[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 rofGD9f   
h)NZG6R  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 OuZPgN  
t[r<&1[&  

图片:1-1ZR3110153312.png

v0aV>-v  
p1BMQ?=($  
建模任务 ]J '#KT{  
a+-X\qN  

图片:1-1ZR31102241U.png

R>C^duos.  
jV|j]m&t  
1阶的参数优化 y^u9Ttf{  
$`a>y jma  

图片:1-1ZR3110300146.png

_N @h  
^CBc~um2  
结果-容差分析 Tr6J+hS  
e=H,|)P  

图片:1-1ZR311033c64.png

/%9Ge AAs  
K|Cb6''  
结果-容差分析 t| cL!  
#9/^)^k  

图片:1-1ZR3110400923.png

Z[Z3x6 6  
[^D~T  
在VirtualLab Fusion中查看  fOUW{s  
Au\j6mB  

图片:1-1ZR31104205S.png

v1j&oA}$.  
&i5MRw_]]  
VirtualLab Fusion的工作流程 %U uVD  
\3hj/   
•构造光栅结构 m)q e  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] }x~1w:zHd  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] \/8oua_)  
•分析光栅衍射效率 Sb|9U8h  
- 光栅级次分析器[用例] Cu $mb}@  
•使用参数优化优化光栅参数 =i1+t"
=  
•使用参数运行进行容差分析 'JpCS  
- 参数运行文档的用法[用例] F,.dC&B
 
;1MRBk,  

图片:1-1ZR3110443116.png

CG0jZB#u  
i]
{-KZC  
VirtualLab Fusion技术 S|Yz5)*  
B)`@E4i  

图片:1-1ZR3110554J9.png