[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 sZ&|omN  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Nr>UZlU8  
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建模任务 2h51zG#qd  
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概述 X0P +[.i  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E#rQJ  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #n|5ng|CJ  
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光线追迹仿真 e3CFW_p  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~$T>,^K y  
•单击go！ Lr*PbjQDIY  
•获得了3D光线追迹结果。 C$+Q,guM  
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光线追迹仿真 n8;L_43U  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V9"R8*@-  
•单击go！ eUNaq&M  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~\NQkaBkY  

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场追迹仿真 nN<,rN{:  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dE,E,tv  
•单击go！ !% W5@tN  
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场追迹仿真（相机探测器） X+A@//,7  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 UwS7B~  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +0%r@hTv&>  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） `(?c4oq,c>  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 KM[0aXOtv  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Sq,>^|v4&e  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t6+W  
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