[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 H pFb{  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 CO'a
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建模任务 K7Gm-=%  
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概述 HL8(lP
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C#$6O8
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^]7,1dH}M  
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光线追迹仿真 Xy!&^C` J`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %y
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•单击go！ [-]A^?yBM  
•获得了3D光线追迹结果。 0 {,h.:  
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光线追迹仿真 KK$ a;/  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QXB|!'  
•单击go！ Q)T+r~#2B  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >|(%2Zl  
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场追迹仿真 Q ]0r:i= .  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 IhwN],-V  
•单击go！ W\NG>t  
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场追迹仿真（相机探测器） *.3y2m,bZ  
:t%)5:@A  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "4RQ`.SR  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B#:E?a;{  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 19) !$Hl  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y!it!9  
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场追迹仿真（电磁场探测器） /vy?L\`)#  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8UYJye8  
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