摘要
Kn<z<>vO /_MEb42& 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/_G^d1T1?L ?u]%T]W 建模任务
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T m0m$l 光栅特性与参数的严格分析
#YMU}4=: /"M7YPX; 不同光栅周期下的衍射效率
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mh H,!3s<1 关于光栅周期选择的考虑
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BiUOjQC# >=_Z\ wA 偏振相关的衍射特性
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5`B!1 C?3?<FDL 通过参数优化进行光栅设计
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:{d?B$ od7 [h5r 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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Dwq }O (P-Bmu!s 变化光栅周期的3D参数优化
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j#TtY|Po .CClc(bO_/ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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|Go?A/' %d5;JEgA:g VirtualLab Fusion中的工作流程
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vxxa,KR/y f#RI&I\ •构造光栅
结构 GT[,[l −通过使用界面来配置光栅结构
%=:*yf>} [用例]
8:%=@p>$ •分析光栅衍射效率
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q!ee −光栅级次分析器[用例]
:GU6v4u •使用参数运行搜索初始解决方案
_R!KHi −参数运行文档的使用[用例]
Zc"Vf]: •通过参数优化找到最终设计
7a@%^G @! s6(iiB%d VirtualLab Fusion技术
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