摘要
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DaBz\ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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G`cHCP_n 2oVSn" 建模任务
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`uOT+B%R 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
?}wk.gt> +R3k-' >
r[|Xy>Zj A\4D79>x 关于光栅周期选择的考虑
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7m4aoK 4!Fo$9 偏振相关的衍射特性
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| ^uKwB;@ 通过参数优化进行光栅设计
$ `ov4W C'9Cr}cZ. 固定周期的2D参数优化
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J%u=Ucdh 2D参数优化–设计1
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Sdp&jZY )#?"Gjf~ 2D参数优化–设计2
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lx YmL06<Mh 制造
公差分析–设计2
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h}[-'>{ MLXN Zd 变化光栅周期的3D参数优化
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L{X_^ ]] !VK 制造公差分析
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Vx$ \hcG yMG1XEhuG 走进
VirtualLab Fusion
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^z,w VirtualLab Fusion中的工作流程
BBaQ}{F8>2 t>L;kRujVJ
51#_Vg w^Sz#_2 •构造光栅
结构 Lb!Fcf|h −通过使用界面来配置光栅结构
|z9*GY6RU [用例]
1a?!@g) •分析光栅衍射效率
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Sx −光栅级次分析器[用例]
*{YlN}vA •使用参数运行搜索初始解决方案
m}C>ti`VD −参数运行文档的使用[用例]
.8@$\ZRP •通过参数优化找到最终设计
IoxgjUa 5yd MMb VirtualLab Fusion技术
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