摘要
-1c{Jo <-F[q'!C1 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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J~k'b2(p3 Bd>a"3fA 建模任务
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$W0O 光栅特性与参数的严格分析
I"bz6t\~| ^2-t|E= 不同光栅周期下的衍射效率
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B8.uzX'p #7|73&u( 关于光栅周期选择的考虑
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se&Q\!&M 6"<q{K 偏振相关的衍射特性
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}b=Cv?Zg$m #gSLFM{p 通过参数优化进行光栅设计
vk.P| Y-; u?I 2|}# 固定周期的2D参数优化
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y 2D参数优化–设计1
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}0~X)Vgm( }) Zcw1g 2D参数优化–设计2
(Fs{~4T "r[Ob]/
17F<vo>l% <BjrW]pM 制造
公差分析–设计2
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a9y+FCA tQ(4UHqa~ 变化光栅周期的3D参数优化
Nx=rw h IQeiT[TF
1:22y:^j AA<QI' 6 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
h]pz12Yf bk:mk[
y3OF+;E ^MO})C VirtualLab Fusion中的工作流程
$rm/{i_7 P7\?WN$p
xQkvK=~$ 9PdD =9HH •构造光栅
结构 _
o.j({S −通过使用界面来配置光栅结构
|dhKeg_ [用例]
vn4z C •分析光栅衍射效率
DB3qf>@? −光栅级次分析器[用例]
%"^8$A?>,k •使用参数运行搜索初始解决方案
"{[\VsX|c −参数运行文档的使用[用例]
u6SQq-)d •通过参数优化找到最终设计
Vrs?VA`v$ (D0\uld9 VirtualLab Fusion技术
0+F--E4 U=PTn(2