摘要
iM_Zn!|@\ f9a_:]F 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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VQ/Jz5^ !cA4erBP 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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vI0::ah/ P<MNwdf(+ VirtualLab Fusion的工作流程
B`/p[ U5 b Fwc > •构造光栅结构
%Kc 2n9W - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
ZuVes?&j - 倾斜光栅的高级配置[用例]
Xw]L'+V= •分析光栅衍射效率
gQlL0jAV - 光栅级次分析器[用例]
=plU3D2 •使用参数优化优化光栅参数
yGX"1Fb?;x •使用参数运行进行容差分析
FWl'='5L - 参数运行文档的用法[用例]
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xyPz_9 eG\`SKx_ VirtualLab Fusion技术
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