[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 v "07H  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %NuS!v>  
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建模任务 (_D#gr{S=  
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概述 Y0DBkg  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &WIPz\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;G?_^ 0  
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光线追迹仿真 :jA~zHO  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k;]&`c^5  
•单击go！ %',. K)IR  
•获得了3D光线追迹结果。 F2#^5s(  
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光线追迹仿真 ) Limt<S  
ke/QFN-`  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l+@NjZGm<  
•单击go！ ,+f'%)s_x  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Bb m1&d#  
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场追迹仿真 X\_ku?]v  
Pr" 2d\  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l =#uy  
•单击go！ 'wDNP_  
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场追迹仿真（相机探测器） ~G"5!,J  
z@dHXj )  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uSH.c>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Xfe,ZC)  
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图片:1-1911251A41O04.png

((#|>W\&  
P)4SrqW_  
场追迹仿真（电磁场探测器） H_Vf_p?  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]wZG4
A  
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图片:1-1911251A519A0.png

)D Y?Y-n  
yy@g=<okt\  
场追迹仿真（电磁场探测器） c&ymVB?G:1  
V|Smk;G  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dG\dGSZ\h  
{eL XVNR7R  

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