摘要
$VRVMY [q aF
(L_ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2\/,X CQV 2MQ
XtK 建模任务
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<g4[p^A 光栅特性与参数的严格分析
$/p/9 - 9z0G0QW[ 不同光栅周期下的衍射效率
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(k{` H/?@UJ5m 关于光栅周期选择的考虑
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]QbT%0 k/;%{@G) 偏振相关的衍射特性
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DY(pU/q suF<VJ)&s 通过参数优化进行光栅设计
Z,Z4Sp Wq}Y|0c 固定周期的2D参数优化
j'QPJ(`~1l ;ifPqLkO
j2GTo~muq 2D参数优化–设计1
w28&qNha ZCC T
!CGpE=V A6Vb'Gqv{ 2D参数优化–设计2
qe3d,! dWK"Tkf\
p`I[3/$3 )kpNg:2p 制造
公差分析–设计2
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s,;7m fuQk}OW{ 变化光栅周期的3D参数优化
#M5pQ&yZy ?;xL]~Q~1
\~BYY|UB;W 7RZ HU+ 制造公差分析
Q*54!^l+_r `37%|e 3bQ
!(8)'<t9 ;#XF.l,u 走进
VirtualLab Fusion
R}E$SmFg _fM=J+
>z|bQW#2 Is[n7Q VirtualLab Fusion中的工作流程
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"~:P-]`G I1 +A$<Fa •构造光栅
结构 U)6Ew4uRxV −通过使用界面来配置光栅结构
%$6?em_ [用例]
me
YSW •分析光栅衍射效率
Y1-=H)G −光栅级次分析器[用例]
9
K~X+N\ •使用参数运行搜索初始解决方案
HXb^K −参数运行文档的使用[用例]
%%+@s •通过参数优化找到最终设计
q${+I(b, cyH=LjgJf VirtualLab Fusion技术
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