摘要
t6m3lq{ d00#;R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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~7+7{9g T$%r?p(s 建模任务
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r&oR|-2hRk 光栅特性与参数的严格分析
OB`(,m# bc=,$ 不同光栅周期下的衍射效率
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nNz1gV:0X ^MIF+/bQ 关于光栅周期选择的考虑
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S WfpQ 偏振相关的衍射特性
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m/ujz V5:ad 通过参数优化进行光栅设计
2 j.6 8C]K36q 固定周期的2D参数优化
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$`j%z@[g 2D参数优化–设计1
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-yOwX2Wv5; QO2@K1Y 制造
公差分析–设计2
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RO+ jVY~H- ]%M&pc3U 变化光栅周期的3D参数优化
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jAC Lo WC0z'N({W 制造公差分析
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riR(CJ}Ff +YZ*>ki 走进
VirtualLab Fusion
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mR["xDHD IiU\}<O VirtualLab Fusion中的工作流程
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Y5c,O>T5Y e5RF6roxO •构造光栅
结构 b?{MXJ| −通过使用界面来配置光栅结构
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g •分析光栅衍射效率
)ifjK6* −光栅级次分析器[用例]
Qb%o%z?hee •使用参数运行搜索初始解决方案
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Xde −参数运行文档的使用[用例]
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dx@|M{jz' fj|b;8_}l VirtualLab Fusion技术
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