摘要
-*+7-9A I c00a;=ji 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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:/d#U:I 6YYZ S2 建模任务
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~#7=gI&p@ 光栅特性与参数的严格分析
,Cde5A{K |*jnJWH4: 不同光栅周期下的衍射效率
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#!C/~"Y*`| /oE@F178 关于光栅周期选择的考虑
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@My-O@C> ?neXs-'-p 偏振相关的衍射特性
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wHAoO#`wn5 $yLsuqB} 通过参数优化进行光栅设计
[*]&U6\j Nz\=M|@(# 固定周期的2D参数优化
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J> 2D参数优化–设计1
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}GJLC3 2D参数优化–设计2
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n2Q ~fx<6% _.KKh62CN 制造
公差分析–设计2
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hpD 变化光栅周期的3D参数优化
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)!s f@F? "6[fqW65 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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/xUTm=w7u A9`& Wnw? VirtualLab Fusion中的工作流程
S|CN)8Jsi f!|7j}3
Z@4BTA \vjIw{ •构造光栅
结构 ABuK`(f. −通过使用界面来配置光栅结构
p%/Z [用例]
(&H-v'a}3 •分析光栅衍射效率
[K1RP. −光栅级次分析器[用例]
V^sZXdDNL •使用参数运行搜索初始解决方案
Q`j!$r −参数运行文档的使用[用例]
x|g>Zd/n •通过参数优化找到最终设计
j*B,b4 C @3a/<6m VirtualLab Fusion技术
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