摘要
80{#bb ~bQFk?ZN+ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?D RFsA F3kC"H 建模任务
UI|v/(_^F =?meO0]y
z1Bj_u{ 光栅特性与参数的严格分析
Gl?P.BCW.& X@6zI-Y% 不同光栅周期下的衍射效率
{toyQ)C7 Jo6~r-
/2g)Z!&+L Ft3N#!ubl 关于光栅周期选择的考虑
tb-OKZq Q3B'-BZe
'_q: vjX uznoyj6g 偏振相关的衍射特性
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c[wQJc #,f}lV,&
zCK y`u. )'BJ4[aq\
rK(x4]I
l" 2+T 8Y,g 通过参数优化进行光栅设计
s,UN'~e1 &+E'1h10 固定周期的2D参数优化
f_i"/xC-/ ,Az`6PW
4
|:Q1 2D参数优化–设计1
{Y3_I\H8{ xJ[k#?T'
aBqe+FXp4 l5\B2 +}7 2D参数优化–设计2
^7ea6G" ch5`fm
F:*[ RE`J"& 制造
公差分析–设计2
j61BP8E ps!5HZ2:
/ K_e;(Y_ E6k?+i
w 变化光栅周期的3D参数优化
Se^/VVm _V_8p)%
b2/N H1A fG8}= xH_& 制造公差分析
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4! Oa4 ]v^`+s}3 走进
VirtualLab Fusion
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=M/UHOY RB lOTQjv VirtualLab Fusion中的工作流程
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V 9QvQA
r eZR8<Z% •构造光栅
结构 )MD*)O −通过使用界面来配置光栅结构
ctc`^#q [用例]
E1l\~%A •分析光栅衍射效率
DK@w^ZW6JA −光栅级次分析器[用例]
D<_,>{$gW •使用参数运行搜索初始解决方案
&m%Pr −参数运行文档的使用[用例]
PNxVW •通过参数优化找到最终设计
yNLa3mW 8aZey_Hw;+ VirtualLab Fusion技术
MUCJ/GF* Z5*(W;;