[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 {oXU)9vj  

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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $7bLw)7  
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光栅特性与参数的严格分析 A&?8 rc  
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不同光栅周期下的衍射效率 UWW^g@d4  
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关于光栅周期选择的考虑 YYE{zU  
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偏振相关的衍射特性 'c&[kMR  
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通过参数优化进行光栅设计 m/e*P*\=  
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固定周期的2D参数优化 ybC0Ee@  
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2D参数优化–设计1 ]x1;uE?1J  
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制造公差分析–设计2 %A3ci[$g  
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变化光栅周期的3D参数优化 y$}o{VE{x  
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走进VirtualLab Fusion )Z*nm<=  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 [ KDNKK  
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•构造光栅结构 ]PlLy:(  
−通过使用界面来配置光栅结构 ei82pLM z  
[用例] b&*)C#7/T  
•分析光栅衍射效率 6zp]SPY  
−光栅级次分析器[用例] arc{:u.K  
•使用参数运行搜索初始解决方案 m@y<wk(  
−参数运行文档的使用[用例]
Lng@'Yr  
•通过参数优化找到最终设计 V/+D]  
C)mR~Ey  
VirtualLab Fusion技术 Zg4kO;r08  
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