摘要
^?#@[4?" F61+n!%8 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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G &m>Ov$#& \]Kq(k[p 结果-容差分析
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F>p%2II/ AsV8k_qZL 在
VirtualLab Fusion中查看
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E<FB ;h VirtualLab Fusion的工作流程
9c#L{in R65;oJh •构造光栅结构
^XtHF|%0T - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
$[WN[J - 倾斜光栅的高级配置[用例]
0^-z?Kb<} •分析光栅衍射效率
S^*(ALFPj - 光栅级次分析器[用例]
n\~"Wim<b •使用参数优化优化光栅参数
Z`e$~n(Bh •使用参数运行进行容差分析
E>o&GYc - 参数运行文档的用法[用例]
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+# m 3 ATN?V@ VirtualLab Fusion技术
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