[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 GZ}/leR  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :Dl%_l  
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建模任务 uD>z@J-v  
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概述 N<JHjq  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8NimZ(  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Xt,X_o2m|]  
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光线追迹仿真 IS]{}Y\3H  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 aW{L7N%  
•单击go！ ;vO@m!h}U  
•获得了3D光线追迹结果。 iRV;Fks  
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光线追迹仿真 <9@7,2  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Q!CO0w  
•单击go！ PDw{R]V+  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `?o=*OS7Y  
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场追迹仿真 3n(*E_n  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 q#1X[A()  
•单击go！ D6=HYqdj  
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场追迹仿真（相机探测器） IUhp;iH  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (zah890//  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~8Sqa%F>  
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场追迹仿真（电磁场探测器） G
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c2b6B.4  
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场追迹仿真（电磁场探测器） +rQg7a}  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mq`5w)S)\o  
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