[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 2;ju/9x  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5 BLAa1  
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建模任务 N;gY5;0m  
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概述 PUmgcMt  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F-Bj  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b3Qk;yz  
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图片:1-1911251A211D3.png

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+Jh1D_+!9  
光线追迹仿真 +w/B3b  
3~1Gts  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8]D0)  
•单击go！ ]=ADX}  
•获得了3D光线追迹结果。 W*B=j[w  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 dhjX[7Bl9  
2"HG6"Rr  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ! (Q[[M  
•单击go！ vXm'ARj  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G*_qqb{B  
0S96x}]J B  

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场追迹仿真 N\|BaZ%>|  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fN/;BT  
•单击go！ !yd]~t 5Q  
+NbiUCMX  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） EJ(36h  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _PcF/Gyk  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1R;@v3  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） aIDv~#l  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mfG m>U  
S*gm[ZLQ  

图片:1-1911251A519A0.png

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JfY(};&  
场追迹仿真（电磁场探测器） Ii&p v  
G<* Iw>ep  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F]t=5 -O<  
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