摘要
8xoC9!xt \rH0=~F-P 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!]8QOn7 = ,jy9\n*<t9 建模任务
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?nM]eUAP 光栅特性与参数的严格分析
6ziBGU#.- <CS,v)4,nH 不同光栅周期下的衍射效率
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{CgF{7` }%3i8e 关于光栅周期选择的考虑
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E\~Oa; cfc=a
Et&PzDvU NU3s^ 8\( 偏振相关的衍射特性
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<2&_$| V~QOl=`K: 通过参数优化进行光栅设计
o"qG'\x 8?hj}}H 固定周期的2D参数优化
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Ge*N%=MX8 2D参数优化–设计1
S6{y%K2y& wf~n>e^e
[tJp^?6* f3mQd}<L 2D参数优化–设计2
k.%FGn'fR ~AcjB(
YcM0A~< |_16IEJ 制造
公差分析–设计2
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Htce<H-P .R&jRtb/E 变化光栅周期的3D参数优化
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TcH7!fUj :MF+`RpL 制造公差分析
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uh3<%9#\k (l)r.Vj 走进
VirtualLab Fusion
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W"5VqN6v FivqyT7i VirtualLab Fusion中的工作流程
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Gyy?cn6_ <1kK@m -E •构造光栅
结构 F>aaUj −通过使用界面来配置光栅结构
G@,XUP [用例]
gnw?Y 2 •分析光栅衍射效率
v.>95|8 −光栅级次分析器[用例]
(6i.>%|_ •使用参数运行搜索初始解决方案
=gO4B-[ −参数运行文档的使用[用例]
DxG8`}+ •通过参数优化找到最终设计
uL=FK mz3Dt> VirtualLab Fusion技术
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