摘要
o;I86dI6C *.Hnt\4| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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tO3B_zC 1K',Vw_ 建模任务
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90D.G_45 光栅特性与参数的严格分析
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[0k 不同光栅周期下的衍射效率
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K%_JQ0` OZ9j3Q;a$ 关于光栅周期选择的考虑
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.W:], 5e kIo?<=F8T 偏振相关的衍射特性
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f89<o#bm7h Mt0|`=64 通过参数优化进行光栅设计
|8ZAE%/d u{G6xuPWf 固定周期的2D参数优化
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-ZJ:< 2D参数优化–设计1
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xSZw, X/"H+l 2D参数优化–设计2
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ci (avaTUMOqy 制造
公差分析–设计2
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_bsfM;u.% 2YQ$hL ~ 变化光栅周期的3D参数优化
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~.tu#Y? UzXbaQQ2g 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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/@e\I0P^ >[U$n. VirtualLab Fusion中的工作流程
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T@.CwV wAYc)u# •构造光栅
结构 "G:>}cs%? −通过使用界面来配置光栅结构
Qfi5fp=f [用例]
!)]3@$# •分析光栅衍射效率
glpdYg * −光栅级次分析器[用例]
LV0{~g(!% •使用参数运行搜索初始解决方案
*V}}3Degh −参数运行文档的使用[用例]
)Ec;kr b+ •通过参数优化找到最终设计
nq;)!Wry :OM>z4mQ VirtualLab Fusion技术
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