[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 kK~IwA  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xq-$\#O  
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建模任务 Q7o5R{.oJ  
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概述 2$zU&p7sV  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :Px\qh}K  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jB^OP1  
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光线追迹仿真 , Ut Hc]  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @#b0T:+v'  
•单击go！ jV7&Y.$zF]  
•获得了3D光线追迹结果。 dyFKxn`,  
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光线追迹仿真 %W|DJ\l8"  
mKg@W;0ML  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R+$8w2#  
•单击go！ ij&p4  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <3 j~=-  
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场追迹仿真 DQ=N1pft2v  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zy wK/D  
•单击go！ >4![&&  
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场追迹仿真（相机探测器） `.k5v7!o  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 t58m=4  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4&}
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） Yn[x #DS  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z=?0)e(H,  
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图片:1-1911251A519A0.png

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x9`ZO<L$  
场追迹仿真（电磁场探测器） h1%y:[_  
L^KdMMz;  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l:tpL(%  
W:ixzpQ  

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