摘要
,QU2xw D[ ANgfG8> 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
rN* ,U\q ?+EN.P[;3
<7Igd6u q):Ph&'r 建模任务
)xtDiDB E{_$C!.
LU
"e9 2' fg 1阶的
参数优化
3N%%69JN) 9;,_Qq
K& /
rzs- Ip_S8
;; 结果-容差分析
B]jI^(P 3e~X`K1Q<
eTi r-7 ^]Mlkd: 结果-容差分析
%*d(1?\o v"x{oD$R
gHCk;dmq81 TK"!z(p 在
VirtualLab Fusion中查看
h|z{ (v ?Uz7($}
pC9Ed9uRK w783e VirtualLab Fusion的工作流程
d3
h^L e>"/Uii •构造光栅结构
Nc4e,>$]& - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
z>_jC+ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
$'M:H_T •分析光栅衍射效率
("HT0a - 光栅级次分析器[用例]
[p3)C<;ZC •使用参数优化优化光栅参数
"f'pa&oHi •使用参数运行进行容差分析
[ Tv!Pc - 参数运行文档的用法[用例]
3'(w6V RJMrSz$
X8U._/'N 'MEO?]Tf.^ VirtualLab Fusion技术
/*B^@G |]' t-#Y6U}b+