[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 1N(#4mE=  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 zYV{|Z  
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建模任务 MJch Z  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 )qb'tZz/g_  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .Pj<Pe  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [hSJ)IZh  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 c45s #6  
B>c$AS\5y  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5e.aTW;U  
•单击go！ ]}lt^
7\=  
•获得了3D光线追迹结果。 N$kxf  
1s(T#jh  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 QNOdt2NN  
 .x%w#  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i*/i"W<  
•单击go！ 1v|-+p42  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0&sa#g2  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 iH4LZ  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NH|I>vyN  
•单击go！ g8uqW1E^  
3!l>\#q6  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） 2pdeJ  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Cg]|x+  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 I9zs  
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图片:1-1911251A41O04.png


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场追迹仿真（电磁场探测器） w{aGH/LN  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xd%qebK  
]S4"JcM  

图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） }R<t=):  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5(ZOm|3ix  
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