摘要
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ut~ q5xF~SQGw2 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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W+Q^u7K %urd;h D 建模任务
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pv]2"|]V) 6^ e}^~| 1阶的
参数优化
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IqAML|C rU9z? ( 结果-容差分析
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VVJI J9L&C WZM 在
VirtualLab Fusion中查看
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p""\uG' T5Iz{Ha VirtualLab Fusion的工作流程
H/U.Bg 4 bae;2| w •构造光栅结构
6T s[NXa - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
=m;,?("7t3 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
A{ p _I< •分析光栅衍射效率
0^vz /y1c - 光栅级次分析器[用例]
$5:I~ -mx •使用参数优化优化光栅参数
:s*t \09V7 •使用参数运行进行容差分析
!bs5w_ @ - 参数运行文档的用法[用例]
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3Cgv($xl& H<3:1*E VirtualLab Fusion技术
V |G*9^Y a+RUSz;DL 
