摘要
(IHR {m .}!.:
| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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J1M9),
$LU|wW (Cti,g~ 建模任务
S n~P1C j{tr''yN
vgNrHq&2q 光栅特性与参数的严格分析
:c}PW"0v !qH)ttW 不同光栅周期下的衍射效率
) P+<=8@a Yu[MNX;G
r|bGn#^ #w^Ot*{!N 关于光栅周期选择的考虑
Qe9}%k6@E WwKpZ67$R
a9 S&n5 -@'RYY= 偏振相关的衍射特性
Mg^A,8lrm G%jV}7h
Hp(41Eb, 5Tidb$L;Du
t08[3Q& ^6CPC@B1
eq2LV=d{m c~\^C_ 通过参数优化进行光栅设计
2of+KI: 9(a*0H 固定周期的2D参数优化
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SwB sG|,#XQ
^d9o \ 2D参数优化–设计1
5!6iAS+I dleLX%P
d(Yuz#Qcrh sv\=/F@n 2D参数优化–设计2
~dsx|G?p 6UPGE",u
yaI jXv _Mh..#)`[ 制造
公差分析–设计2
JQ]MkP BMU#pK;P]
@Js@\)P79 dr"@2=Z 变化光栅周期的3D参数优化
rO,n~|YJ aMgg[g9>t
=NRiro uy=<n5`oNG 制造公差分析
ciPq@kMV y<yU5
:|ytw=3> ;Qlb].td 走进
VirtualLab Fusion
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'EU|w,GL} w*4sT+
P VirtualLab Fusion中的工作流程
<ou=f' {~=gKZ:-@
evyA#~o Xpmi(~n •构造光栅
结构 z8PV&o −通过使用界面来配置光栅结构
H)+wkR!~ [用例]
MWn[]'TpH •分析光栅衍射效率
C9`x"$ −光栅级次分析器[用例]
1~*JenV- •使用参数运行搜索初始解决方案
?)/H8n −参数运行文档的使用[用例]
myZ8LQ& •通过参数优化找到最终设计
I9cZZ`vs X5P1wxk' VirtualLab Fusion技术
`?(9Bl [sG!|@r