摘要
{oXU)9vj n>t&l8g%g 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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'iY~F 0U %rFR:w`{ 建模任务
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>-&B#Z^, 光栅特性与参数的严格分析
A&?8 rc 5taR[ukM 不同光栅周期下的衍射效率
UWW^g@d4 64LX[8Ax#
t]3> X v9,<2 关于光栅周期选择的考虑
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vU,V[1^a =l)D$l 偏振相关的衍射特性
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eS`ZC!W 通过参数优化进行光栅设计
m/e*P*\= {gC?kp 固定周期的2D参数优化
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q"48U.}T 2D参数优化–设计1
]x1;uE?1J `<3%`4z/
I[6ft_* bJ"}-s+Dx 2D参数优化–设计2
+F?}<P_v @*16agGg
/n2qW.qJ> &gg Om 制造
公差分析–设计2
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DL*&e|:q Yu}[RXC(= 变化光栅周期的3D参数优化
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}Ug O$1 * lJkk 制造公差分析
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{/|tVc63 z j F'CY 走进
VirtualLab Fusion
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ae#Qeow` h3[x ZJO VirtualLab Fusion中的工作流程
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M9QYYo@ 3s0I<cL •构造光栅
结构 ]PlLy:( −通过使用界面来配置光栅结构
ei82pLM
z [用例]
b&*)C#7/T •分析光栅衍射效率
6zp]SPY −光栅级次分析器[用例]
arc{:u.K •使用参数运行搜索初始解决方案
m@y<wk(
−参数运行文档的使用[用例]
Lng@'Yr •通过参数优化找到最终设计
V/+D] C)mR~Ey VirtualLab Fusion技术
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