摘要
l4YTR4D jEm=A8q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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q!WiX|P cvC 7#i[G 建模任务
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\"9ysePI 光栅特性与参数的严格分析
_sQhD i ^@<Ia-x 不同光栅周期下的衍射效率
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sW&h?jdf MAD t$_ 关于光栅周期选择的考虑
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\"P$*y4Le HMw}pp: 偏振相关的衍射特性
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W(EN01d \ ZeH=]G4Zv7 通过参数优化进行光栅设计
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固定周期的2D参数优化
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公差分析–设计2
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7TA&u' X3l6b+p 变化光栅周期的3D参数优化
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VirtualLab Fusion
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5G=fJAG 9w-;d=(Q VirtualLab Fusion中的工作流程
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j^ttTq|l VW:Voc •构造光栅
结构 zI_pP?4;.q −通过使用界面来配置光栅结构
M aP - [用例]
3#idXc •分析光栅衍射效率
jtPHk*>^wu −光栅级次分析器[用例]
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? •使用参数运行搜索初始解决方案
@Z89cTO −参数运行文档的使用[用例]
9)'wgI# •通过参数优化找到最终设计
sM9N Hwg 2`V(w[zTr VirtualLab Fusion技术
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