[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 f]48-X,^6  
+Ly@5y"  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 46##(4RF  
*7o@HBbF  

图片:1-20021G15353423.png

fSVb.MZa7  
> JC"YB  
建模任务 7!dj&?  
R} X"di  

图片:1-20021G15419564.png

[vqf hpz  
光栅特性与参数的严格分析 ^r~O*  
v{SZ(;  
不同光栅周期下的衍射效率 +rJDDIb  
0`V;;w8  

图片:1-20021G15602G5.png

Ihp Ea,v)  
I0*N "07n  
关于光栅周期选择的考虑 x[=,$;o+  
~)pso7^:  

图片:1-20021G15641J8.png

y* :C~  
]nNn"_qh  
偏振相关的衍射特性 ,T*\9'Q  
22'Ra[  

图片:1-20021G15G0159.png

I? ="Er[g}  
NvC @  

图片:1-20021G15I2201.png

xX|f{)<  
Eh^gR`I  

图片:1-20021G15P2594.png

EW`3$J;  
R"j<C13;%  
通过参数优化进行光栅设计 @/,0()*dL  
~ mzX1[  
固定周期的2D参数优化 0V?7'Em  
@?>5~  

图片:1-20021G15RaL.png

7K ~)7U  
2D参数优化–设计1 6"?#E[ #[  
PhAD:A  

图片:1-20021G15Z4258.png

5=\^DeM@ H  
Vqcw2  
2D参数优化–设计2 &kcmkRRG  
'P*OzZ4>$  

图片:1-20021G20004394.png

T"t.t%(8  
E@EP9X >  
制造公差分析–设计2 j
GoQXiX  
Yxy!&hPLv:  

图片:1-20021G2002JX.png

=KAN|5yn  
fw VI%0C@  
变化光栅周期的3D参数优化 -Kw7! =_ g  
w/:ibG@  

图片:1-20021G20100c0.png

~^'WHuzPy  
#l
h' !  
制造公差分析 3,EtyJ3[Bh  
-BSO$'{7  

图片:1-20021G20120954.png

F|cli <  
2I|lY>Z  
走进VirtualLab Fusion M)U)Sc zHO  
g6+5uvpd  

图片:1-20021G20141219.png

);h  
u@P1`E1Q  
VirtualLab Fusion中的工作流程 aK_k'4YTm  
:;c`qO4  

图片:1-20021G20205237.png

7kITssVHI  
tt CC] Q  
•构造光栅结构 VoQhzp6&  
−通过使用界面来配置光栅结构 ]q"y P0  
[用例] Yg}b%u,Q  
•分析光栅衍射效率 $d,/(*Y#-  
−光栅级次分析器[用例] qu^~K.I"  
•使用参数运行搜索初始解决方案 xj9xUun  
−参数运行文档的使用[用例] }346
uF7C  
•通过参数优化找到最终设计
4'tY1d  
>vR2K^  
VirtualLab Fusion技术 j<6+p r  
XL
9-N?(@  

图片:1-20021G2025W62.png