[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 O#[+= ^  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YT:])[gVV  
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建模任务 Y\#+-E  
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概述 WGy3SV )  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~:h-m\=8Y  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B?o ?LI  
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光线追迹仿真 ^uZ!e+   
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?[Gj?D.Wc  
•单击go！ H|Vq  
•获得了3D光线追迹结果。 (y^[k {#  
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光线追迹仿真 4(2iR0N  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X MkyX&y  
•单击go！ i;+]Y  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t?bc$,S"\(  
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场追迹仿真 ^5BLuN6  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 xw1@&QwM  
•单击go！ [):&R1U  
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场追迹仿真（相机探测器） pxj}%LH  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N\Nwmx  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c5KJ_Nfi  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ,B^NH7A:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |dLA D4%  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ?/EyfTex  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d-cK`pSB  
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