[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 {$Fg+~
 
eK3J9;X  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 U7 Z_  
1LcQ*d  

图片:1-20021G15353423.png

2<Ub[R  
uKtrG,/ p  
建模任务 dkRJ^~  
}&;0:hw%  

图片:1-20021G15419564.png

4JP01lq'\  
光栅特性与参数的严格分析 aoMQ_@0  
Yc\;`C  
不同光栅周期下的衍射效率 l=bB,7gL  
Fc42TH p  

图片:1-20021G15602G5.png

blxH`O!  
G4AX8@;U  
关于光栅周期选择的考虑 Gl}=Q7  
!L-.bve!  

图片:1-20021G15641J8.png

cdzMao  
E jBEZL|_  
偏振相关的衍射特性 i>0I '~V  
_Z5l Nu  

图片:1-20021G15G0159.png

TZPWMCN4  
I@ }:} 8t  

图片:1-20021G15I2201.png

+Bc/@.Q'  
--.:eFE/  

图片:1-20021G15P2594.png

Wu:vO2aw8  
#).om*Xh  
通过参数优化进行光栅设计 hGD7/qTN  
n5oB#>tI0  
固定周期的2D参数优化 ){R_o
5  
JTl 37j  

图片:1-20021G15RaL.png

[-1
Nn}  
2D参数优化–设计1 ]@M$.msg@  
j[) i>Qw  

图片:1-20021G15Z4258.png

:]e:-JbT4z  
MdZ7Yep  
2D参数优化–设计2 F!j@b!J8  
~"brfjd|  

图片:1-20021G20004394.png

HIi"zo=V  
b 3D:w{l  
制造公差分析–设计2 d/Fjs0pt  
@T]gwJ  

图片:1-20021G2002JX.png

$fuFx8`2W  
t3v*P6  
变化光栅周期的3D参数优化 `Z]a6@w~  
K'N\"Y?>  

图片:1-20021G20100c0.png

k`2 K?9\  
EmG`ga)s  
制造公差分析 +;U}SR<  
7^as~5'&-  

图片:1-20021G20120954.png

`=b*g24z[N  
Yca9G?^\v  
走进VirtualLab Fusion W{ @lt}  
Joq9.%7Q  

图片:1-20021G20141219.png

{Kd9}CDAZ  
9v0.]  
VirtualLab Fusion中的工作流程 <w.V!"!  
,t61IU3"  

图片:1-20021G20205237.png

1:q55!b  
9%kY8#%SV  
•构造光栅结构 }+i ZY\t  
−通过使用界面来配置光栅结构 m{(D*Vuqd  
[用例] DU]MMR  
•分析光栅衍射效率 w0^(jMQe^  
−光栅级次分析器[用例] qV9`  
•使用参数运行搜索初始解决方案 y%}Po)X]f  
−参数运行文档的使用[用例] r"Pj,}$A  
•通过参数优化找到最终设计 qC.jXU?rO  
zu^?9k  
VirtualLab Fusion技术 8y~ Jn~t  
'1=/G7g  

图片:1-20021G2025W62.png