[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ?hOvY)  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 We@wN:  
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建模任务 l:14uWu|  
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概述 -cB>; f)5r  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '"9Wt@ .  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Gxw>.O){  
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光线追迹仿真 jP )VTk_  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '=(@3ggA:  
•单击go！ L[. )!c8k  
•获得了3D光线追迹结果。 w^)_Fk3  
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光线追迹仿真 ;*>':-4  
l*|m(7s  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [w}KjV/yi  
•单击go！ 8M6Qn7{L  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 hEfFMi=a`  
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场追迹仿真 7KZ>x*o  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FK,Jk04on  
•单击go！ )WbE -m  
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场追迹仿真（相机探测器） 4FcY NJq  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $m0-IyXcv  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 1w|u ^[~u\  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `l<pH<F  
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场追迹仿真（电磁场探测器） fXB64MNo  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d<>jhp5el  
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