[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Mp\<cE  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p$;I'  
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建模任务 Kud'pZ{P  
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概述 NBl __q  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 K X]oE+:  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9h
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光线追迹仿真 |sgXh9%x<  
e<gx~N9l'  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZI ?W5ISdg  
•单击go！ PI5j"u UO  
•获得了3D光线追迹结果。 k5+]SG`]]  
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光线追迹仿真 Sav`%0q?7a  
(*l2('e#@  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <8(?7QI  
•单击go！ u}H$-$jE  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +lO'wa7|3  
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场追迹仿真 <R1X\s.  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L~FTr  
•单击go！ n+2J Dq|?p  
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场追迹仿真（相机探测器） "2HY5AE  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I>w^2(y  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 iH)Nk^  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 4u:0n>nJ1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "zV']A>4H  
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图片:1-1911251A519A0.png

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Z}cIA87U  
场追迹仿真（电磁场探测器） RLKj u;u  
~y\:iL//E  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -2NwF4VL  
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