摘要
%(g!,!l) 9f$3{ g{m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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.<-~k@ P Lq{/r+tt/ 建模任务
dt(Lp_&v H:X(><J
l# |M.V6G 光栅特性与参数的严格分析
_kQOax{c/ YG>6;g)Zm 不同光栅周期下的衍射效率
gBo~NLrf Xvn \~Vr
wO"ezQ AI3\eH+ 关于光栅周期选择的考虑
c.h_&~0qf !&Us^Q^
pcPRkYT[M $>=w<=r|; 偏振相关的衍射特性
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Y,d|b V*FH
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*|)O bs_rw+
v#$}3+KVC "Kf4v|6; 通过参数优化进行光栅设计
D0rqte {fu[&@XV 固定周期的2D参数优化
09Y:(2Qri <"x *ZT
r8[Ywn<u 2D参数优化–设计1
>I9|N}I
U<U?&hB\@
a,\GOy(q{ H^8t/h 2D参数优化–设计2
gBE1aw; $lf\1)B~*
d$v{oC} ;V)94YT 制造
公差分析–设计2
6>-Gi =N{-lyr)
f9J]-#I if *uMtl' 变化光栅周期的3D参数优化
lK #~lC ~Ec@hz]js
Z n]e2 a|@1RH>7H 制造公差分析
WvHy}1W <^B!.zQ
JL&ni]m dF0:'y 走进
VirtualLab Fusion
K@;ls &}vc^io
3Tr}t.mt 0vdnM8N2 VirtualLab Fusion中的工作流程
gj1l9>f>]a u3_AZ2-;
w}Xy;0c _D."KU| •构造光栅
结构 0+"P1/ −通过使用界面来配置光栅结构
3|.KEJC" [用例]
QD*(wj •分析光栅衍射效率
Ix'GP7-m_ −光栅级次分析器[用例]
9/LJtM •使用参数运行搜索初始解决方案
d)jX%Z$LC −参数运行文档的使用[用例]
!FJ_\UST0 •通过参数优化找到最终设计
/S)&d N` aFwfF^\(|, VirtualLab Fusion技术
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