摘要
pds*2p)2 U
Du~2% 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
A$@o'Q;he iNJAZ6@+
f=m/
-mAA 6V2j*J 建模任务
_2OuskL ~^7r?<aKc
h<Wg 3o 光栅特性与参数的严格分析
=/9<(Tt%m o1k#."wHr 不同光栅周期下的衍射效率
KO&:06V{ -~O/NX
Dtt-|_EMS yW("G-Nm 关于光栅周期选择的考虑
<d"Gg/@a 8=F %+
c~+l-GIWm GV8)Kor% 偏振相关的衍射特性
M&yqfb[ oZ:{@=
5B*qbM ,I`_F,
J3B.-XJ+n CH;;V3
Spgg+;9 e4[) WNR 通过参数优化进行光栅设计
ZEGd4_ux `6F+Rrn 固定周期的2D参数优化
7'OPjtM Rd%0\ B
/DO'IHC.o 2D参数优化–设计1
4ht\&2&: C9jbv/c
>a=d; \r;F2C0*i 2D参数优化–设计2
?9e] T//S,
C`4gsqD;Z GMm'of# 制造
公差分析–设计2
"HC)/)Mv@ |ym%|
B
*]x_,:R6Ow }q'WC4. 变化光栅周期的3D参数优化
f&yQhe6 q zZ,Yfd|W
]yLhJ_^ &Rp"rMeW
制造公差分析
N E=
w6 'msmXX@q
lLCdmxbT `o
si"o9 走进
VirtualLab Fusion
J#7y<
s o:UXPAj
@\}YAa>>"I G9RP^ VirtualLab Fusion中的工作流程
s'L?;:)dyB irMd
jG
Ro r2qDF (X}@^]lpa •构造光栅
结构 (1){A8=?o −通过使用界面来配置光栅结构
J&6:d [用例]
HC7JMj •分析光栅衍射效率
Z;b+>2oL −光栅级次分析器[用例]
<LA^%2jT •使用参数运行搜索初始解决方案
\+Y!ILOI −参数运行文档的使用[用例]
.mPg0 •通过参数优化找到最终设计
\!H{Ks{#R. rAXX}"l6s VirtualLab Fusion技术
^\wl2 =!,Gst_