[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 _~_Hup  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (:hPT-1  
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建模任务 v4qvqGK  
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概述 >i=O =w  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 NghQ#c  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *Qyw _Q  
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光线追迹仿真 9VP|a-  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ii4Byyfx  
•单击go！ ;APg!5X  
•获得了3D光线追迹结果。 {yfG_J  
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光线追迹仿真 DVCc^5#  
 _@d.wfM  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6}<PBl%qe  
•单击go！ %K/rPhU  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5g/WQo\  
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场追迹仿真 Z0-W%W  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [#)$BXG~y  
•单击go！ d/* [t!  
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场追迹仿真（相机探测器） qOk4qbl[  
rT"8e*LT  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Gq0~&6  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x.45!8Zb  
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X|8Yz3:o  
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场追迹仿真（电磁场探测器） D* Vr)J  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o'yR^`  
J.El&Dev  

图片:1-1911251A519A0.png

Que)kjp  
op}x}Ioz  
场追迹仿真（电磁场探测器） }3vB_0[r  
aY"qEH7]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JU"!qXQr
 
,ZH)[P)5P  

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