[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 1AV1W_"  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @}!$NI8  
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建模任务 !I/kz }N@  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 E8<i PTJs  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X6'&X  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 bLF0MVLM  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 1&"1pH  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2Hwf:S'  
•单击go！ S]g)^f'a65  
•获得了3D光线追迹结果。 6 74X)hB  
(Z +C  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 h8Si,W3o  
'=* 5C{  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5xUPqW%3  
•单击go！ 9<mj@bI$  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H4Ek,m|c  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 0eP~F2<bC  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sTyGi1  
•单击go！ v4aGL<SO  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） *2;3~8Y  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3om-,gfZ  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )wd~639U  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 0in6z  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WpZ^R;eK  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ^XVa!s,d  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8w'8n  
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