[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Q.Y6  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rNICK2Ah  
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建模任务 ZCA= n  
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概述 u+c2 m  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T8^l}Y B  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [E/. r{S  
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光线追迹仿真 0IZF%`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;p87^:  
•单击go！ K5z<n0X ~  
•获得了3D光线追迹结果。 GyVuQ51  
TP/bX&bjCy  

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光线追迹仿真 &Lbwx&!0b  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <U8w#dc  
•单击go！ yqR]9"a  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yCkX+{ki  
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场追迹仿真 %*RZxR):  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 qnqS^K,':  
•单击go！ dp4vybJ  
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G<]@nP{P  
Z~[eG"6zI  
场追迹仿真（相机探测器） .v-2A);I  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &VcO,7 A|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (*,R21<%  
X":2o|R  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） p*Yx1er1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G[u{! 2RS  
Tt=;of{  

图片:1-1911251A519A0.png

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b *3h}n;  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z,"YMUl'  
-BWWaL  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T_#8i^;D  
d(Hqj#`-31  

图片:1-1911251A5594c.png