摘要
}e3M5LI1L 6OYXcPW' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/dTy%hZC} ^NJ]~h{n$ 建模任务
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m7 光栅特性与参数的严格分析
x_9<&Aj6 P.*J'q 28 不同光栅周期下的衍射效率
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QS2J271E} %M8Egr2|0 关于光栅周期选择的考虑
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i^P@? $>E\3npV 偏振相关的衍射特性
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vn[c* 51yIW* 通过参数优化进行光栅设计
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}dW tB.;T0n 固定周期的2D参数优化
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M9Gs^ 2D参数优化–设计1
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Hv%(9)-8 }GvoQ#N 2D参数优化–设计2
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a Myss$gt} 制造
公差分析–设计2
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`;fh<kv mY-Z$8r 变化光栅周期的3D参数优化
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O$x-&pW`g ulFU(%& 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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UCYhaD@sP a:@9GmtV& VirtualLab Fusion中的工作流程
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I^Ichn !s,<hU# •构造光栅
结构 ,4j$kR −通过使用界面来配置光栅结构
La%\-o [用例]
1=#r$H •分析光栅衍射效率
V5rnI\:7 −光栅级次分析器[用例]
TUhp •使用参数运行搜索初始解决方案
x6HebIR+ −参数运行文档的使用[用例]
LoHWkNZ5: •通过参数优化找到最终设计
a#H=dIj [e)81yZG> VirtualLab Fusion技术
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