[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 $ A-+E\vQ@  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }.0Bl&\UK  
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建模任务 wL4ZW8_  
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概述 w3^NL(>  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $o]r]#B+  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Dc08D4   
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光线追迹仿真 _p\629`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -x{dc7y2  
•单击go！ 0y)}.'  
•获得了3D光线追迹结果。 'eDJ@4Xm  
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光线追迹仿真 gX[|;IZ0o  
~@{w\%(AK]  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &J_Z~^  
•单击go！ puOC60zI  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C)NC&fV  
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场追迹仿真
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x<)G( Xe*  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !BDUv(  
•单击go！ wuA
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场追迹仿真（相机探测器） Z,K7Ot0  
$(ewk):  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bp#:UUO%S  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `-_N@E1'>  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ~4\,&HH  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -T7xK/  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） P-CB;\  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rz%<AF Z  
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