[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 cNbUr  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |AH>EXhv  
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建模任务 |r*)U(c`  
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概述 \{}dn,?Fv  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RC/45:hZZ  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _6Y+E"@zs  
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光线追迹仿真 [ /YuI@C,@  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @)BO`;*$fF  
•单击go！ W|D kq  
•获得了3D光线追迹结果。 Kxch.$hc,  
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光线追迹仿真 Z6rhInIY  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 v
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•单击go！ r=&,2meo  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WFiX=@SS  
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场追迹仿真 %rMCiz  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ICb!AsL  
•单击go！ +]s,VSL5`  
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场追迹仿真（相机探测器） >Jmla~A  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N^dQX,j  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !JDr58  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） n&njSj/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )
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场追迹仿真（电磁场探测器） :YI5O/gsk?  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $ ]s^M=8  
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