[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 hCM8/Vvx6  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x_==Ss  
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建模任务 rH_Jh}Y  
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1阶的参数优化 )O3jQ_q=  
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结果-容差分析 ImIqD&a-h  
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结果-容差分析 k-"<{V  
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在VirtualLab Fusion中查看 gnt45]@{  
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VirtualLab Fusion的工作流程 Kax#OYLpg  
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•构造光栅结构 0G5'Y;8  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] y%4 Gp  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] |olNA*4  
•分析光栅衍射效率 '61i2\[lZQ  
- 光栅级次分析器[用例] |rMq;Rgu?  
•使用参数优化优化光栅参数 S'o ]=&  
•使用参数运行进行容差分析 q7,^E`5EgU  
- 参数运行文档的用法[用例] p*|ah%F6N  
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VirtualLab Fusion技术 Gn59yG!4  
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