摘要
=56T{N >@YtDl8R 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
eeHP&1= 7 v^ /Q 8Q
PG8^.)]M ?-tVSRKQ 建模任务
MwfOy@|N >7roe []-|
Y3h/~bM% BW"&6t#kA 1阶的
参数优化
}hYZ"
A~ <BO)E(
rJa$9B*^ (ZL sB{r^ 结果-容差分析
gORJWQv XxDaz1
'kYwz;gp :5/Uh/sX 结果-容差分析
Yk42(!
K_
lVISBQ
:QWq"cBem `)qVF,Z} 在
VirtualLab Fusion中查看
bsd99-_(4 ?88`fJ@tk?
* ,v|y6 VdP`a(Yd; VirtualLab Fusion的工作流程
5@hNnh16 @Kf_z5tm: •构造光栅结构
/m(=`aRt - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
lQfL3`X! - 倾斜光栅的高级配置[用例]
[]0mX70N •分析光栅衍射效率
Fb/XC:AD - 光栅级次分析器[用例]
ZhNdB •使用参数优化优化光栅参数
7 ~ztwL •使用参数运行进行容差分析
Z_gC&7+ - 参数运行文档的用法[用例]
k|BHnj 15$4&=O
m%"uPv\ p'sc0@}_O VirtualLab Fusion技术
c}[+h5 ;Nr ]X