G,6 i!M  
•使用参数优化优化光栅参数 _gQ_ixu  
•使用参数运行进行容差分析 FY pspv?4  
- 参数运行文档的用法[用例] YwZ]J  
gSkY c{b  

图片:1-1ZR3110443116.png

IEY\l{s  
&}d5'IRT  
VirtualLab Fusion技术 sU/vXweky"  
7,Y+FZ  

图片:1-1ZR3110554J9.png