摘要
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Ry 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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GvOAs-$ VWv0\:,G 建模任务
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MGzF+ln^U 光栅特性与参数的严格分析
i 8Xz e;5Lv9?C8 不同光栅周期下的衍射效率
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u&XkbPZ%4c q4iD59yd)S 关于光栅周期选择的考虑
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I uj=d~|> Zbh]OCN 偏振相关的衍射特性
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Sp,Q,Q4 E$Pjp oQTf 通过参数优化进行光栅设计
BpG'e-2 `;CU[Ps?] 固定周期的2D参数优化
FraW6T}_ bV*zMoD#
KB R0p&MN 2D参数优化–设计1
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@:9fS 2D参数优化–设计2
rDX'oP: BemkCj2
.Pes{uHg qd~98FS 制造
公差分析–设计2
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-5v.1y=!L uQ]]]Z(H' 变化光栅周期的3D参数优化
J%:/<uCmZ vj&5`
}FiN 7# +c8AbEewg 制造公差分析
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r`R~{;oT &^n>ZY, 走进
VirtualLab Fusion
M:Y*Tb6w V<2fPDZ
&s^>S?L- 04PoBv~g VirtualLab Fusion中的工作流程
#;LMtDaL Cz@FZb8
pl x/}ah8 M2E87w •构造光栅
结构 $7n#\h −通过使用界面来配置光栅结构
CQjZAv
[用例]
:{b6M/ •分析光栅衍射效率
Sci4EGc −光栅级次分析器[用例]
bV$8
>[` •使用参数运行搜索初始解决方案
Rw}2* 5#y −参数运行文档的使用[用例]
6{ +_T •通过参数优化找到最终设计
5Z6-R}uXk 3P#+)
F~ VirtualLab Fusion技术
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