摘要
w>`h3;,2 o(Ua",| 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1q}u?7nnSG yFPaWW 建模任务
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3/A!_Uc( N$=(1`zM= 1阶的
参数优化
yr/]xc$ 7yqSt)/U
+
d+ hvwEM 7/p J6> 结果-容差分析
m>Yo9/XpZ =sUl`L+w,L
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结果-容差分析
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tdw\Di#m 8xD<A| 在
VirtualLab Fusion中查看
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D^N#E>, VirtualLab Fusion的工作流程
`Q1WVd29 yKe*<\ •构造光栅结构
!BvTJ-e)F - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
$ +GFOO - 倾斜光栅的高级配置[用例]
|%2/I>o •分析光栅衍射效率
epGX. - 光栅级次分析器[用例]
[G'!`^V, •使用参数优化优化光栅参数
[6&CloY3 •使用参数运行进行容差分析
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N5+xt - 参数运行文档的用法[用例]
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3j=%De YP$*;l VirtualLab Fusion技术
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