摘要
YdI&OzaroE =!RlU)w 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Gpauy=4f GGY WvGE+ 建模任务
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e{dYLQd 光栅特性与参数的严格分析
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d5CkX y,`SLgBID 不同光栅周期下的衍射效率
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e I 6G t*&O*T+fgy 关于光栅周期选择的考虑
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)^C w -Xw i}/OX 偏振相关的衍射特性
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)$Erfu "[*W=6m0 通过参数优化进行光栅设计
(RL5L=,u ^@&RJa-kb 固定周期的2D参数优化
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B@Ae2_; T =l4Vb{> 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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R9/(z\'} azj:Hru&t# 变化光栅周期的3D参数优化
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VirtualLab Fusion
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=)B@ `" VirtualLab Fusion中的工作流程
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Z|FWQ8gZ4m +$eEZ;4 •构造光栅
结构 FM c9oyU~ −通过使用界面来配置光栅结构
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8?lp:kM •分析光栅衍射效率
g|W|>`> −光栅级次分析器[用例]
'$]u?m •使用参数运行搜索初始解决方案
![wV}.} −参数运行文档的使用[用例]
6wzTX8 •通过参数优化找到最终设计
+%$'(ts d$uh.?F5 VirtualLab Fusion技术
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