摘要
&\|<3sd( Q0Qm0B5eY 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`i 建模任务
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'8kjTf#g<l 光栅特性与参数的严格分析
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l(? 不同光栅周期下的衍射效率
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Ny,A#-? -u9yR"n\} 关于光栅周期选择的考虑
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a {$k<@Ww `W$0T;MPF 偏振相关的衍射特性
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*r,&@UB *R\/#Y| 通过参数优化进行光栅设计
C1B3VG gq_7_Y/ 固定周期的2D参数优化
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(&S[R{=^j 2D参数优化–设计1
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G q:4rG| ddq 1NW 2D参数优化–设计2
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^Ii \vk h3]@M$Y[ 制造
公差分析–设计2
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s39U' M`+e'vdw 变化光栅周期的3D参数优化
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0I>?_?~l6 Fwx~ ~"I 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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,hTwNVWI9 n:*_uc^C VirtualLab Fusion中的工作流程
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N5f0|U& qaMZfA •构造光栅
结构 9oje`Ay −通过使用界面来配置光栅结构
przubMt [用例]
),;D;LI{S •分析光栅衍射效率
Ck3QrfM −光栅级次分析器[用例]
(o*e<y,}W •使用参数运行搜索初始解决方案
.YjrV+om1 −参数运行文档的使用[用例]
WpJD=C% •通过参数优化找到最终设计
RQo$iISwy YV1a3 VirtualLab Fusion技术
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