摘要
0\$Lnwp_ 0Z%<H\Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
OK}8BY . 55aY~We
CA"`7<, p-g@cwOu 建模任务
/s:akLBaD BYS>"
Z[j-.,Qu 光栅特性与参数的严格分析
[iSLn3XXRX gY=+G6;=< 不同光栅周期下的衍射效率
@D<Q'7mLh L?y,xA_
QPF[D7\ Ug O \+cI 关于光栅周期选择的考虑
Z3T26Uk JY>I
inGH'nl_ 2gjA>ET`N 偏振相关的衍射特性
gD fVY%[Z \=~<I
naB[0I&
N X_|} b[b
WUi7~Ei} ]gj@r[
Ki@8 2I39fZa 通过参数优化进行光栅设计
X]CaWxM qm}7w3I^ 固定周期的2D参数优化
5O%}.}n ~yf 5$~Z
}mJ)gK5b 6 2D参数优化–设计1
AB#hhi# 7,LT4wYH
8@Km@o]? X!_OOfueP8 2D参数优化–设计2
#wm)e)2@ &q` =xF
!8s:3] /3Gv51' 制造
公差分析–设计2
IweQB} d qC|re!K
IX3U\_I# Yc5$915 变化光栅周期的3D参数优化
KoXXNJax n2O7n@8
,!py
n<_ y! 1NS 制造公差分析
<?nr"V 6<~y!\4;F
+yea}uUE EX5kF 走进
VirtualLab Fusion
Tp6ysjao BR%: `uiQ<
jKQP0 t- G`W+m*[U+M VirtualLab Fusion中的工作流程
1-[{4{R &]c9}Ic
hg>YOf&RG e)bqE^JP •构造光栅
结构 Ek.j@79 −通过使用界面来配置光栅结构
V7v,)a" L [用例]
Bms?`7}N •分析光栅衍射效率
\%VoX`B −光栅级次分析器[用例]
Y{'G2)e •使用参数运行搜索初始解决方案
Kj>_XaFCg! −参数运行文档的使用[用例]
3G&1. 8 •通过参数优化找到最终设计
0\o'd\ }R'oAE}$ VirtualLab Fusion技术
Fy@D&j 8vP)qy8