[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 @O'NJh{D`  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;lb  
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建模任务 X"d"a={]  
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概述 y[85eM  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7r'_p$  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G^nG^HTo5  
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光线追迹仿真 48^C+#Jbc  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D
!Y@Og.  
•单击go！ \3^V-/SJf  
•获得了3D光线追迹结果。 i&lW&]  
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光线追迹仿真 R|8L'H+1x  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *9r(lmrfj  
•单击go！ )#i"
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !Whx^B:  
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场追迹仿真 R[jFB 7dd  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 YYFS ({  
•单击go！ _F[a2PE2+  
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场追迹仿真（相机探测器） BNE:,I*&  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &F:.V$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Hs8JJGXWB  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） $eT[`r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6l2O>V  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ~
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6p&2A  
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