摘要
5? `*i" GJY7vS^# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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F? kW{,* .)>DFGb>H 建模任务
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DM%4V|F" 光栅特性与参数的严格分析
nkp!kqJ09 L+PrV y 不同光栅周期下的衍射效率
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}Zwse%; ~'e/lX9g- 关于光栅周期选择的考虑
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6 EwcN$Ma 偏振相关的衍射特性
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VrA9}"1x~* 9Kw4K#IqQ 通过参数优化进行光栅设计
\$2E n)w@\Uyc 固定周期的2D参数优化
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x )wIGo 2D参数优化–设计1
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>8~+[e m-lUgx7 2D参数优化–设计2
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pb{ 制造
公差分析–设计2
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2jf-vWV_ ?w1_.m|8u 变化光栅周期的3D参数优化
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P. P3/, 5@"&%8oeq0 制造公差分析
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[6Uc?Bi qn#\ro1H 走进
VirtualLab Fusion
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|n3PznV ,b=&iDc VirtualLab Fusion中的工作流程
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6TxZ^&= B2%)G$B •构造光栅
结构 ?'p`Qv −通过使用界面来配置光栅结构
OC9_EP\" [用例]
M ]W'>g)G •分析光栅衍射效率
I+w3It −光栅级次分析器[用例]
_/ZIDIn •使用参数运行搜索初始解决方案
"g\ −参数运行文档的使用[用例]
'5KgRK" •通过参数优化找到最终设计
k/O|ia6 _CPe VirtualLab Fusion技术
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