摘要
pJe!~eyHm iNkN'(" 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4"eFR'g ,(h- 建模任务
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egA*x*8 光栅特性与参数的严格分析
.9ZK@xM&? ]XlBV-@b 不同光栅周期下的衍射效率
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H~JgZ pw zx8@4?bK 关于光栅周期选择的考虑
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:Wx7a1.Jz c oZK 偏振相关的衍射特性
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tmC 0s//&'*Q 通过参数优化进行光栅设计
,<P"\W Lbrn8,G\ 固定周期的2D参数优化
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^IK 2D参数优化–设计1
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Ol. 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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)Z4iM;4] h5l_/vd 变化光栅周期的3D参数优化
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5FB3w48 ,@p4HN* 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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4Hyp]07 3:$@DZT$ VirtualLab Fusion中的工作流程
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J<"Z6 '0v e$QMR.' •构造光栅
结构 @HI@PZ> −通过使用界面来配置光栅结构
~3Qa-s;g [用例]
G]xN#O; •分析光栅衍射效率
uj%]+Llxv −光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
]3]B$ −参数运行文档的使用[用例]
&l`_D?{<# •通过参数优化找到最终设计
V$$9Rh Xe`$SNM VirtualLab Fusion技术
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