摘要
y\0^c5} )7j"OE 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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=l7LEkR @bqCs^U35 建模任务
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29qQ3M? qsk71L 1阶的
参数优化
IB!Wrnj? <q[*kr
t91CxZQ^s `=KrV#/758 结果-容差分析
v$tS2N2 HqF8:z?v
A+F-r_]}db ~ml\| 结果-容差分析
gA[M ]#:xl}'LS
xrX("ili so8-e 在
VirtualLab Fusion中查看
.<NXk"\!y hYWWvJ)S
=u'/\nxCF O,OGq0c VirtualLab Fusion的工作流程
c''O+,L1+ WX=+\`NyJ( •构造光栅结构
kcOpO<oE - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
^|K*lI/ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
ffB]4 •分析光栅衍射效率
GecXM Aa:2 - 光栅级次分析器[用例]
/N^+a-.Qd •使用参数优化优化光栅参数
)?xt=9Lh •使用参数运行进行容差分析
Q`s(T - 参数运行文档的用法[用例]
0[i]PgIH
cq=R
nWl0R= l|fd, VirtualLab Fusion技术
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