摘要
i!dQ
Sdf 2r>I,TNHl 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
JWo). P1A 5Qq 
Y[Kpd[)[v *ci%c^}V 建模任务
wA?q/cw C Z }s56{!. 
dId&tTMmC yjj)+eJ(Q 1阶的
参数优化
>}'WL($5U jRYW3a_7 
ua] ?D2 C}8 3t~Q 结果-容差分析
WDq~ mi YH/3N(], 
0>)F+QC @]xH t&j 结果-容差分析
1_0\_| Ft^ +P* 
ZAa:f:[#f &NB"[Mm :@ 在
VirtualLab Fusion中查看
G*\U'w4w|* !R@s+5P)U 
~fR-cXj" 6h3TU,$r VirtualLab Fusion的工作流程
DfV'1s 4y B96"|v$ •构造光栅结构
p{S #>JTr - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
P2>Y0"bY - 倾斜光栅的高级配置[用例]
atmTI`i •分析光栅衍射效率
h&j9 ' - 光栅级次分析器[用例]
o=ULo &9 •使用参数优化优化光栅参数
[2Ot=t6] •使用参数运行进行容差分析
:]+p#l - 参数运行文档的用法[用例]
+!Lz]@9K 3}25=% ;[ 
Egr'IbB <Pg<F[eDM VirtualLab Fusion技术
AAPfU_:
^ mj _ V6`m4 
