摘要 K$>C*?R
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (r8Rb*OP
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建模任务 f{ZOH<"Lo
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光栅特性与参数的严格分析 PnB%vS
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不同光栅周期下的衍射效率 2-G he3
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关于光栅周期选择的考虑 DDdMWH^o7
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偏振相关的衍射特性 -Y]ue*k{
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通过参数优化进行光栅设计 !Pnvqgp/
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固定周期的2D参数优化 0@w8,x
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2D参数优化–设计1 ImJ2tz6
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制造公差分析–设计2 Kyy CS>
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变化光栅周期的3D参数优化 r+8%oWj
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VirtualLab Fusion中的工作流程 *QAcp` ;*
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•构造光栅结构 3D3/\E#'o
−通过使用界面来配置光栅结构 Ii"h:GY;\
[用例] E0XfM B]+
•分析光栅衍射效率 e 5hq>K
−光栅级次分析器[用例] _hgu:
•使用参数运行搜索初始解决方案 2y6 e]D
−参数运行文档的使用[用例] u~Zx9>f
•通过参数优化找到最终设计 /]~Oa#SQ:
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VirtualLab Fusion技术 ?[#nh@mI
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