[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 l2I%$|)d  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 
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建模任务 6[SIDOp*^  
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概述 T"<)B^8f  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A0:rn\$l3  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :Qhrh(i  
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图片:1-1911251A211D3.png

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YoBe!-E  
光线追迹仿真 $sS~hy*  
V@[C=K
  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xF@&wg  
•单击go！ h9/fD5  
•获得了3D光线追迹结果。 ncMzHw  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 !?=U{^|7y  
5n{d jP  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z&U:KrFH  
•单击go！ AV7#,+p%G  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 imeE&  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 Qd{8.lB~LQ  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /R&h#;l  
•单击go！ ]Yw$A  
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图片:1-1911251A335531.png

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t%%()!|)j  
场追迹仿真（相机探测器） @XXPJq;J  
OF+4Mq  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sRA2O/yKCE  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _OyQ:>M6P  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器）  ]%FAJ\  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qz{9ND|)  
T7^;!;i`X  

图片:1-1911251A519A0.png

{(!JYz~P  
^'0N%`bY!  
场追迹仿真（电磁场探测器） owQ,op#  
XUA@f*  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6#!CBY^{  
W(R~K -  

图片:1-1911251A5594c.png