摘要
085 ^!AZ .~/;v~bL 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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E?W!.hbA [ZpG+VAJ8 结果-容差分析
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GCZ aIyY %QT 在
VirtualLab Fusion中查看
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5^R#e(mr [aVJYr2 VirtualLab Fusion的工作流程
H< 3b+Sg [}Yci:P_ + •构造光栅结构
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\Q - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
!)1Zp* - 倾斜光栅的高级配置[用例]
9(\ N+ •分析光栅衍射效率
.ceU @^ - 光栅级次分析器[用例]
{.[,ee-)9 •使用参数优化优化光栅参数
]$%4;o4O •使用参数运行进行容差分析
fpC@3 itI - 参数运行文档的用法[用例]
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#oMXZ/ z+`)|c4- VirtualLab Fusion技术
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