摘要
}]. |7h AjINO}b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?uXY 6J" @}{Fw;,(7n 建模任务
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;V^ I>-fnm 光栅特性与参数的严格分析
Z$S0X$q} Tx/KL%X 不同光栅周期下的衍射效率
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g$mqAz< i>;6Z s>S 关于光栅周期选择的考虑
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YrTjHIn~w "H}ae7@ 偏振相关的衍射特性
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r5&?-G eXMl3Lxf 通过参数优化进行光栅设计
[RHji47 L!kbDbqn 固定周期的2D参数优化
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+4k7ti1Qb 2D参数优化–设计1
+)TOcxF% ]}dAm S/
pJ]i)$M B!z5P"C(~ 2D参数优化–设计2
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#me'1/z HCKj8-* 制造
公差分析–设计2
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s2I&pQ j4.deQ,
Ndr4e?Xa, -dsE9)&8DX 变化光栅周期的3D参数优化
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Qape DU; O<?z\yBtS^ 制造公差分析
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走进
VirtualLab Fusion
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<i!7f26r ^w|apI~HSE VirtualLab Fusion中的工作流程
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rVo?I J_PbRb •构造光栅
结构 >?Ps5n]b −通过使用界面来配置光栅结构
@(mXiK [用例]
1v^eXvY •分析光栅衍射效率
0'9zXJ" −光栅级次分析器[用例]
=whYo?cE( •使用参数运行搜索初始解决方案
`Mp-4)mn −参数运行文档的使用[用例]
wJQ"| •通过参数优化找到最终设计
CUR70[pB) D8''q% VirtualLab Fusion技术
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