[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 lq>*x=<  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \g~ws9'~  
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建模任务 F3r S6_  
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概述 #'J~Xk   
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *TJBPM,  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5"1!p3`\D{  
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光线追迹仿真 vx04h~  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T1lXYhAWS  
•单击go！ o{9?:*?7  
•获得了3D光线追迹结果。 e.h~[^zg  
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光线追迹仿真 &[NVP&9&U  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "I5uDFZR&  
•单击go！ L&:M8xiA~$  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。  &|/
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场追迹仿真 K{|w 43>D  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <Cu'!h_nL  
•单击go！ :0B |<~lX  
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场追迹仿真（相机探测器） nARxn#<+  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?x:m;z/  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9Kc0&?q@D  
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场追迹仿真（电磁场探测器）
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T:c7@^=  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6@&fvf  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ny[QT*nV  
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