[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ?|}qT05  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :f_oN3F p  
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建模任务 cH|J  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 &m9= q|;m  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 pzQc UG  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K)[\IJJM  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 U#PgkP[4  
O*]}0*CT  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $83Qd  
•单击go！ u}_
x  
•获得了3D光线追迹结果。 28+{  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 '0_W<lGB  
ZnRj}y  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >){}nlQf  
•单击go！ z-"P raP  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9asA-'fZ  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 u$ o19n  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z?9G2<i  
•单击go！ 2lN0Sf@  
*J':U>p  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） $`vXI%|.  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o~4kJW#  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z R~2Y?Wt9  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） XMxm2-%olP  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T0b/txS  
P9S)7&+DL  

图片:1-1911251A519A0.png

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Y[rCF=ZVH  
场追迹仿真（电磁场探测器） LRS,bl3}/  
GGZ9DC\{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &Akw V-  
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