[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 \ 0:ITz  
4h(aTbHaQ  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 J H$  
xNjA>S\]W5  

图片:1-191125164532947.png

4I,HvP  
?p$WqVN}  
建模任务 5Lue.U%a  
>0512_J+  

图片:1-1911251A00R22.png

5|AZ/!rb  
概述 'o5[:=K  
u |#ruFR  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U~7.aZHPx3  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !vG._7lPp  
<nIU]}q  

图片:1-1911251A211D3.png

&npf %Eub  
mv+.5X  
光线追迹仿真 1AhL-Lj  
J\2F%kBej?  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bk5~t'  
•单击go！ W[YcYa_tQ  
•获得了3D光线追迹结果。 !WDdq_n*v  
c5Offnq'1  

图片:1-1911251A23G14.png

K5k,47"  
B{
zIW'Ld  
光线追迹仿真 &M<431y  
^B5Hjf9  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^GL0|G=(1  
•单击go！ QI!:+8  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Gew0Y#/  
rNI3_|a  

图片:1-1911251A311b4.png

n NAJ8z}Nt  
/
x`H6'3?  
场追迹仿真 \*_qP*vq@  
{!x-kF
_  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ))eR  
•单击go！ ?t<wp3bZ  
 vlE#z  

图片:1-1911251A335531.png

LV9\  
783a Z8  
场追迹仿真（相机探测器） ~PS%^zxyn  
KxiZx I  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1OJ:Vy}n  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {'{ssCL  
ZVda0lex&  

图片:1-1911251A41O04.png

d{DlW |_  
~lQ]PKJ"  
场追迹仿真（电磁场探测器） \7W {/v4^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z73 ysn}  
hWuq  

图片:1-1911251A519A0.png

zYH6+!VBH#  
egKYlfe"  
场追迹仿真（电磁场探测器） _*&<hAZj  

I /RvU,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |[xi"E\  
W>s<&Vb  

图片:1-1911251A5594c.png