摘要 eU"yF >6'
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "~Fg-{jM%
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建模任务 {C w.?JU
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光栅特性与参数的严格分析 g1t6XVS$9
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不同光栅周期下的衍射效率 x}2nn)fdZ
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关于光栅周期选择的考虑 c =m#MMc)
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偏振相关的衍射特性 _`gF%$]b
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通过参数优化进行光栅设计 7#JnQ|
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固定周期的2D参数优化 IYn`&jS{
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制造公差分析–设计2 e,Cc.T\o
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变化光栅周期的3D参数优化 I{w(`[Nxw*
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制造公差分析 'LoWp} f9
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走进VirtualLab Fusion HB#!Dv&'
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VirtualLab Fusion中的工作流程 A*BN
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•构造光栅结构 2aTq?ZR|8A
−通过使用界面来配置光栅结构 J#:`'eEG
[用例] ##By!FTP
•分析光栅衍射效率
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−光栅级次分析器[用例] 6
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•使用参数运行搜索初始解决方案 H3 !9H
−参数运行文档的使用[用例] qJ5b;=
•通过参数优化找到最终设计 )
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VirtualLab Fusion技术 u~,hTY(%
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