[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 %D34/=(X  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +F` S>U  
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建模任务 RD
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|Q6.299  
概述 S>6~lb8G  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9'giU r  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ay ;S4c/_  
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光线追迹仿真 uAJx.>$b  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dI(@
ZV{  
•单击go！ XB^'K2  
•获得了3D光线追迹结果。 q4:o#K#  
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光线追迹仿真 JN-y)L/>  
FEz-+X<q2  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z, Yb&b  
•单击go！ P|tO<t6/9*  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?}tFN_X"  
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场追迹仿真 ?r "{}%  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D&&9^t9S  
•单击go！ TCwFPlF|  
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场追迹仿真（相机探测器） *SbMqASv4G  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 / |;RV"  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %A9NB!  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） In"ZIKaC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O'p9u@kc  
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w,p PYf/t  
场追迹仿真（电磁场探测器） 4<w.8rR:A  
-e"H ^:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A7Cm5>Y_S  
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