摘要
"%f>/k;!h. /unOZVr( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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DVTzN(gO*~ J)jiI> 建模任务
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Qs%f6rL 光栅特性与参数的严格分析
vZ]gb$ _LK>3Sqd 不同光栅周期下的衍射效率
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g LpWfT29V _R5^4 -Qe 关于光栅周期选择的考虑
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<NJ7mR} ~Dy0HVE 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
F`u{'w:Hv <K97eAcW 固定周期的2D参数优化
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2Ip 2D参数优化–设计1
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公差分析–设计2
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huq6rA/i Yd<~]aXM 变化光栅周期的3D参数优化
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7=<PVJ*/ qC6Q5F 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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w{r->Phe Tbwq_3fK VirtualLab Fusion中的工作流程
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.xk<7^ZD IIu3mXAw •构造光栅
结构 UwM}!K7)G −通过使用界面来配置光栅结构
9iOlR=-* [用例]
ag+ML1#) •分析光栅衍射效率
1a)_Lko −光栅级次分析器[用例]
z44uhR h •使用参数运行搜索初始解决方案
z`Q5J9_<cV −参数运行文档的使用[用例]
CTI(Kh+ •通过参数优化找到最终设计
K9P"ncMt P"]+6sm&es VirtualLab Fusion技术
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