[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 eKt~pzXwm  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 HN\9d  
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建模任务 ~OXPn9qPp  
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概述 +ps(9O/B>  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *&XOzaVU  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `j9 ;9^  
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光线追迹仿真 EW]rD  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W2'u]1bs  
•单击go！ idEhxvAo  
•获得了3D光线追迹结果。 U<K)'l6#2n  
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光线追迹仿真 0 *2^joUv  

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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @kd`9Yw  
•单击go！ 9!;/+P  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 PKJw%.-  
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场追迹仿真 ,N93H3(  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "Doz~R\\  
•单击go！ -%,=%FBi~4  
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场追迹仿真（相机探测器） 4 Fl>XM  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 lha)4d  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \xG_q>1_  
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场追迹仿真（电磁场探测器） cDS\=Bf  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m~04I~8vk  
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场追迹仿真（电磁场探测器） pmRm&VgE.  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9:R3+,ZN  
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