[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 S f6%A  
4I9Yr
 
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?_r{G7|D  
7yjun|Lt}X  

图片:1-191125164532947.png

KWM.e1(  
UCj:]!P  
建模任务 m6'9Id-:L  
CM7Nd
K?I  

图片:1-1911251A00R22.png

OO</d:  
概述 {-Gh 62hDg  
_ gGA/   
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hAt4+O&P  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ' 6)Yf}I  

my/KsB  

图片:1-1911251A211D3.png

i'.D=o  
yo8mfH_,  
光线追迹仿真 9GsG*$-I  
>I-rsw2  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <Mu T7x-  
•单击go！ KyQTrl.qdl  
•获得了3D光线追迹结果。 i6$HwRZm#  
*3
]2vq  

图片:1-1911251A23G14.png

0$0 215  
{{B'65Wu  
光线追迹仿真 :iGK9I  
VLVDi>0i  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2.N)N%@  
•单击go！ zg'.fUZ  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !D?(}nag  
"?kDR1=7A  

图片:1-1911251A311b4.png

w~&#:F?
  
a5aHv/W#P  
场追迹仿真 +SE\c  
7yXJ\(6R_  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >&ZlCE  
•单击go！ [qxU \OSC  
n).*=YLN  

图片:1-1911251A335531.png

~]].i~EV(  
s:iBl/N}  
场追迹仿真（相机探测器） u+ hRaI;v  
cNN0-<#c  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d`C$vj  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h?$J;xn  
`(gQw~|z  

图片:1-1911251A41O04.png

U
|{4=[  
Jw#7b[a  
场追迹仿真（电磁场探测器） bBV03_*  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J}+N\V~
 
"q1S.3V;  

图片:1-1911251A519A0.png

Om;aE1sW  
UbGnU_}  
场追迹仿真（电磁场探测器） N-t"CBTO  
kM[!UOnC!<  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [La}h2gz  
US=K}B=g  

图片:1-1911251A5594c.png