[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 &Mj1CvCv  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Cw#V`70a  
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建模任务 _2OuskL  
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概述 v459},!P  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 FJwt?3\u5  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o/1JO_41  
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光线追迹仿真 8l23%iWxe  
v=p0 +J>  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1lcnRHO  
•单击go！ kA^A mfba  
•获得了3D光线追迹结果。 J=*K"8Qr  
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光线追迹仿真 nxQ}&n  
_~A~+S}  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9m8ee&,  
•单击go！ M|r8KW~S)  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fsvYU0L  
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场追迹仿真 /U*yw5  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f#P_xn&et  
•单击go！ _7@z_i_c  
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场追迹仿真（相机探测器） S$O,] @)  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 r1Z<:}ZwK  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [H,u)8)  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） hZN<Yd8:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0=;YnsY  
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场追迹仿真（电磁场探测器） <zfKC  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {oWsh)[x2  
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