摘要
&~:+2 &!F"3bD0 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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YYhN>d$ 12@Ge] 建模任务
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9@8'*a{`m 光栅特性与参数的严格分析
lhX4MB" E[Q2ZqhgbP 不同光栅周期下的衍射效率
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uD\rmO{ =I0J1Ob 关于光栅周期选择的考虑
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yqC158 P lnGg1/ 偏振相关的衍射特性
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|AXV4{j_i 0oe2X1.% 通过参数优化进行光栅设计
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M}(XM 固定周期的2D参数优化
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Pk;1q?tGw 2D参数优化–设计1
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公差分析–设计2
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}3C*w+ 变化光栅周期的3D参数优化
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Fkg%_v$ 9fWR8iV 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
E:-~SH} P4LiU2C
CfVL' %{Obhj;c VirtualLab Fusion中的工作流程
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'-mzt~zGOY l](!2a=[ •构造光栅
结构 JmeE}:5lpj −通过使用界面来配置光栅结构
1!yd(p=cL [用例]
aPRMpY-YC3 •分析光栅衍射效率
i(ZzE −光栅级次分析器[用例]
B)/c]"@89 •使用参数运行搜索初始解决方案
omznSL −参数运行文档的使用[用例]
_pzYmQ •通过参数优化找到最终设计
i'10qWz #R7hk5/8n} VirtualLab Fusion技术
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