[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 <g4
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8uZM%7kI6+  
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建模任务 p
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概述 l}jC$B`5  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >L_nu.x  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 q<Sb>M/
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光线追迹仿真 DY(pU/q  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  Z,Z4Sp  
•单击go！ }8e_  
•获得了3D光线追迹结果。 R|u2ga~  
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光线追迹仿真 *+|,rcI  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {IgLH`@  
•单击go！ +~[>Usf  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [0M`uf/u  
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场追迹仿真 uG){0%nX  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LuE0Hb"S8  
•单击go！ E3"j7y[S  
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场追迹仿真（相机探测器） \WPy9kRU  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dzRnI*  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]VcuD05"C  
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场追迹仿真（电磁场探测器） )zv"<>Q 6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %u!)1oOIz  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ^9zlxs`<d  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L}UrI&]V$:  
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