[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 A4{p(MS5  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Zg&o][T  
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建模任务 mFrDV,V  
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概述 E_D0Nm%n  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b6NGhkr'\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +z|@K=d#|  
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光线追迹仿真 9]%2Yb8SC  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Yb\d(k$h  
•单击go！ ]^53Qbrv  
•获得了3D光线追迹结果。 8ByNaXMO6  
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光线追迹仿真 d7G DIYH<  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -Q6Vz=ku  
•单击go！ /'a\$G"%6  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Vg~10Q  
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场追迹仿真 T3NH8nH9"z  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `=lo.c  
•单击go！ u7SC_3R  
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场追迹仿真（相机探测器） biG :Xn  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o@L2c3?c5  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >8|V[-H  
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场追迹仿真（电磁场探测器） y&V%xE/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <v!jS=T  
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场追迹仿真（电磁场探测器） " {X0&  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2sj: &][R  
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