摘要
B$n 1 k 45 CW2)1%1iz 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
l6 L?jiTl_ !*f$*,=^ 
#IJe q0TVB A $ ]s{` 建模任务
91]sO%3 +H28 F_ # 
a{@}vZx>3 T];dFv-GT 入射平面波
[(gXjt- 波长 2.08 nm
;s;3cC! 光斑直径： 3mm
~>HzAo9e 沿x方向线偏振
y/5GY,z%aL Kk*8 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
S8Y\@C?5 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
l&}}Io$?@
N/ f7"~+` 概览
{VKFw=$8 •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
PfZS "yk •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
{0 j_.XZ Mc < u?H 
=#v? }JG 光线追迹模拟
z DU=2c4W9 •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
Q@7d:v •点击Go！
0y6M;"&~E •获得3D光线追迹结果。
5 mC"8N1) hHGuD2% 
eZaSV>27 tc<uS%XT4^ 光线追迹模拟
AYgXqmH~+ •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
#c5jCy}n •单击Go！
R(`:~@ 3\6 •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
^ lAM /
}f]Y^>-Ux 
,zltNbu\.( I# &r5Q 光场追迹模拟
;8eKAh •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
0/b
_T •单击Go！
| 1RVm?~i kQ lU.J>^ 
r!+{In+Z T*f/M 光场追迹结果（照相机探测器）
bh<;px- fEX=csZ86 •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
X!p`|i •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
FO5a<6 aL( hWE 
sVK?sBs] USEb} M` 光场追迹结果（电磁场探测器）
iN[x
*A|h B*,)@ h •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
V`1,s~" q ;~EQS.Qp 
NS~;{d \ I5_HaC >
O=A2QykV( .VCY|KZ 
\ 3$!) z ,|{`(y/v
