[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 zT}Qrf~  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?i4}[q  
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建模任务 |Iy55~hK`  
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光栅特性与参数的严格分析 "m]"%MU78  
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不同光栅周期下的衍射效率 $;*YdZ`q  
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关于光栅周期选择的考虑 |7Z,z0 ?V  
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偏振相关的衍射特性 5=Bj?xb$'  
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通过参数优化进行光栅设计 a<Pi J?  
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固定周期的2D参数优化 uqZLlP#&#  
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2D参数优化–设计1 MAR kTxzi  
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2D参数优化–设计2 ;:*o P(9k  
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制造公差分析–设计2 ^Gv<Xl  
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变化光栅周期的3D参数优化 6u7(}K  
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制造公差分析 >^:g[6Sj  
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走进VirtualLab Fusion $},:z]%D  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 }(E6:h;}~  
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g) v"nNS  
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•构造光栅结构 + y.IDn^  
−通过使用界面来配置光栅结构 PR|Trnd&D  
[用例] 4Bx1L+Cg  
•分析光栅衍射效率 <
O5;w  
−光栅级次分析器[用例] &;)~bS(   
•使用参数运行搜索初始解决方案 `4}!+fXQ  
−参数运行文档的使用[用例] *`}_e)(k  
•通过参数优化找到最终设计 cYR6+PKua  
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VirtualLab Fusion技术 qoZ*sV  
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