摘要
9<)NvU^-r BV+ Bk+ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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w8D"CwS1Rx a -moI+y 建模任务
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@oad,=R& 光栅特性与参数的严格分析
V,?yPi$#E -[DOe?T 不同光栅周期下的衍射效率
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z%LIX^q9 ]}(H0?OQR 关于光栅周期选择的考虑
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K:Q<CQ2 b,%C{mC 偏振相关的衍射特性
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NS6:yX,/ qc~iQSI 通过参数优化进行光栅设计
Clb@$, ig':%2V/ 固定周期的2D参数优化
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\A6B,|@ 2D参数优化–设计1
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k/gZ, Bv%GJ*>> 2D参数优化–设计2
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A^EE32kbm 2Jmz(cH% 制造
公差分析–设计2
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([LSsZ]sj 1"M]3Kl 变化光栅周期的3D参数优化
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Uf 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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\3aoM{ztD 2nIw7>.}f VirtualLab Fusion中的工作流程
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u2~E •构造光栅
结构 8- %TC\: −通过使用界面来配置光栅结构
`o8/(`a [用例]
KOuCHqCfq •分析光栅衍射效率
xJ)n4) −光栅级次分析器[用例]
hL;(C)( •使用参数运行搜索初始解决方案
b4ONh% −参数运行文档的使用[用例]
,1CIBFY •通过参数优化找到最终设计
6U,O*WJ%e > eIP.,9 VirtualLab Fusion技术
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