[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 sB!A:  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o#b9M4O  
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建模任务 9V!K._Cb  
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概述 Rznr9L  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a$A S?`L  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jqmP^ZS  

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光线追迹仿真 5=e@yIr'#  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #2iA-5  
•单击go！
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•获得了3D光线追迹结果。 \t3
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光线追迹仿真 _uacpN/<|  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <jjaqDSmz  
•单击go！ W'yICt(#G  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZN/")  
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场追迹仿真 0jMrL\>C  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :a2?K5  
•单击go！ ,0O!w>u_]J  
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场追迹仿真（相机探测器） S]+}Zyg  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 R8_qZ;t:z  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qm_\#r  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） &x}JC/u]fd  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7Uh}|6PU  
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场追迹仿真（电磁场探测器） b`' ;`*AN+  
`*B8IT)  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HukHZ;5  
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