摘要
04-_ K ot<d
FvD 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
:oZ<[#p"* 3<&:av3
oj djy#: U0_)J1Yp 建模任务
zuLW'a6F- t|i NSy3
;|WUbc6&g 光栅特性与参数的严格分析
iSCkV2 QT,T5Q%JP: 不同光栅周期下的衍射效率
4CF;>b
f~ _=~u\ $
T&_&l;syA ^[7Mp 关于光栅周期选择的考虑
h.X4x2(. 3[[oAp
X%'z G$>?UQ[ 偏振相关的衍射特性
RxMsP;be ie6c/5
Q-w# !<L. 5)RZJrN]
,GH`tK_ &IQ=M.!r
T#Z&* J,?#O#j 通过参数优化进行光栅设计
z?\it( `3F#k[IR 固定周期的2D参数优化
3%+~"4& #-;c!<2
j9NF| 2D参数优化–设计1
Ljd`)+`D EbILAJ
I_<VGU k 4f\NtQ) 2D参数优化–设计2
Xfc$M(a
K{ wmr?ANk
^&?,L@fW }/a%-07R 制造
公差分析–设计2
5.6tVr I`0-q?l
BD
C DQ 5tlRrf 变化光栅周期的3D参数优化
[7@g*!+d 3NpB1lgh&:
"|8oFf)l@B =npE?wK 制造公差分析
<T_3s\ e#Cv*i_<
z+"$G 4EqThvI{ 走进
VirtualLab Fusion
}emUpju<C H3rA
?F#+*
vXDs/,`r <VxA&bb7c VirtualLab Fusion中的工作流程
hObL=^F ~ n]5iGz
i|^Q{3?o# 6iU&9Z<% •构造光栅
结构 #%E`~&[ −通过使用界面来配置光栅结构
~tp]a]yV [用例]
K}l3t2uk •分析光栅衍射效率
/whaY4__O\ −光栅级次分析器[用例]
,sL'T[tuiU •使用参数运行搜索初始解决方案
59Pc:Gg; −参数运行文档的使用[用例]
>-MnB •通过参数优化找到最终设计
Ms!EK xOTvrX VirtualLab Fusion技术
<[db)r~c O*:87:I d