摘要
I
:@|^PYw ]9s\_A9 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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z#RuwB+ T!(sZf 建模任务
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^(DL+r, =D5wqCT(Q 1阶的
参数优化
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cN5"i0xk U:\p$ hL9 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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d+e0;!s~O 6^ab@GrN\ VirtualLab Fusion的工作流程
~3d*b8 50*@.!^* •构造光栅结构
8 ip^] - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
#Skj#)I" - 倾斜光栅的高级配置[用例]
DLXL!-)z •分析光栅衍射效率
S2Vx e@b) - 光栅级次分析器[用例]
Wt:~S/l •使用参数优化优化光栅参数
dWUUxKC •使用参数运行进行容差分析
5e8xKL - 参数运行文档的用法[用例]
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3e *-\TP- mqw 84u VirtualLab Fusion技术
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