[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 6bo,x  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H,KU!1p  
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建模任务 qPH]DabpI  
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概述 .'5yFBS  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qJ#?=ITE  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q3wD6!'&m  
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光线追迹仿真 0f;L!.eP  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /PQg>Pa85  
•单击go！ 91mXvQ:u  
•获得了3D光线追迹结果。 `k^ i#Nc>  
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光线追迹仿真 h7[V
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1fViW^l_  
•单击go！ JWlH(-U4|  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >`'#4!}G5j  
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场追迹仿真 aE1h0`OT  
&"Ua"H)  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Drk9F"J  
•单击go！
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场追迹仿真（相机探测器） ;T-i+_  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tojJQ6;J  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J);1Tpm  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） |cWW5\/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <W|{zAyv  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） !i.`m-J*  
9n|H%AC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W-7yi`5  
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