摘要
;$Pjl8\ % `\}# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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L3;cAb/ d_1uv_P 建模任务
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dbG902dR 光栅特性与参数的严格分析
'T+v&M Lk lD^AJA 不同光栅周期下的衍射效率
0'Uo3jAB "'3QKeM1
,p' ;Xg6ez GZ1c~uAu 关于光栅周期选择的考虑
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cGM?r}zJ (zml704dI) 偏振相关的衍射特性
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Z,I0<ecaD LEd@""h 通过参数优化进行光栅设计
DQ.; 2W y=&^=Zh[ 固定周期的2D参数优化
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|>/m{L[ 2D参数优化–设计1
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19;Pjo8 6KE?@3;Om 2D参数优化–设计2
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UT%?3}*u" T4Io+b8$ 制造
公差分析–设计2
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)> 变化光栅周期的3D参数优化
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!@T5]( zV &hnKBr(Lw 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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~=t K17i )Ec /5=A VirtualLab Fusion中的工作流程
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YSru5Q ozkmZ; •构造光栅
结构 +:&|]$8< −通过使用界面来配置光栅结构
ZjveXrx [用例]
W[qQDn!r •分析光栅衍射效率
Xcb'qU!2-^ −光栅级次分析器[用例]
+jyWqld.K1 •使用参数运行搜索初始解决方案
lbm ,# −参数运行文档的使用[用例]
J0UF( •通过参数优化找到最终设计
H'?dsc I(va;hG<o VirtualLab Fusion技术
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