[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 PP33i@G  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S
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建模任务 #( 146  
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概述 ]:k/Y$O2  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !9VY|&fHe  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #yF&X(%  

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光线追迹仿真 `%"\@<  
j@3Q;F0ba  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 X[BIA+6  
•单击go！ .:%0E`E  
•获得了3D光线追迹结果。 +.b,AqJ/  
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光线追迹仿真 ZI}Fom<  
Nkth>7*  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :vQrOn18p  
•单击go！ nRZ]z( b  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qvKG-|j  
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场追迹仿真 .glA gt  
)e=D(qd  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NgGp  
•单击go！ BLf>_bUk  
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场追迹仿真（相机探测器） jTtu0Q|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !v_|zoCEj  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 oC: {aK6\  
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场追迹仿真（电磁场探测器） c&
?m>2^6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g._]8{K  
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场追迹仿真（电磁场探测器） "R1NG?;q  

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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )D5"ap]fX  
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