摘要
/hf}f=7kH 1?"vKm 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$<2r;'?0D 建模任务
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参数优化
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33|>u+ [wP;g'F 结果-容差分析
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:\L{S z$oA6qB) 在
VirtualLab Fusion中查看
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X0J@c "%0 T[B@7$Dp* VirtualLab Fusion的工作流程
[c]X)
@#S ~PP*k QZlJ •构造光栅结构
bwUsE U 0 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
!=--pb - 倾斜光栅的高级配置[用例]
^;n,C+ •分析光栅衍射效率
5WgdgDb@L - 光栅级次分析器[用例]
Fh9`8 •使用参数优化优化光栅参数
5c($3Pno= •使用参数运行进行容差分析
>3s9vdUp4h - 参数运行文档的用法[用例]
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3g9xTG);eA d$8rzd VirtualLab Fusion技术
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