摘要
6 Xzk;p r)) $XM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Oex{:dO "F XLkL#&Ir 建模任务
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2hjre3"? 光栅特性与参数的严格分析
hY\Eh. ]>]#zu$=c 不同光栅周期下的衍射效率
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[lDt0l5^ EuR!yD 关于光栅周期选择的考虑
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*7:u-}c! @lb=-oR!~ 偏振相关的衍射特性
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Zi[{\7a :IP;FrcMP 通过参数优化进行光栅设计
S0Rf>Eo4 Nqo#sBS 固定周期的2D参数优化
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<3],C)Zwc 2D参数优化–设计1
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Knw'h;,[ SoXX}<~E4 2D参数优化–设计2
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o ;U @'F8 |I 6 制造
公差分析–设计2
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q=NTP 变化光栅周期的3D参数优化
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NbQMWU~7 V{AH\IV- 制造公差分析
AK*mcTr C-:SQf
Z CQt1; u75)>^:I 走进
VirtualLab Fusion
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\^;|S 1K*f4BnDr~ VirtualLab Fusion中的工作流程
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+qSr=Y:+ o?Tp=Ge •构造光栅
结构 qqz,~EhC −通过使用界面来配置光栅结构
t7*H8 [用例]
G\,A> mT/P •分析光栅衍射效率
yTq(x4] −光栅级次分析器[用例]
}G,SqpcG •使用参数运行搜索初始解决方案
K+`-[v5\ −参数运行文档的使用[用例]
oZ*=7u •通过参数优化找到最终设计
}Nd`;d
oX:1 qJrC VirtualLab Fusion技术
Z,8+@ VATXsD