摘要
RYhdf P<&/$x6 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Vl z T f:Ja 建模任务
Ni)#tz_9 Y'HF^jv]R
%7@H7^s}9 光栅特性与参数的严格分析
gdZVc9_ B*AMo5 不同光栅周期下的衍射效率
w:LCm `d s*X\%!l9
DvKM>P%| *Fc&DQT( 关于光栅周期选择的考虑
ppD~xg] g|HrhUT;
y,>m#6hx# =iQm_g 偏振相关的衍射特性
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W9Lg}[>:) oQXkMKZ 通过参数优化进行光栅设计
c+{4C3z Z4-dF;7 固定周期的2D参数优化
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|K-lgrA 2D参数优化–设计1
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T6r~OV5 (R<4"QbE 2D参数优化–设计2
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@]tGfr;le& $Ig,cTR.b 制造
公差分析–设计2
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EXcj F LD~'^+W 变化光栅周期的3D参数优化
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g*[%Jf^ 'uzv\[ 制造公差分析
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s3Ce]MH jFTV\|C 走进
VirtualLab Fusion
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z]|[VM?4L @qy*R'+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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==Mi1Q#5C -*fYR#VQQB •构造光栅
结构 |I5?5 J\ −通过使用界面来配置光栅结构
D>e\OfTR: [用例]
p-r%MnT •分析光栅衍射效率
yaLW(@ −光栅级次分析器[用例]
HHTsHb{7 •使用参数运行搜索初始解决方案
o>-v?Ug −参数运行文档的使用[用例]
ASa!yV=g •通过参数优化找到最终设计
[(F<|f:n MH;%Y"EI VirtualLab Fusion技术
Q]5^Eiq8 QU!'W&F6