[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 7*>,BhF#  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Jk57| )/  
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建模任务 cToT_Mk  
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光栅特性与参数的严格分析 as"@E>a  
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不同光栅周期下的衍射效率 o,'Fz?[T%  
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关于光栅周期选择的考虑 B1TWOl?d{  
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偏振相关的衍射特性 bycnh  
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通过参数优化进行光栅设计 <MJ-w1A  
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固定周期的2D参数优化 z\>ZgRi~n  
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2D参数优化–设计1 )B"E+Q'h{7  
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2D参数优化–设计2 y<PQ$D)  
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制造公差分析–设计2 B^C5?  
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变化光栅周期的3D参数优化 f& Vx`oj  
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制造公差分析 G-'CjiMu  
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走进VirtualLab Fusion MJU*Sq  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 5m\)82s  
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37*2/N2  
•构造光栅结构 g|M>C:ZT  
−通过使用界面来配置光栅结构 3*-!0  
[用例] <DhuY/o  
•分析光栅衍射效率 cCcJOhk|d  
−光栅级次分析器[用例] (&M,rW~Qxs  
•使用参数运行搜索初始解决方案 l@`n4U.Gwl  
−参数运行文档的使用[用例] S~M/!Xb  
•通过参数优化找到最终设计 kArF Gb2c  
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VirtualLab Fusion技术 =69sWcC8  
0Z{u;FI  

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