[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Rp/-Pv   
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &fSTR-8ev#  
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建模任务 r1Z<:}ZwK  
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概述 C).2gQ G  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zZ,Yfd|W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]yLhJ_^  
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光线追迹仿真 uvB1VV4  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J#7y< s  
•单击go！ ~E*d G  
•获得了3D光线追迹结果。 &p"(-  
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光线追迹仿真 xK;e\^v  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YKs4{?vw  
•单击go！ uA\J0"0;}  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y8ehmz|g]J  
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场追迹仿真 >&Fa(o;*  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B*@6xS[IL  
•单击go！ |Td5l?  
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场追迹仿真（相机探测器） - DL"-%X.  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k^%_V|&W/(  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 G;]:$J  
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场追迹仿真（电磁场探测器） mU
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^?"^Pmw  
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场追迹仿真（电磁场探测器） K/Y Agg  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -<W2PY<  
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