摘要
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74!Zw TWP@\ BQ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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f<o|5r 建模任务
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P`tOL#UeZL 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
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+17!v_4^ 2;)IBvK 关于光栅周期选择的考虑
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2/SUEnaLy_ Fe8X@63 偏振相关的衍射特性
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~-"CU:$o C(>!?-. 通过参数优化进行光栅设计
xM())Z|2 [REH*_ 固定周期的2D参数优化
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@ 2D参数优化–设计1
U|wST&rU| %YVPm*J~
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\ Q g/Rw4[ 制造
公差分析–设计2
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8P]nO+ *,u{,$}2 变化光栅周期的3D参数优化
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vhZXgp0X m9h<)D '> 制造公差分析
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Wt 走进
VirtualLab Fusion
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(o{Y;E@/y ?C CQm VirtualLab Fusion中的工作流程
hq"nRH "s@Hg1
,wf_o%'eW &wQ<sVQ0$ •构造光栅
结构 +wG
*qI −通过使用界面来配置光栅结构
eNfH9l2k [用例]
,t_&tbf3 •分析光栅衍射效率
yR5XcPoKI −光栅级次分析器[用例]
HRTNIx •使用参数运行搜索初始解决方案
rvx2{1}I −参数运行文档的使用[用例]
zMepF]V •通过参数优化找到最终设计
"IS; o o$g ZXLAX9| VirtualLab Fusion技术
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