[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 YRkp(}*!\  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S;582H9D  
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建模任务 ~BNLzt3%O  
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概述 I1H} 5bf3  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *mc]Oa  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Whf7J'  
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光线追迹仿真 m]bv2S+5y  
G%a8'3d,  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :y?xS  
•单击go！ v}=3  
•获得了3D光线追迹结果。 }HM8VAH  
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光线追迹仿真 9I a4PPEH1  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }`oe<|  
•单击go！ UF[2Rb8?  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2V}tDN7c  
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场追迹仿真  [69[
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gI&& LwT4  
•单击go！ >IW0YIQy,  
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场追迹仿真（相机探测器） Gy9+-7"V  
x%ZgLvdp,  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w][1C\8m  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |b
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场追迹仿真（电磁场探测器） DiK@>$v  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r\y~ :  
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场追迹仿真（电磁场探测器） P8K{K:T  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tT}*%A  
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