[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 B`I9  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \7l%@  
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建模任务 Zcq4?-&  
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概述 Adyv>T9  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yEvuTgDv  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qYi<GI*|@  
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图片:1-1911251A211D3.png


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k-~HUC.A.  
光线追迹仿真 }3rWmo8V  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Td6Gu"  
•单击go！ v<2B^(i}VB  
•获得了3D光线追迹结果。 ,:G3Y )  
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图片:1-1911251A23G14.png

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Vv]81y15Q;  
光线追迹仿真 T@. $Zpz  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tWo MUp  
•单击go！
qUW>qi,  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0'{`"QD\IW  
W@:a3RJ  

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场追迹仿真 Q<e`0cu|p  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 SdI/  
•单击go！ INHN=KY{  
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场追迹仿真（相机探测器） hVfiF  
YBX7WZCR  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d\cwUXf J  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /&+6nOP  
!Qg%d&q.Sx  

图片:1-1911251A41O04.png

E9Q?@'h  
? }k~>. \  
场追迹仿真（电磁场探测器） M?UlC   
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z~g7O4#  
LX %8a^?;  

图片:1-1911251A519A0.png

E"[^^<I  
_n3Jf<Y  
场追迹仿真（电磁场探测器） ~YuRi#CTD:  
\E'Nk$V3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
J6!t"eB+  
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