摘要
z]YP ^3-Wxn9& 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Z-{!Z;T)z ZQ^kS9N i 建模任务
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Qn7l-:`? ,Dz2cR6 1阶的
参数优化
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7 结果-容差分析
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3"gifE 4JHQ^i-aY 结果-容差分析
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OU(z};Is6Z 6[9E^{(z 在
VirtualLab Fusion中查看
I_yIVw; G5Ci"0
RZfC? $p4aNC VirtualLab Fusion的工作流程
y0qE::/H$ (%>Sln5hq •构造光栅结构
xLZQ\2q - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
\QUvImT - 倾斜光栅的高级配置[用例]
ED/-,>[f •分析光栅衍射效率
%uGA+ \b - 光栅级次分析器[用例]
!v2,lH •使用参数优化优化光栅参数
KrkZv$u, •使用参数运行进行容差分析
Yf:utCvv - 参数运行文档的用法[用例]
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A*pihBo7 F$ .j|C1a VirtualLab Fusion技术
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