摘要
;w&yGm sYW)h$p;D 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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g"AfI YD>>YaH_3@ 建模任务
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3e<^-e)+xL 光栅特性与参数的严格分析
>+LgJo R cg5{o|x 不同光栅周期下的衍射效率
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@tp7tB ; Xr6 !b:UX 关于光栅周期选择的考虑
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"jJ)hk5e eBRP%<=>D 偏振相关的衍射特性
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&>b1ES.> r/<JY5 通过参数优化进行光栅设计
6OW-Dif^AG pNWp3+a' 固定周期的2D参数优化
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dct#ECT 2D参数优化–设计1
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+E[)@;T D8{HOv;d^ 2D参数优化–设计2
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OYy !4Fp Czxrn2p/ 制造
公差分析–设计2
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vp9<.*h W+S; Do 变化光栅周期的3D参数优化
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gQDK?aQX E-iBA (H 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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^eRT8I ,RO(k4 VirtualLab Fusion中的工作流程
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<~+ ZHasDZ8 •构造光栅
结构 Lc?O K"[m −通过使用界面来配置光栅结构
~mU_`o [用例]
elB 8 •分析光栅衍射效率
;BVhkWA −光栅级次分析器[用例]
59]9-1" + •使用参数运行搜索初始解决方案
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F −参数运行文档的使用[用例]
GA}^Rh`T- •通过参数优化找到最终设计
wm71,R1 9#6/c VirtualLab Fusion技术
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