摘要
.Um?5wG~i U.zRIhA] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
XvfcPI6 ,v$2'm)V
JLFFh!J j?d;xj 建模任务
knNhN=hG+ 97:t29N
}mtC6G41Q 光栅特性与参数的严格分析
X]3l| D mG}^'?^K 不同光栅周期下的衍射效率
uMiD*6,$< \Y>#^b?
}5TfQV6 ,T,B0 关于光栅周期选择的考虑
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=,/A\F q:EzKrE 偏振相关的衍射特性
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Q*mMF@-:
VrnK)za*H c1)BGy li 通过参数优化进行光栅设计
*tbpFk4/ N>cp>&jV 固定周期的2D参数优化
HiS,q0 8a":[Q[
: e0R7sj 2D参数优化–设计1
Yq)YS] &8:iB {n
O>b&-U"R ?}1JL6mF{ 2D参数优化–设计2
^Q43)H0 U:pLnNp`
"S{6LWkD #Tg|aW$(* 制造
公差分析–设计2
b Q9"GO<X 9Ww=hfb5UW
N#-kk3!Z; 5w,YBUp 变化光栅周期的3D参数优化
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:(S/$^ U ]Nd'%M 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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W O \lny! u%gm+NneK VirtualLab Fusion中的工作流程
*"wD&E? (8m\#[T+R
$.3CiM}~ _uy5?auQ •构造光栅
结构 z}b U\3! −通过使用界面来配置光栅结构
{7M4SC@p| [用例]
hF=V
?\ •分析光栅衍射效率
1!v >I"] −光栅级次分析器[用例]
CgT QGJ}- •使用参数运行搜索初始解决方案
<g|nmu)o$ −参数运行文档的使用[用例]
$Zu4tuXA •通过参数优化找到最终设计
b#\kZ/W ETH#IM8J VirtualLab Fusion技术
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