摘要
!</U"P:L b<!' WpY- 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&zd@cr1 [,MaAB 建模任务
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_Ss}dU9 光栅特性与参数的严格分析
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o\f ])G|U A. 不同光栅周期下的衍射效率
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Hs$HeAp; |)v}\-\# 关于光栅周期选择的考虑
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|)xWQ KzA q{Gh5zg5O 偏振相关的衍射特性
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AOkG.u-k ~3-"1E>Rgy 通过参数优化进行光栅设计
@-L\c>rqT FaWDAL=Vhk 固定周期的2D参数优化
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Q=>5@sZB 2D参数优化–设计1
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E|>-7k") AbhR* 2D参数优化–设计2
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`&.qHw) Sk"hqF.2 制造
公差分析–设计2
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)t3`O$J 6FJ*eWPC 变化光栅周期的3D参数优化
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qBcbMa9m Nd"IW${Kg 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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k H<C9z2= SrB>_0** VirtualLab Fusion中的工作流程
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SPRTJdaC9 >q&5Z •构造光栅
结构 KAD2_@l −通过使用界面来配置光栅结构
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%h [用例]
%FM26^ •分析光栅衍射效率
ja~Dp5 −光栅级次分析器[用例]
R) :Xs . •使用参数运行搜索初始解决方案
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i!7 −参数运行文档的使用[用例]
)+'=Zvgej= •通过参数优化找到最终设计
rm ;U'&{ j0X^,ot@m VirtualLab Fusion技术
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