[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 s3kHNDdC  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0m$f9b|Q?  
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建模任务 q%%8oaEI  
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概述 ]/hF!eO  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 z^$DXl@)h  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 e`zx#v  
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图片:1-1911251A211D3.png

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(+q#kKR  
光线追迹仿真 5wYYYo=  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Rd@34"O  
•单击go！ iz!E1(z(  
•获得了3D光线追迹结果。 l{ja2brX  
8+K=3=05#U  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 Dn~r~aR$g  
=NLsT.aa  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZDuP|" ^  
•单击go！ V/5.37FSb  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?=,4{(/)  
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场追迹仿真 5Z"IM8
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TP7'tb  
•单击go！ XCr\Y`,Z@  
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QP/%+[E.  
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场追迹仿真（相机探测器） "!43,!<  
8w1TX [b  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 p|fSPSz  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /Iht,@%E  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） !_EL{/ko  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Tj5G /H>   
XRoMD6qf;  

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场追迹仿真（电磁场探测器） N6K%Wkz  
pkTg.70wU  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YDh6XD<Z  
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