摘要
@1+({u#B Ugv"A;l 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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j; 'Y:ZWac, 建模任务
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^Mi&2AvS 光栅特性与参数的严格分析
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d/&~IR 不同光栅周期下的衍射效率
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T 关于光栅周期选择的考虑
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0j(/ N {igVuZ(>en 偏振相关的衍射特性
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a^.5cJ$] 7W `gN[* 通过参数优化进行光栅设计
wU)vJsOq /GMT 固定周期的2D参数优化
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Bd-@@d.H< 2D参数优化–设计1
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ucgp=bye )|CF)T- 2D参数优化–设计2
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,pMH` CiTjRJ-ZW) 制造
公差分析–设计2
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R<q[@)F
)H`1CcT fC^POLn[f 变化光栅周期的3D参数优化
YQ#o3sjs R3ru<u>k&
Zh,{e/j ~Bs=[TNd[ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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X4<*KD VirtualLab Fusion中的工作流程
<u%&@G$F> BA t0YE`-,
z~y=(T ilpP"B •构造光栅
结构 Uel^rfE` −通过使用界面来配置光栅结构
BT8L 'qEj [用例]
wYIlp •分析光栅衍射效率
qL?`l;+ −光栅级次分析器[用例]
A9L
{c!|- •使用参数运行搜索初始解决方案
RNB ha& −参数运行文档的使用[用例]
0281"aO •通过参数优化找到最终设计
j`A 3N7; z),@YJU"z VirtualLab Fusion技术
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