[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 3Kq/V_  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A@-U#UvN  
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建模任务 &qM8)2Y  
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概述 &8I*N6p:%/  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uo;m  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C=2DxdZG  
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光线追迹仿真 `fl$ o6S/  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [.6bxK  
•单击go！ AUES;2WL  
•获得了3D光线追迹结果。 wFjQ1
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光线追迹仿真 /1uGsE+[  
&VcO,7 A|  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L(9AcP  
•单击go！ fPstSez   
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^ > ?C  
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场追迹仿真 G[u{! 2RS  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (y1S*_D  
•单击go！ 87m`K Str7  

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场追迹仿真（相机探测器） Zv*uUe  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >/NegJh'F}  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vZs~=nfi#|  
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场追迹仿真（电磁场探测器） =k;X}/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |;^$IZSsz  
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场追迹仿真（电磁场探测器） :nfy=*M#  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [xQ.qZ[h&  
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