[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 6dIPgie3w  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 PXMd=,}  
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建模任务 H0afu)$,  
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概述 F06o-xH=  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +F8{4^w1  
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光线追迹仿真 b)d;eS  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &u>dKf)5  
•单击go！ PILpWhjL$9  
•获得了3D光线追迹结果。 :V'99Esv`  
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光线追迹仿真 Q@W/~~N  
2RkW/)A9  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &i5@4,p y9  
•单击go！ f{P1.?a  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZxF`i>/h  
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场追迹仿真 l_h:S`z.  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hq=;ZI  
•单击go！ :21d  
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场追迹仿真（相机探测器） 5CY%h  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4IeCb?  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E8PDIjp  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） K[z)ts-  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PgkU~68`  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 8 l
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o"VKAP  
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