[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 sZ(Q4)r  
v,
O&UrZ  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MZ#2WP)F  
UHm+5%ZC  

图片:1-20021G15353423.png

9hi(P*%q  
CpJXLc3_d5  
建模任务 pl? J<48  
bu!<0AP"N+  

图片:1-20021G15419564.png

O#ajoE  
光栅特性与参数的严格分析 [}B{e=`!  
+vY`?k`  
不同光栅周期下的衍射效率 SX94,5 _Q  
T"jDq1C/,E  

图片:1-20021G15602G5.png

v6(l#,  
oZ>]8vw  
关于光栅周期选择的考虑 AHg4kG  
bqLYF[#T  

图片:1-20021G15641J8.png

E~U|v'GCd  
eFI
9S.6  
偏振相关的衍射特性 hQrsZv:Q  
/VOST^z!  

图片:1-20021G15G0159.png

4zvU"np  
6O?Sr,  

图片:1-20021G15I2201.png

XsCbJ[Z_?q  
Z)>a6s$ih<  

图片:1-20021G15P2594.png

#pxet  
rs)aEmvC  
通过参数优化进行光栅设计 HGMH g  
M>l+[U  
固定周期的2D参数优化 *`/@[S2,cu  
gf8U &;  

图片:1-20021G15RaL.png

v8M#
%QoA  
2D参数优化–设计1 U\plt%2m>  
-"b3q  

图片:1-20021G15Z4258.png

s~'C'B?  
7o%|R2mL}  
2D参数优化–设计2 ;-wPXXR  
ymJw{&^am  

图片:1-20021G20004394.png

WUQh[A41  
H_^u_%:e  
制造公差分析–设计2 mLdyt-1  
h1d0{  

图片:1-20021G2002JX.png

[WSIC *|;  
gG?*Fi  
变化光栅周期的3D参数优化 omU)hFvyS  
JqIv&W  

图片:1-20021G20100c0.png

Q/SC7R&"t  
!q1^X% a  
制造公差分析 x@l~*6!K  
^qy-el  

图片:1-20021G20120954.png

?a_q!,8:  
0p2O8>w^%  
走进VirtualLab Fusion \Xp"I5  
> %*X2'^  

图片:1-20021G20141219.png

tXuxTVhoT  
;'+cT.cmH  
VirtualLab Fusion中的工作流程 zIm!8a  
jCa;g{#@  

图片:1-20021G20205237.png

?Gu>!7  
#.xTAvD  
•构造光栅结构 TniKH(w/  
−通过使用界面来配置光栅结构 J<O_N~$$*  
[用例] nlnJJM&J$  
•分析光栅衍射效率 }J lW\#  
−光栅级次分析器[用例] .DsYR/  
•使用参数运行搜索初始解决方案 g0$k_  
−参数运行文档的使用[用例] (KU@hp-\  
•通过参数优化找到最终设计 }# ^PbM  
u{d`  
VirtualLab Fusion技术 _YUF /B'  
\5_^P{p7<  

图片:1-20021G2025W62.png