摘要
NoR=:Q 9e B%.XWW$ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
(_9cL,v XOdkfmc+s' ,h#U<CnP# ^GyGh{@,f 建模任务
C6!P8qX T%opkyP>= UP8=V>T02 光栅特性与参数的严格分析
"TLY:V wva| TZ 不同光栅周期下的衍射效率
]+OHxCj: snl$v ,{pC1A@s 6F@2:]W 关于光栅周期选择的考虑
SEL7,8 Hm pE^j Uxk6 kW
7$ ;&A%"8o 偏振相关的衍射特性
o:.6{+|N f19~B[a ftw@ nQNU XW^Sw;[efZ cP]5Qz Me.t_) #nzVgV] <+/:}S4w) 通过参数优化进行光栅设计
x'uxSeH$ /IkSgKJiz\ 固定周期的2D参数优化
DNh{J^S"}w MgP6ki1z PGj?`y4 2D参数优化–设计1
*1>zE>nlP ?eU=xO /.[;u1z"^ Py3Y*YP 2D参数优化–设计2
k *#fN(_ lwhVP$q} 2f=7`1RCD %"1*,g{ 制造
公差分析–设计2
L,
k\`9bQ EE^
N01<"\ c'678!r9 P .ZB/!WiF 变化光栅周期的3D参数优化
tR;? o,T L'*P;z7< 7Lv5@ l5}b.B^w 制造公差分析
X`,]@c%C` x;G~c5 p-6(>,+E[ ]Q%|69H}B 走进
VirtualLab Fusion
] VN4;R <0,szw v+3-o/G7 L&i _ VirtualLab Fusion中的工作流程
bay7%[BLB P/'9k0zs) !JkH$~ H"_]Hq •构造光栅
结构 &)8-iO −通过使用界面来配置光栅结构
Q]?Lg [用例]
^J([w~& •分析光栅衍射效率
g.cD3N −光栅级次分析器[用例]
uMB|x,X I •使用参数运行搜索初始解决方案
c04"d"$ x −参数运行文档的使用[用例]
@\!9dK-W •通过参数优化找到最终设计
l9 K 3E<g 0Q]p#; VirtualLab Fusion技术
\[-z4Fxg|' VHyP@JB