摘要 sj9D
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |"}4*V_ *
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建模任务 Hql5oA
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光栅特性与参数的严格分析 Ku%6$C!,
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不同光栅周期下的衍射效率 rye)qp|
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关于光栅周期选择的考虑 9.Ap~Ay.
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偏振相关的衍射特性 ;nf&c;D
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通过参数优化进行光栅设计 97x%2.\:
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固定周期的2D参数优化 9[f%;WaS
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2D参数优化–设计1 "w^Nu6
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制造公差分析–设计2 f#mx:Q.7I
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变化光栅周期的3D参数优化 uri*lC
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制造公差分析 M4H"].Zm
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走进VirtualLab Fusion () <`t}FQ
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ,$PFI(Whk
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•构造光栅结构 RCCv>o
−通过使用界面来配置光栅结构 ${@q?iol
[用例] 7
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•分析光栅衍射效率 CX.SYr&!R
−光栅级次分析器[用例] RCQAtBd
•使用参数运行搜索初始解决方案 kI<WvgoL
−参数运行文档的使用[用例] (`F|nG=X
•通过参数优化找到最终设计 ?Oqzd$-
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VirtualLab Fusion技术 E0T&GR@.
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