[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 b] 5dBZ(  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o,i_py  
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建模任务 H:G``Vq;0m  
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概述 MV5$e  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =v3o)lU  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 T!x/^  
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光线追迹仿真 7{r7  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3Dr\ O_`u  
•单击go！ #'/rFT4{v  
•获得了3D光线追迹结果。 zTue(Kr  
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光线追迹仿真 ~=yU%5 s@  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &&;.7E  
•单击go！ @.L#u#   
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^qL<=UC.  
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场追迹仿真 OIFjc0  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "C}<umJ'
 
•单击go！ 3XY"s"
  
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场追迹仿真（相机探测器） h7eb/xEto  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3_RdzW}f  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h8WM4 PK  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 8A0a/ 7Lj  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E!X>
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6# bTlmcg  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A#`$#CO  
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