[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 r|bvpZV  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b;[u=9ez  
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建模任务 f"0{e9O]2  
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概述 W .c:Pulg  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 XOM@Pi#z  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'WUevPmt  
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光线追迹仿真 IEB|Y  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 GlDl0P,*r  
•单击go！ 7[l "=  
•获得了3D光线追迹结果。 kCRP?sj  
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光线追迹仿真 2<aBUGA  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /^E2BRI  
•单击go！ cD6$C31Y]  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f1'NWec  
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场追迹仿真 /=x) 9J  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^G,]("di`  
•单击go！ i0($@6Lh  
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场追迹仿真（相机探测器） D]9I-
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :N~1fvx  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p;dH[NW  
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ZJ} V>Bu-  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ?qviJDD|f  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -d+q+l>0  
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图片:1-1911251A519A0.png

z?HP%g'M~  
IYq)p /  
场追迹仿真（电磁场探测器） aClXg-  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -hf)%o$  
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