[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 w8~R=k  
w0@XJH:P
 
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w2
V:x[  
[O'aka Q  

图片:1-191125164532947.png

'5*&  
O"|d~VQ  
建模任务 9015PEO  
su
IYfjh  

图片:1-1911251A00R22.png

3?<A]"X.  
概述 A@?-
"=h}  
g$mMH  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'AWWdz  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 BMQ4i&kF|  
)(
yaX  

图片:1-1911251A211D3.png

g~,iWoY  
Pzd!"Gl9  
光线追迹仿真 (VmFYNt&  

}+MA*v[06  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O(-6Zqk8Q  
•单击go！ b@=H$"  
•获得了3D光线追迹结果。 4`9ROC  
tUZfQ  

图片:1-1911251A23G14.png

\p}GW  
u\iKdL  
光线追迹仿真 E_$nsM8?  
k:iy()n[  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 rx;;|eb,  
•单击go！ 3TeRZ=2:*x  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7&HcrkP]  
Gg GjB
t  

图片:1-1911251A311b4.png

5+Tx01)  
6&6dd_K(  
场追迹仿真 B 5qy4MFWs  
"".a(ZGg  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Isvb;VT9L  
•单击go！ i"Hc(lg  
.waj.9&[l  

图片:1-1911251A335531.png

-G?IXgG  
5]CaWFSmT  
场追迹仿真（相机探测器） ki2`gLK  
!
2&)6SL/  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +\dKe[j{g  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5kWzD'!^  
P_mP ^L  

图片:1-1911251A41O04.png

xzfugW  
bQ 0Ab"+D  
场追迹仿真（电磁场探测器） U6wy^!_X9  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |9.J?YP8 (  
[AIqKyIr  

图片:1-1911251A519A0.png

9vW]HOK  
^.g-}r8,  
场追迹仿真（电磁场探测器） 50A\Y)i_mZ  
s:_j,/H0A}  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t5i58@{~  
2!CL8hG5:  

图片:1-1911251A5594c.png