摘要
g*AWE,%=| b|:YIXml 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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e8a+2.!&\ sUO`u qZV 建模任务
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76{G'}B 光栅特性与参数的严格分析
tCH!my_ 4SxX3Fw 不同光栅周期下的衍射效率
AO4U}? \';gvr|
q6luUx,@m L,/%f<wd 关于光栅周期选择的考虑
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tX s\R(?T m+[Ux{$ 偏振相关的衍射特性
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K($Npuu] x|Bf-kc[#Q
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M5X&}cN6 |0b`fOS 通过参数优化进行光栅设计
013x8!i E{`fF8]K 固定周期的2D参数优化
6%_nZvRv 6A-|[(NS
FcU SE 2D参数优化–设计1
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&j"?\f? YjKxb 9 2D参数优化–设计2
",; H`V .M%}X7
dR,fXQm ,#9PxwrO 制造
公差分析–设计2
(hbyEQhF #)O65GI
S4z;7z(8+ c-5)QF) z 变化光栅周期的3D参数优化
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@I?=<Riu htF] W|z 制造公差分析
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2^nxoye W^l-Y%a/o 走进
VirtualLab Fusion
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}K|oicpUg h S&R(m VirtualLab Fusion中的工作流程
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2P0*NQ #@Jq~$N| •构造光栅
结构 uKHxe~ −通过使用界面来配置光栅结构
r;N|) [用例]
H G^'I+Yn •分析光栅衍射效率
+23xev −光栅级次分析器[用例]
h2d(?vOT •使用参数运行搜索初始解决方案
o>pJPV −参数运行文档的使用[用例]
pW3^X=6 •通过参数优化找到最终设计
ISvpQ 3{)s fNFY$:4X VirtualLab Fusion技术
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