摘要
d#U~>wr .4cVX|T 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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M]
WJ&a9]&C 7Eo;TNbb 建模任务
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7L4~yazmK 光栅特性与参数的严格分析
X(npgkVP\ '89nyx&W 不同光栅周期下的衍射效率
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}Y&|v q QFg{.F?3q> 关于光栅周期选择的考虑
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>mW*K _~ G6XDPr:} 偏振相关的衍射特性
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Vv_lBYV {'UK>S 通过参数优化进行光栅设计
L#`Vr$ y[DS$>E 固定周期的2D参数优化
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Xk9 8%gv 2D参数优化–设计1
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zrL +:/t eE5j6`5i 2D参数优化–设计2
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#:xv]qb`k sP@7%p>wt 制造
公差分析–设计2
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.OZ\s%h; i'3)5 变化光栅周期的3D参数优化
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#]*]qdQWV^ 4Cp)!Bq?/ 制造公差分析
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9dwLkr 8<=]4- X@ 走进
VirtualLab Fusion
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fS]Z`U" ]Q -.Y-J/O VirtualLab Fusion中的工作流程
J]5ZWo% ,!QtViA7
*YP:- `B/74Wa3q •构造光栅
结构 num2HtU&% −通过使用界面来配置光栅结构
OWZ;X}x [用例]
S{nBQB< •分析光栅衍射效率
Rnw v/) −光栅级次分析器[用例]
"""pe+Y •使用参数运行搜索初始解决方案
g(l:>=g]? −参数运行文档的使用[用例]
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iOcl*$ •通过参数优化找到最终设计
H`nd | vT#m 8Kg VirtualLab Fusion技术
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