摘要
L>NL:68yN T_
<@..C 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
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1 ~*7f> e8!5I,I 建模任务
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J26V nK c?*=|}N 入射平面波
Z'W=\rl 波长 2.08 nm
M}-Rzc 光斑直径: 3mm
S-b/S5 沿x方向线偏振
3E]plj7$ ]t,BMu=% 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
(9GWbB? 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
uc\Kg1{ KYhw OGN 概览
{.|CdqwY •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
~.nmI&3 •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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4G0m\[Du 光线追迹模拟
-p-ZzgQ •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
W:nef<WH •点击Go!
F4z{LhZ •获得3D光线追迹结果。
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_,0 :#ik. D 光线追迹模拟
L,`LN> •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
k FD;i •单击Go!
IdYt\^@> •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
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vWv" a0E)2vt4 光场追迹模拟
pRpBhm;iJ •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
XFpjYwn •单击Go!
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! E5HN :# Y=I'czg 光场追迹结果(照相机探测器)
2\{M:\2o uyWunpT •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
mdDOvm:& •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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]p GL`ge5 aFm_;\ 光场追迹结果(电磁场探测器)
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jky1w •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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