[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 CsjrQ-#9yn  
G#1W":|`  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,}l|_GGj  
@z`eqG,']  

图片:1-20021G15353423.png

5eM{>qr}  
qXoq< |  
建模任务 mp*?GeV?M  
MieO1l  

图片:1-20021G15419564.png

m;ju@5X  
光栅特性与参数的严格分析 $s"-r9@q  
m\MI 6/  
不同光栅周期下的衍射效率 7ab'q&Y[  
/RWD\u<l  

图片:1-20021G15602G5.png

u>*q
Dr*d  
y=AF EP  
关于光栅周期选择的考虑 9!ARr@ ;  
k+hl6$:Qj%  

图片:1-20021G15641J8.png

1yFIIj:^|  
|fo#pwX  
偏振相关的衍射特性 ``>z8t[ks  
C(M?$s`  

图片:1-20021G15G0159.png

f6{.Uq%SGp  
#];ulDq  

图片:1-20021G15I2201.png

*]!rT&E  
7JBr{3;eS  

图片:1-20021G15P2594.png

U(%6ny  
 %\~U>3Q  
通过参数优化进行光栅设计 8fK/0u^`d  
9~y:K$NO  
固定周期的2D参数优化 ;s8\F]K  
-C* 6>$A  

图片:1-20021G15RaL.png

uG-S$n"7K  
2D参数优化–设计1 ,R=$qi|  
ant2];0p  

图片:1-20021G15Z4258.png

hDc
2T  
CZ =]0zB  
2D参数优化–设计2 *w}r:04F  
}ktK*4<k  

图片:1-20021G20004394.png

i`?yi-R&  
 i(V  
制造公差分析–设计2 n'%cO]nS
x  
9WV8ZP  

图片:1-20021G2002JX.png

d<E2=WVB6  
5Fbb5`(  
变化光栅周期的3D参数优化 e*d lGK3l  
Xe(]4Ux  

图片:1-20021G20100c0.png

D}UgC\u  
3sDyB-\&  
制造公差分析 f*T}Ov4  
:)h4SD8Y  

图片:1-20021G20120954.png

XEN-V-Z%*  
MM( ,D& Z  
走进VirtualLab Fusion D[4%CQ1m  

{\|XuCF#  

图片:1-20021G20141219.png

$4og{  
GH&5m44  
VirtualLab Fusion中的工作流程 :^FH.6}x  
s!1/Bm|_T  

图片:1-20021G20205237.png

,wy;7T>ODd  
`,4YPjk^  
•构造光栅结构 @X=sfygk  
−通过使用界面来配置光栅结构 LxiN9  
[用例] D&]xKx  
•分析光栅衍射效率 /;xrd\du  
−光栅级次分析器[用例] vG=Pi'4XXo  
•使用参数运行搜索初始解决方案 NGZtlNvh  
−参数运行文档的使用[用例] *z_`$Y
  
•通过参数优化找到最终设计 =FdFLrx~l  
e-.(O8  
VirtualLab Fusion技术 h]IoH0/  
kV3LFPf>0  

图片:1-20021G2025W62.png