[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 zO{$kT\r&  
lEi,duS)  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 LLmgk"  
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建模任务 ^vm[`M  
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概述 ub6\m=Y7  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )ufHk  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _yjM_ALjo  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 L5T)_iQ5  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ->wY|7  
•单击go！ 0w\X  
•获得了3D光线追迹结果。 3iYz<M  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 A`(p6 H"s  
~m!>e])P?X  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fLI@;*hL0  
•单击go！ /6{`6(p  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qNHS 1  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 :'y  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Go(8`>  
•单击go！ Qm`f5
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） x|0Q\<mEe  
?^BsR  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 };oRx)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 CcY.8|HT  
i`&yPw  

图片:1-1911251A41O04.png

vlIdi@V  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 344,mnAd  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8g>jz 8  
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图片:1-1911251A519A0.png

;x^&@G8W`  
"]c:V4S#`A  
场追迹仿真（电磁场探测器） CyG@  
4L!{U@'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jr17pu(t  
aS~k.^N  

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