摘要
9f',7i W0k0$\iX 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>OG:vw)E q&Gz ] 建模任务
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[F;ug 光栅特性与参数的严格分析
L. EiO({W ~<k,#^"}X 不同光栅周期下的衍射效率
0\:(ageY? tX@_fYb
'^Ql]% _ =Uj-^qcE 关于光栅周期选择的考虑
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3q'&j,,^ e][B7wZ 偏振相关的衍射特性
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un=2}@ ' %^8^yZz 通过参数优化进行光栅设计
}j^\(2 ~",`,ZXQy 固定周期的2D参数优化
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9:!gI|C 2D参数优化–设计1
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KrXdnY8 svuq gSn 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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/NG.Wf Y)$ ;Ax-D 变化光栅周期的3D参数优化
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6sE{{,OGB "n: %E 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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u a=0 tU^kQR! VirtualLab Fusion中的工作流程
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$rhgzpZ!X_ u- o--q •构造光栅
结构 X!j{o −通过使用界面来配置光栅结构
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e=kFB [用例]
Bcjx>#3?L •分析光栅衍射效率
78Aa|AJU −光栅级次分析器[用例]
I"t(%2*q •使用参数运行搜索初始解决方案
U^.4Hy&D −参数运行文档的使用[用例]
'r@:Cz3e*I •通过参数优化找到最终设计
qA:#iJ8w `g_"GE VirtualLab Fusion技术
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