[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 N'2u`br4KP  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4(B,aU>y  
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建模任务 299; N  
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概述 tLV9b %i(  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J0|/g2%0  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S'TF7u  
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光线追迹仿真 `n5|4yaG~  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <=jE,6_|  
•单击go！ Z;??j+`Eo  
•获得了3D光线追迹结果。 gX6'!}G
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光线追迹仿真 | LfH,6  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ij{{Z;o3  
•单击go！ 0v',+-  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #^Sd r-   

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场追迹仿真 }$iH3#E8  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 JH<q7Y6!y  
•单击go！ PTL52+
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场追迹仿真（相机探测器） \JN<"/  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o.Q|%&1  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >JC.qjA  
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场追迹仿真（电磁场探测器） uX`Jc:1q3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y@#~8\_  
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场追迹仿真（电磁场探测器） sV3/8W13  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i3#]_ p{  
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