[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 9f
',7i  
W0k0$\i
X  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 C#
t'Y*  
<oWB0%  

图片:1-20021G15353423.png

>OG:vw)E  
q&Gz ]  
建模任务 0qo)."V{  
{iv<w8CU)  

图片:1-20021G15419564.png

%c [F;ug  
光栅特性与参数的严格分析 L. EiO({W  
~<k,#^"}X  
不同光栅周期下的衍射效率 0\:(ageY?  
tX@_fYb  

图片:1-20021G15602G5.png

'^Ql]% _  
=Uj-^qcE  
关于光栅周期选择的考虑 "bm  
X83 w@-$}  

图片:1-20021G15641J8.png

3q'&j,,
^  
e][B7wZ  
偏振相关的衍射特性 rDQ!zlg>l  

]6{*^4kX  

图片:1-20021G15G0159.png

Y;e,Gq`  
&3$z4df  

图片:1-20021G15I2201.png

=Apxdnz,
 
ObE,$_
k  

图片:1-20021G15P2594.png

un=2}@
'  
%^8^yZz  
通过参数优化进行光栅设计 }j^\(2  
~",`,ZXQy  
固定周期的2D参数优化 V hk_  
)DeA}e?F  

图片:1-20021G15RaL.png

9:!gI|C  
2D参数优化–设计1 ]\xy\\b/`  
TU GNq  

图片:1-20021G15Z4258.png

KrXdnY8  
svuq gSn  
2D参数优化–设计2 rS?pWTg"8  
$ KRI'4  

图片:1-20021G20004394.png

IhBp%^H0-  
!Yw3 d   
制造公差分析–设计2 :Pg}Zz<  
7As|Ns`  

图片:1-20021G2002JX.png

! /NG.Wf  
Y)$ ;Ax-D  
变化光栅周期的3D参数优化 *$"gaXI  
q-rB2  

图片:1-20021G20100c0.png

6sE{{,
OGB  
"n: %E  
制造公差分析 =r.mlc``W  
\/SQ,*O  

图片:1-20021G20120954.png

J8"[6vId~  
K3' niGT  
走进VirtualLab Fusion k $fGom  
Q3 eM2i8Y  

图片:1-20021G20141219.png

Z{ u a=0  
tU^kQR!  
VirtualLab Fusion中的工作流程 M#4QQ} F.  
(__yh^h:m  

图片:1-20021G20205237.png

$rhgzpZ!X_  
u- o--q  
•构造光栅结构  X!j{o  
−通过使用界面来配置光栅结构 [ G e=kFB  
[用例] Bcjx>#3?L  
•分析光栅衍射效率 78Aa|AJU  
−光栅级次分析器[用例] I"t(%2*q  
•使用参数运行搜索初始解决方案 U^.4Hy&D  
−参数运行文档的使用[用例] 'r@:Cz3e*I  
•通过参数优化找到最终设计 qA:#iJ8w  
`g_"GE  
VirtualLab Fusion技术 7nVRn9Hn  
O$g_@B0E1  

图片:1-20021G2025W62.png