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    [技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-04-03
    摘要 7*>,BhF#  
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    光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Jk57| )/  
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    光栅特性与参数的严格分析 as"@E>a  
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    不同光栅周期下的衍射效率 o,'Fz?[T%  
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    关于光栅周期选择的考虑 B1TWOl?d{  
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    偏振相关的衍射特性 bycnh  
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    通过参数优化进行光栅设计 <MJ-w1A  
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    固定周期的2D参数优化 z\>ZgRi~n  
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    制造公差分析–设计2 B^C 5?  
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    变化光栅周期的3D参数优化 f& Vx`oj  
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    制造公差分析 G-'CjiMu  
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    走进VirtualLab Fusion MJU*Sq  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 5m\)82s  
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    37 *2/N2  
    •构造光栅结构 g|M>C:ZT  
    −通过使用界面来配置光栅结构 3*-!0  
    [用例] <DhuY/o  
    •分析光栅衍射效率 cCcJOhk|d  
    −光栅级次分析器[用例] (&M,rW~Qxs  
    •使用参数运行搜索初始解决方案 l@`n4U.Gwl  
    −参数运行文档的使用[用例] S~M/!Xb  
    •通过参数优化找到最终设计 kArF Gb2c  
    2Hk21y\  
    VirtualLab Fusion技术 =69sWcC8  
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