摘要
,;)Y1q}Q oGM Ls 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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."&,_F GL[#XB>n 建模任务
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3XF.$=@ ,A`d!{]5 1阶的
参数优化
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T]Z|Wq`bot gF-<%<RV 结果-容差分析
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BZejqDr* Oo|*q+{ 结果-容差分析
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(DJLq ]E'BFon 在
VirtualLab Fusion中查看
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nwswy]e8/ $&~/`MxE VirtualLab Fusion的工作流程
fZ1v| }/&Q\Sc •构造光栅结构
!>fYD8Ft, - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
b~X^vXIv%% - 倾斜光栅的高级配置[用例]
7K.&zn •分析光栅衍射效率
A}WRpsA9 - 光栅级次分析器[用例]
f2Zi.?``H •使用参数优化优化光栅参数
`q|&;wP. •使用参数运行进行容差分析
OzY55 - 参数运行文档的用法[用例]
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6hDK;J J& @)s;u}H VirtualLab Fusion技术
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