[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 b7? 2Pu  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R?$Nl  
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建模任务 fF} NPl  
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概述 1A b=1g{  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J|2OmbJe  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^gD%#3>X  
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光线追迹仿真 RAW(lZ(  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Wg2Y`2@t  
•单击go！ *R^ulp[W  
•获得了3D光线追迹结果。  R)?zL;,x  
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光线追迹仿真 C
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4_w+NI,;  
•单击go！ ;f7;U=gl,  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Z;#Ei.7p|  
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场追迹仿真 |Skk1#  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N{<=s]I%x  
•单击go！ &[hq !v  
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场追迹仿真（相机探测器） t<6`?\Gk  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 RqIic\aD  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9j[%Y?  
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场追迹仿真（电磁场探测器） {yy^DlHb  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IZ;%lV7t  
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场追迹仿真（电磁场探测器） O0{M3-  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~$N%UQn?b#  
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