摘要
@"8QG^q8de b0X[x{k " 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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5@$4.BGcF gN( hv.nQ 建模任务
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*]WXM.R8 概述
^gzNP#A<'o fR4l4 GU?) •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
v4_OUA>z, •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
FH8mK) i@5%d!J 
-5 /v` DA )v3Nd 光线追迹仿真
WV1 Z <C%-IZv$ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
7/_ VE •单击go！
^r*%BUU9]% •获得了3D光线追迹结果。
M#]|$\v( F.pHL)37 
"P5bYq%0v v7FRTrqjj 光线追迹仿真
](>7h _2B \h7J/es^p! •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
*rcuhw"^b# •单击go！
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ELJj •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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]~00=nXFM/ !N8)C@= 场追迹仿真
MAe<.D HY e*2&s5 #RT •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
$wYuH9( •单击go！
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`+hy#1] RUk<=! U 场追迹仿真（相机探测器）
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oEBFG •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
c7g.|R •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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? gA=39[j uZ/7t(fy 场追迹仿真（电磁场探测器）
l|vWeBs •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
i|c`M/) h: K/wiL69 
6)#- 5m q: Bt]2x 场追迹仿真（电磁场探测器）
#FqFH>-*2 m0 I # •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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