摘要
S[;d\Z]~ ;?G.., 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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gF>t+"+x *B)J(^M!q 建模任务
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Fh:L 光栅特性与参数的严格分析
4aiI&, *!.anbo@?z 不同光栅周期下的衍射效率
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kW
z*)kK r3NdE~OAi 关于光栅周期选择的考虑
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7O-fc1OTv yNhRh>l 偏振相关的衍射特性
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/5Sd?pW; !'#GdRstv 通过参数优化进行光栅设计
+i~kqiy. v~A*?WU;n 固定周期的2D参数优化
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u`;P^t5 2D参数优化–设计1
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>qVSepK3 =gB8(1g8 2D参数优化–设计2
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mqtYny' iwy;9x 制造
公差分析–设计2
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tn 变化光栅周期的3D参数优化
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nkzH}F=< X/_89<& 制造公差分析
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B'AXv6 RT(ejkLZm 走进
VirtualLab Fusion
4peRbm qLPuKIF
pqTaN=R8 dZo x;_b VirtualLab Fusion中的工作流程
gT(8.<h8 ^H -a@QM
K
$WMrp (I#mo2 •构造光栅
结构 *I[tIO\ −通过使用界面来配置光栅结构
<'QI_mP* [用例]
ROXa/ •分析光栅衍射效率
?E<9H/ −光栅级次分析器[用例]
^wD`sj<Qg •使用参数运行搜索初始解决方案
Omi/sKFMi −参数运行文档的使用[用例]
p:)=i"uL •通过参数优化找到最终设计
7?D?s!%\ GKKDO+A=! VirtualLab Fusion技术
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