摘要
?{ \7th37 Pbbi*&i 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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A`~?2LH,~F Tt{X(I} J 建模任务
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,>qtnwvlHP 光栅特性与参数的严格分析
Y5ei:r|^ @N[<<k7g 不同光栅周期下的衍射效率
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关于光栅周期选择的考虑
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T>*G1 -J# 5cM%PYU4:v 偏振相关的衍射特性
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(p'/a.bn ZvXw#0)v 通过参数优化进行光栅设计
1x/ R 9X1vL 固定周期的2D参数优化
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;){ZM,Ox 2D参数优化–设计1
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+7lr#AvU/ ettBque 2D参数优化–设计2
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MUtM^uY Iq19IbR8 制造
公差分析–设计2
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#ax% n )B-[Q#*A- 变化光栅周期的3D参数优化
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cw0@Z0 f2KH&j>~r 制造公差分析
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=SW <Vhtb i8cmT+}> 走进
VirtualLab Fusion
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ox.kL -!T24/l VirtualLab Fusion中的工作流程
H8@z/ >x~Qa@s;
+g1+,?cU C!v%6[ •构造光栅
结构 m>w{vqPwJ −通过使用界面来配置光栅结构
l]R7A_| [用例]
n#?y;Y\ •分析光栅衍射效率
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VDBAx −光栅级次分析器[用例]
0Nk!.gY •使用参数运行搜索初始解决方案
!iX/Ni: −参数运行文档的使用[用例]
?%Q=l;W. •通过参数优化找到最终设计
sQrM"i0Y> a>Aq/= VirtualLab Fusion技术
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