摘要
zX&SnT1~ wTa u.Bo 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@pYEzizP7 h5@GeYda 建模任务
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X^ Is-[OvE 光栅特性与参数的严格分析
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?| :NF4[c 不同光栅周期下的衍射效率
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g5@g_~ g R03 Te gwA 关于光栅周期选择的考虑
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rtj`FH??11 R^*baiXVI 偏振相关的衍射特性
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VIT|# ",$_\l 通过参数优化进行光栅设计
K] (*l"'U5 CP~ZIIip" 固定周期的2D参数优化
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H&)}Z6C" 2jFuF71 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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WeH 变化光栅周期的3D参数优化
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?RsrY4P zw>L0gC 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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).SJ*Re*^I %F;BL8d VirtualLab Fusion中的工作流程
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+OE!Uqnt l P F326e •构造光栅
结构 =-h^j −通过使用界面来配置光栅结构
[.gk{> # [用例]
7IX8ck[D •分析光栅衍射效率
^65I,Z" −光栅级次分析器[用例]
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# •使用参数运行搜索初始解决方案
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−参数运行文档的使用[用例]
g#J`7n •通过参数优化找到最终设计
XX8HSw!w +%JBr+1#\ VirtualLab Fusion技术
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