[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 '-F }(9M  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 u$c)B<.UR  
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建模任务 8=^o2&  
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概述 Gc) Zu`67  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i[b?W$]7  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]k[y#oB  
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RHo|&.B;+  
光线追迹仿真 Yt"&8N]  
J7R+|GTcx  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |q?I(b4Q@  
•单击go！ h<oQ9zW
)  
•获得了3D光线追迹结果。 .S&S#}$/]  
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光线追迹仿真 oLcOp.8h[  
;|v6^2H"  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YcS}ug7  
•单击go！ JHN35a+  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8phcekh+  
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场追迹仿真 KOWxP47b  
O?omL5  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n$ye:p>`-  
•单击go！ NfcQB;0  
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场追迹仿真（相机探测器） vv,OBL~{  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f<ABs4w  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Zg%SE'kK  
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场追迹仿真（电磁场探测器）  hM2^[8  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }5^j08  
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场追迹仿真（电磁场探测器） .L%_#A  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }2M2R}D  
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