[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 XVb9)a  
hT`&Xb  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 HLQ> |,9  
:))&"GY  

图片:1-191125164532947.png

<N>7.G  
fRq+pUxU  
建模任务 MWK)Bn  
rhZp  

图片:1-1911251A00R22.png

fjY:u,5V_  
概述 YY
(_g|;?8  
m(D-?mhL  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @(+\*]?^&  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 d_ x jW  
3to!C"~\K-  

图片:1-1911251A211D3.png

v#`>  
Jd',
v  
光线追迹仿真 g^7zDU&'  
H9(UzyN>i  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rBi6AM/  
•单击go！
d
BS_N/  
•获得了3D光线追迹结果。 GG-b)64h`  
jbUg?4k!  

图片:1-1911251A23G14.png

W\mgM2p  
4mtO"'|  
光线追迹仿真 n_k`L(8*  
`
Q#)N0  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 
R(,m!  
•单击go！ aof'shS8  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N9s.nu  
Z'l!/l!  

图片:1-1911251A311b4.png

;PnN$g]Q  
Qr7|;l3  
场追迹仿真 %d40us8E  
l*huKSX}  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {v|ib112;  
•单击go！ t o8J   
~4O3~Y_+GN  

图片:1-1911251A335531.png

5wha _Yet  
,-8Xb+!8I  
场追迹仿真（相机探测器） MPn/"Fij$  
EyA(W;r.  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;' |CSjco  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MgN;[4|[h  
%M/L/_d  

图片:1-1911251A41O04.png

s&Al4>}.f  
@ &rf?:  
场追迹仿真（电磁场探测器） j]`hy"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bv7xh*/  
'tcve2Tt  

图片:1-1911251A519A0.png

9j5|o([J  
%_CL/H   
场追迹仿真（电磁场探测器） ZNpC& "`G  
jC$~m#F  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "gzn%k[D9m  
|1/8m/2Af.  

图片:1-1911251A5594c.png