摘要
aJL^AG mME4 l 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)3YtIH_ s5.AW8X=?* 建模任务
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+MbIB&fRCB 光栅特性与参数的严格分析
,:fl?x.X p(xC*KWB 不同光栅周期下的衍射效率
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I$NhXZ)KT tkQH\5 关于光栅周期选择的考虑
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_rV 5E 9YsR~SM 偏振相关的衍射特性
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Q$obOEr2( d_n7k g+
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~^u16z, [S.ZJUns 通过参数优化进行光栅设计
9jN)I(^D6 ,\ 2a=Fp 固定周期的2D参数优化
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{7!UQrm< 2D参数优化–设计1
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`c/*H29 6.5T/D*TT 2D参数优化–设计2
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!zPG?q]3 Lb{e,JH 制造
公差分析–设计2
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hlu:=<B pA{ 5V9 变化光栅周期的3D参数优化
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SJc TI9UXa:V\ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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6"c1;P!4 t+,4Ya|Xj VirtualLab Fusion中的工作流程
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kc/{[ME \%sVHt`c •构造光栅
结构 @fuM)B1" −通过使用界面来配置光栅结构
:K\mN/ x [用例]
o!:8nXw •分析光栅衍射效率
p8s:g~ W −光栅级次分析器[用例]
BmHwu{n' •使用参数运行搜索初始解决方案
MNH1D!} −参数运行文档的使用[用例]
!6Sd(2 •通过参数优化找到最终设计
dd?x(,"A` y=Mq(c:'UN VirtualLab Fusion技术
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