[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 |?\2F   
p4@0Dz`Q  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m%U$37A1  
 t: 03  
mV.26D<c  
s]Z++Lh<{  
建模任务 nG7E j#1  
q3ebps9^  
l}W"> yQ0  
概述 p~z\&&0U0  
vu3zZMl  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BHR(B]EI  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~vKDB$2  
|`O210B@  
eKe[]/}e9  
gH/(4h  
光线追迹仿真 0}-
MWbG  
hy"=)n(  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 * & : J  
•单击go！ s[%@3bY!7  
•获得了3D光线追迹结果。 ZmS ]4WM<  
scyv]5Hm!  
yH(%*-S  
]Uul~T
 
光线追迹仿真 &"=<w  
+@MG$*}Oz  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /U=?D(>x  
•单击go！ .=@CF8ArG  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |z`AIScT  
.2SD)<}(9  
ad`7[fI  
Xbc:Vr  
场追迹仿真 gP?.io9Oi  
`86})xz{  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C:RA(
  
•单击go！ jBJ|%KM  
k#x"'yZ  
Mc6v  
I]Vkaf I>(  
场追迹仿真（相机探测器） \1oN't.  
/e7BW0$1  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .s>.O6(^%  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &'c&B0j  
5$c*r$t_RK  
43
Ua@KNi  
>Dq&[9,8  
场追迹仿真（电磁场探测器） IhXP~C6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^@;P-0Sy  
Z(BZGO<  
6,(S}x YDZ  
ZQ[s/  
场追迹仿真（电磁场探测器） M+WN\.2pX  
!gj_9"<  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )pw53,7>aN  
t^7}j4lk