[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 4i\aW:_'i  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 OjlB0  
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建模任务 i~Ob( YIH  
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概述 ~v(M6dz~vk  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 KY
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C`~4q<W'  
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光线追迹仿真 yH"$t/cU"R  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >-|90CSdSJ  
•单击go！ U>B5LU9&  
•获得了3D光线追迹结果。 c>WpOZ,  
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图片:1-1911251A23G14.png

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0jJ28.kOp  
光线追迹仿真 W "\tkh2  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2*FWIHyf  
•单击go！ kq}eUY]  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >gZk 581/  
HSr"M.k5  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 oA3W {  
j zmSFKg*  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?Str*XA;  
•单击go！ M\?uDC9  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） gcW{]0%L^  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w1"gl0ga$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :U-US|)(2  
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图片:1-1911251A41O04.png

)*TW\v`B  
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j;F  
场追迹仿真（电磁场探测器） !.2CAL  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ghJ,s|lH  
{Z?$Co^R  

图片:1-1911251A519A0.png

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=N@)C
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场追迹仿真（电磁场探测器） ZXsY-5$#d-  
WDoKbTv  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |?fW!y  
V$Xl^#tN  

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