摘要
q],R6GcVr KNg5Ptk 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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-*lP1Nbp K%} I}8M 建模任务
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U9 5 9=e 概述
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X"AFy~\ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
BLH=:zb5 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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.O#lab`:2 =Yj[MVn 光线追迹仿真
4LjSDgA G z XP •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
%~ 5Q^3$O •单击go！
`fkri k •获得了3D光线追迹结果。
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JYr7;n'! 'c[LTpn4= 光线追迹仿真
j_yFH#^W: `Y\/US70{c •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
(<C%5xk •单击go！
$M`;." •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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mF}k}0 [T }]Ma*CS 场追迹仿真
W>s'4C` G`#gV"PlC •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
DiQkT R •单击go！
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_*$B|%k .r| vz6tU? 场追迹仿真（相机探测器）
')<FLCFwT fF > qU- •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
=Xjuz:9D~ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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J8v:a`bX& ;v +uv f 场追迹仿真（电磁场探测器）
6 +;2B<II •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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