[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 $?p^ m`t_  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ;;BQuG  
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建模任务 mJb>)bOl  
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1阶的参数优化 0+IJ, ;Wx  
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结果-容差分析 AR'q2/cw  
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结果-容差分析 O-:#Q(H!  
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在VirtualLab Fusion中查看 Lhu2;F\/  
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VirtualLab Fusion的工作流程 N8}R<3/  
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•构造光栅结构 "QACQ-  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Qpiv,n  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] +pc_KR  
•分析光栅衍射效率 N:[m,U9a  
- 光栅级次分析器[用例] VkhZt7]K}B  
•使用参数优化优化光栅参数 jfZ(5Qu3.H  
•使用参数运行进行容差分析 :h0as!2@dp  
- 参数运行文档的用法[用例]  IPa08/  
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VirtualLab Fusion技术 k=H{gt  
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