[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 H )>3c1  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 UCup {pDp  
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建模任务 ;" D~F  
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概述 '@ p464  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @4Zkkj
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x4MTE?hT  
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光线追迹仿真 yyk@f%  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @Kn@j D;  
•单击go！ ^16zZ*
 
•获得了3D光线追迹结果。 \{!,a  
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光线追迹仿真 *W^a<Zm8>  
(+cZP&o  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Hq,@j{($  
•单击go！ $.:x3TsA  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 * hS6F  
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场追迹仿真 >p0,]-.J,r  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "wg$ H1K  
•单击go！ tJn"$A^N  
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场追迹仿真（相机探测器） #qR6TM&;  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;+|Z5+7!6  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [^bq?w  
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场追迹仿真（电磁场探测器） f-|zh#L  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9E8&~y  
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场追迹仿真（电磁场探测器） :) -`  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a~a:mM>p  
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